TW312809B - IC mounting/demounting device and mounting/demounting head thereof - Google Patents

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TW312809B
TW312809B TW085115485A TW85115485A TW312809B TW 312809 B TW312809 B TW 312809B TW 085115485 A TW085115485 A TW 085115485A TW 85115485 A TW85115485 A TW 85115485A TW 312809 B TW312809 B TW 312809B
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Isao Arakawa
Yoshinori Hirata
Ryoichi Miyamoto
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Description

3i£SG9 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明 :1 ) 1 I 發 明 所 靨 7 技 術 η 域 1 1 I 本 發 明 % 蘭 於 — 種 將 托 盤(t r a y ) 上 之積 體 電路 (以下 1 1 簡 稱 為 1C)移送而按裝於例如燒入( b υ r η -in) 過 程用 基 板 上 I 請 1 I 之 1C插 座 » 或 相 反 地 從 插 座 上拔取 1C而 移送 至 托盤 上 之 積 先 閱 1 讀 1 I 體 電 路 裝 卸 裝 置 0 背 τέ 1 1 之 1 前 抟 術 意 1 事 1 以 往 t 製 造 完 畢 之 1C (1C包裝) 於 經 過例 如 在 120- 項 再 1 填 1 130C之高溫下- -定時間通電之燒入過程之後, 實行電性 % 裝 頁 1 動 作 試 驗 0 在 上 述 之 燒 入 過 程中, 將 基 板以 對 排列 在 基 板 1 I 上 之 複 數 個 1C 插 座 安 裝 1C • 亦即電 性 連 接之 狀 態下 9 設 定 1 1 在 燒 入 爐 内 〇 因 此 » 在 燒 入 過程之 前 後 需要 將 1C移 送 而 裝 1 卸 於 基 板 上 之 1C插 座 之 過 程 ,而為 該 過 程使 用 1C裝 卸 裝 置 -訂 1 1 0 第 34 圖 為 顯 示 以 往 之 1C裝卸裝 置 之 一例 之 斜視 圖 〇 圖 1 1 I 中 9 安 裝 有 複 數 個 1C插 座 (未圖示) 之 基 板(燒入基板( 1 1 線 b u r η -i η bo a r d) )1 為 9 由 基 板搬運 部 2從基板儲存器3 枚 1 一 枚 地 搬 運 0 在 基 板 搬 蓮 部 2之附近, 設有收容複數値托 1 1 盤 4之托盤收容部5 〇 各 托 盤 4上有載置複數之1C(未 圖 示 ) 1 1 1 C 基 板 1與托盤4 之 間 搬 蓮 1C係由 機 器 人本 體 6為之。 該 1 1 I 機 器 人 本 體 6有安裝 吸附1C而 保持之兩傾裝卸頭7。 該 等 兩 1 I 個 裝 卸 頭 7之間隔 為 可种 應 基板1 中 1C 插座 之 間距 9 以 及 1 1 1 托 盤 4户 J之1C收容間 i而自 由 調整。 又, 機器人本體6同 時 1 1 有 裝 搬 蓮 托 盤 4之 ft i盤卡 盤 部8。 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 3 3 8 5 5 6 312SG9 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明 〔2 ) 1 1 其 次 » 就 其 動 作 說 明 如 下 0 舉 例 來 説 將 收 容 在 托 盤 1 1 I 收 容 部 5之托盤4上 之 1C安 裝 於 基 板 1上之 [C插座時, 用機 1 1 I 器 人 本 體 6將裝卸頭7移 動 至 托 盤 4之1C上 吸附兩個] [C C ^—X 1 I 請 I 之 後 > 將 裝 卸 頭 7移動至基板1 之 1C 插 座 上 9 插 裝 於 1C插 座 先 閲 I 1 | 之 後 解 除 吸 附 0 背 面 1 I 之 1 此 時 > 1C插 座 為 設 有 開 閉 接 點 之 蓋 體 » 用 裝 卸 頭 推 注 意 1 I 事 1 壓 該 蓋 體 » 以 打 開 接 點 之 狀 態 下 > 設 定 1C於 1C 插 座 0 妖 JW\ 後 項 再 1 填 1 9 向 上 移 動 裝 卸 頭 而 解 除 對 蓋 體 之 推 壓 t 關 閉 接 點 > 保 持 寫 本 裝 頁 1 1C於 1C插 座 上 0 在 裝 卸 頭 7中之1C定位操用夾持爪( 未 圖 示 1 )從四方矯正1C之肩部而為之, 1 1 如 此 , 每 次 從 托 盤 取 兩 個 1C而 安 裝 在 基 板 1之1C插座 1 上 > 對 基 板 1之所有1C插座安裝1C之後, 用基板搬蓮部2 供 訂 1 給 下 一 個 基 板 1 0 又, 托盤4上 全 部 1C用 *z±sr 兀 之 後 t 由 托 盤 夾 1 1 持 (t r a y c h U C k) 部 8供給新的托盤4 0 1 1 將 以 上 述 方 法 安 裝 1C於 1C 插 座 之 基 板 收 容 於 燒 入 爐 ( 1 線 未 圖 示 )内來實行燒入過程。 