JPS6375664A - 電圧非直線抵抗体の内部欠陥検査装置 - Google Patents

電圧非直線抵抗体の内部欠陥検査装置

Info

Publication number
JPS6375664A
JPS6375664A JP61219812A JP21981286A JPS6375664A JP S6375664 A JPS6375664 A JP S6375664A JP 61219812 A JP61219812 A JP 61219812A JP 21981286 A JP21981286 A JP 21981286A JP S6375664 A JPS6375664 A JP S6375664A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resistor
ultrasonic flaw
axial
inspection
rollers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP61219812A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0658349B2 (ja
Inventor
Yoshihiro Nakano
義弘 中野
Shigeo Nishioka
西岡 重夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NGK Insulators Ltd
Original Assignee
NGK Insulators Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NGK Insulators Ltd filed Critical NGK Insulators Ltd
Priority to JP61219812A priority Critical patent/JPH0658349B2/ja
Publication of JPS6375664A publication Critical patent/JPS6375664A/ja
Publication of JPH0658349B2 publication Critical patent/JPH0658349B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/04Wave modes and trajectories
    • G01N2291/044Internal reflections (echoes), e.g. on walls or defects
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/26Scanned objects
    • G01N2291/269Various geometry objects
    • G01N2291/2697Wafer or (micro)electronic parts

