JPS6418729U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6418729U JPS6418729U JP11267087U JP11267087U JPS6418729U JP S6418729 U JPS6418729 U JP S6418729U JP 11267087 U JP11267087 U JP 11267087U JP 11267087 U JP11267087 U JP 11267087U JP S6418729 U JPS6418729 U JP S6418729U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafers
- lamp
- annealing
- setting
- utility
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Furnace Details (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示すアニール装置の
構成図、第２図は第１図の―線断面図である
。 １……石英チユーブ、２……ランプ、３……ウ
エハ、４……ウエハ支持器、５……石英蓋、６…
…パイロメータ、７……ガス導入口、８……排気
口。
構成図、第２図は第１図の―線断面図である
。 １……石英チユーブ、２……ランプ、３……ウ
エハ、４……ウエハ支持器、５……石英蓋、６…
…パイロメータ、７……ガス導入口、８……排気
口。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (a) 複数のウエハを多段状にセツトするウエハ
支持器と、 (b) それらの各ウエハの上下に配置可能な回転
機構を具備するランプと、 (c) 同時に複数のウエハを短時間ランプアニー
ルする手段を具備するようにしたことを特徴とす
るアニール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11267087U JPS6418729U (ja) | 1987-07-24 | 1987-07-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11267087U JPS6418729U (ja) | 1987-07-24 | 1987-07-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6418729U true JPS6418729U (ja) | 1989-01-30 |
Family
ID=31351818
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11267087U Pending JPS6418729U (ja) | 1987-07-24 | 1987-07-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6418729U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014130900A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Shimadzu Corp | 加熱装置 |
-
1987
- 1987-07-24 JP JP11267087U patent/JPS6418729U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014130900A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Shimadzu Corp | 加熱装置 |