KR970077438A - 콘택트 프로브 및 그것을 구비한 프로브 장치 - Google Patents

콘택트 프로브 및 그것을 구비한 프로브 장치 Download PDF

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Abstract

프로브 핀이나 소킷 핀 등으로서 사용되고 프로브 카드나 테스트용 소킷 등에 조립되어 반도체 IC 칩이나 액정 디바이스 등의 각 단자에 접촉하여 전기적인 테스트를 실행하는 콘택트 프로브 및 그것을 구비한 프로브 장치로서, 습도의 변화에 의한 콘택트 핀 사이의 간격 변화를 최소한으로 억제하여 콘택트 핀이 패드에 확실히 접촉하는 것에 의해 정확한 전기적 테스트가 실행되도록, 복수의 패턴 배선을 필름 상에 형성하고 이들 패턴 배선의 각 선단부가 상기 필름에서 돌출 상태로 배치되어 콘택트 핀으로 되도록 하며, 상기 필름 상에 금속 필름을 붙인다. 이것에 의해, 패드 이외의 장소에 콘택트 핀이 당접함으로써 스크럽이 양호하게 실행되지 않거나 패드에 대한 콘택트 핀의 각도가 소망 값에서 벗어나거나 하는 일이 없게 된다.

Description

콘택트 프로브 및 그것을 구비한 프로브 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 관한 콘택트 프로브의 제1실시 형태를 도시한 주요부 확대 사시도.

Claims (20)

