JPS6362346A

JPS6362346A - 吸着テ−ブル

Info

Publication number: JPS6362346A
Application number: JP61206985A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Takahashi; 弘行高橋
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 1986-09-03
Filing date: 1986-09-03
Publication date: 1988-03-18

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】「産業上の利用分野」ＩＣを半導体ウェハ（以後単にウェハと称する）の状態
で試験する際に用いるウェハプローバーに於いて被試験
ウェハーの裏面を吸着することによって所定の位置に保
持する吸着テーブルに関する。

「従来技術」従来の吸着テーブルは、第６図に示されるようにワーク
ステージ（１２）、サブステージ（１３）、及び空気吸
入装置（１８）から構成されており、ワークステージ（
１２）とサブステージ（１３）のそれぞれの平面図は第
２図及び第３図に示す通りである。第６図に示された空
気吸入装置（１８）於いては、複数の空気流入管（ｌａ
〜１ｄ）がそれぞれバルブ（３ａ〜３ｄ）を介して一つ
のマニホールド（，４）に集約された後に真空源（６）
へ配管されている構造になっており、この空気吸入装置
（１８）の空気流入管（ｌａ〜ｌｄ）の先端は、サブス
テージ（１３）の空気流入口（１５ａ〜１５ｄ）に接続
されている。このサブステージ（１３）には、上面に同
心円を形成するような溝（１４ａ〜１４ｄ）が設けられ
ており、空気流入口（１５ａ−１５ｄ）はこれらの善導
（１４ａ〜１４ｄ）の底面に設けられている。更にサブ
ステージ（１３）にはワークステージ（１２）が固定さ
れており、このワークステージ（１２）にはサブステー
ジ（１３）に設けられている溝（１４２〜１４ｄ）と重
なって同心円を形成するような比較的浅い溝（１０ａ〜
１０ｄ）が設けられている。これらの比較的浅い溝（１
０ａ〜１０ｄ）の各底面にはそれぞれ複数の空気吸入孔
（１１ａ〜ｌｌｄ、ｌｌａ’　〜ｌｉｄ’　）が明けら
れている。即ちバルブ（３ａ〜３ｄ）の開かれている空
気流入管（ｌａ〜ｌｄ）に導かれる空気は、このワーク
ステージに設けられている空気吸入孔（１１ａ　〜１１
ｄ、１１ａ’　〜１１ｄ’　）より吸い込まれサブステ
ージ（１３）に設けられている溝（１４ａ〜１４ｄ）か
ら空気流入口（１５ａ〜１５ｄ）を経て空気流入管（ｌ
ａ〜ｌｄ）へと吸い込まれることになる。

このような従来装置を用いてウェハ（９）を吸着固定す
る場合には、ウェハ（９）吸着の際に空気吸入装置（１
８）内部の真空度が高まるように、ウェハ（９）がワー
クステージ（１２）にセントされた際にウェハ（９）に
よって覆われてしまう空気吸入孔（ｌｌａ、ｌｌａ’　
、ｌｌｂ、１１ｂ’　）につながっている空気流入管（
ｌａ、ｌｂ）のバルブ（３ａ、３ｂ）のみを開け、ウェ
ハ（９）に覆われることのない空気吸入孔（１１ｃ。

１１ｄ、１１Ｃ”、１１ｄ”）に続いている空気流入管
（ＩＣ，ｌｄ）のバルブ（３ｃ、　　３　ｄ）は閉じる
操作を前もって行ってから、ウェハ（９）をワークステ
ージ（１２）にセットして吸着固定している。