在燒入過程之後, 以相反於 1 上 述 之 順 序 ) 將 1C插 座 上 之 1C移 送 至 托 盤 4〇 1 1 發 明 所 欲 解 決 問 鬨 1 1 具 有 上 述 構 造 之 以 往 之 1C 裝 卸 裝 置 為 » 需 要 用 夾 持 爪 1 1 定 1C 之 位 置 之 同 時 9 對 1C 插 座 裝 卸 1C時 需 要 用 裝 卸 頭 之 1 | 插 座 壓 件 (未圖示) 推 壓 1C插 座 之 蓋 體 9 然 而 t 對 Vu»« 欲 安 裝 1 I 之 1C 9 有 各 種 尺 寸 之 1C 插 座 9 因 此 t 必 需 要 保 管 多 數 的 對 1 1 I 應 於 各 1C插 座 之 尺 寸 之 插 座 壓 件 1 以 及 具 有 對 m 於 1C尺 寸 1 1 1 之 持 爪 之 裝 卸 頭 1 每 當 1C及 1C插 頭 之 種 類 有 改 變 時 » 需 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) A 。。c β 4 ο ο ο b b A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製
五、 發明説明(3 ) 1 1 要 更 換 全 體 裝 卸 頭 0 為 了 要 更 換 該 種 裝 卸 頭 t 要 停 止 裝 置 1 I 之 蓮 轉 長 逹 1 5〜 20分鐘以 上 1 導 致 作 業 效 率 之 降 低 0 尤 其 1 1 | 是 隨 著 多 種 少 量 生 産 之 製 品 之 增 加 > 裝 卸 頭 之 更 換 次 數 亦 請 1 Ί 1 增 0 加 > 更 換 所 需 之 時 間 及 勞 力 對 作 業 效 率 之 影 饗 非 常 之 大 先 閱 讀 背 面 之 1 1 1 1 另 一 方 面 9 亦 有 藉 配 置 有 多 數 的 對 應 於 特 定 尺 寸 之 1C 注 意 事 1 1 及 1C插 座 之 裝 卸 頭 之 機 器 人 來 同 時 移 送 多 數 1C之 裝 置 1 但 項 再 1 1 裝 1 仍 妖 />>> 不 適 合 於 上 述 之 多 種 少 量 生 産 » 在 處 理 不 同 尺 寸 之 1C 馬 本 頁 及 1C插 座 期 間 還 是 要 停 止 整 値 裝 置 〇 1 1 本 發 明 係 為 ten m- 決 上 述 問 題 而 作 者 > 其 百 的 在 於 提 供 一 1 1 1 種 可 省 略 裝 卸 頭 之 更 換 時 間 來 大 幅 度 提 高 作 業 效 果 之 1C裝 1 1 卸 裝 置 〇 訂 1 決 問 p 手 段 1 根 據 串 請 專 利 範 圍 第 1項之1C裝卸裝置為, 具備有: 1 1 I 供 給 有 載 置 1C之 托 盤 之 托 盤 供 給 部 t 線 供 給 具 有 推 壓 可 動 部 而 使 其 變 位 » 藉 以 裝 卸 1C之 1C插 1 1 座 (1C SO c k et)之基板之基板供給部, 1 1 在 供 給 於 托 盤 供 給 部 之 托 盤 及 供 給 於 基 板 供 給 部 之 基 1 1 板 之 間 f 移 送 1C用 之 機 器 人 本 體 t 1 1 可 按 1C插 座 之 尺 寸 而 調 整 間 隔 i 具 有 複 數 個 可 推 壓 1C 1 1 插 座 可 動 部 之 插 座 壓 件 > 由 機 器 人 本 體 支 持 9 吸 附 保 持 1C 1 I 之 吸 附 頭 » 以 及 I I 控 制 機 器 人 本 體 之 動 作 之 控 制 部 者 〇 1 ! 根 據 申 諳 專 利 範 圍 第 2項之1C裝卸裝置為, 在1C及1C 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Λ4規格(210X 297公釐) 5 3 8 5 56 31 £ δ G 9 Α7 Β7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明(4 ) 1 I 插 座 當 中 之 至 少 有 一 方 之 資 料 输 入於 控 制 部 來 白 動 調 整 插 1 I 座 壓 件 之 間 隔 者 0 1 1 | 根 據 串 請 專 利 範 圍 第 3項之1C裝卸裝置具備有裝卸頭, 請 先 閲 讀 背 ιδ 之 1 1 I 該 裝 卸 頭 設 有 一 對 插 座 壓 件 f 及 