JPS637621A - 揮発性物質の気化装置 - Google Patents
揮発性物質の気化装置Info
- Publication number
- JPS637621A JPS637621A JP61152463A JP15246386A JPS637621A JP S637621 A JPS637621 A JP S637621A JP 61152463 A JP61152463 A JP 61152463A JP 15246386 A JP15246386 A JP 15246386A JP S637621 A JPS637621 A JP S637621A
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- Japan
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- gas
- monitoring
- tube
- pipe
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、蒸気圧の高い液体状の揮発性物質の気化装置
に関するものである。
に関するものである。
従来の技術
化合物半導体の気相成長（たとえばハライド気相エピタ
キシャル成長法や有機金属気相成長法）。
キシャル成長法や有機金属気相成長法）。
ＣＶＤ法による電極形成（たとえばモリブデン電極の形
成）等、半導体装置の結晶成長やプロセスにおいて、揮
発性物質を気化させて、それを原料として用いることが
多い。
成）等、半導体装置の結晶成長やプロセスにおいて、揮
発性物質を気化させて、それを原料として用いることが
多い。
その１例として、揮発性物質である有機金属（アルキル
化物）を原料として用いる有機金属気相成長法（Ｍｅｔ
ａｌ Ｏｒｇａｎｉｃ Ｖａｐｏｒ ＰｈａｓｅＥｐ
ｉｔａｘｙ ） 、略してＭＯＶＰＥ がある。この
場合−般に、高い蒸気圧の液体である有機金属にキャリ
アガスを流し込み、その蒸気を含ませて炉へ供給してい
る。このときの有機金属の気化装置は、第３図に示すよ
うな構造をしている。キャリアガスはマスフローコント
ローラ−６ヲ通１．てガス流入管１に導入され、有機金
属である揮発性物質２の入った容器３に流入する。ガス
流入管１の先端部４は揮発性物質２の中に挿入されてい
るので、流入したキャリアガスは気泡となって揮発性物
質２内を液面まで上ってくる。これをバブリングと呼ん
でいる。バブリングしたキャリアガスは気化した揮発性
物質２の蒸気を含み、ガス流出管５を通って容器３から
流出する。そしてガス流出管５は、気相成長装置の成長
反応部側のガス管に接続されており、気化した揮発性物
質はキャリアガスに含まれて気相成長反応部に導入され
、結晶が育成される。
化物）を原料として用いる有機金属気相成長法（Ｍｅｔ
ａｌ Ｏｒｇａｎｉｃ Ｖａｐｏｒ ＰｈａｓｅＥｐ
ｉｔａｘｙ ） 、略してＭＯＶＰＥ がある。この
場合−般に、高い蒸気圧の液体である有機金属にキャリ
アガスを流し込み、その蒸気を含ませて炉へ供給してい
る。このときの有機金属の気化装置は、第３図に示すよ
うな構造をしている。キャリアガスはマスフローコント
ローラ−６ヲ通１．てガス流入管１に導入され、有機金
属である揮発性物質２の入った容器３に流入する。ガス
流入管１の先端部４は揮発性物質２の中に挿入されてい
るので、流入したキャリアガスは気泡となって揮発性物
質２内を液面まで上ってくる。これをバブリングと呼ん
でいる。バブリングしたキャリアガスは気化した揮発性
物質２の蒸気を含み、ガス流出管５を通って容器３から
流出する。そしてガス流出管５は、気相成長装置の成長
反応部側のガス管に接続されており、気化した揮発性物
質はキャリアガスに含まれて気相成長反応部に導入され
、結晶が育成される。
発明が解決しようとする問題点
一般に揮発性物質である有機金属は、光により変性を起
こしやすく、また酸素等との反応性が非常に強い。した
がってこの様な揮発性物質の入った容器内は外部の光か
ら遮断される必要があり、またこの容器や配管系には厳
重なリーク対策が必要となる。しかしながらこの揮発性
