JPS63803A - 磁気ヘツド - Google Patents
磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS63803A JPS63803A JP61032323A JP3232386A JPS63803A JP S63803 A JPS63803 A JP S63803A JP 61032323 A JP61032323 A JP 61032323A JP 3232386 A JP3232386 A JP 3232386A JP S63803 A JPS63803 A JP S63803A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- film
- sendust
- track
- sputtering
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、高保磁力の磁気記録媒体に高密度に情報を記
録するのに適した磁気ヘッドに関するものである。
録するのに適した磁気ヘッドに関するものである。
従来の技術
高密度磁気記録再生においては、記録媒体の保磁力を大
きくすれば有利であることが一般に知られているが、高
保磁力の記録媒体に情報を記録するためには強い磁場が
必要となる。ヘッドコア材として主流をなすフェライト
材はその飽和磁束密度が４０００〜５０００ガウス程度
であるために、得られる記録磁界の強さに限界があり、
磁気記録媒体の保磁力が１０００エルステツドを越えて
くると記録が不十分になるという欠点がある。
きくすれば有利であることが一般に知られているが、高
保磁力の記録媒体に情報を記録するためには強い磁場が
必要となる。ヘッドコア材として主流をなすフェライト
材はその飽和磁束密度が４０００〜５０００ガウス程度
であるために、得られる記録磁界の強さに限界があり、
磁気記録媒体の保磁力が１０００エルステツドを越えて
くると記録が不十分になるという欠点がある。
一方、金属磁性材料で総称されるセンダスト、パーマロ
イ等の結晶質磁性合金、あるいは非晶質合金などを用い
た磁気ヘッドは、−Ｓにフェライト材より飽和磁束密度
の高いものがあり、かつ摺動ノイズも低いという優れた
特徴を有するが、各金属磁性材料ごとに、加工性、耐摩
耗性、高周波特性等に欠点を有している。
イ等の結晶質磁性合金、あるいは非晶質合金などを用い
た磁気ヘッドは、−Ｓにフェライト材より飽和磁束密度
の高いものがあり、かつ摺動ノイズも低いという優れた
特徴を有するが、各金属磁性材料ごとに、加工性、耐摩
耗性、高周波特性等に欠点を有している。
しかしながら、高保磁力の磁気記録媒体には前述したよ
うに、フェライトヘッドは飽和磁束密度が小さいという
致命的欠点を有しており、センダストなどの金属磁性材
料によるヘッドが適している。
うに、フェライトヘッドは飽和磁束密度が小さいという
致命的欠点を有しており、センダストなどの金属磁性材
料によるヘッドが適している。
発明が解決しようとする問題点
センダストヘッドに於ては、従来から加工性及び１ｌｉ
ｉｔ ｍ！耗性に難点があることが指摘されてきた。
ｉｔ ｍ！耗性に難点があることが指摘されてきた。
特に高密度記録のための狭トラツク加工とその加工部の
ガラスモールドに難点があり、従来行れているフェライ
トヘッドと同様の工程で加工するとく例えば特開昭５７
−１７６５２７号公報に開示されている）モールドガラ
スとセンダスト材との間の接着強度の不足により、モー
ルドガラスのはずれ、モールドガラス中の気泡の発生等
が生じ、この気泡がテープ摺動面に存在すると、テープ
を傷つける原因となる。
ガラスモールドに難点があり、従来行れているフェライ
トヘッドと同様の工程で加工するとく例えば特開昭５７
−１７６５２７号公報に開示されている）モールドガラ
スとセンダスト材との間の接着強度の不足により、モー
ルドガラスのはずれ、モールドガラス中の気泡の発生等
が生じ、この気泡がテープ摺動面に存在すると、テープ
を傷つける原因となる。
問題点を解決するための手段
本発明は、前記問題点を解決するために、センダスト材
料を用いたヘッドで、トラック加工面にＣｒ膜を形成し
、その上にＳｉＯ□膜または、耐熱ガラス膜を６成し、
その上にモールド用ガラスよりも作業点の低いガラスを
スパッタした後にガラスモールドを行うものである。
料を用いたヘッドで、トラック加工面にＣｒ膜を形成し
、その上にＳｉＯ□膜または、耐熱ガラス膜を６成し、
その上にモールド用ガラスよりも作業点の低いガラスを
スパッタした後にガラスモールドを行うものである。
作用
昇温時にＳｉｎ、上にスバ・ツタされたガラスがまず軟
かくなる。但しこのガラスはスパッタにより着膜された
ためにＳｉＯ□との結合は非常に強いものになっている
。さらに温度を上げるとモールドガラスが軟かくなりト
ランク加工部に充たされていくが、先にスパッタされた
ガラスとの境界はガラス同志のために相性がよく、スム
ーズにガラスが流れていくので気泡が発生することなく
ガラスモールドされる。またガラス同志のため境界では
ガラスが反応し、非常に大きな結合力を持つためにモー
ルドガラスのはずれなども起こりにくい。
かくなる。但しこのガラスはスパッタにより着膜された
ためにＳｉＯ□との結合は非常に強いものになっている
。さらに温度を上げるとモールドガラスが軟かくなりト
ランク加工部に充たされていくが、先にスパッタされた
ガラスとの境界はガラス同志のために相性がよく、スム
ーズにガラスが流れていくので気泡が発生することなく
ガラスモールドされる。またガラス同志のため境界では
ガラスが反応し、非常に大きな結合力を持つためにモー
ルドガラスのはずれなども起こりにくい。
