JPS6369760A - 高硬度工具用焼結体およびその製造法 - Google Patents

高硬度工具用焼結体およびその製造法

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JPS6369760A
JPS6369760A JP62033465A JP3346587A JPS6369760A JP S6369760 A JPS6369760 A JP S6369760A JP 62033465 A JP62033465 A JP 62033465A JP 3346587 A JP3346587 A JP 3346587A JP S6369760 A JPS6369760 A JP S6369760A
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昭夫 原
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 立方晶型窒化硼素(Cubic El 以下OBNと略
す)はダイヤモンドに次ぐ高硬度の物質であυ、超高圧
高温下で合成される。現在既に研削用砥粒として使用さ
れておシ、また切削用途には(3BNを金属Coなどで
結合した焼結体が一部に使用されている。このOBNを
金属で結合した焼結体は切削工具として使用した場合、
結合金属相の高温での軟化による耐摩耗性の低下や、被
剛材金属が溶着し易すい為に工具が損傷するといった欠
点がある。本発明は、このような金属で結合した焼結体
でなく、高強度で耐熱性に優れた硬質金属化合物を結合
相とした切削工具等の工具用途に適した新らしいOBN
焼結体に関するものである。
CBNは工具材料として見た場合に、高硬度であると共
に、熱伝導率が極めて高いという特徴を有している。切
削工具を例として考えると、切削時の刃先温度は他の条
件が同じであれば工具材料の熱伝導度が高いほど低ぐな
シ、工具の摩耗に対して有利となる。またフライス切削
等の断続的な切削を行なり場合は、工具に加熱、急冷の
熱衝撃が加わシ、これによる熱き裂が生じる。この場合
においても工具の熱伝導度が高い場合は工具表面と内部
の温度差が小さくなシ、き裂が発生し難くなる。発明者
等は、このようなOBNの優れた特徴を生かして、更に
切削工具等の工具に要求される高強度の焼結体を得るこ
とを目的としてOBNと種々の耐熱性化合物の複合焼結
体を作成した。
目的とした複合焼結体を得る為の耐熱性化合物に要求さ
れる特性は、先ず高強度であること、及び複合焼結体と
した場合に前記したOBNの有する熱伝導率が高いとい
う特徴を維持する為に組合せる耐熱性化合物自体も熱伝
導の高いものが要求される。このような耐熱性化合物と
しては周期律表第4a、5a、6a族遷移金属の炭化物
、窒化物、硼化物硅化物、又これらの混合物もしくはこ
れ等の相互固溶体化合物が考えられる。これ等の化合物
に共通して言えることは硬度が高く、高融点でアシ、更
にこれ等化合物が酸化物に比較して金属的な物性を有し
ていることでおる。特に、これ等化合物の熱伝導度は金
属に近い値を示す。耐熱性や強度の点からみると酸化物
の中でAl、Olは優れた性質を有しており、常温近辺
での熱伝導度も比較的に高いが、第1図に示すように高
温下で熱伝導率が著しく低下する。これは切削工具等の
高温での特性が問題になる用途では大きな欠点である。
これに対して前記した化合物は第1図にその一例を示す
ように高温下ではむしろ熱伝導率は高くなるものが多い
。このようにして選択された耐熱性化合物とOBNの複
合焼結体を製造する方法は、先ず、OBN粉末と、この
耐熱性化合物粉末の1種もしくは2種以上をボールミル
等の手段を用いて混合し、これを粉状でもしくは常温下
