JPS646046U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS646046U JPS646046U JP10007587U JP10007587U JPS646046U JP S646046 U JPS646046 U JP S646046U JP 10007587 U JP10007587 U JP 10007587U JP 10007587 U JP10007587 U JP 10007587U JP S646046 U JPS646046 U JP S646046U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- cassette
- transport mechanism
- vacuum suction
- tweezers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 10
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 26
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第１図は本案の一実施例のウエハプロセス処理
搬送系統説明図、第２図はウエハ搬送機構の平面
図、第３図はウエハ搬送機構のＡ―Ａ′断面図を
示す。 １……ウエハ搬送機構、２……ロードカセツト
、３……ウエハ、４……プリアライメントステー
ジ、５……プロセス処理ステージ、６……アンロ
ードカセツト、７……プロセス処理済みウエハ、
８……ロードピンセツト、９……旋回軸受、１０
……旋回軸、１１……ピンセツト受、１２……旋
回モータ、１３……センサ、１４……センサカム
、１５……ガイド軸、１６……エアーシリンダー
、１７……搬送ピンセツト、１８……アンロード
ピンセツト、１９……真空口、２０……真空引き
パイプ。
搬送系統説明図、第２図はウエハ搬送機構の平面
図、第３図はウエハ搬送機構のＡ―Ａ′断面図を
示す。 １……ウエハ搬送機構、２……ロードカセツト
、３……ウエハ、４……プリアライメントステー
ジ、５……プロセス処理ステージ、６……アンロ
ードカセツト、７……プロセス処理済みウエハ、
８……ロードピンセツト、９……旋回軸受、１０
……旋回軸、１１……ピンセツト受、１２……旋
回モータ、１３……センサ、１４……センサカム
、１５……ガイド軸、１６……エアーシリンダー
、１７……搬送ピンセツト、１８……アンロード
ピンセツト、１９……真空口、２０……真空引き
パイプ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ ウエハを複数枚収納するウエハカセツトを使
用して、ウエハをプロセス処理する半導体製造装
置において、ロードカセツトからのウエハ搬送よ
りアンロードカセツトへウエハ収納までの全工程
において真空吸着ピンセツトにてウエハを空中搬
送とすることを特徴とするウエハ搬送機構。 ２ 請求の範囲第１項において、上記搬送機構は
一軸ウエハ旋回部にて、搬送することを特徴とす
るウエハ搬送機構。 ３ 請求の範囲第１項において、上記ウエハ旋回
部に、複数の真空吸着ピンセツトを装着したこと
を特徴とするウエハ搬送機構。 ４ 請求の範囲第１項において、上記搬送機構で
プロセス処理ステージが一定位置でウエハ搬出、
装着を行えることを特徴とするウエハ搬送機構。 ５ 請求の範囲第１項において、ウエハ旋回部の
、一ピツチ回動で、ロードカセツトよりプリアラ
イメントステージへ、プリアライメントステージ
よりプロセス処理ステージへ、プロセス処理ステ
ージよりアンロードカセツトへ、ウエハを搬送で
きることを特徴とするウエハ搬送機構。 ６ 請求の範囲第１項において、上記ウエハ旋回
部の複数のピンセツト機構は、各々単独に上下に
可動する機構を有することを特徴とするウエハ搬
送機構。 ７ 請求の範囲第１項において、真空吸着ピンセ
ツト機構はプロセス処理中のウエハを同時に裏面
を保持可能とすることを特徴とするウエハ搬送機
構。 ８ 請求の範囲第１項において、真空吸着ピンセ
ツト機構の配置で、ロードカセツトよりのウエハ
搬出方向と、アンロードカセツトへのウエハ収納
方向が、ウエハ旋回方向が一方向で行なえるよう
に真空吸着ピンセツトの装着方向を逆さにしたこ
とを特徴とするウエハ搬送機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10007587U JPS646046U (ja) | 1987-07-01 | 1987-07-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10007587U JPS646046U (ja) | 1987-07-01 | 1987-07-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS646046U true JPS646046U (ja) | 1989-01-13 |
Family
ID=31327822
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10007587U Pending JPS646046U (ja) | 1987-07-01 | 1987-07-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS646046U (ja) |
-
1987
- 1987-07-01 JP JP10007587U patent/JPS646046U/ja active Pending
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