物質が枯渇した時外界から直接的に揮発性物質の残量を
知るすべは無い。また、揮発性物質の入った容器の配管
系をとりはずし、容器全体の重量を計量することによっ
て揮発性物質の残量を知ることができるが、容器の配管
系をとりはずすことは非常に困難であり、リークの原因
となる可能性も強い。
こしやすく、また酸素等との反応性が非常に強い。した
がってこの様な揮発性物質の入った容器内は外部の光か
ら遮断される必要があり、またこの容器や配管系には厳
重なリーク対策が必要となる。しかしながらこの揮発性
物質が枯渇した時外界から直接的に揮発性物質の残量を
知るすべは無い。また、揮発性物質の入った容器の配管
系をとりはずし、容器全体の重量を計量することによっ
て揮発性物質の残量を知ることができるが、容器の配管
系をとりはずすことは非常に困難であり、リークの原因
となる可能性も強い。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決する本発明の技術的手段は、キャリア
ガスを導入するためのガス流入管の先端部が揮発性物質
中に挿入されており、また気化した揮発性物質を含んだ
ガスを流出させるガス流出管を備えており、さらに揮発
性物質の利用可能な液面の最低位まで先端部が挿入され
たモニター用ガス管を備えているものである。さらに上
記モニター用ガス管を流れるガスを検知する手段例えば
フローメーターや差圧計が上記モニター用ガス管に接続
されているものである。
ガスを導入するためのガス流入管の先端部が揮発性物質
中に挿入されており、また気化した揮発性物質を含んだ
ガスを流出させるガス流出管を備えており、さらに揮発
性物質の利用可能な液面の最低位まで先端部が挿入され
たモニター用ガス管を備えているものである。さらに上
記モニター用ガス管を流れるガスを検知する手段例えば
フローメーターや差圧計が上記モニター用ガス管に接続
されているものである。
作 用
この技術的手段による作用は次のようになる。
揮発性物質の液面がモニター用ガス管の先端部より高い
所に位置する時、ガス流入管の先端部より流出した気泡
は、流入防止カバーに妨げられてモニター用ガス管の先
端に流入せず、液面まで上がってくる。しかし液面がモ
ニター用ガス管より低い所に位置するようになると、ガ
ス流入管より流入したキャリアガスはモニター用ガス管
からも流入し、モニター用ガス管中も流れる。従ってそ
の流れを検知することで揮発性物質の枯渇を知ることが
できる。
所に位置する時、ガス流入管の先端部より流出した気泡
は、流入防止カバーに妨げられてモニター用ガス管の先
端に流入せず、液面まで上がってくる。しかし液面がモ
ニター用ガス管より低い所に位置するようになると、ガ
ス流入管より流入したキャリアガスはモニター用ガス管
からも流入し、モニター用ガス管中も流れる。従ってそ
の流れを検知することで揮発性物質の枯渇を知ることが
できる。
実施例
以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて説明する。
なお本実施例では、揮発性物質としては有機金属（アル
キル化物）であり、有機金属気相成長法（ＭＯＶＰＥ）
の原料として用いる場合について示すが、揮発性物質は
有機金属に限るものでもなく、また揮発性物質を気化さ
せて用いる装置であれば、いかなる装置にこの気化装置
を接続しても本発明は適用される。
キル化物）であり、有機金属気相成長法（ＭＯＶＰＥ）
の原料として用いる場合について示すが、揮発性物質は
有機金属に限るものでもなく、また揮発性物質を気化さ
せて用いる装置であれば、いかなる装置にこの気化装置
を接続しても本発明は適用される。
本発明の一実施例を第１図に示す。１はキャリアガスの
ガス流入管である。２は揮発性物質であり、容器３に入
っている。ガス流入管１の先端部４は揮発性物質２の中
に挿入されている。−方５は気化した揮発性物質２を含
んだキャリアガスが流出するガス流出管である。６は揮
発性物質２の液面をモニターするためのモニター用ガス
管である。このモニター用ガス管の先端部７は揮発性物
質２の中に挿入されており、揮発性物質が枯渇したと判
断すべき液面位置に配置する。尚、本実施例ではモニタ
