JPS6438545U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6438545U JPS6438545U JP13264687U JP13264687U JPS6438545U JP S6438545 U JPS6438545 U JP S6438545U JP 13264687 U JP13264687 U JP 13264687U JP 13264687 U JP13264687 U JP 13264687U JP S6438545 U JPS6438545 U JP S6438545U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lead terminals
- diaphragm
- silicon chip
- pressure
- introduction port
- Prior art date
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- Pending
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例による半導体式圧力
センサの構成を示す斜視図、第２図はシリコンチ
ツプとリード端子との接続を示す平面図、第３図
は従来の半導体式圧力センサの一構成例図である
。 ３，３ａ：リード端子、５：シリコンチツプ、
７：シリコンダイヤフラム、８：圧力導入ポート
、９：圧力導入チユーブ。
センサの構成を示す斜視図、第２図はシリコンチ
ツプとリード端子との接続を示す平面図、第３図
は従来の半導体式圧力センサの一構成例図である
。 ３，３ａ：リード端子、５：シリコンチツプ、
７：シリコンダイヤフラム、８：圧力導入ポート
、９：圧力導入チユーブ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 圧力導入ポートと、前記圧力導入ポートから加
えられる圧力により変位するダイヤフラムと、前
記ダイヤフラムの変位に基づき圧力の検知を行う
シリコンチツプの回路と、前記シリコンチツプの
回路と接続されるリード端子とを備えたパツケー
ジから成る半導体式圧力センサにおいて、 前記パツケージの一辺に直線状のリード端子を
並列に配置し、前記リード端子に垂直にかつ前記
シリコンチツプの回路面と異なる主面側に前記ダ
イヤフラムを介して前記圧力導入ポートを配置し
たことを特徴とする半導体式圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13264687U JPS6438545U (ja) | 1987-08-31 | 1987-08-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13264687U JPS6438545U (ja) | 1987-08-31 | 1987-08-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6438545U true JPS6438545U (ja) | 1989-03-08 |
Family
ID=31389802
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13264687U Pending JPS6438545U (ja) | 1987-08-31 | 1987-08-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6438545U (ja) |
-
1987
- 1987-08-31 JP JP13264687U patent/JPS6438545U/ja active Pending