で所定の形状に型押成型し、超高圧装置を用いて高圧、
高温下で焼結する。用いる超高圧装置はダイヤモンド合
成に使用されるガードル型、ベルト型等の装置である。
発熱体には黒鉛円筒を用い、その中にタルク、Na0t
等の絶縁物をつめてOEMの混合粉末型押体を包む。黒
鉛発熱体の周囲にはパイo7エライト等の圧力媒体を置
く。焼結する圧力、温度条件は第2図に示した立方晶型
窒化硼素の安定領域内で行なうことが望ましいが、この
平衡線は必ずしも正確には分っておらず、一つの目安に
すぎない。
又OBNと組合わせる耐熱性化合物の種類によつて条件
は変え得るが、目的とする焼結体を得るには圧力20 
Kl)以上、温度700℃以上の高圧、高温下で焼結す
る必要がある。
本発明による焼結体の非常に注目すべき、また本発明を
有用ならしめる特徴として前記耐熱性化合物が焼結体組
織上で連続した相をなすことが挙げられる。即ち、本発
明の焼結体では強靭な耐熱性化合物が、あたかもwe−
〇〇超超硬合金中結合相である金属Co 相の如く、高
硬度のOBN粒子間の隙間に侵入して連続した結合相の
状態を呈し、このことによシ焼結体に強靭性が付与せし
められたものである。このような組織を有する焼結体を
得る為にはOEMの含有量を体積で80%以下とする必
要があることが実験の結果間らかになった。本発明によ
る焼結体中のCBB相量の下限は体積で20係までであ
る。これ以下ではOEMの特徴を生かした工具としての
性能が発揮されない。なおチルドロール等の高硬度材の
切削に用いる工具として使用する場合は焼結体中のOB
N相量は体積係で40係以上であることが望ましく、O
BN相量は用組織を示したもので1500倍拡大の顕微
鏡写真である。図中黒く見えるOBN粒子の間隙には白
く見える相のTiNを主成分とする結合相が浸入してち
密な焼結体となっている。このような組織を呈する理由
は、高温下でOBNに比し相対的に変形し易いTiNが
焼結中にOBN粒子間に侵入していく為と考えられる。
工具としての用途を考えると、本発明焼結体のOBNの
結合相耐熱性化合物としては周期律表第4a族に属する
遷移金属、即ちTi、zr。
Hf  の炭化物、窒化物及びこれ等相互の固溶体化合
物、または周期律表第6a族中のWの炭化物、weが特
に好適である。これ等は現在切削工具等に用いられるw
c基超超硬合金サーメットの硬質耐摩耗性成分として使
用されてお)、耐摩耗性に優れ、高強度の化合物である
Ti、Zr、Hf  の炭化物、窒化物及びこれ等の相
互固溶体が本発明の結合相耐熱化合物として優れている
他の理由は、例えば窒化物を例にとると、これ等金属の
窒化物はMNlbの形で示され(MはTi、Zr、Hf
 の金属を示し、Xは原子空孔または相対的に過剰の原
子の存在を意味する。)、M−N相図上で広い存在範囲
を有する。焼結体の原料としてこのMNlbのXが種々
異なるものを使用して焼結体を試作した結果、Xの値が
ある範囲内では%に優れた焼結性を有することを見出し
た。この理由について以下検討してみる。
工具材用として考えた時、特に切削工具用途では、焼結
体の結晶粒の大きさは、数ミクロン以下が望ましい。
ミクロンまたはミクロン以下の微粉は、かなシ多量の酸
素を含有している。一般に、この酸素は粉末表面に、は
ぼ水酸化物の形に近い化合物の形で存在するのが大部分
である。この水酸化物の形に近い化合物は加熱時分解し
てガスとなって出てくる。焼結される物質が密封されて
いない時には、このガスを系外に出すのは困難ではない
。しかし本発明の如く、超高圧下で焼結する場合には、
発生したガスは、加熱系外に脱出することは殆んど不可
能である。一般にかかる場合には、予め脱ガス処理をす
る事が粉末冶金業界では常識であるが脱ガス処理温度が
十分高く出来ない場合には問題である。本件は、まさに
