JPS6451886U - - Google Patents

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JPS6451886U
JPS6451886U JP14729887U JP14729887U JPS6451886U JP S6451886 U JPS6451886 U JP S6451886U JP 14729887 U JP14729887 U JP 14729887U JP 14729887 U JP14729887 U JP 14729887U JP S6451886 U JPS6451886 U JP S6451886U
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示した断面説明図
、第２図はガス供給量を調整するためのバツクグ
ラウンド計数モードにおけるガス流量と計数率の
関係を示した説明図である。 １：電子計数部、２：外カバー、３：検出窓、
４：検出部本体、５：中心導体、６：絶縁チユー
ブ、７：外部導体、８：陽極リング、９，１０：
絶縁筒部材、１１：カソード電極、１２：第１格
子電極、１３：トツプカバー、１４：第２格子電
極、１５：試料台カバー、１６：試料台、１７：
試料、１８：透過窓、１９：光ビーム、２０：扉
、２１，２１ａ，２６：プラグ部材、２２：ガス
供給口、２３，２８：配管チユーブ、２４：流量
調整弁、２５：蓋部材、２７：ガス排出口、２９
：吸引ポンプ、３０：通し穴。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 試料に光を照射し、該試料から放出される電子
    を検出窓から電子検出部内に導入して電子の数を
    計数する電子計数装置に於いて、 前記電子検出部の検出窓又は試料の近傍にドラ
    イエアー等の乾燥ガスを供給するガス供給口を設
    け、前記電子検出部に前記ガス供給口から送り込
    まれた乾燥ガスを前記検出窓から導入して内部を
    通過させた後に外部に排出するガス排出口を設け
    たことを特徴とする電子計数装置。
JP1987147298U 1987-09-25 1987-09-25 電子計数装置 Expired - Lifetime JPH06789Y2 (ja)

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JP1987147298U JPH06789Y2 (ja) 1987-09-25 1987-09-25 電子計数装置

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Publication Number Publication Date
JPS6451886U true JPS6451886U (ja) 1989-03-30
JPH06789Y2 JPH06789Y2 (ja) 1994-01-05

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ID=31417566

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6384587U (ja) * 1986-11-25 1988-06-02

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6384587U (ja) * 1986-11-25 1988-06-02

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JPH06789Y2 (ja) 1994-01-05

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