JPS637470B2 - - Google Patents

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JPS637470B2
JPS637470B2 JP55176236A JP17623680A JPS637470B2 JP S637470 B2 JPS637470 B2 JP S637470B2 JP 55176236 A JP55176236 A JP 55176236A JP 17623680 A JP17623680 A JP 17623680A JP S637470 B2 JPS637470 B2 JP S637470B2
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JP
Japan
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layer
collector
base
emitter
transistor
Prior art date
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JP55176236A
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English (en)
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JPS5799769A (en
Inventor
Shunji Miura
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPS5799769A publication Critical patent/JPS5799769A/ja
Publication of JPS637470B2 publication Critical patent/JPS637470B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10DINORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D84/00Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers
    • H10D84/60Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers characterised by the integration of at least one component covered by groups H10D10/00 or H10D18/00, e.g. integration of BJTs
    • H10D84/641Combinations of only vertical BJTs
    • H10D84/642Combinations of non-inverted vertical BJTs of the same conductivity type having different characteristics, e.g. Darlington transistors

Landscapes

  • Bipolar Integrated Circuits (AREA)
  • Bipolar Transistors (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、コレクタ層を構成する共通の基板上
に前段トランジスタ部と後段トランジスタ部とを
並設してダーリントン回路を構成してなる複合ト
ランジスタに関するものである。
ダーリントン回路というのは、第1図にNPN
型トランジスタを用いる場合について例示するよ
うに、前段トランジスタTr1のエミツタを後段ト
ランジスタTr2のベースに直接接続し、前段トラ
ンジスタTr1のベースを回路全体のベース端子B
に接続し、両トランジスタTr1,Tr2のコレクタ
を回路全体のコレクタ端子Cに接続し、後段トラ
ンジスタTr2のエミツタを回路全体のエミツタ端
子Eに接続してなるもので、回路全体として電流
増幅率の大きな1つのトランジスタとして取扱う
ことができるものである。
このダーリントン回路の2個のトランジスタは
構造的に、コレクタを構成する共通の基板上に一
体的に構成することができ、その一例を第2図に
示す。
第2図のトランジスタにおいては、コレクタ層
となるシリコン等の半導体基板1を共通のN-
として用い、その一面側にN型不純物を拡散して
N+層2を形成し、他面側に第1のベース層とな
る第1のP層3と第2のベース層となる第2のP
層4を並設している。第1のP層3上に第1のエ
ミツタ層となるN+層6を形成し、第2のP型層
4上に第2のエミツタ層となる第2のN+層7を
形成している。N+層2からコレクタ端子Cを、
