JPS6376111A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS6376111A JPS6376111A JP22136586A JP22136586A JPS6376111A JP S6376111 A JPS6376111 A JP S6376111A JP 22136586 A JP22136586 A JP 22136586A JP 22136586 A JP22136586 A JP 22136586A JP S6376111 A JPS6376111 A JP S6376111A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- medium
- magnetic
- noise
- thin film
- magnetic recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野〕
本発明は、磁気記録媒体に関し、特にスパッタリング法
、メッキ法、蒸着法等で磁性膜が膜付けされる磁気記録
媒体において、媒体ノイズを低減してｍ磁変換特性を改
善するのに好適な磁気記録媒体に関する。
、メッキ法、蒸着法等で磁性膜が膜付けされる磁気記録
媒体において、媒体ノイズを低減してｍ磁変換特性を改
善するのに好適な磁気記録媒体に関する。
従来より主として用いられている塗布形の磁気記録媒体
に変わり、 「日経ニューマテリアル１２−２１９８５
ｐｐ、２４〜３５」に示されるように、スパッタリン
グ法、メッキ法、蒸着法等により形成される。
に変わり、 「日経ニューマテリアル１２−２１９８５
ｐｐ、２４〜３５」に示されるように、スパッタリン
グ法、メッキ法、蒸着法等により形成される。
いわゆる薄膜媒体が開発されており、一部実用に供され
ている。塗布形媒体に比べこれらの薄膜媒体は、磁性膜
厚が約１７１０程度にできること、連続膜を形成できる
ため、高保磁力化、高残留磁束密度化が容易であること
等で飛岡的に記録密度を向上し得ることが知られている
。これらの薄膜媒体の磁性膜材料としてはＣＯ系合金（
Ｃｏ−Ｎｉ（コバルト−ニッケル）、Ｃｏ−Ｃｒ（コバ
ルト−クロム）。
ている。塗布形媒体に比べこれらの薄膜媒体は、磁性膜
厚が約１７１０程度にできること、連続膜を形成できる
ため、高保磁力化、高残留磁束密度化が容易であること
等で飛岡的に記録密度を向上し得ることが知られている
。これらの薄膜媒体の磁性膜材料としてはＣＯ系合金（
Ｃｏ−Ｎｉ（コバルト−ニッケル）、Ｃｏ−Ｃｒ（コバ
ルト−クロム）。
Ｃｏ−Ｎ１−Ｐ（コバルト−ニッケルーリン）、Ｃｏ−
Ｎｉ−○（コバルト−ニッケルー酸素）、Ｃｏ−Ｎ１−
Ｎ（コバルト−ニッケル〜チッ素）、 Ｇ ｏ−Ｎ
ｉ−Ｃｒ（コバルト−ニッケルークロム）等）が一般的
に用いられている。
Ｎｉ−○（コバルト−ニッケルー酸素）、Ｃｏ−Ｎ１−
Ｎ（コバルト−ニッケル〜チッ素）、 Ｇ ｏ−Ｎ
ｉ−Ｃｒ（コバルト−ニッケルークロム）等）が一般的
に用いられている。
第２図は、薄膜媒体と塗布形媒体を比較した媒体ノイズ
の記録密度依存性を表したものであり、横軸に記録密度
、縦軸に各記録密度での媒体ノイズを示す。
の記録密度依存性を表したものであり、横軸に記録密度
、縦軸に各記録密度での媒体ノイズを示す。
この図から既に報告されているように（Ｒ，Ａ、Ｂａｕ
ｇｈ、Ｅ、Ｓ、Ｍｕｒｄｏｃｋ ａｎｄ Ｂ、Ｒ，
Ｎａｔｒａｊａｍ ； ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓ、
ＭＡＧ１９．ｐｐ、１７２２−１７２４，５ｅｐｔ、
１９８３参照）、塗布形媒体のノイズは記録密度の増加
に伴ない減少するが、Ｃｏ系合金の薄膜媒体のノイズは
、記録密度の増加とともに増大し、高記録密度（２０Ｋ
ＰＣＩ前後）でピークに達した後減少する傾向を示す。
ｇｈ、Ｅ、Ｓ、Ｍｕｒｄｏｃｋ ａｎｄ Ｂ、Ｒ，
Ｎａｔｒａｊａｍ ； ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓ、
ＭＡＧ１９．ｐｐ、１７２２−１７２４，５ｅｐｔ、
１９８３参照）、塗布形媒体のノイズは記録密度の増加
に伴ない減少するが、Ｃｏ系合金の薄膜媒体のノイズは
、記録密度の増加とともに増大し、高記録密度（２０Ｋ
ＰＣＩ前後）でピークに達した後減少する傾向を示す。
また、媒体ノイズの値も高記録密度（２０ＫＰＣＩ前後
）で、塗布形媒体に比べ２〜３倍と大きな値を示す。
）で、塗布形媒体に比べ２〜３倍と大きな値を示す。
上述した従来技術では、Ｃｏ系合金の薄膜媒体は高記録
密度達成の可能性を有しているが、一方。
密度達成の可能性を有しているが、一方。
第２図に示す如く、塗布形媒体に比較して媒体ノイズが
