JPS6384931U - - Google Patents
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- JPS6384931U JPS6384931U JP17990286U JP17990286U JPS6384931U JP S6384931 U JPS6384931 U JP S6384931U JP 17990286 U JP17990286 U JP 17990286U JP 17990286 U JP17990286 U JP 17990286U JP S6384931 U JPS6384931 U JP S6384931U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermocouple
- semiconductor wafer
- vapor phase
- phase growth
- support stand
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims description 4
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims 1
- 239000000376 reactant Substances 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案の気相成長装置の縦断面図、第
２図は従来の気相成長装置の断面図である。 １……抵抗ヒーター、２……サセプタ、３……
半導体ウエーハ、４……反応ガス供給部、５……
排気管、６……熱電対、７……熱電対（半導体ウ
エーハ用）、８……半導体ウエーハカセツト、１
０……熱電対移動支持台、１１……温度計測器。
２図は従来の気相成長装置の断面図である。 １……抵抗ヒーター、２……サセプタ、３……
半導体ウエーハ、４……反応ガス供給部、５……
排気管、６……熱電対、７……熱電対（半導体ウ
エーハ用）、８……半導体ウエーハカセツト、１
０……熱電対移動支持台、１１……温度計測器。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ヒータの上部に取付けられた搬送可能なサセプ
タに載置して、加熱された半導体ウエーハの表面
に反応ガスを吹きつけて薄膜を連続して気相成長
させる装置において、 前記反応ガスの供給部近傍で、サセプタ上方に
、上下垂直方向および左右横方向に移動可能な熱
電対移動支持台を配置し、該熱電対移動支持台に
支持される熱電対が、搬送中の半導体ウエーハに
一定期間接触しながら温度測定を行なうことを特
徴とする気相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17990286U JPS6384931U (ja) | 1986-11-21 | 1986-11-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17990286U JPS6384931U (ja) | 1986-11-21 | 1986-11-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6384931U true JPS6384931U (ja) | 1988-06-03 |
Family
ID=31123374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17990286U Pending JPS6384931U (ja) | 1986-11-21 | 1986-11-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6384931U (ja) |
-
1986
- 1986-11-21 JP JP17990286U patent/JPS6384931U/ja active Pending
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