ー用ガス管６はフローメーター８と一体化して接続され
ており、モニター用ガス管らをガスが流れると検知でき
るようになっているが、フローメーター８がＭＯＶＰＥ
装置本体側に備わっていて、本気化装置と分離してい
てもよい。９はバブリング時ガス流入管１の先端部４よ
り流出した気泡がモニター用ガス管６の先端部７より流
入しないように設置されている流入防止カバーである。
ガス流入管である。２は揮発性物質であり、容器３に入
っている。ガス流入管１の先端部４は揮発性物質２の中
に挿入されている。−方５は気化した揮発性物質２を含
んだキャリアガスが流出するガス流出管である。６は揮
発性物質２の液面をモニターするためのモニター用ガス
管である。このモニター用ガス管の先端部７は揮発性物
質２の中に挿入されており、揮発性物質が枯渇したと判
断すべき液面位置に配置する。尚、本実施例ではモニタ
ー用ガス管６はフローメーター８と一体化して接続され
ており、モニター用ガス管らをガスが流れると検知でき
るようになっているが、フローメーター８がＭＯＶＰＥ
装置本体側に備わっていて、本気化装置と分離してい
てもよい。９はバブリング時ガス流入管１の先端部４よ
り流出した気泡がモニター用ガス管６の先端部７より流
入しないように設置されている流入防止カバーである。
以上のような構造の揮発性物質の気化装置の作用を次に
説明する。容器３内に揮発性物質２が充分に収容されて
おり、その液面がモニター用ガス管６の先端部７より上
方に位置する時、ガス流入管１の先端部４より流出した
気泡は、流入防止カバー９に妨げられてモニター用ガス
管６の先端部７に流入せずに、液面まで上がってくる。
説明する。容器３内に揮発性物質２が充分に収容されて
おり、その液面がモニター用ガス管６の先端部７より上
方に位置する時、ガス流入管１の先端部４より流出した
気泡は、流入防止カバー９に妨げられてモニター用ガス
管６の先端部７に流入せずに、液面まで上がってくる。
そして揮発性物質を含むキャリアガスはガス流出管５を
通じて容器３外部に流出する。従ってモニター用ガス管
６中はガスは流れずフローメーター８は感知しない。
通じて容器３外部に流出する。従ってモニター用ガス管
６中はガスは流れずフローメーター８は感知しない。
一方、揮発性物質２が枯渇し、液面がモニター用ガス管
６の先端部７より下方に位置した時、ガス流入管１より
流入したキャリアガスは、モニター用ガス管６の先端部
７より流入し、モニター用ガス管中を流れる。従ってフ
ローメーター８はガスの流れを検知し、揮発性物質の枯
渇を知ることができる。
６の先端部７より下方に位置した時、ガス流入管１より
流入したキャリアガスは、モニター用ガス管６の先端部
７より流入し、モニター用ガス管中を流れる。従ってフ
ローメーター８はガスの流れを検知し、揮発性物質の枯
渇を知ることができる。
次に、このような揮発性物質の気化装置の使用例を第２
図に示す。揮発性物質は有機金属のトリエチルインジウ
ム４１ （Ｔ Ｅ Ｉ 、 （Ｃ２Ｈ５）ｓ Ｉｎ ）
およびトリエチルガリウム４２（ＴＥＧ、（Ｃ２Ｈ５）
３Ｇａ）であり、ＩｎＧａＡｓＰのＭＯＶＰＥ 成長の
原料として用いられる場合を示す。第１図に示した本発
明の一実施例の揮発性物質の気化装置は、４３および４
４の部分に接続されている。キャリアガスである水素（
Ｈ２）はマスフロー４５および４６で、それぞれ３ ｓ
ｏ ＣＣ／門 および８０ＣＣ／ｍに制御されてそれ
ぞれの気化装置のガス流入管１を通じてＴＥＩ４１．お
よびＴＥＧ４２へ流れ込み、バブリングして気化させる
。気化したＴＥＩおよびＴＥＧを含んだ水素はそえそれ
のガス流出管６を通じてＭＯＶＰＥ 成長炉４７へ供給
される。−方、ＰおよびＡ、の原料としては水素で５％
に希釈したホスフィン４８（ＰＨ３）およびアルシン４
９（Ａ ｓ Ｈｓ ） が用いられ、それぞれマスフロ
ー６゜および５１で１７ｏＣＣ／ｌＩｍおよび１００
ＣＣ／１１Ｍに流量制御されたのち、成長炉４７へ供給
される。
図に示す。揮発性物質は有機金属のトリエチルインジウ
ム４１ （Ｔ Ｅ Ｉ 、 （Ｃ２Ｈ５）ｓ Ｉｎ ）
およびトリエチルガリウム４２（ＴＥＧ、（Ｃ２Ｈ５）
