JPS6437035U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例による装置の断面側
面図、第２図Ａ及び同図Ｂは第１図のＸ−Ｘ′線
及びＹ−Ｙ′線に沿つた各断面図、第３図は従来
装置の断面側面図、第４図は第３図の上部電極の
平面図、第５図乃至第７図は被処理体のエツチン
グ前と後を示す各断面図である。 図中、１０１……ベルジヤ、１０１ａ……第１
の排気口、１０２……上部電極、１０２ａ……上
部電極板、１０２ａ_１……第２の排気口、１０２
ａ_２……ガス導入口、１０２ｂ……上部支持軸、
１０２ｂ_１……排気経路部、１０２ｂ_２……ガス
導入経路部、１０３……下部電極、１０３ａ……
下部電極板、１０３ｂ……下部支持軸、１０５…
…マニホールド、１０６……第１の排気量調整器
、１０７……第２の排気量調整器。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ベルジヤ内に反応ガスを導入するためのガ
   ス導入口と、該ガス導入口に対向配置され、被処
   理体を支持する支持手段と、上記ベルジヤ内を排
   気するための排気口とを備え、上記ベルジヤ内に
   導入された反応ガスをガスプラズマ化して上記被
   処理体をプラズマ処理するプラズマ処理装置にお
   いて、 排気口を、支持手段の外周囲を相対的に囲む第
   １の排気口と上記支持手段に支持された被処理体
   の中央部に対向配置された第２の排気口とから構
   成し且つガス導入口を上記第２の排気口の周囲を
   囲んで配置したことを特徴とするプラズマ処理装
   置。 (2) 第１及び第２の排気口からベルジヤ外に導
   出した排気経路上の排気量を各々個別に調整する
   排気量調整手段を備えたことを特徴とする実用新
   案登録請求の範囲第１項記載のプラズマ処理装置
   。