JPS6440041U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6440041U JPS6440041U JP13663287U JP13663287U JPS6440041U JP S6440041 U JPS6440041 U JP S6440041U JP 13663287 U JP13663287 U JP 13663287U JP 13663287 U JP13663287 U JP 13663287U JP S6440041 U JPS6440041 U JP S6440041U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- package
- semiconductor
- sensitive element
- sensitive
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係る半導体圧力セ
ンサの縦断面図、第２図は従来の半導体圧力セン
サの縦断面図である。 １：パツケージ、１ａ，１ｂ：圧力導入ポート
、１ｃ：表面側、１ｄ：裏面側、２：金線、３：
リード端子、４：ステム、５：感圧素子。
ンサの縦断面図、第２図は従来の半導体圧力セン
サの縦断面図である。 １：パツケージ、１ａ，１ｂ：圧力導入ポート
、１ｃ：表面側、１ｄ：裏面側、２：金線、３：
リード端子、４：ステム、５：感圧素子。
Claims (1)
- 差圧及びゲージ圧の測定に用いる半導体圧力セ
ンサにおいて、パツケージ内のステム上に同種類
の感圧素子を複数搭載し、かつ各感圧素子を介し
てパツケージの表面側には各感圧素子共通の１の
圧力導入ポートを設け、パツケージの裏面側には
各感圧素子に対応して複数の独立した圧力導入ポ
ートを設けたことを特徴とする半導体圧力センサ
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13663287U JPS6440041U (ja) | 1987-09-07 | 1987-09-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13663287U JPS6440041U (ja) | 1987-09-07 | 1987-09-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6440041U true JPS6440041U (ja) | 1989-03-09 |
Family
ID=31397320
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13663287U Pending JPS6440041U (ja) | 1987-09-07 | 1987-09-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6440041U (ja) |
-
1987
- 1987-09-07 JP JP13663287U patent/JPS6440041U/ja active Pending