それに当る。即ちCBNの低圧相への変態を考えると加
熱温度に上限がある。
微粉末の脱ガス過程としては、温度と共に次の各段階が
ある。まず低温では物理吸着しているものと吸湿水分が
除去される。次いで化学吸着しているもの及び水酸化物
の分解が起る。最後に酸化物が残る。
(3ENの場合1000℃位までは安定であるので、最
低でもこの温度位には予め加熱出来る。
従って、予め脱ガス加熱すれば残留ガス成分は酸化物の
形で残っていると考えてよい。逆に言えばガス成分はな
るべく焼結体中に残したくないのだから、水および水素
を全て除去することは予備処理として行なうのが好まし
い。
本発明では、この考えの下に全て1000℃以上の脱ガ
ス処理を真空中でしている。” 1bcを加えた時、何
故焼結体として良好なものが得られるかは次の如くと考
えられる。
即ちOEM粉末表面には酸化物、多分B!03の形のも
のが存在する。
このB、03  と”1f=xの(−X)部分に相当す
るMが反応した場合には、 B2O3+ 4M −+ MEN + 3MOとな夛ガ
スを発生しない。そしてMOはMlと同一結晶構造を有
し、相互固溶体を形成する。
ここにMlll−bcで表わされるTi、Zr、Hf 
窒化物が特に優れた焼結性を示す理由があると考えられ
る。このことは窒化物に限らず、MC1bcの形で示さ
れる炭化物、又はM(C9N)1−kXで示される炭窒
化物、又はMとして2種以上の金属を含む上記した化合
物についても言えることである。
発明者等はMNlfx + ”’1b p ”(C1)
1bの形でTi 、 Zr、 Hf  の化合物を示し
た時に(1±x)の値が(197以下のこれ等化合物を
原料とした場合に焼結性が優れていることを確認した。
本発明で使用するこれ等化合物の(1±x)の値の下限
は大体0.40である。0.40未満となるとこれ等化
合物は単相ではな(Ti、Zr。
Hf 等の金属相が共存した状態となシ、この金属相量
が多いと得られた焼結体の硬度が低下し、耐摩耗性が悪
くなる。
本発明による焼結体ではCBNの結合相として前記した
耐熱性化合物を用いるものであるが、さらに、耐熱性化
合物以外のAl、Eliまたはこれらを含む合金、化合
物およびFe、Bli、C。
またはこれらを含む合金、化合物を必須的に均一に混合
した状態で含有する。この結合相は焼結体組織中で連続
した結合相をなし、該耐熱性化合物が結合相中で50〜
999体積係を占める。すなわち、結合相の主となる成
分は耐熱性化合物相でありこれ等金属相は焼結体中の体
積比で耐熱性化合物相の量以下とする必要がある。
それ以上では焼結体の耐熱性、耐摩性が低下し、工具と
しての性能が失なわれる。
また前記した耐熱性化合物以外A!40s*MgO、A
tN 、  Si3N鴫 等の化合物も結合相の副成分
として本発明の焼結体の特徴を失なわない範囲で含有し
てもよいし、工程中から混入してくる不可避的不純物を
含有してもよい。また本発明による焼結体ではOBNの
合成に使用され、高温、高圧下で六方晶型窒化硼素及び
OEMに対して溶解性を有すると信じられる元素、例え
ばLl等のアルカリ金属、Mg等のアルカリ土類金属、
Pb、 Sn、 8b、 Al、 Cd、 Si等を添
加物として含むものであっても良い。
本発明の焼結体の原料として使用するCENは大方晶型
窒化硼素を原料として超高圧下で合成されたものである
。従ってOBI+粉末中には不純物として六方晶型窒化
硼素が残存している可能性がある。また、超高圧下で焼
結する場合においても、結合材がOEMの個々の粒子間
に侵入するまではOBN粒子は外圧を静水圧的に受けて
おらず、この間の加熱によって六方晶型窒化硼素へ逆変
態を起す可能性もある。このような場合に前記した六方
晶型窒化硼素に対して触媒作用を有する元素が混合粉末
