JPS643823Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は電子顕微鏡本体に吊り下げて取り付け
られる電子顕微鏡等のクライオポンプ装置の改良
に関する。

最近、高真空が要求される真空装置に油拡散ポ
ンプ等に比べて、よりクリーンな真空を得ること
のできるクライオポンプが使われ始めた。第１図
はこのようなクライオポンプを電子顕微鏡に接続
した例を示しており、１は電子顕微鏡鏡筒に連通
した被排気空間であり、２はフランジを示してい
る。このフランジ２にはクライオポンプのケース
３が一体的に取り付けられている。ケース３には
クライオポンプの駆動部４が金属性ベローズ５に
よつて吊り下げられている。駆動部４にはデイス
プレーサー６が取り付けられており、このデイス
プレーサー６の先端には第１，第２のコールドパ
ネル７，８が取り付けられている。駆動部４には
モータと外部から循環してくるガスの流通を制御
するための弁等が内蔵されている。又デイスプレ
ーサー６にはピストン及び熱交換材が内蔵されて
おり、モータによつて弁の開閉とピストンの運動
を行つて前記ガスの断熱膨張を行わしめて第１，
第２のコールドパネル７，８を冷却する。９はバ
ツフルである。被排気空間１の真空度が上昇して
行くと駆動部４を吸い込む向きの力が生じるが、
この吸い込み力によつてベローズ５が過度に圧縮
されないようにするため錘り１０が駆動部４に取
り付けられている。又、被排気空間１の真空度が
低い場合には上記吸い込み力が生じないため駆動
部等の全重量がベローズ５にかかるが、このよう
な場合に駆動部４を支持してベローズ５に過大な
重量がかかるのを防ぐため、支持枠１１が前記ケ
ース３に一体的に取り付けられている。第１のコ
ールドパネル７がケース３に接触するとこのパネ
ル６を極めて低い温度に保つことができなくなる
ため、このバネル７とケース３との間はわずかな
間隔をおいて離間されているが、前記駆動部４内
の運動やデイスプレーサー６内のピストンの運動
に起因してデイスプレーサー６が歳差運動を行う
とパネル７とケース３とが接触してしまう。従つ
てこのようなデイスプレーサー６の歳差運動を押
さえるため駆動部４の下部は細いワイヤー１２
ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄによつて前記支持枠
１１につながれている。

上述した如き構成の従来装置においては、駆動
部４側からの高周波振動がベローズ５及びケース
３を介して電子顕微鏡の鏡筒に伝わるため、良質
の電子顕微鏡像を得る上で障害となつている。

本考案はこのような従来の欠点を解決すべくな
されたもので、電子顕微鏡本体に取り付けられた
クライオポンプのケースと、該ケースにベローズ
を介して吊り下げられたポンプ駆動部と、ポンプ
駆動部に取り付けられ前記ケース内に挿入された
デイスプレーサー及び冷却パネルとを備え、前記
電子顕微鏡の被排気空間が高真空になつた際に前
記駆動部が吸引されることに伴つて前記ベローズ
に圧縮力が加わる装置において、前記ベローズの
外周又は内周にゴム又は合成樹脂の弾性体より成
る筒状部材が設けられており、該筒状部材と前記
ベローズの凸部は接触せしめられており、該筒状
部材は前記ベローズの圧縮時に前記ケースと前記
駆動部に挟まれるようになつており、前記ベロー
ズの圧縮に抗するため前記筒状部材の自然長は該
圧縮時の前記ベローズの長さより長くされている
ことを特徴としている。

以下第２図に基づき本考案の一実施例を詳述す
る。

第１図と同一の構成要素に対しては同一番号が
付された第２図において、１３はゴムより成る筒
状部材であり、この筒状部材１３の一端はケース
３の下端に接着されており、その他端は駆動部４
の上端に接着されている。この筒状部材１３の自
然な状態での内径はベローズ５の外面の凸部Ｔの
径よりやや小さめなものが選ばれており、従つて
ベローズ５の外面凸部Ｔとこの筒状部材１３の内
面とは一様に強い圧力で接触している。又、前記
電子顕微鏡の被排気空間１が高真空になつた際に
前記駆動部４が吸引されることに伴い前記ベロー
ズ５が圧縮されると、前記筒状部材１３はケース
３と駆動部４に挟まれるが、前記ベローズの圧縮
に抗するため、前記筒状部材１３の自然長は該圧
縮時の前記ベローズ５の長さより長くされてい
る。