P層3からベース端子Bを、又N+層7からエミ
ツタ端子Eをそれぞれ導出している。N+層6は
ワイヤ9を介して直接P層4に接続されている。
ここで、基板1及びN+層2により共通のコレク
タ層が構成され、このコレクタ層とP層3からな
るベース層とN+層6からなるエミツタ層とで第
1図の前段トランジスタTr1が構成され、又、上
記コレクタ層とP層4からなるベース層とN+
7からなるエミツタ層とで第1図の後段トランジ
スタTr2が構成されている。
このように構成されたダーリントン回路トラン
ジスタは、エミツタ端子Eに対してコレクタ端子
Cがプラスに、又、エミツタ端子Eに対してベー
ス端子Bがプラスになるように電圧を印加する
と、周知のダーリントン回路として動作する。
第2図の両トランジスタ部はほぼ同一構造を持
つており、いずれも高耐圧特性を持たせるために
コレクタ層の抵抗を高くしており、又、コレクタ
層及びベース層(P層3,4)が厚いため、両ト
ランジスタ部の増幅率が小さくなつてしまい、ダ
ーリントン回路接続を施しても所望の大きな増幅
率を得ることは困難であつた。そのため、第3図
に示すように、3個のトランジスタTr1,Tr2
Tr3からなる3段結合のダーリントン回路を構成
することも行われている。
第3図のダーリントン回路を共通の基板1上に
構成する場合は、第4図に示すように、基板1上
に3組のP層3,4,5を並設し、各P層上にそ
れぞれN+層6,7,8を形成する。エミツタ端
子Eは第3のN+層8から導出し、第2のN+層7
は第3のP層5にワイヤ10を介して直接接続す
る。他の構成は基本的に第2図のダーリントン回
路と変りが無い。
しかし、第3図及び第4図の構成によれば、増
幅率のより大きなものが得られる反面、導通時の
飽和電圧が大きくなつて電力損失が増大するとい
う欠点があつた。
従つて本発明の目的は、上述の欠点を除去し、
より高耐圧、高増幅率で高速度の、ダーリントン
回路を構成する複合トランジスタを提供すること
にある。
この目的を達成するために本発明は、コレクタ
層を構成する共通の基板上に前段トランジスタ部
と後段トランジスタ部とを並設してダーリントン
回路を構成してなる複合トランジスタにおいて、
前段トランジスタ部及び後段トランジスタ部のう
ちのいずれか一方のベース層を他方のベース層よ
りも薄く形成し、このベース層を薄くした方のト
ランジスタ部のコレクタ層中に、コレクタ層の導
電型とは異なる導電型層を、前記薄くしたベース
層に対向するように格子状又は網目状に形成して
介在させると共に、厚い他方のベース層に接続さ
れるように延長させたことを特徴とするものであ
る。
以下、図面を参照して本発明を更に詳細に説明
する。
第5図は本発明の一実施例を示すものである。
この実施例は、回路図的には第1図のダーリント
ン回路に対応するものである。シリコン等の半導
体からなるN-層を共通の基板1とし、その一面
側にN型不純物を拡散してN+層2を形成し、他
面側には格子状又は網目状にP層11を形成して
いる。基板1上には更にP層11を覆うように
N-層12をエピタキシヤル等により積層する。
このようにして形成されたN-層12の中央部分
に後段トランジスタ部のベース層となるP層4を
P層11とは結合しない程度に相対的に薄く形成
し、その外周部分に前段トランジスタ部のベース
層となるP層3の外周部のP層11と結合するよ
うに、従つて相対的に厚く形成する。次いでP層
3及び4の中にそれぞれエミツタ層となるN+
6ないし7を形成する。この後、外側に構成され
た前段トランジスタ部のP層3からベース端子B
を導出し、N+層6を内側に構成された後段トラ
ンジスタ部のP層4にワイヤ9を介して接続す
る。後段トランジスタ部のN+層7からエミツタ
端子Eを導出し、最後に共通のN+層2からコレ
クタ端子Cを導出して、ここにダーリントン回路
が出来上る。
このように構成された複合トランジスタは、後
段トランジスタ部のN-層即ちコレクタ層中に格
子状又は網目状に前段トランジスタ部のベース層
即ちP層11が介在しているために、後段トラン
ジスタ部のコレクタ層中に到達した電子の流れが
P層11間を流れることになるので多少流れが妨
げられるが、P層が従来構造のものよりも薄く出
来るため、高増幅率、高スイツチング速度化が可
能となる。この理由を以下に、より詳細に説明す
る。
今、エミツタ端子Eに対してコレクタ端子Cに
プラスの電位をかけ、ベース端子Bをオープンの
状態にした場合を考えると、前段トランジスタ部
及び後段トランジスタ部の各ベース・コレクタ間
接合は逆バイアスであるため、それぞれPN接合
を境にして空乏層が拡がる。そして、前段トラン
ジスタのベースとして形成されたP層11,3に
より後段トランジスタ部のコレクタ層が部分的に
電界効果型トランジスタと同様な構造になつてい
るために、エミツタ・コレクタ間電圧が或る値以
上になるとピンチオフの状態となる。格子状又は
網目状のP層11の無い場合の後段トランジスタ
部のエミツタ・コレクタ間耐圧をVCEO(NO)とすれ