「発明が解決しようとする問題点」ウェハ（９）をワークステージ（１２）の所定の位置に
吸着固定する際には、一定値以上の吸着力を得るために
空気吸入装置（１８）内部の真空度を高める必要がある
。このためウェハ（９）をワークステージ（１２）にセ
ットした際にウェハ（９）によって覆われる空気吸入孔
（１１ａ、１１ａ’、ｌｌｂ、ｌｌｂ”）に続いている
空気流入管（１ａ、　　１　ｂ）のバルブ（３ａ、　　
３　ｂ）のみを開けた状態にしておいて他の空気吸入孔
（１１Ｃ，ｌｌｃ’、１ｌｄｌ　　ｌｉｄ”）に続いて
いる空気流入管（１ｃ、　　１　ｄ）のバルブ（３ｃ、
　　３ｄ）は閉じなければならない。従って従来装置に
よってウェハ（９）をワークステージ（１２）にセット
しようとする場合には、前取ってウェハ（９）のサイズ
に合わせてワークステージ（１２）に設けられている各
々の空気吸入孔（１１ａ〜１１ｄ、ｌｌａ’〜ｌｉｄ’
）につながっている空気流入管（ｌａ〜ｌｄ）のバルブ
（３ａ〜３　ｄ）の切り換え作業を行う必要がある。

「問題点を解決する手段」ワークステージに設けられた各空気吸入孔につながって
いる空気流入管毎に空気圧センサとバルブを取り付け、
更にこの空気圧センサが差圧を感知した時に発する信号
を受けてその信号を発した空気圧センサと同じ空気流入
管にあるバルブの開閉ヲコントロールするコントロール
ユニットヲ設けることによって、ウェハが吸着テーブル
にセットされた際に自動的に吸着に必要な空気流入管の
バルブのみを開けた状態で維持し他の空気流入管のバル
ブは閉じられるようにすることによって、吸着テーブル
にセントされるウェハのサイズが異なってもバルブの切
り換え作業をすることなしに吸着固定できる様にする。

「発明の実施例」第１図に本発明の実施例を示す。尚この実施例における
ワークステージ（１２）及びサブステージ（１３）につ
いては、「従来技術」の項に於いて説明した第２図、第
３図、第６図の構造と全く同様である。

真空源（６）が動作状態にある時に、ウェハ（９）がワ
ークステージ（１２）にセットされるとコントロールユ
ニット（７）に対して動作を実行させるための信号Ｘが
入力される。この信号Ｘはワークステージ（１２）にセ
ントされているウェハ（９）の試験が終了すると停止す
る様になっており、この信号Ｘの制御は例えばウェハプ
ローバーに於いて行われる一連のウェハ（９）のハンド
リングを実行させるハンドリングコントローラー（８）
によって行われる様にしても良い。この信号Ｘがコント
ロールユニット（７）のＭＭＶ（１７）に入力されるこ
とによって全ての空気流入管（１ａ〜１ｄ）のバルブ（
３２〜３ｄ）が開かれる。この全てのバルブ（３ａ〜３
ｄ）が開かれている時間間隔はコントロールユニット（
７）に於けるＭＭＶ（１７）によって一定の範囲内で任
意の値に設定可能となっている。このように全てのバル
ブ（ｌａ〜ｌｄ）が「開」の状態になっている時に、ワ
ークステージ（１２）に設けられている空気吸入孔（ｌ
ｌａ−１ｉｄ、ｌｌａ’　〜１１ｄ”）のうち、ウェハ
（９）に覆われている空気吸入孔（ｌｌａ　〜ｌｌｂ、
ｌｌａ’　〜１１ｂ’　）とつながっている空気流入管
（ｌａ〜ｌｂ）に取り付けられた空気圧センサ（２ａ〜
２ｂ）が、空気流入管（ｌａ〜ｌｂ）内部と大気圧との
圧力差を感知してコントロールユニット（７）へ信号を
送る。空気圧センサ（２ａ〜２ｂ）より信号が送り込ま
れたコントロールユニット（７）は、圧力差を感知した
空気圧センサ（２ａ〜２ｂ）と同じ空気流入管（ｌａ〜
ｌｂ）にあるバルブ（３ａ〜３ｂ）を「開ｊの状態に維
持し続ける。このバルブ（３ａ　〜３ｂ）は、空気圧セ
ンサ（２ａ〜２ｂ）が空気流入管（ｌａ〜ｌｂ）の内部
と大気圧との圧力差を感知している間、即ち信号Ｘがコ
ントロールユニット（７）へ送信されている間「開」の
状態が維持されウェハ（９）を吸着し続ける。