このような構成においては、駆動部４側から発
生しベローズ５を伝わる高周波振動はベローズ５
の凸部Ｔに到達する毎にこの凸部Ｔに接触してい
る筒状部材１３によつて反射されるため、ベロー
ズ５を介してケース３側に伝わる過程において充
分減衰されてしまう。

又、被排気空間１が高真空になつた際に生じる
前記吸い込み力は筒状部材１３の効力と釣り合う
ためベローズ５は過度に圧縮されることはない。
又被排気空間１が低真空になり前記吸い込み力が
無くなつた際には、駆動部４及びデイスプレーサ
ー６等の重量は筒状部材１３及びベローズ５によ
つて支えることになるため、ベローズ５に過大な
重量がかかることはない。又、駆動部４内の運動
やデイスプレーサー６内のピストンの運動によつ
て生ずるデイスプレーサー６の歳差運動は駆動部
４が筒状部材１３によつてケース３にしつかり固
定されているため抑えることができ、装置を極め
て小型にできると共に、従来用いていた錘りを不
要にできるためポンプの取り付けを容易に行い得
るとの特有の効果を有する。

尚、上述した実施例においては筒状部材１３の
材質としてゴムを用いたが、ゴムに限らず、良好
な高周波振動吸収特性を有すると共に弾性に富み
強い応力を有するものならプラスチツク等の合成
樹脂を用いても良い。

上述した説明より明らかなように、本考案に基
づく装置においては、前記ベローズの外周又は内
周にゴム又は合成樹脂の弾性体より成る筒状部材
が設けられており、該筒状部材と前記ベローズの
凸部は接触せしめられいるため、前記ベローズを
介してクライオポンプ側から電子顕微鏡鏡筒側へ
伝達される高周波振動を吸収できると共に、該筒
状部材は前記ベローズの圧縮時に前記ケースと前
記駆動部に挟まれるようになつており、且つ前記
ベローズの圧縮に抗するため前記筒状部材の自然
長は該圧縮時の前記ベローズの長さより長くされ
ているため、前記筒状部材は、被排気空間が高真
空になつた際に生ずる前記ベローズの圧縮を防ぐ
ための支柱としても兼用でき、従来のように別個
に支柱、支持枠あるいは錘り等を必要としないた
め、装置を小型化することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来装置を示すための図、第２図は本
考案の一実施例を示すための図である。 １：被排気空間、２：フランジ、３：ケース、
４：駆動部、５：ベローズ、６：デイスプレーサ
ー、７，８：コールドパネル、９：バツフル、１
０：錘り、１１：支持枠、１２ａ，１２ｂ，１２
ｃ，１２ｄ：ワイヤー、１３：筒状部材。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 電子顕微鏡本体に取り付けられたクライオポン
   プのケースと、該ケースにベローズを介して吊り
   下げられたポンプ駆動部と、ポンプ駆動部に取り
   付けられ前記ケース内に挿入されたデイスプレー
   サー及び冷却パネルとを備え、前記電子顕微鏡の
   被排気空間が高真空になつた際に前記駆動部が吸
   引されることに伴つて前記ベローズに圧縮力が加
   わる装置において、前記ベローズの外周又は内周
   にゴム又は合成樹脂の弾性体より成る筒状部材が
   設けられており、該筒状部材と前記ベロースの凸
   部は接触せしめられており、該筒状部材は前記ベ
   ローズの圧縮時に前記ケースと前記駆動部に挟ま
   れるようになつており、前記ベローズの圧縮に抗
   するため前記筒状部材の自然長は該圧縮時の前記
   ベローズの長さより長くされていることを特徴と
   する電子顕微鏡等のクライオポンプ装置。