將插 座 壓 件 向 互 相 之 間 隔 1 I 擴 開 之 方 向 彈 壓 之 彈 簧 » 及 迴 轉 自如 地 設 在 任 何 一 方 之 插 1 1 座 壓 件 之 桿 9 及 設 在 該 桿 之 一 端 部, 相 應 捍 之 迴 轉 角 度 而 注 意 事 1 1 限 制 插 座 壓 件 之 間 隔 之 間 隔 限 制 構件 > 及 設 在 該 捍 之 另 一 項 再 填 1 裝 1 端 部 之 棍 子 ; 在 機 器 人 本 體 之 裝 卸頭 之 移 動 範 圍 内 > 設 置 本 頁 具 有 定 位 面 之 定 位 構 件 9 以 棍 子 擋接 於 定 位 面 之 狀 態 下 移 1 I 動 裝 卸 頭 來 使 桿 迴 轉 來 調 整 插 座 壓件 之 間 隔 者 〇 1 1 I 根 據 甲 請 專 利 範 圍 第4項之1C装卸裝置為, 具備有設 1 1 訂 1 有 安 裝 於 裝 卸 頭 而 將 1C予以 定 心 (c e η t e Γ 1 n g )之複數値定 心 夾 具 (C e η t e r i n g j is )之定心夾具堆置部(c e n t e r in g 1 1 St 0 C k e Γ ) i 輸 入 1C之 資 料 於 控 制 部來 白 動 選 擇 對 應 於 1C之 1 | 定 心 夾 具 而 更 換 者 0 - 絲 根 據 申 請 專 利 範 圍第5項之1C裝卸裝置之裝卸頭為, 1 | 具 備 有 由 機 器 人 本 體 支 持 t 吸 附 1C之 吸 附 部 > 及 設 在 該 吸 1 著 部 之 外 側 之 同 時 可 調 整 互 相 之間 隔 » 對 1C插 座 裝 卸 1C 1 1 時 可 推 壓 插 座 之 可 動 部 之 一 對 插 座推 壓 件 者 C 1 1 根 據 請 專 利 範 圍 第6項之1C裝卸裝置之裝卸頭為, 1 1 具 備 有 將 插 座 推 壓 件 向 其 間 隔 擴 開之 方 向 彈 壓 之 彈 簧 9 迺 1 I 轉 白 如 地 設 在 任 何 一 方 之 插 座 壓 件之 桿 及 設 在 該 桿 之 一 1 I 端 部 9 相 應 捍 之 迴 轉 角 度 而 限 制 插座 壓 件 之 間 隔 之 間 隔 限 1 1 I 制- 件 者 0 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) 6 3 8 5 5 6 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明( 5 ) 1 1 根 據 請 專 利 範 圍 第 7項之 [C裝卸裝置之裝卸頭為, 1 1 I 具 備 有 同 步 齒 輪 9 以 便 在 調整插 座 壓 件 之 間 隔 時,使一 對 1 1 1 之 插 座 壓 件 予 以 同 步 而 變 位者。 1 I 請 I 根 據 申 請 專 利 範 圍 第 8項之 [C裝卸裝置之裝卸頭為, 先 間 讀 1 具 備 有 將 插 座 壓 件 向 其 間 隔擴開 之 方 向 彈 壓 之 彈簧,在 調 背 面 1 1 之 1 1 整 插 座 壓 件 之 間 隔 時 » 使 一對之 插 座 壓 件 予 以 同步而變 位 注 意 1 1 事 1 之 同 步 齒 輪 » 及 壓 接 於 同 步齒輪 > 以 保 持 插 座 壓件之間 隔 項 再 1 填 1 之 間 隔 保 持 構 件 者 0 寫 裝 頁 1 根 據 申 請 專 利 範 圍 第 9項之1C裝卸裝置之裝卸頭為, 1 具 備 有 保 持 平 行 狀 態 之 下 ,使一 對 插 座 壓 件 同 步地直線 移 1 1 動 之 直 線 移 動 機 構 者 0 1 1 宵 旅 發 明 形 態 訂 1 Η 就 附 圖 f 將 本 發 明 之實施 形 態 說 明 如 下 0 1 1 實 旃 之 形 態 1 1 I 第 1圖為顯示本發明實施形態1 之 1C 裝 卸 之 斜視圖, 第 1 線 2圖為第1 圖 裝 置 之 平 面 圖 。設置 台 11 上 設 有 托 盤昇上裝 置 1 I 12用 以 慢 慢 昇 上 所 設 定 之 複數托 盤 而 供 給 0 各 托盤4傷構 1 1 成 為 9 將 複 數 1C (I C包裝)1 3予以 定 位 而 可 載 置 。移送托 盤 1 1 昇 上 裝 置 12 之 托 盤 4之托盤平台為, 鄰接而設在托盤昇上 1 1 裝 置 12 之 —— 侧 〇 該 托 盤 平 台1 4為 9 具 有 支 持 2枚托盤4而 回 1 | 轉 白 如 之 托 盤 支 承 部 15 9 180度回轉該托盤支承部15卽可 1 I 改 換 托 盤 支 承 部 1 5上 之 2枚托盤4之 位 置 C 1 1 | 收 容 空 托 盤 4之空托盤收容部1 6為, 鄰接币 i設在托盤 1 1 I 昇1 裝 置 12 之 另 一 側 0 托 盤昇上 装 置 12 9 托 盤 平台14及 空 1 1 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) 7 3 