３Ｇａ）であり、ＩｎＧａＡｓＰのＭＯＶＰＥ 成長の
原料として用いられる場合を示す。第１図に示した本発
明の一実施例の揮発性物質の気化装置は、４３および４
４の部分に接続されている。キャリアガスである水素（
Ｈ２）はマスフロー４５および４６で、それぞれ３ ｓ
ｏ ＣＣ／門 および８０ＣＣ／ｍに制御されてそれ
ぞれの気化装置のガス流入管１を通じてＴＥＩ４１．お
よびＴＥＧ４２へ流れ込み、バブリングして気化させる
。気化したＴＥＩおよびＴＥＧを含んだ水素はそえそれ
のガス流出管６を通じてＭＯＶＰＥ 成長炉４７へ供給
される。−方、ＰおよびＡ、の原料としては水素で５％
に希釈したホスフィン４８（ＰＨ３）およびアルシン４
９（Ａ ｓ Ｈｓ ） が用いられ、それぞれマスフロ
ー６゜および５１で１７ｏＣＣ／ｌＩｍおよび１００
ＣＣ／１１Ｍに流量制御されたのち、成長炉４７へ供給
される。
成長炉４７は基板５２を６７０℃に加熱し、供給された
原料の熱分解反応によって基板６２上にＩｎＧａＡｓＰ
四元混晶がエピタキシャル成長スる。
原料の熱分解反応によって基板６２上にＩｎＧａＡｓＰ
四元混晶がエピタキシャル成長スる。
このような使用例においても、有機金属原料の枯渇状態
が即時に検知でき、成長工程の円滑化がはかれる。
が即時に検知でき、成長工程の円滑化がはかれる。
尚、モニター用ガス管ｅ中を流れるガス流を検する方法
として、ガス流出管５とのガス圧差を知ることによって
も検知でき、その一実施例を第３図に示す。第１図と同
一構造部には第１図と同じ番号を記す。１０はモニター
用ガス管６とガス流出管５とのガス圧差を検知するため
の差圧計である。尚、本実施例では、差圧計１０は気化
装置に一体化して組みこまれているが、ＭＯＶＰＥ 装
置本体側に備わっていて１本気化装置と分離していても
よい。
として、ガス流出管５とのガス圧差を知ることによって
も検知でき、その一実施例を第３図に示す。第１図と同
一構造部には第１図と同じ番号を記す。１０はモニター
用ガス管６とガス流出管５とのガス圧差を検知するため
の差圧計である。尚、本実施例では、差圧計１０は気化
装置に一体化して組みこまれているが、ＭＯＶＰＥ 装
置本体側に備わっていて１本気化装置と分離していても
よい。
また、本実施例では、モニター用ガス管６中を流れるガ
ス流を検知する方法として、フローメータと差圧計を示
したが、本限りとするものではない。
ス流を検知する方法として、フローメータと差圧計を示
したが、本限りとするものではない。
発明の効果
以上のように本発明によれば、揮発性物質の気化装置に
おいてその揮発性物質の枯渇を即時にさらに極めて容易
に知ることができ、気化装置を用いた工程が非常に効率
的に行なえるため、極めて有用である。
おいてその揮発性物質の枯渇を即時にさらに極めて容易
に知ることができ、気化装置を用いた工程が非常に効率
的に行なえるため、極めて有用である。
第１図は本発明の一実施例の揮発性物質の気化装置の概
略構成図、第２図は本実施例装置の使用例としての気相
成長装置の概略ガス系統図、第３性 図は本発明の第２の実施例の揮発９物質の気化装置の概
略構成図、第４図は従来の揮発性物質の気化装置の概略
構成図である。 １・・・・・・ガス流入管、２・・・・・・揮発性物質
、４・・・・・・先端部、６・・・・・・ガス流出管、
６・・・・・・モニター用ガス管、７・・・・・・モニ
ター用ガス管先端部、８・・・・・・フローメーター、
９・・・・・・流入防止カバー。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名９−
−−７九八肢よ刀バー Ｃつ 味 吻図面の浄
計（内容に変更なし） ５．３ 第 ４ 図 第 ４ 図 手続補正書（方式） ｌ事件の表示 昭和６１年特許願第１５２４６３号 ２発明の名称 揮発性物質の気化装置 ３補正をする者 事件との関係 特 許 出 願
人任 所 大阪府門真市大字門真１００６番地名
称 （５８２）松下電器産業株式会社代表者
谷 井 昭 雄 ４代理人 〒５７１ 住 所 大阪府門真市大字門真１００６番地松下電器
産業株式会社内 ５補正命令の日付
略構成図、第２図は本実施例装置の使用例としての気相