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、電圧非直線抵抗体の内部欠陥を超音波により
検査する内部欠陥検査装置に関するものである。
(従来の技術) 従来、焼成侵の電圧非直線抵抗体の内部欠陥を検査する
場合、軸方向および径方向の内部欠陥を検査する必要が
あった。すなわち、抵抗体を超音波探傷装置にセットし
て軸方向にスキャンしながら軸方向の内部検査を行なっ
た後、次に抵抗体を装置にセットし直して径方向にスキ
ャンしながら径方向の内部検査を行なっていた。
(発明が解決しようとする問題点) そのため、上述した従来の内部欠陥検査においては、人
手により測定ケベき抵抗体を超音波探傷装置にセットし
なければならず、さらに軸方向と径方向とを別々にセッ
トし直して検査しなければならないため、その測定に非
常に手間がかかる欠点があった。また、電圧非直線抵抗
体の外部に傷等が入ると、その雷サージ耐量等の諸特性
が悪化するため、抵抗体の装置へのセットには細心の注
意と熟練を要する欠点もあった。
本発明の目的は上述した不具合を解消して、電圧非直線
抵抗体の内部欠陥の検査を抵抗体に巾をつけることなく
完全に自動的かつ連続的に行なうことができる電圧非直
線抵抗体の内部欠陥検査装置を提供しようとするもので
ある。
(問題点を解決するための手段) 本発明の電圧非直線抵抗体の内部欠陥検査装置は、液槽
と、液槽中一列に所定間隔で設けられた同一の方向に回
転するローうであって、相隣り合うローラによりローラ
対を構成する複数のローラと、測定すべき抵抗体を下流
側の次のローラ対に移送する移送装置と、ローラ対上で
回転する抵抗体の軸方向の内部欠陥を検査する軸方向超
音波探傷装置と、ローラ対上で回転する抵抗体の径方向
の内部欠陥を検査する径方向超音波探傷装置とを具える
ことを特徴とするものである。
〈作用) 上述した構成において、液中に複数設けた[」−ラ対の
各位置で電圧非直線抵抗体は回転し、回転した状態で軸
方向に移動可能な軸方向超音波探傷装置により軸方向の
内部欠陥を自動的に検査できる。軸方向の検査が終了し
た後移送装置により次の位置に抵抗体を移送して、同じ
く回転した状態で抵抗体の端面を径方向に移動可能な径
方向超音波探傷装置により径方向の内部欠陥をも自助的
に検査することができる。そのため、軸方向および径方
向の超音波による検査を完全に自動的かつ連続的に行な
うことができる。
(実施例) 第1図(a)、(b)は本発明の内部欠陥検査装置の一
実施例を示す線図である。本実施例では、基台1中の液
槽2内にローラ3−1〜3−9を各ローラが同一方向に
回転可能なように設置する。
ローラ3−1 :3−2.3−2:3−3.3−3:3
−4・・・3−8 ;3−9のベアがそれぞれローラ対
をなしている。各ローラ対の位置に電圧非直線抵抗体を
挟持するよう構成しているため、抵抗体は各ローラ対の
位置で回転している。
ローラ対3−4:3−5の位置には軸方向超音波探(口
装置4を設けている。本実施例の軸方向超音波探傷装置
4は、中央部近傍の内部欠陥を検査するためのその軸方
向が抵抗体の中心と一致するよう設置した超音波探傷子
5−1と、表面近傍の内部欠陥を検査するためのその軸
方向が抵抗体の中心から表面方向に偏心するよう設置し
た超音波探(口子5−2.5−3とより構成される。ま
た、この軸方向超音波探傷装置4は回転する抵抗体の軸
方向へその端部から端部まで一定速度で移動できるよう
構成するとともに、抵抗体のローラ対間の移送の場合は
図示した位置から上方へ退避可能なように構成している
また、ローラ対3−6;3−7の位置には径方向超音波
探傷装置6を設けている。本実施例の径方向超音波探傷
装置6は、径方向の検査が可能なようにその軸方向が抵
抗体の中心軸と平行になるよう設けた超音波探信子7よ
り構成される。この径方向超音波探傷装置6は、回転す
る抵抗体の端部においてその表面から中心までの径方向
へ一定速度で移動できるよう構成し゛ている。また、軸
方向超音波探装@4と同様抵抗体のローラ対間の移送の
場合は図示した位置から上方へ退避可能なように構成し
ている。
さらに、ローラ対3−1;3−2〜3−7;3−8の下
部には移送装置8の移送アーム9−1〜9−7を図示の
ように傾けて設け、移送装置8のシリンダ10の駆動に
よりローラ対に位置する抵抗体を下流側の次のローラ対
へ移送できるよう構成している。
本実施例においては、ローラ対3−1 :3−26よび
3−8:3−9の上部の基台1上にそれぞれ抵抗体の搬
入装置11と搬出装置12を設け、そのアーム13と1
4の駆動により外部の撤退系から抵抗体をローラ対3−
1 :3−2に搬入できるとともに、ローラ対3−8 
:3−9に移送する抵抗体を外部へ搬出できるよう構成
している。なお上述した各装置の駆動は図示しない制御
装置により行なっている。
以下、上述した本発明の内部欠陥検査装置の操作につい
て説明する。まず、外部の搬送系より搬送されてくる電
圧非直線抵抗体は搬入装置11によりローラ対3〜1;
3−2に供給される。供給された抵抗体は移送装置8の
駆動により順次下流側に移送して、ローラ対3−4 ;
3−5の位置で軸方向超音波探傷装置4により軸方向の
超音波探傷を行ない内部欠陥検査を行なう。超音波探傷
は回転する抵抗体に対して軸方向超音波探1u装置4を
軸方向にスキャンすることによって行なう。軸方向の内
部欠陥検査を終了した抵抗体は移送装置8の駆動により
さらに下流側に移送して、ローラ対3−6:3−7の位
置で径方向超音波探傷装置6により径方向の超音波探傷
を行ない内部欠陥検査を行なう。超音波探傷は回転する
抵抗体の端部の表面から中心まで径方向超音波探14装
置6をスキャンすることにより行なう。径方向の内部欠
陥検査を終了した抵抗体は移送装置8の駆動によりロー
ラ対3−8 ;3−9へ移送され、搬出装置12により
外部へ搬出して検査を終了する。
なJ3、上述した内部欠陥検査中、液槽2中には超音波
探傷子5−1へ−5−3,7が測定中完全に液中に存在
するようにするとともに、液槽2中は図示しないジェッ
トノズルで循環流となっている。
また、液どしでは水がよく好ましくは純水を使用すると
ともに、ローラの回転数は30Orpm程度が好ましい
。超音波探傷による内部欠陥の結果は制御装置内で各抵
抗体毎に処理され、欠陥の発見された抵抗体は搬出装置
12により外部へ搬出されるときに選別される。
なお、本実施例では液槽中の液としては水を用いたが、
水以外に油、その他の溶媒でもよい。
(発明の効果) 以上詳細に説明したところから明らかなように、本発明
のN圧非直線抵抗体の内部欠陥検査装置によれば、ロー
ラ対により回転する電圧非直線抵抗体に対して順次連続
的に軸方向と径方向の超音波探(口による内部欠陥検査
が可能となるため、電圧非直線抵抗体の内部欠陥の検査
を抵抗体に傷をつけることなく完全に自動的かつ連続的
に行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図<a)、(b)は本発明の内部欠陥検査装置の一
実施例を示す線図である。 1・・・基台       2・・・液槽3−1〜3−
9・・・ローラ 4・・・軸方向超音波探傷装置 5−1〜5−3.7・・・超音波探傷子6・・・径方向
超音波探(U装置 8・・・移送装置