一方つエバ（９）に覆われていないワークステージ（１
２）上の空気吸入孔（ｌｌｃ　〜ｌｉｄ、１１Ｃ＋　〜
ｌｉｄ’）につながっている空気流入管（ＩＣ〜ｌｄ）
に取り付けられているバルブ（３０〜３ｄ）は、空気圧
センサ（２ｃ〜２ｄ）が空気流入管（ＩＣ〜ｌｄ）の内
部と大気圧との圧力差を感知せずコントロールユニット
（７）に対して信号を発しないためにウェハ（９）がセ
ットされた後、ＭＭＶ（１７）によって設定された時間
が経過すると自動的に閉じられてしまう。このため空気
吸入装置（１６）内部の真空度が高められ、ウェハ（９
）を固定するために必要な吸着状態が得られることにな
る。

次に本発明の吸着テーブルの動作を第５図に示すタイミ
ングチャートによって説明する。ウェハ（９）がワーク
ステージ（１２）の定められた位置にセットされると信
号Ｘがコントロールユニット（７）に送られる。これに
よってコントロールユニット（７）に於けるＭＭＶ（１
７）は、予め設定されている時間である１、秒の開信号
Ｑを出力する。この信号Ｑが出力されている間、即ちウ
ェハ（９）がセットされてからｔ１秒間は全ての空気流
入管（ｌａ〜ｌｄ）のバルブ（３ａ〜３ｄ）が開かれた
状態になる。このためにウェハ（９）によって覆われて
いる空気吸入孔（ｌｌａ、１１ｂ、ｌｌａ’　、ｌｌｂ
’　）につながっている空気流入管（ｌａ、ｌｂ）の空
気圧センサ（２ａ。

２ｂ）は、空気流入管（ｌａ、ｌｂ）の内部と大気圧と
の圧力差を感知し、ウェハ（９）がセットされてからｔ
２秒後にそれぞれ信号Ｓ１と信号Ｓ２をコントロールユ
ニット（９）へ送る、これによってコントロールユニッ
ト（９）は信号Ｓ、及びＳｌを発信した空気圧センサ（
２ａ、　　２　ｂ）とそれぞれ同じ空気流入管（１ａ、
１ｂ）のバルブ（３ａ、　　３　ｂ）を「開」の状態に
維持する。このためＭＭＶ　（１７）からの信号Ｑが停
止してもウェハ（９）の試験が終了する迄は、これらの
バルブ（３ａ、　　３　ｂ）は開かれた状態になってい
る。

一方つエバ（９）に覆われていない空気吸入孔（１１Ｃ
，ｌｉｄ、ＩＩＣ’、ｌｉｄ”）につながっている空気
流入管（ＩＣ，ｌｄ）のバルブ（３ｃ、３ｄ）は、空気
圧センサ（２ｃ、　　２　ｄ）が空気流入管（ＩＣ，ｌ
ｄ）の内部と大気圧との圧力差を感知しないがためにコ
ントロールユニット（７）に対して信号を発することが
ないので信号Ｑが発信されなくなると同時に閉じられる
ことになる。従ってウェハ（９）がセットされてからｔ
。

秒後には自動的に吸着に必要な空気流入管（ｌａ、１ｂ
）のバルブ（３ａ、　　３　ｂ）だけが開かれた状態と
なり、空気吸入袋Ｗ　（１６）の真空度が高められウェ
ハ（９）がワークステージ（１２）に吸着固定される。

尚本実施例においては、２個所の空気吸入孔より吸入さ
れた空気が一本の空気流入管に吸い込まれる様になって
いるが、必ずしもこの必要はなく一本の空気流入管に対
して３個所以上の空気吸入孔が対応する様な構造にして
もよく、或いは又第７図に示す様にワークステージに溝
を設けることなく一個所の空気流入孔に対して一本の空
気流入管が対応する様にしても良い。

