JPS6397232U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6397232U JPS6397232U JP19317386U JP19317386U JPS6397232U JP S6397232 U JPS6397232 U JP S6397232U JP 19317386 U JP19317386 U JP 19317386U JP 19317386 U JP19317386 U JP 19317386U JP S6397232 U JPS6397232 U JP S6397232U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- loader
- core tube
- furnace core
- shaft
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案に係る半導体製造装置の一実施
例を示した斜視図、第２図は要部拡大縦断面図で
ある。第３図は従来の半導体製造装置の縦断面図
、第４図は平面説明図である。 １…炉芯管、３…加熱体、４…ボート受け、７
…ボート、８…半導体ウエーハ、９…ボートロー
ダ、１１…ローダ軸、１２…押込ロツド、１６…
空気清浄器、１７…エア吹出口、２１…切欠溝、
２２…防風カバー。
例を示した斜視図、第２図は要部拡大縦断面図で
ある。第３図は従来の半導体製造装置の縦断面図
、第４図は平面説明図である。 １…炉芯管、３…加熱体、４…ボート受け、７
…ボート、８…半導体ウエーハ、９…ボートロー
ダ、１１…ローダ軸、１２…押込ロツド、１６…
空気清浄器、１７…エア吹出口、２１…切欠溝、
２２…防風カバー。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 加熱体にて加熱される炉芯管と、炉芯管の半導
体ウエーハ挿入口と対向させて設けたボート受け
と、上記炉芯管に並設され、かつ、突出退入動作
するローダ軸に、半導体ウエーハを整列配置した
ボートをボート受けと炉芯管との間で出し入れす
る押込みロツドを取付けたボートローダと、ボー
トローダのローダ軸にそつて設けたエア吹出口か
らボートに整列配置された半導体ウエーハに向か
つてクリーンエアを吹き出す空気清浄器とを具備
した半導体製造装置において、 上記ボートローダのローダ軸を、該ローダ軸に
取付けた押込ロツドが通過し得る切欠溝を長手方
向に形成した防風カバーで囲繞したことを特徴と
する半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19317386U JPS6397232U (ja) | 1986-12-15 | 1986-12-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19317386U JPS6397232U (ja) | 1986-12-15 | 1986-12-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6397232U true JPS6397232U (ja) | 1988-06-23 |
Family
ID=31148950
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19317386U Pending JPS6397232U (ja) | 1986-12-15 | 1986-12-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6397232U (ja) |
-
1986
- 1986-12-15 JP JP19317386U patent/JPS6397232U/ja active Pending