中に添加されていると、この逆変態を防止する効果があ
ると考えられる。発明者等は、この考えに基いて特にA
/、、Siについて効果を確認する実験を行なった。A
l、Siを添加する方法としては第4a族の窒化物を例
にとると、このMNlfxなる化合物で(1±x)が0
.97以下のものにht  又はSl又は、この双方を
所定量加え混合した後、600℃以上に真空中又は不活
性雰囲気中で加熱してMNlhの相対的に過剰なMとA
t又はSlを反応せしめてM−AA 、 M−8i相図
上に存在する金属間化合物(例えばMがT1 の場合T
iA43゜T iAt等)を生成させ、この粉末をCB
Nと混合する結合材原料とした。
第5図に、At−Tiの相状態図、第6図に5i−T1
 の相状態図を参考のために示す。
例えば、第5図のAt−Ti相図では上記のTiAt3
.  TiAtの他にAt茸Ti 、 A4Tit、 
 AtTi3の金属間化合物が生成し得ることが示され
ている。
この方法では加えたAl、Siが結合材中に均一に分散
した状態となシ、小量の添加で、その効果が発揮される
。別の方法としては、あらかじめM−At 、 M−8
i間の金属間化合物粉末を作成して原料混合時に加えて
もよい。これは結合材化合物を炭化物、炭窒化物とする
場合も同様である。このようにして作成したAl、El
iを添加した焼結体と、これ等を含まない焼結体を比較
してみた。
焼結体を研摩して組織観察を行なうとht 。
Sl  を含む焼結体の方が研摩面においてOBN粒子
が焼結体よシ剥離することが少なく、OBN粒子と結合
相との結合強度が強いと考えられる。
また切削工具として性能を比較すると、やはシAl、S
iを含有する方が耐摩耗性、靭性ともに優れていた。尚
、このような効果が現れるのは焼結体中に0.1重量%
以上のAt又はSlを含む場合であった。
At又はSlの含有量の上限は焼結体中に重量で20係
までであり、それ以上では焼結体の硬度が低下し、耐摩
耗性が悪くなる。特にAt 又はSl が過剰で焼結体
の結合相中に純粋なAt。
Sl の形態で存在すると焼結体の硬度は著しく低下す
る。
従ってAt又はSlは結合材の他の化合物形成金属(T
i、zr、Hf  など)と金属間化合物を形成するか
、又は添加された他の金属(Co。
Fe、Niなど)に固溶もしくはこれ等と金属間化合物
を形成する量に限定されるものである。
AZ l 51VCさらにFe、Ni、Co  を添加
すると結合相の性質から低速切削分野で良好な性能を示
す。これは、結合相が金属だけの焼結体に比較すると、
強化されていることによるものと思われる。
本発明による焼結体は高硬度で強靭性を有し、耐熱、耐
摩耗性に優れておシ、切削工具以外に線引きダイスや皮
剥ぎダイス、ドリルビット等の工具用途にも適したもの
である。
以下、実施例を述べる。
参考例1 平均粒度7μのC!BN粉末を用いて、これを体積で6
0係、残部が第1表のものからなる混合粉末を作成した
第1表 この混合粉末にカンファーを2%加え、外径10■、高
さ1.5曙に型押成型した。これをステンVス製の容器
中に挿入した。この容器を真空炉中で10″″’mHg
、  の真空度で1100℃に20分間加熱して脱ガス
した。これをガードル型超高圧装置に装入した。圧力媒
体としてはパイロフィライトを、ヒーターとしては黒鉛
の円筒を用いた。尚、黒鉛ヒーターと試料の間はNa0
tを充てんした。これを第1表に示した条件で焼結した
。保持時間U30分である。得られた焼結体は外径的1
01111、厚さは約11111であった。これをダイ
ヤモンド砥石で平面に研削し、更にダイヤモンドのペー
ストを用いて研摩した。
X線回折によシ結合相の状態を調べたところ、Aの焼結
体は結合相がTieを主体とし、小量のTi、A/1.
