JPS6363152A

JPS6363152A - 光記録媒体の製造方法

Info

Publication number: JPS6363152A
Application number: JP61208195A
Authority: JP
Inventors: Masaki Ito; 雅樹伊藤; Katsuji Nakagawa; 活二中川; Akio Morimoto; 昭男森本
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1986-09-03
Filing date: 1986-09-03
Publication date: 1988-03-19
Also published as: JPH048859B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］ −本発明はレーザ光によって情報を記録再生することの
できる光記録媒体の製造方法に関するものである。

［従来の技術］する光デイスクメモリは、記録密度が高いことから大容
量記録装置として優れた特徴を有している。

この光記録媒体材料としては、最初にタンタルと鉛が使
用された（サイエンス（Ｓｃｉｅｎｃｅ）１５４．１５
５０゜１９６６）　）。それ以来様々の材料が使用され
ているが、テルル（Ｔｅ）等のカルコゲン元素またはこ
れらの化合物はよく使用されてあり（特公昭４７−２６
８９７号公報）、とくにテルル−セレン系合金はよく使
用されている（特公昭５４−４１９０２号公報、特公昭
５７−７９１９号公報、特公昭５７−５６０５８号公報
）。

近年、記録装置を小型化するため、レーザ光源としては
半導体レーザが使用されてきている。半導体レーザは発
振波長がａｏｏｏ人前後であるが、テルル−セレン系合
金はこの波長帯にも比較的よく適合し、適度な反射率と
適度な吸収率が得られる（フィジカ・スティタス・ソリ
ダイ（ｐｈｙｓ、　５ｔａｔ。

ｓｏｌ、　７．１８９．１９６４）　）。

このテルル−セレン系合金を光記録層として用いた光記
録媒体は第１図に示すような構成になっ＋ｒＪ　Ｘｒ　
　　−１−ｆ−モ４−　ｆｉｔ蚤Ｃ’１ｌ−ＩＴ來位＋
　　？二１１．１１．　　　Ｊｗｌ。

ン系合金よりなる記録層２１が設けられている。記録用
レーザ光は基板１を通して記録層２１に集光照射され、
ピット２２が形成される。基板１としてはポリカーボネ
ート、ポリオレフィン、ポリメチルペンテン、アクリル
、エポキシ樹脂等の合成樹脂やガラスが使用され、基板
１にはピットが同心円状あるいはスパイラル状に一定間
隔で精度よく記録されるように通常案内溝が設けられて
いる。

レーザビーム径程度の幅の溝に光が入射すると光は回折
され、ビーム中心が溝からずれるにつれて回折光強度の
空間分布が変化するので、これを検出してレーザビーム
を溝の中心に入射させるようにサーボ系が構成されてい
る。溝の幅は通常０．３〜１．３Ａｕｎであり、溝の深
さは使用するレーザ波長の１７１２から１７４の範囲に
設定される。集光に関しても同様にサーボ系が構成され
ている。情報の読み出しは、記録のときよりも弱いパワ
ーのレーザ光をピット上を通過するように照射すること
により、ピットの有無に起因する反射率の変化を検出し
て行う。

［発明が解決しようとする問題点］しかしながら、テルル−セレン合金層を記録層として用
いた光記録媒体では耐候性と感度と信号品質のすべてを
満足するものではなかった。

本発明は以上のような問題点を解決するためになされた
もので、耐候性がよく、かつ高感度で信号品質が良好で
安定な光記録媒体の製造方法を提供することを目的とす
る。

［問題点を解決するための手段］本発明は基板上に、レーザ光によって一部が選択的に除
去されて情報を記録する記録層を形成することよりなる
光記録媒体の製造方法において、前記記録層中に、テル
ルとセレンを含む物質をターゲットとし、窒素ガスおよ
び水素ガスを含むガス中でスパッタリングしてテルルと
セレンと窒素とを主成分とする層を少なくとも設けるこ
とを特徴とする光記録媒体の製造方法である。