実施例
（実施例１）
第２図に示したようにセンダスト材１にトラック加工を
行う。このバーを真空槽に入れ、３Ｘ１０−６Ｔ ｏ
ｒ ｒ以上の高真空に排気した後、トラ、り加工面６に
Ｃｒ膜２．５ｉ０２膜３、ガラス薄膜４を順次形成する
。この時スパッタ圧力は、５〜５０ｍＴｏ ｒ ｒ程度
であり、被スパツタ粒子の平均自由工程は短いので、ま
わり込みによりトラック溝の側面７にも付着成膜される
。なおＳｉ Ｏ２、ガラスをスパッタする時には、Ａｒ
ガスに０２ガスを混合することが望ましい。
行う。このバーを真空槽に入れ、３Ｘ１０−６Ｔ ｏ
ｒ ｒ以上の高真空に排気した後、トラ、り加工面６に
Ｃｒ膜２．５ｉ０２膜３、ガラス薄膜４を順次形成する
。この時スパッタ圧力は、５〜５０ｍＴｏ ｒ ｒ程度
であり、被スパツタ粒子の平均自由工程は短いので、ま
わり込みによりトラック溝の側面７にも付着成膜される
。なおＳｉ Ｏ２、ガラスをスパッタする時には、Ａｒ
ガスに０２ガスを混合することが望ましい。
スパッタ着膜後、真空槽からとり出した後、コアブロッ
ク上にモールドガラス捧を置き加熱溶融してトラック溝
にガラスを流し込む。
ク上にモールドガラス捧を置き加熱溶融してトラック溝
にガラスを流し込む。
（実施例２）
実施例１のトラック溝に着膜させる５ｉｎ２の代りに耐
熱酸化物膜としてｚｒｏ２を用い、他の工程は実施例１
と同様の工程でガラスモールドを行う。なお耐熱ガラス
膜のスパッタ時にもＡｒガスに０□ガスを混合すること
が望ましい。耐熱性酸化物膜としては前記Ｚｒ○２以外
にもＡｌ２Ｏ３、ＴｉＯ□などガラスとの濡れ性のよい
耐熱酸化物膜であれば同様の効果が得られる。
熱酸化物膜としてｚｒｏ２を用い、他の工程は実施例１
と同様の工程でガラスモールドを行う。なお耐熱ガラス
膜のスパッタ時にもＡｒガスに０□ガスを混合すること
が望ましい。耐熱性酸化物膜としては前記Ｚｒ○２以外
にもＡｌ２Ｏ３、ＴｉＯ□などガラスとの濡れ性のよい
耐熱酸化物膜であれば同様の効果が得られる。
実施例１．２ともに問題となるのはスパッタされるガラ
スと、モールド用ガラスの作業点の高低が問題であり、
モールド用ガラスの作業点がスバ・ツタされるガラスの
作業点よりも０〜１００°Ｃ高ければ、同様の効果が得
られるものと考えられる。
スと、モールド用ガラスの作業点の高低が問題であり、
モールド用ガラスの作業点がスバ・ツタされるガラスの
作業点よりも０〜１００°Ｃ高ければ、同様の効果が得
られるものと考えられる。
発明の効果
以上述べてきたように本発明によれば、将来の方法に比
べ気泡を少なく、またセンダストとガラスの接着強度を
非常に強く出来るため、金属磁性ヘッドを分留りよく作
製することが出来、非常に有用である。
べ気泡を少なく、またセンダストとガラスの接着強度を
非常に強く出来るため、金属磁性ヘッドを分留りよく作
製することが出来、非常に有用である。
第１図は本発明の一実施例による磁気ヘッドの断面図、
第２図はトランク加工を行ったセンダスト材の斜視図で
ある。 ■・・・・・・センダスト材、２・・・・・・Ｃｒスパ
ッタ膜、３・・・・・・５ｉ０２スパツタ膜、４・・・
・・・ガラススパッタ膜、５・・・・・・モールドガラ
ス、６・・・・・・トラック加工面、７・・・・・・ト
ラック溝側面。
第２図はトランク加工を行ったセンダスト材の斜視図で
ある。 ■・・・・・・センダスト材、２・・・・・・Ｃｒスパ
ッタ膜、３・・・・・・５ｉ０２スパツタ膜、４・・・
・・・ガラススパッタ膜、５・・・・・・モールドガラ
ス、６・・・・・・トラック加工面、７・・・・・・ト
ラック溝側面。
Claims (3)
- （１）ヤンダスト材料のトラック加工面にクロム膜、二
酸化ケイ素もしくは耐熱酸化物膜、およびガラス膜を積
層し、ガラスモールドしたことを特徴とする磁気ヘッド
。 - （２）クロム膜、二酸化ケイ素膜もしくは耐熱酸化物膜
、ガラス膜はスパッタ蒸着で形成することを特徴とする
特許請求の範囲第（１）項記載の磁気ヘッド。 - （３）スパッタ蒸着されるガラスは、ガラスモールドさ
れるガラスよりも０℃〜１００℃作業点が、低いことを
特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載の磁気ヘッド
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61032323A JPS63803A (ja) | 1986-02-17 | 1986-02-17 | 磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61032323A JPS63803A (ja) | 1986-02-17 | 1986-02-17 | 磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63803A true JPS63803A (ja) | 1988-01-05 |
Family
ID=12355732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61032323A Pending JPS63803A (ja) | 1986-02-17 | 1986-02-17 | 磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63803A (ja) |
-
1986
- 1986-02-17 JP JP61032323A patent/JPS63803A/ja active Pending
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