JPS6363153A

JPS6363153A - 光記録媒体の製造方法

Info

Publication number: JPS6363153A
Application number: JP61208196A
Authority: JP
Inventors: Masaki Ito; 雅樹伊藤; Katsuji Nakagawa; 活二中川; Akio Morimoto; 昭男森本
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1986-09-03
Filing date: 1986-09-03
Publication date: 1988-03-19

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明はレーザ光によって情報を記録再生することので
きる光記録媒体の製造方法に関するものである。

［従来の技術］レーザ光によって情報を媒体に記録しかつ再生する光デ
イスクメモリは、記録密度が高いことから大容量記録装
置として優れた特徴を有している。

この光記録媒体材料としては、最初にタンタルと鉛が使
用された（サイエンス（Ｓｃｉｅｎｃｅ）１５４．１５
５０゜１９Ｅ）６）　）。それ以来種々の材料が使用さ
れているが、テルル（Ｔｅ）等のカルコゲン元素または
これらの化合物はよく使用されており（特公昭４７−２
１３８９７号公報）、とくにテルル−セレン系合金はよ
く使用されている（特公昭５４−４１９０２号公報、特
公昭５７−７９１９号公報、特公昭５７−５６０５８号
公報）。

近年、記録装置を小型化するため、レーザ光源としては
半導体レーザが使用されてきている。半導体レーザは発
振波長がａｏｏｏ八前後へおるが、テルル−セレン系合
金はこの波長帯にも比較的よく適合し、適度な反射率と
適度な吸収率が得られる（フィジカ・スティタス・ソリ
ダイ（ｐｈｙｓ、　５ｔａｔ。

ｓｏｌ、　７．１８９．１９６４）　）。

このテルル−セレン系合金を光記録層として用いた光記
録媒体は第１図に示すような構成になっている。すなわ
ち基板１に隣接してテルル−セレン系合金よりなる記録
層２１が設けられている。記録用レーザ光は基板１を通
して記録層２１に集光照射され、ピット２２が形成され
る。基板１としてはポリカーボネート、ポリオレフィン
、ポリメチルペンテン、アクリル、エポキシ樹脂等の合
成樹脂やガラスが使用され、基板１にはピットが同心円
状あるいはスパイラル状に一定間隔で精度よく記録され
るように通常案内溝が設けられている。

レーザビーム径程度の幅の溝に光が入射すると光は回折
され、ビーム中心が溝からずれるにつれて回折光強度の
空間分布が変化するので、これを検出してレーザビーム
を溝の中心に入射させるようにサーボ系が構成されてい
る。溝の幅は通常０．３〜１゜３層ｍであり、溝の深さ
は使用するレーザ波長の１７１２から１７４の範囲に設
定される。集光に関しても同様にサーボ系が構成されて
いる。情報の読み出しは、記録のときよりも弱いパワー
のレーザ光をピット上を通過するように照射することに
より、ピットの有無に起因する反射率の変化を検出して
行う。

［発明が解決１ようとする問題点コしかしながら、テルル−セレン合金層を記録層として用
いた光記録媒体では耐候性と感度と信号品質のすべてを
満足するものではなかった。　４本発明は以上のような
問題点を解決するためになされたもので、耐候性がよく
、かつ高感度で信号品質が良好で安定な光記録媒体の製
造方法を提供することを目的とする。

［問題点を解決するための手段］本発明は基板上に、レーザ光によって一部が選択的に除
去されて情報を記録する記録層を形成することよりなる
光記録媒体の！！！造方決方法いて、前記記録層中に、
テルルとセレンを含む物質をターゲットとし、一酸化窒
素ガス、二酸化窒素ガスまたは二酸化窒素ガスを含むガ
ス中でスパッタリングすることによってテルルとセレン
と窒素とを主成分とする層を少なくとも設けることを特
徴とする光記録媒体の製造方法である。