M 、  TiAl、  TiAl、と思ゎれる化合物
がらなっておシ、Bの焼結体はTiN以外にTitNi
もしくはTiN1化合物が小量結合相中に分散していた
。またCでは結合相はTicと金属N1 相からなって
いた。
参考例2 平均粒度1μのT0.o、ys 粉末と平均粒度3゜μ
のA4粉末を重量で各々90%、10%の割合に配合し
V型ブレンダーを用いて混合した。
この混合粉末を1t/cy++”の圧力でベレットに型
押成型し、真空炉中で1000℃に加熱し、30分間保
持した。これを粉砕して粉状としX線回折によって調べ
たところ、T1N以外にT i A t3+TiAt及
び’r:t=Atli  と思える回折ピークが得られ
、金属Atは検出されなかった。このAt 化合物を含
むTiN粉末を体積で40係と、平均粒度7μの0EI
l粉末60係を混合し、NO製の容器に詰め、参考例1
と同様にして、先ず圧力を551bKあげ、のちに温度
を1400℃に上げ、30分間保持したのち温度を下げ
、圧力を徐々に下げて、外径7■、高さ五5■の焼結体
を得た。この焼結体をダイヤモンド線引きダイスを作成
する場合と同様の加工方法を用いて穴径1.0■のダイ
スに仕上げた。
比較の為に超硬合金及び市販されている金属co でダ
イヤモンド粉末を結合したダイヤモンド焼結体を用いて
同一形状のダイスを作成した。
このダイスを用いてW線の線引きテストを行った。ダイ
スに供給されるW線材を約800℃に予熱した条件でテ
ストした結果、本発明のダイスでは3−の伸線が可能で
あったが、超硬合金製ダイスでは200に9、焼結ダイ
ヤモンドダイスは1αの伸線量でいずれもダイスが摩耗
して寿命となった。
参考例3 平均粒度1μのTi((!0.4 r NO,4)0.
8  粉末に重量で平均粒度30μのAt粉末を2係加
え、以下参考例2と同様にしてAt化合物を含むTt(
c、n)  粉を作成した。この粉末と平均粒度4μの
OBN粉末を体積係で各々65憾、35優に配合し、参
考例1と同様にして外径10■、厚み1■の焼結体を作
成した。但し、焼結時の圧力は50 Kbで温度は11
50℃とした。焼結体をダイヤモンド切断刃を用いて切
断し、切削チップを作成し、これを鋼の支持体に鑞付け
した。比較のために平均粒径3μの0IBNを金属CO
で結合した市販品のOBN焼結体で同一形状の切削工具
を作成し、第3図に示す形状のSOr 3種の熱処理し
た鋼を切削した。図においてAは32燗φ、Bは12鱈
、0は196■、矢印はパイ)Dの切削方向を示す。
比較の為に金属COでCBNを結合した市販のOBN焼
結体で作成した工具もテストした。
切削条件は切削速度60 I?I/ min切込みα1
5■、送jl) [112wm/ revである。切削
テスト結果は、本発明焼結体では第3図の被剛材を20
本切削して未だ切削可能であったが、比較の為に用いた
市販のOEM焼結体工具では1本切削した時点で刃先に
欠けを生じた。
実施例1 平均粒度4μのOBN粉末と、平均粒度1μのTiNO
,*g粉末及び1181g粉末、カーボニルN1粉末を
それぞれ体積係で70.15,5.10の割合に配合し
た。
以下参考例1と同様にして焼結体を作成した。
X線回折によ)焼結体を調べたところOBN。
Tin以外にTiSi 、  TiSi2.  Ti、
Niが検出された。得られた焼結体より切削チップを加
工し、熱処理したSROM9種(TlRO54)を切削
したゎ比較の為に参考例3で用いた市販OEM焼結体の
切削工具も同時にテストした。切削条件は切込みα2m
、送)α12 m / revとし、切削速度を変えて
テストした。工具逃げ面摩耗巾が0.2鰭に達する時間
を切削速度に対して示したのが第4図である。本発明焼
結体は特に高速域で優れた耐摩耗性を有している。
実施例2 平均粒度3μのOBN粉末を体積で60%、残部が第2
