JPS6384870A - 砥粒流動加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、特に内径が１罵薦以下の微細穴加工に好適す
る砥粒流動加工装置に関する。

（従来の技術） パ従来、内径がｌｎ＋以下の微細穴内面の研磨加−」士
法としては、ワイヤを微細穴に挿通して研磨するワイヤ
ラップ加工法や微細大中を砥粒と粘弾性を有する結合材
とを混練してなるメディアを圧接移動させることにより
研磨する砥粒流動加工法がある。

しかるに、前者のワイヤラップ加工法では、生産性が悪
く、製品のコスト増の主因となっていた。

他方、後者の砥粒流動加工法は、内径がＩ　１１１以上
の微細穴の場合には、生産性がよく量産に適しているが
、内径が１ｔｍ以下の微細穴加工では、砥粒が通過しに
＜＜、加工能率が低くなる欠点をもっている。

（発明が解決しようとする問題点） 本発明は、上述したように、１ｍｚ以下の微細穴加工を
高精度かつ高能率で行う適当な加工法がないことに着目
してなされたもので、微小穴の研磨を迅速かつ確実に行
うことができる砥粒流動加工装置を提供することを目的
とする。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段と作用）通孔を有する被
加工物を保持する保持部と、この保持部により保持され
ている被加工物の通孔に砥粒及びこの砥粒を分散保持す
る流動性の結合材からなるメディアをして通過させるメ
ディア供給部と、上記メディアに超音波振動を印加する
超音波印加部とからなり、超音波の印加によりメディア
の粘性を低下させることＫより、その流動性暮向上させ
るようにしたものである。

（実施例） 以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳述する。

図は、この実施例の砥粒流動加工装置を示している。こ
の装置は、例えば内径が５００μｍの微細穴（１）を有
する板状の被加工物（２）を保持する保持部（３）と、
この保持部（３）Ｋ保持されている被加工物（２）の微
細穴（１）の一方の開口から他方の開口に例えばメツシ
ュサイズ＃　１０００程度のダイヤモンドなどの砥粒（
４）・・・とこの砥粒を分散保持する例えばシリコーン
ゴムなどの流動性を有する結合材とからなるメ、部（３
）に超音波振動を印加する超音波印加部（７）とから構
成されている。しかして、保持部（３）は、被加工物（
２）を上端面中央部に保持する円筒状の下治具（８）と
、この下治具（８）上方に同軸的に配設されこの下治具
（８）とともに被加工物（２）を挾持する円筒状の上治
具（９）とからなっている。上記下治具（８）の上端面
には、被加工物（２）を嵌合・埋設する凹部（８りが凹
設されている。一方、メディア供給部（６）は、上端面
に下治具（８）が同軸に連結され固定して設けられた円
筒状の下クランパα１と、下端面に上治具（９）が同軸
に連結され図示せぬ加圧機構により下クランパ翰に対し
て押圧される円筒状の上クランパ（１１Ｊと、下クラン
パ（ＩＱに摺動自在に嵌挿されたピストンａ３と、この
ピストンα２を上下方向に駆動する駆動機構（図示せず
）と、メディア（５）を下クランパ部内に圧入させるメ
ディア圧入機構（図示せず）とからなっている。上記、
上、下り２ンパαυ、α０の対向端部は、拡径して鍔部
（ｌｌａ）、　（ｌｏａ）となっている。さらに、超音
波印加部（力は、先端部が下−ンＱ３に超音波振動を発
生させる超音波源Ｉとからなっている。

しかして、上記構成の砥粒流動加工装置の作動について
述べる。

まず、上クランパ（９）を上方（矢印（１５ａ）方向）
に移動させ、被加工物（２）を凹部鵠に嵌合させる。つ
ぎに、上クランパ（９）を下降（矢印（１５ｂ）方向）
させ、被加工物（２）を上、下治具（９）ｉ８）により
挟圧保持する。このとき下治具（８）の上側開口は、被
加工物（２）により閉塞されている。つづいて、メディ
ア圧入機構より下クランパａＣ内にメディア（５）を供
給する。

同時に、超音波源Ｉを起動させ超音波ホーン（１３より
超音波を下治具（８）を介して被加工物（２）に印加す
る。かくて、駆動機構を作動させてピストンαりを矢印
（１５ａ）方向に上昇させる。すると、メディア（５）
は、ピスト／Ｑ″！Ｊにより押し上げられ、被加工物（
２）の微細穴（１）を通過して下夛２ンパ（９）から上
クランパ０υに圧送される。このとき、微細穴（１）を
通過するメディア（５）には超音波振動が印加される。

このため、メディア（５）内の砥粒（４）・・・が均一
に分散するとともに、発熱により結合材（例えばシリコ
ーンゴム）が軟化する。その結果、メディア（５）の粘
性抵抗が大幅に低下し、流動性が著しく向上する。

したがって、メディア（５）は、微細穴（１）中をつま
ることなく円滑に通過することができるので、高精度か
つ高能率で微細穴（１）を研磨加工することができる。

なお、上記実施例においては、微細穴が１個の場合を例
示しているが、複数穴の場合にも適用でき、とくＫこの
場合、加工能率がすこぶる向上する。また、超音波振動
の印加方向は、微細穴の径方向のみならず、軸方向でも
よい。また、超音波ホーンの取付位置は、上、下クラン
パであってもよい。

〔発明の効果〕

本発明の砥粒流動加工装置は、流動メディアに超音波を
印加することにより、その流動性を高めるようにしたも
ので、内径１鵡以下の微細穴の研磨加工を高精度かつ高
能率で行うことができる。

ことに、多数の微細穴の同時研磨加工に適用した場合に
格別の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例の砥粒流動装置の構成図である
。 （１）：微細穴（通孔）、　（２）：被加工物、（３）
：保持部、　　　（４）：砥　粒、（５）：メディア、
（ｅ）：メディア供給部、（７）：超音波印肌部。 代理人　弁理士　　則　近　憲　佑 同　　　　　竹　花　喜久男

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 通孔を有する被加工物を保持する保持部と、この保持部
   により保持されている被加工物の通孔に砥粒及び上記砥
   粒を分散保持する流動性の結合材からなるメディアを供
   給かつ通過させ上記通孔を研磨加工するメディア供給部
   と、上記通孔を通過するメディアに超音波振動を印加す
   る超音波印加部とを具備することを特徴とする砥粒流動
   加工装置。