成長装置の概略ガス系統図、第３性 図は本発明の第２の実施例の揮発９物質の気化装置の概
略構成図、第４図は従来の揮発性物質の気化装置の概略
構成図である。 １・・・・・・ガス流入管、２・・・・・・揮発性物質
、４・・・・・・先端部、６・・・・・・ガス流出管、
６・・・・・・モニター用ガス管、７・・・・・・モニ
ター用ガス管先端部、８・・・・・・フローメーター、
９・・・・・・流入防止カバー。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名９−
−−７九八肢よ刀バー Ｃつ 味 吻図面の浄
計（内容に変更なし） ５．３ 第 ４ 図 第 ４ 図 手続補正書（方式） ｌ事件の表示 昭和６１年特許願第１５２４６３号 ２発明の名称 揮発性物質の気化装置 ３補正をする者 事件との関係 特 許 出 願
人任 所 大阪府門真市大字門真１００６番地名
称 （５８２）松下電器産業株式会社代表者
谷 井 昭 雄 ４代理人 〒５７１ 住 所 大阪府門真市大字門真１００６番地松下電器
産業株式会社内 ５補正命令の日付
Claims (4)
- （１）揮発性物質中に先端部が挿入されたガス流入管と
、気化した前記揮発性物質を含んだガスを流出管と、前
記揮発性物質の利用可能な液面の最低位まで先端部が挿
入されたモニター用ガス管を備えてなる揮発性物質の気
化装置。 - （２）モニター用ガス管を流れるガスを検知する手段を
備えている特許請求の範囲第１項記載の揮発性物質の気
化装置。 - （３）モニター用ガス管を流れるガスを検知する手段が
フローメーターである特許請求の範囲第２項記載の揮発
性物質の気化装置。 - （４）モニター用ガス管を流れるガスを検知する手段が
、ガス流出管とモニター用ガス管との圧力差を検知する
差圧計である特許請求の範囲第２項記載の揮発性物質の
気化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61152463A JPS637621A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | 揮発性物質の気化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61152463A JPS637621A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | 揮発性物質の気化装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS637621A true JPS637621A (ja) | 1988-01-13 |
Family
ID=15541063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61152463A Pending JPS637621A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | 揮発性物質の気化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS637621A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020245984A1 (ja) | 2019-06-06 | 2020-12-10 | 日本電信電話株式会社 | 波長分散補償装置、光受信装置、波長分散補償方法、及びコンピュータプログラム |
-
1986
- 1986-06-27 JP JP61152463A patent/JPS637621A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020245984A1 (ja) | 2019-06-06 | 2020-12-10 | 日本電信電話株式会社 | 波長分散補償装置、光受信装置、波長分散補償方法、及びコンピュータプログラム |
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