8 5 5 6 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 五、 發明説明( 6 ) 1 1 托 盤 收 容 部 1 e >間 之 托 盤 之 搬 運 偽藉 托 盤 搬 運 裝 置 1 7為 之 0 1 | 又 » 由 上 述 之 托 盤 昇 上 裝 置 1 2 ,托 盤 平 台 1 4 J 空 托 盤 收 容 1 I 部 1 6 及 托 盤 搬 送 裝 置 1 7 構 成 托 盤供 給 部 1 8 〇 /--V 請 1 1 先 1 將 複 數 個 基 板 (燒入基板)1收容成為昇降自如之基板 閱 1 背 1 收 容 裝 置 1 9為 結 合 在 設 置 台 11 之規 定 位 置 0 設 置 台 1 1 上 設 面 I 之 1 注 1 有 基 板 反 轉 裝 置 20做 為 基 板 供 給部 C 該 基 板 反 轉 裝 置 2 0為 意 1 事 rS 1 1 > 具 有 以 與 設 置 台 1 1 上 面 平 行 的軸 為 中 心 而 回 轉 自 如 之 —. ;貝 再 1 填 1 裝 I 對 回 轉 支 持 器 2 1 9 設 在 該 等 回 轉支 持 器 2 1 間 來 支 持 基 板 1 本 頁 之 兩 値 基 板 支 持 台 22 〇 又 • 使 回轉 支 持 器 2 1 回 轉 即 保 持 基 1 I 板 1為水平之狀態下可改換兩個基板支持台22之位置之構 ! 1 | 成 〇 基 板 收 容 裝 置 1 9與 基 板 反 轉裝 置 20 之 間 之 基 板 1之搬 1 1 訂 運 為 9 如 第 2圖( 在 第 1圖中省略)所 示 9 由 設 在 設 置 台 11 上 1 之 基 盤 搬 送 裝 置 23 實 行 之 0 1 1 又 9 設 置 台 11 上 設 有 m 器 人本 體 2 4以 便 在 托 盤 平 台 14 1 1 上 之 托 盤 4與基板反轉裝置20上之基板1 之 間 移 送 1C 13 0 該 絲 機 器 人 本 體 2 4為 j 上 下 移 動 白 如地 支 持 有 裝 卸 頭 25來 吸 附 1 I 1C 13而 保 持 0 再 者 t 在 裝 卸 頭 25由 機 器 人 本 體 2 4所 移 動 之 1 1 | 範 圍 内 9 設 有 具 有 凹 部 26 a之定位構件26, 載置有複數艏 1 1 定 心 夾 具 27 之 定 心 夾 具 堆 置 部 28 〇 設 在 設 置 台 11 上 之 透 明 1 1 蓋 體 29 有 固 定 操 作 盤 30 〇 設 置 台1 1 内 有 收 容 具 有 順 序 控 制 1 1 (s e q u e n c e C 0 n t Γ 0 11 e r )而控制整個裝置之蓮轉之控制部( 1 1 未 圖 示 )’ 操作盤3 0為連接东 ¥該控制部。 1 1 其 次 » 就 整 値 裝 置 之 基 本 動作 説 明 如 下 〇 首 先 , 將 載 1 I 置 有 1C 13 之 複 數 托 盤 4予以積層收容之托盤儲存器(tr ay 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 8 38556 A7 312800 B7 五、發明説明(7 ) masazineMA設置於托盤昇上裝置12之同時,將空的托盤 儲存器4A設置於空托盤收容部16。又,有收容複數基板1 之基板收容裝置19設置於規定之位置。 之後,操作操作盤30開始運轉。在托盤昇上裝置12, 徐徐地昇上托盤儲存器4A内之托盤4,最上部之托盤4為由 托盤搬運裝置17搬蓮至托盤平台14之托盤支承部15。另一 方面,將基板收容裝置19内之基板搬運至基板反轉裝置20 上。以該狀態下,由機器人本體24將裝卸頭25移動至托盤 支承部15之托盤4上,由裝卸頭25吸附一値IC13。於是, 將吸附之IC13為以定位狀態由裝卸頭25保持之。之後,裝 卸頭25為,保持IC13之狀態下移動至基板反轉裝置20之基 板1上,而放下於1C插座1A上。然後,將移送之IC13安裝 於I C插座1 A。 重複該作業之後,對基板1上之所有插座1 A安裝I C 1 3 之後,改換基板反轉裝置20之2枚基板1之位置,對下一痼 基板1之1C插座1A安裝IC13。然後,在對下一値基板1實行 1C安裝作業之期間内,由基板搬蓮裝置23收容作業完了之 基板1於基板收容裝置19内,搬蓮新的基板1於空著的基板 支持台22上並定位。之後,對基板收容裝置〗9内之全部基 板1之作業完了之後,從設置台11移開基板收容裝置19, 搬蓮至下一過程。 又,用完托盤支承部15上之一方托盤4上之IC13時. 托盤支承部15為180度回轉,從下一個托盤4移送IC13。然 後^在對下一托盤4進行作業之期間内,由托盤搬蓮裝置 ----------批衣----1--.