ば、これよりも低い電圧でコレクタ層中に形成さ
れたP層11によつてN-層がピンチオフするよ
うにP層11相互間の間隔即ちそこに介在する
N-層部分の抵抗値を設計することにより、後段
トランジスタ部のエミツタ・コレクタ間耐圧
vCEO(NO)で降伏する前にコレクタ層でピンチオフさ
れるため、この電圧でエミツタE・コレクタC間
は降伏することなく、後段トランジスタ部のエミ
ツタ・コレクタ間耐圧VCEOにまで耐圧を向上させ
ることができる。
一方、前段トランジスタ部は増幅率を小さくし
て、ベース幅を広くとり、高耐圧に設計すること
により、高耐圧で高増幅率のダーリントン回路複
合トランジスタを構成することが可能となる。例
えば、vCEO=800V程度の従来のダーリントン回
路複合トランジスタでは、両トランジスタ部でそ
れぞれ5以下であり、総合増幅率20以上にするこ
とは非常に困難であつた。しかるに本発明の構造
では、後段トランジスタ部の増幅率を100以上に
することが可能であり、たとえ前段トランジスタ
部の増幅率を2程度に設計しても、総合で200以
上の増幅率を得ることが可能になる。なお、この
増幅率は、後段トランジスタ部のエミツタ・コレ
クタ間耐圧vCEO(NO)を100Vとして設計し、ピンチ
オフ電圧を80Vとし、前段トランジスタのエミツ
タ・コレクタ間耐圧vCEOを800V以上とした場合
のものである。以上要するに、本発明によれば、
エミツタ・コレクタ間耐圧800V以上で数百以上
の高増幅率のダーリントン回路トランジスタを得
ることができるということである。
一般にトランジスタのエミツタ・コレクタ間耐
圧vCEOは、 の関係にある。ここで、hFEは電流増幅率、nは
常数であつて、NPN拡散ベース型で3〜4、
vCBOはベース・コレクタ間耐圧である。(1)式から
推察し得るように、従来構造のトランジスタで
は、耐電圧と増幅率とは相反する関係にあり、高
耐圧で同時に高増幅率のものを得ることは非常に
困難であつた。しかるに本発明によれば高耐圧
で、しかも高増幅率の複合トランジスタを得るこ
とが出来ることになるのである。又、従来構造で
はベース幅を広くする必要からスイツチング速度
も遅く、高周波での使用は困難であつたが、本発
明のトランジスタでは耐圧に関係なくベース幅を
狭くすることが可能なために高スイツチング速度
化も可能になつたのである。
本発明のトランジスタではコレクタ層中に新し
くP層11を形成することにより、キヤリヤの通
路がその領域だけ狭くなるが、第5図のトランジ
スタでは前段トランジスタ部の増幅率を低く抑え
ており、(1)式からエミツタ・コレクタ間耐圧を高
くとることができるため、ダーリントン回路トラ
ンジスタのエミツタ・コレクタ間に或る耐電圧を
必要とする場合に一般のダーリントン回路トラン
ジスタに比してコレクタ・ベース間耐圧VCBOを低
くすることができるのでコレクタ層の比抵抗を低
くすることが可能となる。従つて、P層11によ
りコレクタ領域が狭くなつた分だけコレクタの抵
抗値が上昇するように思われるが、実際はコレク
タの比抵抗を下げることができるため抵抗値はあ
まり変化しないようにすることができる。一般に
抵抗値Rは、R=l/A・ρ(ただし、lは長さ、A は断面積、ρは比抵抗)で表されるため、面積A
が小さくなり、長さlが多少長くなつても、比抵
抗ρを小さくすることができるので、総合的に抵
抗値Rは大きくならないように設計することは可
能である。例えば面積AがP型層11の形成によ
り40%減少したとしても比抵抗を40%低くするこ
とは容易であり、長さlを変えなくても抵抗値R
は総合的に増加させないですむことになる。特に
設計上、エミツタ(N+層)の直下に格子状又は
網目状に形成されたP層11が来ないようにする
ことも容易かつ可能であり、従つてキヤリアの流
れが乱されることなく、かくして新しく形成され
たP層11によりコレクタ層の抵抗を増加させな
いですますことができる。
以上の説明は後段トランジスタ部を高増幅率と
した場合の説明であるが、前段トランジスタ部を
高増幅率にすることも可能であり、その実施例を
第6図に示す。
第6図のトランジスタにおいては、第5図のも
のを基本として前段トランジスタ部と後段トラン
ジスタ部の位置が交換され、中央部に前段トラン
ジスタ部のベース層となる相対的に薄いP層3が
設けられ、周辺部に後段トランジスタ部のベース
層となる相対的に厚いP層4が設けられている。
もちろん、エミツタ層となるN+層6はP層3の
中に、又N+層7はP層4の中に形成される。回
路結線及び端子導出は第5図に準じて行われる。
第5図の構造にするか、第6図の構造にするか
は希望するスイツチング速度及び二次破壊耐量に
よつて決めるのがよい。一般に、第5図のように
後段トランジスタ部を高増幅率にするのは高速度
を必要とする場合に適しており、第6図のように
前段トランジスタ部を高増幅率にするのは二次破
壊耐量が要求される場合に適している。従つて、
いずれの構造を選択するかは用途によるのがよ