表の組成の結合材粉末とを混合した。
以下参考例1と同様にしてステンレス製容器に入れた混
合粉末を第2表の条件で焼結した。
焼結体を研摩してマイクロビッカース硬度計ヲ用いて硬
度を測定したところり、E、Pは各々2900.280
0.2700であった。X線回折によシ結合相の状態を
調べたところ、DではTie 、 TaN及び金属Ni
 、KではTiC,NbO。
金属Ni、Fでは(xl、 Ta)(Or N)相と金
属N1相の他にTi、Al、Ni  の化合物と思われ
る相が観察された。
第  2  表 参考例4 平均粒度4μのOBN粉末と、平均粒度1μのT’i 
ce、e 11粉末及び平均粒度α3μのAl2O3粉
末を体積部でそれぞれ60,20.20の割合に配合し
た。以下参考例1と同様にして焼結体を作成した。超高
圧焼結時の圧力は45Kb。
温度は1200℃で20分間保持した。この焼結体で切
削工具を作成し、参考例3と同様の性能テストを行なっ
た結果、第3図に示した焼入れ鋼の被剛材を20本切削
して未だ切削可能であった。
実施同3および参考例5 平均粒度3μのOBN粉末を体積で60%と残部が第3
表の組成の結合材粉末とを混合した。
この混合粉末をモリブデン製の容器に抵填した。
以下参考例1と同様にして第3表に示した圧力、温度で
10分間保持して焼結した。いずれも充分緻密な焼結体
が得られ、そのビッカース硬度は第3表の値を示した。
第  5  表 実施例4 (Zro、r Tao、5)(Co、e p No、t
)o、j とAl、Si、C。
をそれぞれ80:10:5:5の重量割合で混合した後
、型押して、1200’cで15分間真空中で処理した
次にこの結合材粉末を超硬合金製のポットとボールを用
いて粉砕した。この粉末と粒度3μmのCBN粉末を容
積で24ニア6の割合いに混合した。
参考例1と同様にして、この粉末を超高圧焼結した。得
られた焼結体を用いて切削加工用のチップを作成した。
比較のためco  を結合材とした焼結体も同様のチッ
プとした。
得られたチップを用いて、100X300X10016
の8 RT 4 (J(Re 50 )の上面を7ライ
ス加工した。切削速度は120 #1./分、切込みQ
、2111、送り(L1m/刃で切削したところ、本発
明品は30分切削しても欠損しなかったのに対して、比
較品は5分間切削時点で破損した。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の焼結体の特徴を説明するもので、OB
N及び各種化合物の熱伝導度の温度に対する変化を示し
たものである。第2図は本発明の焼結体の製造条件に関
するもので立方晶型窒化硼素の圧力、温度相図上での安
定存在領域を示すものである。第3図は本発明焼結体の
効果を説明する切削性能テストに用いた被剛材形状を示
すもので、用いた工具及び切削テストの内容は参考例3
に詳細を記した。第4図は本発明焼結体の切削工具とし
ての性能を示すもので切削速度を変えた場合の一定工具
摩耗量に達する時間を図示したものである。第5図は本
発明の結合相の化合物である、A/!、−T i化合物
を示す相状態図、第6図は同様にTi−8i相状態図で
ある。第7図は本発明焼結体の組織上の特徴を示す倍率
1500倍の光学顕微鏡写真である。 a:立方晶窒化硼素安定域、b二六方晶窒化硼素安定域
、1:比較材、2:本発明焼結体。 第1図 温 度  (°C) 第2図 □□□□□一 温度 (°C) 第3冒 第4図 切削時間(分) 第5図 重量 % ’R 重量%丑 牙″′7 し〕

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)立方晶型窒化硼素を体積%で80〜20%含有し
    残部が周期率表第4a、5a、6a族遷移金属の炭化物