玎------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) 9 38 5 5 6 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Λ4規格(210 X 297公釐) 38 5 5 6 A7 B7 五、發明説明(8 ) 17搬蓮托盤支承部15上之空托盤4至空托盤收容部16之托 盤儲存器4A内,從托盤昇上裝置12搬運新托盤4於托盤支 承部1 5上之等待位置。 如上述,由基板反轉裝置20瞬時更換基板1,及由托 盤平台14瞬時更換托盤4的關傺,該等之更換作業時無裝 置之停止時間,可提高作業效率。 又,從基板1上之1C插座1A拔出IC13,送回托盤4之作 業傜以相反於上述之順序為之。 其次,就第1圖之1C裝卸裝置之各部細節說明如下。 首先,第3_為顯示第1圖之托盤昇上裝置12之斜視圖。圖 中,托盤昇上裝置12為,具備有保持放置於規定位置之托 盤儲存器4A之儲存器保持壓力缸31.昇上托盤儲存器4A内 之托盤4之昇上台32,迴轉自如地設在昇上台32而扣合於 托盤儲存器4A之L字形狀之扣合構件33,以及使扣合構件 33迴轉90度之扣合構件壓力缸34c 該托盤昇上装置12為,如第3圖所示,由儲存器保持 壓力缸31保持托盤儲存器4A於所定位置,以關閉扣合構件 33之狀態下,昇上台32上昇.藉以將積層在托盤儲存器4A 内之托盤4 一枚一枚地昇上。然後,用第1圖所示之托盤搬 蓮裝置17,從上面之托盤4依次搬蓮至托盤平台14上。
之後,搬蓮完托盤儲存器4A内之全部托盤4時,昇上 台32即下降至最下部,解除儲存器保持壓力缸31之同時, 將扣合構件33回轉90度。以該狀態,昇上台32上舁,扣合 構^ 33扣合於托盤儲存器4A之下面,將空的托盤儲存器4A 10 ---------批衣-------ΪΤ------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 3ΐ£δ00 Α7 Β7 五、發明説明(9 ) 上昇至規定高度。 如此,將托盤儲存器4A上昇到所定高度之狀態下,更 換托盤儲存器4A,因此,可防止托盤儲存器4A與周圍之機 器碰撞之同時,可容易更換。 第5圖為顯示基板1 一例之平面圖。圖中,在基板1上 有排列複數之1C插座IA之同時,設有對該等之1C插座通電 用之配線圖案(未圖示)。又,基板1之一端部設有插入燒 入爐(未圖示)内之連接部來做電性連接之接頭IB。 第6圖為顯示1C插座IA之一例之平面圖,第7圖為第6 圖之剖面圖,第8圖為顯示將第6匾中之蓋體推壓之狀態之 平面圖,第9圖為第8圖之剖面圖。1C插座1A之基座35上, 對應於IC13之導線13a而設有可彈性變形之複數接腳( contacting pin)36。該等接踊136為,藉其彈性力,從上 方推壓導線13a。又,在基座35上,設有扣合於全體接腳 36之做為可動部之蓋體37。蓋體37之中央部設有使IC13通 過之開口 3 7 a。 上述之1C插座IA為,裝卸IC13時由裝卸頭25(第1圔) 均勻地推壓蓋體37。因此,全醱接脚36為彈性變形,如第 9圖所示,解放導線13a。解除對蓋體37之推壓時,蓋體37 向上移動,接腳36恢復原狀,接脚36壓住導線13a。於是, 導線13‘a與接腳36即成電性連接。 其次,第10圖為顯示第1圖之基板反轉裝置20之平面 圖,第11圖為第10圖之斜視圖,第12圖為第10圖所示裝置 之4板反轉動作中之斜視圖。圖中,由於改換兩個基板支 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210 X 297公釐) 。。c c e 11 38556 —-------批衣-------.玎------ii (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) 3 8 5 5 6 A7 B7 五、發明説明(10 ) 持台22位置用驅動馬達121之驅動而將回轉支持器21回轉 。此時,固定在驅動馬達121之支持部之固定齒輪122嚙合 之兩値空轉輪123為,自轉而在固定齒輪122周圍公轉。有 固定在基板支持台22之水平保持齒輪124嚙合於該等空轉 齒輪123,將齒數等設定成為可將基板支持台2 2上之基板 1保持成為水平如第11画及第12圖所示。 使用該種基板反轉裝置20,即以簡單構造,保持基板 1為水平之狀態下可改換基板1之位置,可省略更換基板1 所需之停止作業之時間,可提高作業效率。 其次,就裝卸頭25之構造說明如下。第13圖為顯示第 1圖之裝卸頭2 5之正面圖。圖中,在由機器人本體24支持 成為上下移動自如之頭軸41之下端部,設有推壓1C插座1/\ 之蓋體37之一對插座壓件,亦即第1及第2之插座壓件42, 43成為以支點42a, 43a為中心迴轉自如。第1及第2之插座 壓件42, 43設有該等迴轉時互相嚙合之同步齒輪42b, 43b c又,第1之插座壓件42,設有連缠刻有剖面呈三角形之 細溝之嚙合面42 c。 第1及第2之插座壓件42, 43為,由彈簧44向使該等之 下端部開離之方向彈壓。第2之插座壓件43安裝有捍45成 為以支點45a為中心迴轉自如。桿45之一端,有迴轉自如 地安裝用以限制第1及第2之插座壓件42, 43之開方向迴轉 之,做為間隔限制構件之止動件46。