い。
第5図及び第6図の実施例はNPN型トランジ
スタについてのものであるが、PNP型トランジ
スタについても本発明はNPN型のものと全く同
様に適用できる。
PNP型ダーリントン回路複合トランジスタは、
回路的には第7図の構成を持つている。即ち2つ
のPNP型トランジスタTr10及びTr20からなつて
いて、前段トランジスタTr10は、ベースをベー
ス端子Bに、エミツタを後段トランジスタTr20
のベースに、コレクタをコレクタ端子Cにそれぞ
れ接続している。後段トランジスタTr20のエミ
ツタはエミツタ端子Eに、コレクタはコレクタ端
子Cにそれぞれ接続している。
第7図のダーリントン回路において、前段と後
段のいずれのトランジスタを高増幅率とするかに
より、構造的に第8図又は第9図の実施例があり
得る。第8図の実施例はNPN型の第5図の実施
例に対応し、同様に第9図の実施例は第6図の実
施例に対応している。両実施例とも、NPN型か
らPNP型への変更に応じて、NPN型における
N-層からなる基板1の代りにP-層からなる基板
21が、N+層2の代りにP+層22が、ベース層
となるP層3,4の代りにN層23,24が、エ
ミツタ層となるN+層6,7の代りにP+層26,
27が、更に格子状又は網目状のP層11の代り
にN層31がそれぞれ用いられている。このよう
なP型とN型の違いにより、NPN型とPNP型と
では電流つまりは電子の流れの方向が逆になる
が、NPN型トランジスタとしての前述の説明は
そのまま第8図及び第9図のPNP型トランジス
タにもあてはまる。
以上述べたように本発明によれば、前・後段い
ずれかのトランジスタ部のベース層を他方のベー
ス層よりも薄くし、このベース層を薄くした方の
トランジスタ部のコレクタ層中に、コレクタ層と
は異なる導電型層を、その薄くした方のベース層
に対向するように格子状又は網目状に形成して介
在させることにより、高耐圧で高増幅率であり、
しかも高スイツチング速度のダーリントン回路を
構成する複合トランジスタを提供することができ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図はNPN型トランジスタを用いた2段結
合のダーリントン回路の接続図、第2図は第1図
のダーリントン回路に相当する従来の複合トラン
ジスタの構造を示す縦断面図、第3図は3段結合
のダーリントン回路の接続図、第4図は3図のダ
ーリントン回路に相当する従来の複合トランジス
タの縦断面図、第5図及び第6図は第1図のダー
リントン回路に対応する本発明による複合トラン
ジスタの異なる実施例を示す縦断面図、第7図は
PNP型トランジスタを用いたダーリントン回路
の接続図、第8図及び第9図は第7図のダーリン
トン回路に対応する本発明による複合トランジス
タの異なる実施例を示す縦断面図である。 1……基板(N-層)、2……N+層、3,4…
…P層(ベース層)、6,7……N+層(エミツタ
層)、9……ワイヤ、11……格子状又は網目状
のP層、12……N-層、B……ベース端子、E
……エミツタ端子、C……コレクタ端子、21…
…基板(P-層)、22……P+層、23,24……
N層(ベース層)、26,27……P+層(エミツ
タ層)、29……ワイヤ、31……格子状又は網
目状のN層、32……P-層。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 第1の導電型の共通のコレクタ層上に、前記
    第1の導電型とは異なる第1および第2のベース
    層を並設し、前記第1のベース層上に第1の導電
    型の第1のエミツタ層を、また、前記第2のベー
    ス層上に第1の導電型の第2のエミツタ層をそれ
    ぞれ設け、前記コレクタ層からコレクタ端子を、
    前記第1のベース層からベース端子を、更に前記
    第2のエミツタ層からエミツタ端子をそれぞれ導
    出し、前記第1のエミツタ層に流れる電流が第2
    のベース層に流れるように電気的に接続して成る
    複合トランジスタにおいて、前記第1および第2
    のベース層のうちのいずれか一方を他方よりも薄
    く形成し、この薄くしたベース層に対向して前記
    コレクタ層中に、このコレクタ層とは異なる第2
    の導電型の層を格子状または網目状にして介在さ
    せると共に、厚い他方のベース層に接続されるよ
    うに延長させたことを特徴とする複合トランジス
    タ。
JP55176236A 1980-12-13 1980-12-13 Composite transistor Granted JPS5799769A (en)

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JPS5799769A JPS5799769A (en) 1982-06-21
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