大きいという問題がある。
大きいという問題がある。
本発明の目的は、このような従来の問題点を改善し、Ｃ
ｏ系合金薄膜媒体の高記録密度時の媒体ノイズが低減さ
れる磁気記録媒体を提供することにある。
ｏ系合金薄膜媒体の高記録密度時の媒体ノイズが低減さ
れる磁気記録媒体を提供することにある。
〔問題点を解決するための手段］
上記問題点を解決するため、本発明では、スパッタリン
グ法、メッキ法、蒸着法等で磁性膜が膜付けされる磁気
記録媒体でかつ磁性膜がＣｏ系の合金材料よりなる磁気
記録媒体において、上記磁性膜の保磁力角形比Ｓ＋を０
．６８〜０．８ の範囲に特定することに特徴がある。
グ法、メッキ法、蒸着法等で磁性膜が膜付けされる磁気
記録媒体でかつ磁性膜がＣｏ系の合金材料よりなる磁気
記録媒体において、上記磁性膜の保磁力角形比Ｓ＋を０
．６８〜０．８ の範囲に特定することに特徴がある。
磁気記録媒体の磁気特性を表現する手段として第３図に
示すＢ−８曲線が一般に用いられる。また、媒体の電磁
変換特性を表す値として第３図中のｂ／ａの値を保磁力
角形比Ｓ”（以下、Ｓ＋どのみ記す）が一般に用いられ
ている。従来はこのＳ＋は大きい方がディスクとしては
良好であると考えられていた。
示すＢ−８曲線が一般に用いられる。また、媒体の電磁
変換特性を表す値として第３図中のｂ／ａの値を保磁力
角形比Ｓ”（以下、Ｓ＋どのみ記す）が一般に用いられ
ている。従来はこのＳ＋は大きい方がディスクとしては
良好であると考えられていた。
第４図に上述のＳ＋をパラメータとして作られた媒体の
媒体ノイズとＳ＋どの関係を示す。第４図に見られるよ
うに、媒体ノイズはＳ＋に強い依存性を示し、Ｓ”＝０
．８以上では急激に増加する傾向が見られる。この傾向
は高記録密度時（２０ＫＰＣＩ）にはより顕著に見られ
る。
媒体ノイズとＳ＋どの関係を示す。第４図に見られるよ
うに、媒体ノイズはＳ＋に強い依存性を示し、Ｓ”＝０
．８以上では急激に増加する傾向が見られる。この傾向
は高記録密度時（２０ＫＰＣＩ）にはより顕著に見られ
る。
第５図にＣｏ系合金薄膜媒体の磁区構造模式図を示す。
第５図に示すように、Ｃｏ系合金薄膜媒体では結晶粒間
の磁気的結合により、磁化反転部分が鋸歯状磁区になる
（松本光功著 磁気記録共立出版 ＰＰ、１５７〜１５
８参照）。このように磁化反転部分が鋸歯状になり磁界
の急峻な変化を妨げることが、Ｃｏ系合金薄膜媒体の媒
体ノイズの主要因である。
の磁気的結合により、磁化反転部分が鋸歯状磁区になる
（松本光功著 磁気記録共立出版 ＰＰ、１５７〜１５
８参照）。このように磁化反転部分が鋸歯状になり磁界
の急峻な変化を妨げることが、Ｃｏ系合金薄膜媒体の媒
体ノイズの主要因である。
この鋸歯状磁区の大きさは、残留磁束密度Ｂｒに比例し
、保磁力Ｈｃに反比例する。
、保磁力Ｈｃに反比例する。
本発明においては、ＢｒおよびＨｃＯ値より定まるＳ＋
の値を特定することにより、低ノイズ化を図る。
の値を特定することにより、低ノイズ化を図る。
息下、本発明の一実施例を、図面により詳細に説明する
。
。
第６図にＧｏ合金系の薄膜媒体の一般的な構成を示す。
これは、Ｃｏ−Ｎｉスパッタ媒体の構成を示している。
以下、このような一般的なスパッタ媒体の製造プロセス
を説明する。
を説明する。
まず、アルミニウム合金（ＡＱ−Ｍｇ）基板上に無電解
メッキ法で約ｌｏ陣程度のＮｉ−ＰＭを形成する。次に
、磁性膜の水平方向の結晶磁気異方性を増して保磁力Ｈ
ｅを向上するように、スパッタで約２０００人程度のＣ
ｒ層を形成する。形成されたＣｒ層の上にスパッタリン
グにより磁性膜となるＣｏ−Ｎｉ膜（層）を約６００人
程度の膜厚で形成する。この後、これらの形成膜を保護
するためのコーティング層である０層をスパッタリング
により約４００人程度の膜厚で形成する。以上のプロセ
スによりＣｏ−Ｎｉ 薄膜媒体が製造される。
メッキ法で約ｌｏ陣程度のＮｉ−ＰＭを形成する。次に
、磁性膜の水平方向の結晶磁気異方性を増して保磁力Ｈ
ｅを向上するように、スパッタで約２０００人程度のＣ
ｒ層を形成する。形成されたＣｒ層の上にスパッタリン
グにより磁性膜となるＣｏ−Ｎｉ膜（層）を約６００人
程度の膜厚で形成する。この後、これらの形成膜を保護
するためのコーティング層である０層をスパッタリング
により約４００人程度の膜厚で形成する。以上のプロセ
スによりＣｏ−Ｎｉ 薄膜媒体が製造される。
本発明の実施例として第６図に示した膜構成における磁
性膜（Ｃｏ−Ｎ ｉ ）の組成および、成膜条件（アル
ゴンガス圧、投入パワ）をパラメータとした実験結果例
を第７図に示す。なお、本実験は、ＤＣマグネトロンス
パッタ装置を用いて行った。
性膜（Ｃｏ−Ｎ ｉ ）の組成および、成膜条件（アル
ゴンガス圧、投入パワ）をパラメータとした実験結果例