又,制動件46設有嚙 合於第1插座壓件42之嚙合面42c之嚙合面46a。再者,將 桿15予以迴鞞,調整第1插座壓件42之長度方向之止動件 12 ----------批衣-------,玎------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明( 11 ) 1 | 4 6位 置 藉 以 可 調 整 第 1及第2插座 壓件 42 , 4 3 下 端 部 之 間 1 1 | 隔 亦 即 其 開 度 〇 桿 4£ 之 另一 端, 設有 迴轉自如 之 第 1锟 1 1 1 子 47 A >第2桿 43設 有 迴 轉 自如 之第 2棍子47&。 V. 1 I 請 I 在 第 1及第2插 座 壓 件 42 , 43之 間, 設有向頭 軸 4 1 之 軸 先 閱 I I 1 I 方 向 延 伸 之 1 做 為 吸 附 部 之吸 附管 48 〇 該吸附管 48 之 先 端 背 面 1 | 之 1 部 設 有 吸 附 1C 1 3之 吸 附 墊 4 8 a 〇 對頭軸4 1固定之殼體(未 圖 注 意 1 1 事 1 示 )有固定固定台49, 有定心夾具27安裝於該固定台49。 項 再 1 1 裝 I 第 1 4 圖 為 顯 示 定 心 夾 具27 一例 之斜 視圖c定 心 夾 具 本 •ΖΓ 27設 有 兩 支 定 位 銷 27 a , 將該等定位銷2 7 a分別插 通 於 設 在 貝 1 1 I 固 定 台 49之 定 位 孔 49 a來實行定心夾具2 7之定位。 1 1 在 定 心 夾 具 27 之 下 面 ,設 有具 備錐 形狀壁部 之 凹 部 1 1 27 b 〇 吸附管48之先端部為插入於定心夾具27之孔2 7c 内 3 訂 1 吸 附 墊 48 a之先端開口於凹部2 7 b内 。因 此,由吸 附 墊 48 a 1 I 所 吸 附 之 1C 1 3為 » 吸 引 於 凹部 2 7 a内,由凹部2 7 b 之 錐 形 狀 1 I 壁 部 來 白 動 定 心 之 0 又 , 如在 第1圖中所示,定心夾具推 I 1 線 置 部 28上 載 置 有 各 種 定 心 夾具 27 , 相應 IC13之尺 寸 來 更 換 1 該 等 定 心 夾 具 27 0 1 1 安 裝 台 49設 有 以 支 點 50a為中心而迴轉自如的夾持爪( 1 1 c h U C k) 50 9 在 該 卡 盤 爪 50 之先 端部 50b扣合於定心夾具2 7 1 1 之 扣 合 溝 27d來保持定心夾具27。卡盤爪50為,由彈簧5 1 1 | 向 其 先 端 部 50b扣合东 >扣合溝2 7d之 方向 彈壓。卡 盤 爪 50 之 1 I 中 間 部 » 有 安 裝 卡 盤 解 除 棍子 52成 為回 轉自如。 又 > 安 裝 1 1 I 台 49 有 安 裝 氣 缸 53 1 其 為 ,押 壓卡 盤解 除棍52來 抗 著 3»itT W 簧 I 1 5ri ji»e 性 而 使 夾 持 爪 50 迴 轉者 1 1 13 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) 3 8 5 5 6 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明( '12 ) 1 I 在 上 述 之 裝 卸 頭 25中 1 1C 1 3為 > 由定 心 夾具21 ,定 位 之 1 1 I 狀 態 下 t 吸 附 於 吸 附 墊 48a而保持之。 如此從托盤4取 出 1 1 1 1C 1 3 時 t 由 機 器 人 本 體 24移 勤 裝 卸 頭 25 , 在 對1C插 座 I A正 1 I 請 1 I 確 的 位 置 及 正 確 的 方 向 下 降 裝 卸 頭 25 C 先 閲 I 讀 1 I 此 時 , 第 1及第2之 插 座 壓 件 42 , 43之 開 度偽事 先 經 調 背 1 | 之 1 整 i 因 此 由 第 1及第2 之 插 座 壓 件 42 ,43推 壓1C插 座 Ιή 之 注 1 拳 1 蓋 體 37 使 接 腳 36彈 性 變 形 如 第 9圖所示。 以該狀態下, 項 再 1 - 填 1 解 除 1C 1 3 之 吸 附 » 昇 上 裝 卸 頭 25 0 於 是, 接 腳36恢 復 原 狀 馬 本 裝 I » 安 裝 1C 1 3於 1C 插 座 1 A 〇 拔 取 1C 1 3 時 ,以 相 反於上 述 順 序 貝 1 1 1 為 之 C I 1 其 次 1 就 變 更 1C 1 3 之 種 類 時 之 1C 裝卸 裝 置之動 作 説 明 1 I 如 下 C 第 1 5 圖 為 顯 示 第 1圖之1C裝卸裝置之種類變更時之 訂 1 勤 作 順 序 之 流 程 圖 0 首 先 » 作 業 ^3 為 ,對 第 1圖之操作盤 1 I 30 輸 入 種 類 變 更 運 轉 指 令 之 同 時 t 輸 入新 換 1C之種 類 及 所 1 I 使 用 之 1C插 座 等 資 料 中 所 必 要 的 資 料 。