JPS6352095U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6352095U JPS6352095U JP14602486U JP14602486U JPS6352095U JP S6352095 U JPS6352095 U JP S6352095U JP 14602486 U JP14602486 U JP 14602486U JP 14602486 U JP14602486 U JP 14602486U JP S6352095 U JPS6352095 U JP S6352095U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- furnace
- furnace body
- fixed
- heat
- heat treatment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Tunnel Furnaces (AREA)
Description
第１図Ａは本考案の実施例の概要を示す一部縦
断正面図、第１図Ｂは同実施例の側面図、第２図
Ａ，Ｂはそれぞれウオーキングビーム式の搬送動
作を説明する正面図及び側面図、第３図は本考案
における移動ビームの変位駆動要領を示す説明図
である。 ２……ヒータ、４……被覆材、５……炉本体、
６……固定ビーム、７……固定ビーム支持部材、
９……移動ビーム、１０……移動ビーム支持部材
、３０Ａ……上・下動駆動機構、３０Ｂ……前進
・後退駆動機構、Ｗ……被加熱物。
断正面図、第１図Ｂは同実施例の側面図、第２図
Ａ，Ｂはそれぞれウオーキングビーム式の搬送動
作を説明する正面図及び側面図、第３図は本考案
における移動ビームの変位駆動要領を示す説明図
である。 ２……ヒータ、４……被覆材、５……炉本体、
６……固定ビーム、７……固定ビーム支持部材、
９……移動ビーム、１０……移動ビーム支持部材
、３０Ａ……上・下動駆動機構、３０Ｂ……前進
・後退駆動機構、Ｗ……被加熱物。
補正 昭６１．１１．２６
考案の名称を次のように補正する。
考案の名称 ウオーキングビーム式熱処理炉
実用新案登録請求の範囲を次のように補正する
。
。
【実用新案登録請求の範囲】
(1) 一端側に炉の入口、他端側に出口をそれぞ
れ有しヒータを備えて炉内長さ方向に所定の温度
分布を有する長形の炉本体と、該炉本体の内部を
長さ方向に貫通する複数本の位置固定された平行
棒材からなる固定ビームと、該固定ビームに平行
して前記炉本体の内部を長さ方向に貫通する複数
本の平行棒材からなり前記固定ビームに対する関
係位置が上・下及び長さ方向の前・後に変位可能
に設けられた移動ビームと、該移動ビームを前記
固定ビームに対して上昇―前進―下降―後退の順
に反復して周期的に変位運動させる移動ビーム駆
動機構とを備えて、前記移動ビームの変位運動に
より被加熱物を前記両ビーム相互間に受け渡しし
ながら前記炉本体内を移送して熱処理するウオー
キングビーム式熱処理炉において、 前記炉本体の内面側は耐熱セラミツク又は石英
からなる被覆材により覆われており、 前記固定ビーム及び移動ビームはいずれも耐熱
セラミツク材を主材としてなり、且つ該両ビーム
はいずれも前記炉本体の内部において支持される
ことなくそれぞれの両端側が前記炉本体の外側で
支持部材に支持されていることを特徴とするウオ
ーキングビーム式熱処理炉。 (2) 前記固定ビーム及び移動ビームはいずれも
棒状の耐熱セラミツク材の外周部に石英を被覆し
てなる実用新案登録請求の範囲第１項記載のウオ
ーキングビーム式熱処理炉。
れ有しヒータを備えて炉内長さ方向に所定の温度
分布を有する長形の炉本体と、該炉本体の内部を
長さ方向に貫通する複数本の位置固定された平行
棒材からなる固定ビームと、該固定ビームに平行
して前記炉本体の内部を長さ方向に貫通する複数
本の平行棒材からなり前記固定ビームに対する関
係位置が上・下及び長さ方向の前・後に変位可能
に設けられた移動ビームと、該移動ビームを前記
固定ビームに対して上昇―前進―下降―後退の順
に反復して周期的に変位運動させる移動ビーム駆
動機構とを備えて、前記移動ビームの変位運動に
より被加熱物を前記両ビーム相互間に受け渡しし
ながら前記炉本体内を移送して熱処理するウオー
キングビーム式熱処理炉において、 前記炉本体の内面側は耐熱セラミツク又は石英
からなる被覆材により覆われており、 前記固定ビーム及び移動ビームはいずれも耐熱
セラミツク材を主材としてなり、且つ該両ビーム
はいずれも前記炉本体の内部において支持される
ことなくそれぞれの両端側が前記炉本体の外側で
支持部材に支持されていることを特徴とするウオ
ーキングビーム式熱処理炉。 (2) 前記固定ビーム及び移動ビームはいずれも
棒状の耐熱セラミツク材の外周部に石英を被覆し
てなる実用新案登録請求の範囲第１項記載のウオ
ーキングビーム式熱処理炉。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 一端側に炉の入口、他端側に出口をそれぞ
れ有しヒータを備えて炉内長さ方向に所定の温度
分布を有する長形の炉本体と、該炉本体の内部を
長さ方向に貫通する複数本の位置固定された平行
棒材からなる固定ビームと、該固定ビームに平行
して前記炉本体の内部を長さ方向に貫通する複数
本の平行棒材からなり前記固定ビームに対する関
係位置が上・下及び長さ方向の前・後に変位可能
に設けられた移動ビームと、該移動ビームを前記
固定ビームに対して上昇―前進―下降―後退の順
に反復して周期的に変位運動させる移動ビーム駆
動機構とを備えて、前記移動ビームの変位運動に
より被加熱物を前記両ビーム相互間に受け渡しし
ながら前記炉本体内を移送して熱処理するウオー
キングビーム式熱処理炉において、 前記炉本体の内面側は耐熱セラミツク又は石英
からなる被覆材により覆われており、 前記固定ビーム及び移動ビームはいずれも耐熱
セラミツク材を主材としてなり、且つ該両ビーム
はいずれも前記炉本体の内部において支持される
ことなくそれぞれの両端側が前記炉本体の外側で
支持部材に支持されていることを特徴とするウオ
ーキングビーム式半導体熱処理炉。 (2) 前記固定ビーム及び移動ビームはいずれも
棒状の耐熱セラミツク材の外周部に石英を被覆し
てなる実用新案登録請求の範囲第１項記載のウオ
ーキングビーム式半導体熱処理炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14602486U JPH023108Y2 (ja) | 1986-09-24 | 1986-09-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14602486U JPH023108Y2 (ja) | 1986-09-24 | 1986-09-24 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6352095U true JPS6352095U (ja) | 1988-04-08 |
| JPH023108Y2 JPH023108Y2 (ja) | 1990-01-24 |
Family
ID=31058103
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14602486U Expired JPH023108Y2 (ja) | 1986-09-24 | 1986-09-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH023108Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-09-24 JP JP14602486U patent/JPH023108Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH023108Y2 (ja) | 1990-01-24 |