    、窒化物、硼化物、硅化物もしくはこれ等の混合物また
    は相互固溶体化合物とAl、Siまたは、これらを含む
    合金、化合物およびFe、Ni、Coまたはこれらを含
    む合金、化合物を結合相とし、該結合相が焼結体組織中
    で連続した結合相をなし、前記4a、5a、6a族金属
    の化合物が結合相中の体積で50%以上99.9%以下
    であることを特徴とする高硬度工具用焼結体。
  2. (2)連続した結合相をなす化合物又は混合物が周期律
    表第4a族のTi、Zr、Hfの炭化物、窒化物、炭窒
    化物を主体としたものからなる特許請求の範囲(1)項
    記載の焼結体。
  3. (3)連続した結合相をなす化合物がWCを主体とした
    ものからなる特許請求の範囲(1)項記載の焼結体。
  4. (4)連続した結合相をなす化合物が周期律表第4a族
    のTi、Zr、Hfの炭化物、窒化物、炭窒化物を主体
    としたものからなり、焼結体中にAtもしくはBi、も
    しくはこの双方を重量で0.1%以上20%以下含有す
    ることを特徴とする特許請求の範囲(1)項記載の焼結
    体。
  5. (5)立方晶型窒化硼素粉末と周期律表第4a、5a、
    6a族遷移金属の炭化物、窒化物、硼化物、硅化物もし
    くはこれ等の混合物または相互固溶体化合物の粉末、及
    びAl、Biまたはこれらを含む合金、化合物およびF
    e、Bi、Coまたはこれらを含む合金、化合物の粉末
    を混合し、これを粉末状でもしくは型押成型後、超高圧
    装置を用いて圧力20Kb以上、温度700℃以上の高
    圧、高温下で焼結せしめることを特徴とする立方晶型窒
    化硼素を体積%で80〜20%含有し、残部が周期律表
    第4a、5a、6a族遷移金属の炭化物、窒化物、硼化
    物、硅化物、もしくはこれ等の混合物、または相互固溶
    体化合物が結合相中で体積で50%以上99.9%以下
    であり、更にAl、Si又はこれらを含む合金、化合物
    およびFe、Ni、Coまたはこれらを含む合金、化合
    物からなり、これと前記周期律表第4a、5a、6a族
    遷移金属の化合物が焼結体組織中で連続した結合相をな
    す高硬度工具用焼結体の製造法。
  6. (6)立方晶型窒化硼素粉末と周期律表第4a族のTi
    、Zr、Hfの炭化物、窒化物、炭窒化物をそれぞれM
    C_1_±_x、MN_1_±_x、M(C、N)_1
    _±_xの形で表わしたときに(MはTi、Zr、Hf
    の金属を示し、xは原子空孔または相対的に過剰の原子
    の存在を示す)1±xの値が0.97以下0.40以上
    であるこれ等化合物の粉末、及びAl、Siまたは、こ
    れらを含む合金、化合物およびFe、Ni、Coまたは
    これらを含む合金、化合物の粉末を混合し、これを粉末
    状でもしくは型押成型後、超高圧装置を用いて20Kb
    以上、温度700℃以上の高圧、高温下で焼結せしめる
    ことを特徴とする立方晶型窒化硼素を体積%で80〜2
    0%含有し、残部が周期律表第4a族のTi、Zr、H
    fの炭化物、窒化物、炭窒化物を主体とした化合物が結
    合相中で50体積%以上99.9%以下であり、更にA
    l、Siまたはこれらを含む合金、化合物およびFe、
    Ni、Coまたはこれらを含む合金、化合物からなり、
    これと前記周期律表4a族金属の炭化物、窒化物、炭窒
    化物とが焼結体組織中で連続した結合相をなす高硬度工
    具用焼結体の製造法。
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