由 此 ,控制 機 器 人 1 線 本 體 24 » 裝 卸 頭 25移 動 至 定 心 夾 具 堆 置部 2 8 (步驟S 1) 0 控 1 1 制 部 之 記 億 體 内 » 預 先 輸 人 而 有 記 億 定心 夾 具堆置 部 28 中 1 1 各 定 心 夾 具 27 之 保 管 位 置 i 裝 卸 頭 2 5為按 昭 該資料 而 正 確 1 1 地 移 動 0 1 1 之 後 > 動 作 裝 卸 頭 25 之 氣 缸 53 > 夾持 爪 5 0為抗 著 彈 簧 1 I 51 之 彈 性 力 迴 轉 t 解 除 夾 持 爪 50 之 先 端部 5 0 b對定心夾具 1 I 27 之 扣 合 溝 27d之扣合。 裝卸頭25以該狀態下向上移動, 1 1 1 如 第 16 圖 所 示 > 定 位 銷 27 a脱離定ίΐ ?1 49a 9 從裝卸 頭 25解 1 1 放' * 定 心 夾 具 27 (步驟S2) 0 1 1 14 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) 3 8 5 5 6 312809 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明( 13 ) 1 I 其 次 如 第 1 7圖 所 示 .裝 卸 頭 25移 動 至 定 位 構 件26 »之 1 1 1 側 方 (步驟S3) » 使第 1棍子47A對 向 於 凹 部 26 »a c 又, 第1 7 1 1 圖 乃 至 第 2 1圖 中 省略 定 心 夾具 之 支 持 構 造 之 圖 示 〇 之後 » />·—N 1 I 請 1 I 裝 卸 頭 25移 動 至 定位 構 件 26側 9 第 1棍子ί 插 入 於 凹 部26 a 先 閱 I i如' I | 内 之 同 時 將 第 2棍子47E 壓接 於 定 位 構 件 2 6 0 於 是 ,如 第 背 ιέ 1 | 之 1 1 8 fa] 圖 所 示 t 抗 著 彈簧 44 之 彈性 力 關 閉 第 2之插座壓件43, 注 意 1 事 1 與 其 同 步 之 第 1插座壓件4 2亦闋閉, 解除嚙合面42c 與嚙 合 項 再 1 而 46 a之嚙合, 止動件4 6分離第1 之 插 座 壓 件 42 (步驟S4) C 寫 本 裝 I 之 後 , 如 第 1 9圖 所 示 ,上 昇 裝 卸 頭 2 5 » 第 1痼棍子47 A 貝 1 1 I 擋 接 於 凹 部 26 a之上面, 即定位面26b C 從 該 狀 態 i 裝卸 頭 1 1 25再 上 昇 (步驟S 5)時 » 捍 4 5向 圖 中 反 時 針 方 向 迴 轉 。控 制 1 I 部 為 1 預 先 有 輸 入並 記 億 相應 於 1C 13 種 類 之 裝 卸 頭 25之 移 訂 1 動 量 裝 卸 頭 25為停 止 在 所設 定 之 高 度 0 1 I 之 後 i 如 第 2 0圖 所 示 ,當 裝 卸 頭 25 為 向 離 開 定 位構 件 1 I 26 之 方 向 水 平 移 動時 » 第 1及第2 之 插 座 壓 件 42 » 43為依 彈 1 1 - 線 簧 44 之 復 原 力 而 各別 向 開 方向 迴 轉 止 動 件 46再 度 與第 1 1 插 座 壓 件 42 結 合 (步驟S6 ) 。然 後 t 如 第 2 1 圖 所 示 > 裝卸 頭 1 1 25 進 一 步 水 平 移 動而 離 開 定位 構 件 26 時 * 兀 成 第 1及第2 之 1 1 插 座 押 壓 件 42 負 43之 開 度 ,亦 即 下 端 部 間 隔 之 變 更 〇 1 1 第 1及第2 之 插座 壓 件 42 , 43 之 開 度 為 1 由 止 動 件46對 1 | 第 1插座押壓件42之β ί置來調整, 止動件46之仅 ί置名 i由捍 1 I 45 之 角 度 來 調 整 〇再 者 9 捍45 之 角 度 為 由 裝 卸 頭 25從 定 1 1 1 位 面 26 b之上昇量來調整。 因此, 就每- -種 IC1 3 , 將第1 9 1 1 圖' * 所 示 之 裝 卸 頭 25上 昇 時 之高 度 輸 入 控 制 部 而 記 億 ,即 可 1 1 15 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 3 8 5 5 6 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明( 1 4 ί) 1 | 得 到 相 應 於 各 I C 1 3 種 類 之 開 度 〇 1 1 如 此 1 兀 成 開 度 之 變 更 後 1 裝 卸 頭 25再 度 移 動 至 定 心 1 1 I 夾 具 堆 置 部 28 (步驟S7 ) 0 該 時 » 裝 卸 頭 25為 正 確 地 定 位 於 請 先 闊 讀 背 ιέ 之 1 1 下 — 次 安 裝 之 定 心 夾 具 堆 置 部 28之 保 管 位 置 正 上 面 位 置 C 丨 I 然 後 > 夾 持 爪 50為 由 氣 缸 53所 驅 動 抗 著 彈 簧 51彈 性 迴 轉 1 1 1 之 狀 態 下 > 如 第 2 2圖 所 示 t 裝 卸 頭 25下 降 9 將 定 位 銷 27 a 注 意 事 1 1 插 入 於 定 位 孔 49 a内。 