JPS6378069U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6378069U JPS6378069U JP17224586U JP17224586U JPS6378069U JP S6378069 U JPS6378069 U JP S6378069U JP 17224586 U JP17224586 U JP 17224586U JP 17224586 U JP17224586 U JP 17224586U JP S6378069 U JPS6378069 U JP S6378069U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roll
- film
- contact
- circumferential contact
- vacuum chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010408 film Substances 0.000 claims 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
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- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
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- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案装置のキヤンロールの一例を示
す表面展開図、第２図は本考案装置のキヤンロー
ルの他の一例を示す表面展開図、第３図は従来装
置の一例を示す説明図、第４図イ、ロは従来装置
のキヤンロールの一例を示すもので、イは側面図
、ロは表面展開図である。 １…真空槽、２…送出しロール、３…巻取りロ
ール、４…キヤンロール、５…プラスチツクフイ
ルム、６…アノード、７…ターゲツト、８…カソ
ード、９…仕切板、１０…排気口、１１…溝。
す表面展開図、第２図は本考案装置のキヤンロー
ルの他の一例を示す表面展開図、第３図は従来装
置の一例を示す説明図、第４図イ、ロは従来装置
のキヤンロールの一例を示すもので、イは側面図
、ロは表面展開図である。 １…真空槽、２…送出しロール、３…巻取りロ
ール、４…キヤンロール、５…プラスチツクフイ
ルム、６…アノード、７…ターゲツト、８…カソ
ード、９…仕切板、１０…排気口、１１…溝。
Claims (1)
- 所定の雰囲気となるように構成した真空槽内で
、送出しロールと巻取りロールによりフイルムを
キヤンロールの表面と周接して走行させ、キヤン
ロールと周接するフイルムの表面と相対して所望
物質を連続的に付着せしめる蒸着源又はスパツタ
源を設けた装置において、フイルムと周接するキ
ヤンロールの表面に、回転方向と交差する多数の
溝を設けたことを特徴とする巻取式薄膜形成装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17224586U JPS6378069U (ja) | 1986-11-10 | 1986-11-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17224586U JPS6378069U (ja) | 1986-11-10 | 1986-11-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6378069U true JPS6378069U (ja) | 1988-05-24 |
Family
ID=31108613
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17224586U Pending JPS6378069U (ja) | 1986-11-10 | 1986-11-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6378069U (ja) |
-
1986
- 1986-11-10 JP JP17224586U patent/JPS6378069U/ja active Pending