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、液槽と、液槽中一列に所定間隔で設けられた同一の
    方向に回転するローラであって、相隣り合うローラによ
    りローラ対を構成する複数のローラと、測定すべき抵抗
    体を下流側の次のローラ対に移送する移送装置と、ロー
    ラ対上で回転する抵抗体の軸方向の内部欠陥を検査する
    軸方向超音波探傷装置と、ローラ対上で回転する抵抗体
    の径方向の内部欠陥を検査する径方向超音波探傷装置と
    を具えることを特徴とする電圧非直線抵抗体の内部欠陥
    検査装置。 2、前記径方向超音波探傷装置が、抵抗体の中心部近傍
    の内部欠陥を検査する超音波探傷子と抵抗体の表面近傍
    の内部欠陥を検査する超音波探傷子とを有する特許請求
    の範囲第1項記載の電圧非直線抵抗体の内部欠陥検査装
    置。
JP61219812A 1986-09-19 1986-09-19 電圧非直線抵抗体の内部欠陥検査装置 Expired - Lifetime JPH0658349B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61219812A JPH0658349B2 (ja) 1986-09-19 1986-09-19 電圧非直線抵抗体の内部欠陥検査装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61219812A JPH0658349B2 (ja) 1986-09-19 1986-09-19 電圧非直線抵抗体の内部欠陥検査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6375664A true JPS6375664A (ja) 1988-04-06
JPH0658349B2 JPH0658349B2 (ja) 1994-08-03

Family

ID=16741418

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61219812A Expired - Lifetime JPH0658349B2 (ja) 1986-09-19 1986-09-19 電圧非直線抵抗体の内部欠陥検査装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0658349B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN119064472A (zh) * 2024-09-14 2024-12-03 襄阳市三三电气有限公司 一种用于生产线上的电阻片探伤装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN119064472A (zh) * 2024-09-14 2024-12-03 襄阳市三三电气有限公司 一种用于生产线上的电阻片探伤装置
CN119064472B (zh) * 2024-09-14 2025-04-15 襄阳市三三电气有限公司 一种用于生产线上的电阻片探伤装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0658349B2 (ja) 1994-08-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109100595B (zh) 一种电子元件检测装置
JPH0358478B2 (ja)
TWM269975U (en) Screw inspection machinery
JPH03115970A (ja) ボールの自動超音波探傷検査装置
US4551677A (en) Apparatus and method for inspecting a bearing ball
KR100820570B1 (ko) 다 탐촉자 홀더를 구비한 다 탐상장치
JP2001050907A5 (ja)
JPH08201347A (ja) 管探傷装置
JPH0658349B2 (ja) 電圧非直線抵抗体の内部欠陥検査装置
JPH10246793A (ja) 原子燃料棒端栓溶接部検査方法及び同装置
JPH06502018A (ja) テストプローブ台用の1個以上の孔を有する、回転対称試験片用超音波検査装置の回転子
CN214066158U (zh) 一种高阻膜测试系统
JPH04276547A (ja) 円柱体表層部の超音波探傷方法
CN211637358U (zh) 饼干缺陷检测机构
CN114778575A (zh) 一种工业无损检测辐射防护装置
CN217700216U (zh) 一种产品质量安全用抽检设备
CN118362562B (zh) 一种基于视觉分析的晶圆表面缺陷智能检测方法
KR100441961B1 (ko) 화력발전용 보일러의 수평튜브 자동 초음파검사용 탐촉자이송장치
JPH0599902A (ja) 平角鋼材の検査装置
CN112212921B (zh) 一种高阻膜测试系统及其测试方法
JPH03160346A (ja) 鏡面加工の施されたアルミニウム管材の自動表面検査装置
JPS6156963A (ja) 電磁誘導探傷試験装置
JPH0623716B2 (ja) 積層材製缶蓋の疵検知方法及び装置
JPH08101135A (ja) 異物検査装置
JPH03163354A (ja) リブ付鋼管の超音波探傷方法および装置

Legal Events

Date Code Title Description
EXPY Cancellation because of completion of term