テルルとセレンと窒素とを主成分とする層（以下、テル
ル−セレン−窒素層と略す）の厚さは１００人からｉ　
ｏｏｏ人の範囲が記録再生特性の観点から望ましく、セ
レンの含有量は原子数パーセントで２パーセントから５
０パーセントの範囲が記録再生特性、耐候性の観点から
望ましく、窒素の含有量は原子数パーセントで２パ一セ
ント以上２０パーセント未満が記録再生特性、耐候性の
観点から望ましい。また、テルル−セレン−窒素層中の
元素の組成比は、ターゲットの組成比や窒素（Ｎ２）ガ
スと水素（Ｎ２）ガスのガス分圧に依存するのは勿論で
あるが、スパッタ装置の大きさくスパッタ室の表面積等
）ヤスバッタ時間等にも依存するので、所望の記録膜組
成を得るためには各スパッタ装置ごとにＮ２ガスとＮ２
ガスの分圧等を適宜設定することが望ましい。

テルルとセレンと窒素とを主成分とする層には、鉛、ア
ンチモン、ヒ素、イオウ、スズ、ゲルマニウム、タリウ
ム、リン、カドミウム、インジウム、ガリウム、亜鉛、
ビスマス、アルミニウム、銅、銀、マグネシウム、タン
タル、金、パラジウム、コバルトの群から選ばれた少な
くとも１種の元素が添加されていてもよい。この場合、
ピットの形状を良好に整える場合がある。ただし、添加
量は原子数パーセントで２０パ一セント未満が望ましい
。

スパッタガスはＮ２ガスとＮ２ガスのみでもよいが、放
電や成膜の安定性の観点からは不活性ガスとの混合ガス
が望ましい。また、ざらにその他のガスを混合してもよ
い。

テルル−セレン−窒素層と基板との間に、酸化物、窒化
物、フッ化物、炭化物、硫化物またはホウ化物で形成さ
れた層を少なくとも１層設けてもよい。この場合記録パ
ワー変動に対する余裕度が大きくなり、トラッキングや
フォーカスのサーボが安定になることがある。

また、基板としてはポリカーボネート、ポリオレフィン
、ポリメチルペンテン、アクリル、エポキシ樹脂等の合
成樹脂やガラスなど通常使用されているものが用いられ
る。

［実施例］以下本発明の実施例について説明する。

１００　’Ｃで２時間アニール処理した内径１５ｍｍ、
外径１３０ｍ１厚ざ１．２ｍｍの案内溝付きポリカーポ
ネ−ト樹脂ディスク基板上に、テルル−セレン合金ター
ゲットをアルゴン（Ａｒ＞とＮ２とＮ２どの混合ガスで
マグネトロンスパッタして、テルル（Ｔｅ）とセレン（
Ｓｅ）と窒素（Ｎ）の比が原子数パーセントで８５対９
対６のテルル−セレン−窒素層を約２４０人厚形成し、
しかる後、温度８５℃、相対湿度９０％の環境に１２時
間保存して光記録媒体を作製した。この光ディスクの波
長８３００八における基板入射の反射率を測定したとこ
ろ、約２６％であった。波長８３００Ａの半導体レーザ
光を基板を通して入射して記録層上で１．６１Ｊ！ｒＩ
φ程度に絞り、媒体線速度５．６５ｍ／ｓｅｃ　、記録
周波数３．７７８Ｈ２，記録パルス幅７０ｎｓｅｃ、記
録パワー６、０ｍＷの条件で記録し、０．７ｍＷで再生
した。バンド幅３０ｋＨ２のキャリアーとノイズとの比
（Ｃ／Ｎ）は４８ｄＢと良好であった。

この光ディスクを７０’Ｃ１８０％の高温高湿度の環境
に６０時間保存した後、上記特性を調べたが変化はなく
、耐候性に優れた光記録媒体であることが確認された。

［発明の効果］以上説明したように、本発明の方法によれば耐候性がよ
く、かつ高感度で信号品質が良好で安定な光記録媒体を
製造することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は光記録媒体の１例を示す部分断面図である。１・・・基板２１・・・記録層２２・・・ピット

Claims

【特許請求の範囲】

（１）基板上に、レーザ光によって一部が選択的に除去
されて情報を記録する記録層を形成することよりなる光
記録媒体の製造方法において、前記記録層中に、テルル
とセレンを含む物質をターゲットとし、窒素ガスおよび
水素ガスを含むガス中でスパッタリングしてテルルとセ
レンと窒素とを主成分とする層を少なくとも設けること
を特徴とする光記録媒体の製造方法。