「発明の効果」本発明の吸着テーブルによれば、ウェハ（９）がワーク
ステージ（１２）にセントされて一定時間が経過すると
セットされたウェハ（９）に合わせて、吸着に必要な空
気流入管（ｌａ、ｌｂ）のバルブ（３ａ、　　３　ｂ）
のみが自動的に開かれた状態に維持され、一方他のバル
ブ（３ｃ、３ｄ）は閉じられてしまうために空気吸入装
置（１６）の真空度が高められ、ウェハ（９）がワーク
ステージ（１２）に吸着される。従ってワークステージ
（１２）にセットされるウェハ（９）のサイズが異なる
場合でも、空気吸入装置（１６）の真空度を高めるため
にウェハ（９）のサイズに合わせてバルブ（３ａ〜３ｄ
）の開閉作業を行う必要がなくなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の吸着テーブルの一実施例を示しくワー
クステージは第２図におけるＡ−Ａ’断面図を、サブス
テージは第３図におけるＢ−Ｂ’断面図を示している）
、第２図は第１図及び第６図に於けるワークステージの
平面図を、第３図は第１図及び第６図に於けるサブステ
ージの平面図を示している。第４図はコントロールユニ
ットの論理回路を示しており、第５図は本発明の吸着テ
ーブルにおける信号とバルブの動作をタイミングチャー
トで示したものである。第６図は従来の吸着テーブルの
構造を示している。第７図は一つの空気吸入孔に一本の
空気流入管を対応させた本発明の一実施例の平面図を示
し、第８図はその正面図（第７図に於けるｃ−ｃ’　）
を示している。ｌａ　〜ｌｄ、２１；空気流入管２２〜２ｄ、２２；空気圧センサ３ａ〜３ｄ、２３；バルブ４；マニホールド５；マニホールド−真空源の配管６；真空源７；コントロールユニット８；ハンドリングコントローラー９；半導体ウェハ１０ａ　〜１０ｄ、１４ａ〜１４ｄ；溝１１ａ〜ｌｉｄ
、ｌｌａ’　〜ｌｉｄ’　、２０；空気吸入孔１２．１９；ワークステージ１３；サブステージ１５２〜１５ｄｉ空気流入口１６．１８：空気吸入装置１７：ＭＭＶＸ；ハンドリングコントローラーよりコントロールユニ
ットへ送られる信号Ｔ；信号Ｘがコントロールユニットへ送り込まれている
時間（半導体ウェハがワークステージにセットされてか
ら試験が終了するまでの時間）Ｑ　；ＭＭＶより発せられる信号ｔＩ　；信号Ｑの発信されている時間ＳＩ　；空気圧センサ（２ａ）の発する信号Ｓ！　；空
気圧センサ（２ｂ）の発する信号Ｓ、；空気圧センサ（
２Ｃ）の発する信号Ｓ４　；空気圧センサ（２ｄ）の発
する信号ｔｔ　；信号Ｘがコントロールユニットに入力
されてから信号Ｓｔ　、Ｓｔが発せられるまでの遅れ時
間 ■１　；バルブ（３ａ）の状態図ｖ２　；バルブ（３ｂ）の状態図 ■３　；バルブ（３Ｃ）の状態図Ｖ４　；バルブ（３ｄ）の状態図第　　３　図第　　４　図第５図第　　６　図

Claims

【特許請求の範囲】ウェハプローバーにおいて（ａ）、空気圧センサの取り付けられている複数の空気
流入管がバルブを経て一つのマニホールドに集約された
後、真空源へ配管されている空気吸入装置と、（ｂ）、半導体ウェハがワークステージにセットされた
際に、上記の全ての空気流入管のバルブを一定時間開い
た状態に維持し、その後は空気圧差を感知している上記
空気圧センサと同じ空気流入管のバルブのみを開け、そ
の他のバルブは閉じて、この状態をワークステージにセ
ットされた半導体ウェハの試験が終了するまで維持する
コントロールユニットとを有することを特徴とする吸着テーブル。