を第７図に示す。なお、本実験は、ＤＣマグネトロンス
パッタ装置を用いて行った。
第７図に示す如く、Ｓ＋は容易にコントロールすること
が可能である。
が可能である。
第１図は、本発明の一実施例を示す薄膜媒体における磁
性膜の保磁力角形比と媒体ノイズ比の関係を示す図であ
る。これは上記サンプルの信号対媒体ノイズ比（以下、
Ｓ／Ｎと記す）とＳ＋の関係を示している。ここで、記
録密度は１０，１５゜２０ＫＰＣＩである。
性膜の保磁力角形比と媒体ノイズ比の関係を示す図であ
る。これは上記サンプルの信号対媒体ノイズ比（以下、
Ｓ／Ｎと記す）とＳ＋の関係を示している。ここで、記
録密度は１０，１５゜２０ＫＰＣＩである。
第１図に見られるように、Ｓ／ＮはＳ＋が０．７〜０．
７５の間で最大となる。本発明において。
７５の間で最大となる。本発明において。
高Ｓ／Ｎを得るために、Ｓ′″の値を、管理可能な巾も
考慮して０．６８〜０．８の間に特定する。
考慮して０．６８〜０．８の間に特定する。
なお、本発明は、保磁力角形比Ｓ１を特定するものであ
り、実施例に開示した。膜構成９組成。
り、実施例に開示した。膜構成９組成。
成膜条件に限られるものでないことはＴＦＪ白である。
このように、本実施例においては、Ｓ＋値を特定するこ
とにより、媒体ノイズを約１／３に軽減し、Ｓ／Ｎを約
５ｄＢ改善することが可能である６〔発明の効果〕 以上説明したように、本発明によれば、Ｇｏ系合金薄膜
媒体の高記録密度時の媒体ノイズが低減されるようにな
る。
とにより、媒体ノイズを約１／３に軽減し、Ｓ／Ｎを約
５ｄＢ改善することが可能である６〔発明の効果〕 以上説明したように、本発明によれば、Ｇｏ系合金薄膜
媒体の高記録密度時の媒体ノイズが低減されるようにな
る。
第１図は本発明の一実施例を示す保磁力角形比とＳ／Ｈ
の関係を示す図、第２図は媒体ノイズの記録密度依存性
を示す図、第３図は媒体磁化曲線を示す図、第４図は保
磁力角形比と媒体ノイズの関係を示す図、第５図はＧｏ
系合金薄膜媒体の磁区構造模式図、第６図はＧｏ系合金
薄膜媒体の膜構成例を示す図、第７図は本発明の実施例
における実験結果例を示す図である。 第 １ 図 保磁力角形比Ｓ” （Ｃｏ系合金薄膜膜体） 第 ２ 図 記録密度（ＫＦＯ工） 第 ３ 図 第 ４ 図 保磁力角形比Ｓ＊ 第 ６ 図 第 ７ 図
の関係を示す図、第２図は媒体ノイズの記録密度依存性
を示す図、第３図は媒体磁化曲線を示す図、第４図は保
磁力角形比と媒体ノイズの関係を示す図、第５図はＧｏ
系合金薄膜媒体の磁区構造模式図、第６図はＧｏ系合金
薄膜媒体の膜構成例を示す図、第７図は本発明の実施例
における実験結果例を示す図である。 第 １ 図 保磁力角形比Ｓ” （Ｃｏ系合金薄膜膜体） 第 ２ 図 記録密度（ＫＦＯ工） 第 ３ 図 第 ４ 図 保磁力角形比Ｓ＊ 第 ６ 図 第 ７ 図
Claims (1)
- １、スパッタリング法、メッキ法、蒸着法等で磁性膜が
膜付けされる磁気記録媒体でかつ磁性膜がＣｏ系の合金
材料よりなる磁気記録媒体において、上記磁性膜の保磁
力角形比Ｓ＾＋を０．６８〜０．８の範囲に特定するこ
とを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22136586A JPH077495B2 (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22136586A JPH077495B2 (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6376111A true JPS6376111A (ja) | 1988-04-06 |
| JPH077495B2 JPH077495B2 (ja) | 1995-01-30 |
Family
ID=16765651
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22136586A Expired - Lifetime JPH077495B2 (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH077495B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6335103B1 (en) * | 1988-08-10 | 2002-01-01 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording media for longitudinal recording |
| US6627253B2 (en) | 1988-08-10 | 2003-09-30 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording media for longitudinal recording, process for producing the same and magnetic memory apparatus |
-
1986
- 1986-09-19 JP JP22136586A patent/JPH077495B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6335103B1 (en) * | 1988-08-10 | 2002-01-01 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording media for longitudinal recording |
| US6627253B2 (en) | 1988-08-10 | 2003-09-30 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording media for longitudinal recording, process for producing the same and magnetic memory apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH077495B2 (ja) | 1995-01-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0613237A (ja) | 磁気記録媒体及びその保磁率を増加する方法 | |
| JPH08273141A (ja) | 薄膜磁気記録媒体 | |
| JPS6376111A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0750008A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP3625865B2 (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
| JPH0827927B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP3437024B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0218710A (ja) | 円盤状磁気記録媒体 | |
| JP2527616B2 (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| JPS6313256B2 (ja) | ||
| JPH0896340A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JPS62117143A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH10233014A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH06301956A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2000113445A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0512647A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH02154323A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH05325163A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0757236A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JP2990975B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2551008B2 (ja) | 軟磁性薄膜 | |
| JPH05205242A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPH06140247A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0464914A (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| JPH05258278A (ja) | 磁気記録媒体 |