JPS6433746U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6433746U JPS6433746U JP12808787U JP12808787U JPS6433746U JP S6433746 U JPS6433746 U JP S6433746U JP 12808787 U JP12808787 U JP 12808787U JP 12808787 U JP12808787 U JP 12808787U JP S6433746 U JPS6433746 U JP S6433746U
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- JP
- Japan
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- wafer
- positioning
- mechanism section
- section
- guide
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- Pending
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 7
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 10
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第１図はこの考案にかかる一実施例の装置の斜
視図、第２図ａ，ｂは第１図のウエーハ定位機構
部を示し、第２図ａはウエーハ定位機構部の一部
の斜視図、第２図ｂは第２図ａの破線に沿う断面
図、第３図は従来例の装置の斜視図である。 １１……ウエーハ搬送機構部、１２……ウエー
ハ定位機構部、１３……ウエーハ支持機構部、２
１……走行ベルト、２２……ガイドレール、３２
……定位溝、２３……ウエーハ支持体、２３ａ…
…開孔、１００……ウエーハ。
視図、第２図ａ，ｂは第１図のウエーハ定位機構
部を示し、第２図ａはウエーハ定位機構部の一部
の斜視図、第２図ｂは第２図ａの破線に沿う断面
図、第３図は従来例の装置の斜視図である。 １１……ウエーハ搬送機構部、１２……ウエー
ハ定位機構部、１３……ウエーハ支持機構部、２
１……走行ベルト、２２……ガイドレール、３２
……定位溝、２３……ウエーハ支持体、２３ａ…
…開孔、１００……ウエーハ。
Claims (1)
- 被処理ウエーハを搬送するウエーハ搬送機構部
、上記ウエーハ搬送機構部におけるウエーハをそ
の搬送方向に沿つてガイドする対のガイドレール
とこのガイドレールの終端に形成されウエーハを
落し入れる定位溝を備えたウエーハ定位置機構部
、および、ウエーハ処理部へ移行された上記ウエ
ーハ定位機構部からウエーハを受けて固持するウ
エーハ支持機構部を具備した半導体用ウエーハの
位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12808787U JPS6433746U (ja) | 1987-08-25 | 1987-08-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12808787U JPS6433746U (ja) | 1987-08-25 | 1987-08-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6433746U true JPS6433746U (ja) | 1989-03-02 |
Family
ID=31381097
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12808787U Pending JPS6433746U (ja) | 1987-08-25 | 1987-08-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6433746U (ja) |
-
1987
- 1987-08-25 JP JP12808787U patent/JPS6433746U/ja active Pending