テルルとセレンと窒素とを主成分とする層（以下、テル
ル−セレン−窒素層と略す）の厚さは１００人から１０
００人の範囲が記録再生特性の観点から望ましく、セレ
ンの含有量は原子数パーセントで２パーセントから５０
パーセントの範囲が記録再生特性、耐候性の観点から望
ましく、窒素の含有量は原子数パーセントで２パ一セン
ト以上２０パーセント未満が記録再生特性、耐候性の観
点から望ましい。また、テルル−セレン−窒素層中の元
素の組成比は、ターゲットの組成比や一酸化窒素（Ｎｏ
）ガス酸化二窒素（Ｎ２０）ガスあるいは二酸化窒素（
ＮＯ２）ガスの分圧に依存するのは勿論であるが、スパ
ッタ装置の大きざ（スパッタ室の表面積等）やスパッタ
時間等にも依存するので、所望の記録膜組成を得るため
には各スパッタ装置ごとにＮ０分圧等を適宜設定するこ
とが望ましい。

テルルとセレンと窒素とを主成分とする層には、鉛、ア
ンチモン、ヒ素、イオウ、スズ、ゲルマニウム、タリウ
ム、リン、カドミウム、インジウム、ガリウム、亜鉛、
くスマス、アルミニウム、銅、銀、マグネシウム、タン
タル、金、パラジウム、コバルトの群から選ばれた少な
くとも１種の元素が添加されていてもよいもこの場合、
ピットの形状を良好に整える場合がある。ただし、添加
量は原子数パーセントで２０パ一セント未満が望ましい
。

スパッタガスはＮｏガス、Ｎ２０ガスおよびＮＯ２ガス
のうち１種のみでもよいが、放電や成膜の安定性の観点
からは不活性ガスとの混合ガスが望ましい。また、さら
にその他のガスを混合してもよい。

テルル−セレン−窒素層と基板との間に、酸化物、窒化
物、フッ化物、炭化物、硫化物またはホウ化物で形成さ
れた層を少なくとも１層設けてもよい。この場合記録パ
ワー変動に対する余裕度が大きくなり、トラッキングや
フォーカスのサーボが安定になることがある。

また、基板としてはポリカーボネート、ポリオレフィン
、ポリメチルペンテン、アクリル、エポキシ樹脂等の合
成樹脂やガラスなど通常使用されているものが用いられ
る。

［実施例］以下本発明の実施例について説明する。

１００℃で２時間アニール処理した内径１５繭、外径１
３０＃、厚さ１．２ｍの案内溝付きポリカーボネート樹
脂ディスク基板上に、テルル−セレン合金ターゲットを
アルゴン（Ａｒ＞とＮＯとの混合ガスでマグネトロンス
パッタして、テルル（Ｔｅ）とセレン（Ｓｅ）と窒素（
Ｎ＞の比が原子数パーセントで８５対８対７のテルル−
セレン−窒素層を約２４０人厚形成し、しかる後、温度
８５℃、相対湿度９０％の環境に１２時間保存して光記
録媒体を作製した。この光ディスクの波長８３００人に
おける基板入射の反射率を測定したところ、約２４％で
あった。

波長８３００人の半導体レーザ光を基板を通して入射し
て記録層上で１．６庫φ程度に絞り、媒体線速度５、６
５ｍ／ＳｅＣ，記録周波数３．７７８Ｈ２，記録パルス
幅７０ｎＳｅＣ、記録パワー６．０ｍＷの条件で記録し
、０．７ｍＷで再生した。バンド幅３０ｋＨ２のキャリ
アーとノイズとの比（Ｃ／Ｎ）は４８ｄ８と良好でおっ
た。この光ディスクを７０℃、８０％の高温高湿度の環
境に６０時間保存した後、上記特性を調ぺたが変化はな
く、耐候性に優れた光記録媒体であることが確認された
。

［発明の効果］以上説明したように、本発明の方法によれば耐候性がよ
く、かつ高感度で信号品質が良好で安定な光記録媒体を
製造することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は光記録媒体の１例を示す部分断面図である。１・・・基板２１・・・記録層２２・・・ピット

Claims

【特許請求の範囲】

（１）基板上に、レーザ光によって一部が選択的に除去
されて情報を記録する記録層を形成することよりなる光
記録媒体の製造方法において、前記記録層中に、テルル
とセレンを含む物質をターゲットとし、一酸化窒素ガス
、酸化二窒素ガスまたは二酸化窒素ガスを含むガス中で
スパッタリングすることによってテルルとセレンと窒素
とを主成分とする層を少なくとも設けることを特徴とす
る光記録媒体の製造方法。