JPS646564U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示すプローブカー
ド全体の斜視図、第２図は同軸コンタクトプロー
ブの断面図、第３図は従来例を示すプローブカー
ドの平面図、第４図は従来例におけるプローバー
の取付状態を示す断面図、第５図ａ，ｂはプロー
バーの側面図、第６図ａ，ｂ，ｃは検査ポイント
のパターン図である。 １……樹脂製基板、１ａ……透孔、１ｂ……コ
ネクタ、１ｃ……伝送線路、２……被測定物、３
……プローバー、３ａ……触針部、４……基板、
４ａ……伝送線路、４ｂ……透孔、５……下部支
持板、５ａ……嵌合孔、６……上部支持板、６ａ
……嵌合孔、７……支柱、８……同軸コンタクト
プローブ、８ａ……外部導体、８ｂ……絶縁材、
８ｃ……ストツパ、８ｄ……ピン部、８ｅ……コ
イルスプリング、８ｆ……プランジヤ、８ｇ……
弾持部、９……同軸リード線。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 被測定物からの検出信号をテスタに伝送するた
   めのコネクタを備えたプローブカードにおいて、 上記コネクタに同軸リード線を介して接続した
   複数の同軸コンタクトプローブと、各同軸コンタ
   クトプローブを被測定物の検査ポイントのパター
   ンに対応配置して植設する支持板とを設け、 上記各同軸コンタクトプローブは、被測定物側
   に向く中心導体の一端部が進退自在に弾持されて
   突出し、上記検査ポイントに弾接する構成とした
   プローブカード。