  1. 복수의 패턴 배선이 필름 상에 형성되고 이들 패턴 배선의 각 선단부가 상기 필름에서 돌출 상태로 배치되어 콘택트 핀으로 되는 콘택트 프로브에 있어서, 상기 필름에는 금속 필름이 접착되어 있는 것을 특징으로 하는 콘택트 프로브.
  2. 제1항에 있어서, 적어도 상기 콘택트 핀은 니켈-망간 합금으로 형성되고, 상기 니켈-망간 합금은 망간이 0.05중량% 내지 1.5중량%의 범위내로 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 콘텍트 프로브.
  3. 제1항에 있어서, 상기 콘택트 핀은 그것의 도중 위치에서 굽어져 있는 것을 특징으로 하는 콘택트 프로브.
  4. 제3항에 잇어서, 상기 콘택트 선단부는 측정 대상물에 접촉하였을 때에 그 접촉면과의 각도가 60° 이상 90° 미만되도록 구성되고, 상기 콘택트 핀의 기단부는 상기 접촉면과의 각도가 0° 이상 30° 이하되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 콘택트 프로브.
  5. 청구항 4 지개의 콘택트 프로브를 상기 패턴 배선의 각 기단에 접속되는 단자를 갖는 기판에 고정하여 이루어지는 프로브 장치에 있어서, 상기 프로브 장치는 측정 대상물의 접촉면에 대하여 0° 이상 30° 이하의 각도로 점차 선단측을 향하여 아래쪽으로 경사하는 하면을 갖는 경사 유지 부재를 포함하고, 상기 콘택트 프로브는 상기 필름의 선단측이 상기 경우 유지 부재의 하면에 당접한 상태로 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 각 선단부를 갖는 복수의 주 패턴 배선이 형성된 콘택트 프로브 본체와, 상기 콘택트 프로브 본체로부터 분기하여 일체로 형성된 콘택트 프로브 분기부로 구성되고, 상기 콘택트 프로브 분기부는 상기 주 패턴 배선의 일부가 분기 또는 분할되어 형성된 분기 패턴 배선을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 콘택트 프로브.
  7. 청구항 6 기재의 콘택트 프로브와; 상기 주 패턴 배선 및 상기 분기 패턴 배선의 도중 또는 후단측에 접촉 상태로 각각 접속되어 복수의 기판측 패턴 배선으 갖는 배선용 기판; 및 상기 각 선단부를 지지하는 지지부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 배선용 기판은 상기 콘택트 프로브를 배치하는 사각형(矩形) 개구부를 갖고, 상기 콘택트 프로브의 복수의 선단부는 상기 사각형 개구부의 대각선을 따라 늘어서 있고, 상기 콘택트 프로브 본체 및 상기 콘택트 프로브 분기부는 상기 대각선에 대향하는 상기 사각형 개구부의 2변에 각각 분배되어 배치되고, 상기 주 패턴 배선 및 상기 분기 패턴 배선은 분배된 앞의 상기 기판측 패턴 배선에 각각 접촉 상태로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 배선용 기판은 표면 및 이면에 상기 기판측 패턴 배선이 각각 형성되고, 상기 콘택트 프로브 본체 및 상기 콘택트 프로브 분기부는 어느 것인가 한쪽의 일부를 꺽어서 각기 배선용 기판의 표리면에 각각 분배되어 배치되고, 상기 주 패턴 배선 및 상기 분기 패턴 배선은 분배된 앞의 상기 기판측 패턴 배선에 각각 접촉 상태로 접속되는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 각 선단부를 갖는 복수의 주 패턴 배선이 형성된 콘택트 프로브 본체와 상기 콘택트 프로브 본체에 일부를 붙여서 접속된 적어도 하나의 분기 배선판으로 구성되고, 상기분기 배선판은 상기 복수의 주 패턴 배선 등 일부에 접촉 상태로 접속된 분기 패턴 배선이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 콘택트 프로브.
  11. 청구항 10 기재의 콘택트 프로브; 상기 주 패턴 배선 및 상기 분기 패턴 배선의 도중 또는 후단측에 접촉 상태로 각각 접속되는 복수의 기판측 패턴 배선을 갖는 배선용 기판; 및 상기 각 선단부를 지지하는 지지부재를 포함하며, 상기 배선용 기판은 표면 및 이면에 상기 기판측 패턴 배선이 각각 형성되고, 상기 콘택트 프로브 본체 및 상기 분기 배선판은 상기 배선용 기판의 표리면에 각각 분배되어 배치되고, 상기 주 패턴 배선 및 상기 분기 패턴 배선은 분배된 앞의 상기 기판측 패턴 배선에 각각 접촉 상태로 접속되는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
  12. 복수의 제1패턴 배선이 필름 상에 형성되고 상기 필름의 한쪽이 선단부에서 이들 제1패턴 배선의 각 선단이 돌출 상태로 배치되어 콘택트 판으로 되는 제1콘택트 프로브와 상기 제1패턴 배선과 접속되는 복수의 제2패턴 배선이 필름 상에 형성된 제2콘택트 프로브가 별개로 형성되어 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 콘택트 프로브.
  13. 제12항에 있어서, 상기 제1패턴 배선은 조밀하게 형성되어 이루어지고, 상기 제2패턴 배선은 상기 제1패턴 배선과 접속되는 근방에 있어서는 조밀하게 형성됨과 동시에 상기 근방에서 떨어진 위치에 있어서는 듬성듬성 형성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 콘택트 프로브.
  14. 제12항에 있어서, 상기 제1패턴 배선이 상기 선단부에 있어서 조밀하게 형성되어 이루어짐과 동시에 그의 다른 단부에 있어서 듬성듬성 형성되어 이루어지고, 상기 제2패턴 배선이 조밀하게 형성되어 상기 다른 단부에 있어서 상기 제1패턴 배선과 접속되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 콘택트 프로브.
  15. 제12항에 있어서, 상기 제2콘택트 프로브는 상기 제2콘택트 프로브와 비교하여 면적이 작게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 콘택트 프로브.
  16. 제12항에 있어서, 상기 제1콘택트 프로브와 상기 제2콘택트 프로브는 상기 제1콘택트 프로브의 상기 제1배선 패턴이 형성되어 있는 측의 면과 상기 제2콘택트 프로브의 사이 제2배선 패턴이 형성되어 있는 면이 마주보도록 하여, 이방성 도전 테이프에 의해 접착되는 것을 특징으로 하는 콘택트 프로브.
  17. 청구항 1 기재의 콘택트 프로브를 복수, 그들의 콘택트 핀의 축선이 측정 대상물의 접촉면에 대하여 대략 수직으로 되도록 배치하고 또한 그들의 필름의 각 면 사이에 간격을 두고 병설하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
  18. 청군항 17 기재의 프로브 장치를 구성하는 콘택트 프로브에 있어서, 상기 복수의 콘택트 핀의 좌굴하중(座屈荷重)을 받았을 때에 그의 굽음 방향이 대략 일정하게 되는 것을 특징으로 하는 콘택트 프로브.
  19. 제18항에 있어서, 상기 콘택트 핀은 그의 축선 방향에 있어서의 좌굴점의 위치가 대략 일정하게 되는 것을 특징으로 하는 콘택트 프로브.
  20. 제18항에 있어서, 상기 콘택트 핀의 축선 방향 특정 위치의 뒤쪽에 위치하는 상기 금속 필름은 하프 에칭이 실시되어 있는 것을 특징으로 하는 콘택트 프로브.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
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