項 再 填 1 1 裝 I 之 後 » 如 第 24圖所 示 » 解 除 氣 缸 53之 推 壓 之 後 » 夾 持 寫 本 fl 爪 50為 由 彈 簧 51迴 轉 i 其 先端部50b扣合於扣合溝2 7d * 完 1 1 I 成 定 心 夾 具 27之 安 裝 (步驟S8) 0 於 是 > 終 了 定 心 夾 具 27之 1 更 換 及 插 座 壓 件 42 » 43之 開 度 調 整 i 裝 卸 頭 25可 實 行 所 選 1 1 擇 之 IC13 之 裝 卸 作 業 0 訂 1 根 據 具 有 該 裝 卸 頭 25之 1C裝 卸 裝 置 * 變 更 IC1 3種類 時 1 1 也 不 必 更 換 整 個 裝 卸 頭 25 * 可 節 省 更 換 裝 卸 頭 25所 需 時 間 1 I » 藉 此 可 大 幅 度 提 高 作 業 效 率 0 線 又 » 在 控 制 部 儲 存 1C及 1C插 座 之 資 料 來 白 動 實 行 定 心 1 I 夾 具 27之 更 換 及 插 座 壓 件 42 » 4 3之 開 度 調 整 * 因 此 » 可 更 1 1 提 高 作 業 效 率 C 1 1 再 者 » 以 裝 卸 頭25對具有定 位 面 26b之定位構件26之 1 1 移 動 量 可 調 整 插 座 壓 件 42 9 43之 開 度 t 因 此 f 可 正 確 地 調 1 1 整 開 度 0 1 I 又 » 用 氣 缸 53迴 轉 夾 持 爪 50來 解 除 定 心 夾 具 27之 鎖 固 1 I • 因 此 可 在 小 空 間 内 迅 速 地 裝 卸 定 心 夾 具 27 C 但 省 略 氣 缸 ! 1 I 5 3 * * 用 手 動 方 式 迴 轉 卡 盤 爪 50來 更 換 定 心 夾 具 27也 可 能 0 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) 16 3 85 5 6 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明(1 > ) 1 1 又 由 同 步 齒 輪 42b 43b . 可 使 —— 對 插 座 押 壓 件 42 , 1 | 43同 步 迴 轉 f 可 容 易 調 整 開 度 C 1 1 1 又 » 在 上 述 例 中 顯 示 有 關 燒 入 過 程 > 妖 而 » 在 燒 入 過 /-—X 1 1 請 1 I 程 之 前 後 所 實 行 之 電 性 動 作 試 驗 中 J 若 有 1C對 1C 插 座 裝 卸 先 閱 1 讀 | 之 必 要 時 9 即 可 適 用 本 發 明 之 裝 置 D 背 ίέ 1 I 之 1 £. m 形 熊 JL 意 1 1 事 1 在 上 述 例 中 顯 示 白 動 調 整 插 座 壓 件 42 , 43 之 間 隔 » 但 項 再 1 導 1 用 手 動 實 行 者 亦 可 0 即 如 第 24 圖 所 示 ί 省 略 第 1之棍子, 舄 裝 頁 1 用 夾 具 等 以 手 動 方 式 調 整 止 動 件 46 之 位 置 亦 可 0 該 時 t 可 1 I 在 插 座 壓 件 42上 標 記 對 應 於 1C 種 類 之 止 動 件 46 之 結 合 位 置 1 1 0 宵 施 形 m 3 1 訂 1 第 25 圖 顯 示 本 發 明 實 施 之 形 態 3之裝卸頭要部之構成 1 I 圖 C 圖 中 9 在 一 對 插 座 壓 件 42 > 43 之 上 端 部 9 設 有 該 等 迴 1 I 轉 時 互 相 嚙 合 之 同 步 齒 輪 6 1 > 62 0 有 由 氣 缸 63 上 下 移 動 之 1 線 作 為 保 持 間 隔 構 件 之 齒 軌 6 4 壓 接 於 該 等 同 步 齒 輪 6 1 < 62 C 1 1 其 他 構 成 為 大 致 上 相 同 於 上 述 實 施 之 形 態 1 0 1 1 在 該 裝 卸 頭 中 » 由 齒 軌 6 4來 保 持 插 座 壓 件 42 ) 43 之 間 1 1 隔 0 因 此 » 欲 變 更 該 間 隔 時 > 用 氣 缸 63使 同 步 齒 輪 6 1 » 62 1 1 開 離 齒 軌 64 之 後 t 如 第 26 圖 所 示 f 將 棍 子 47 Β壓接梦 >具有 1 I 平 面 之 定 位 構 件 65 » 抗 箸 彈 簧 44 之 彈 性 而 閉 合 插 座 壓 件 1 | 42 9 43 〇 之 後 1 如 第 27 圖 所 示 t 將 裝 卸 頭 水 平 移 勤 所 設 定 1 1 I 之 量 参 成 為 適 當 開 度 狀 態 時 » 開 動 氣 缸 63 » 用 齒 軌 64 鎖 固 1 1 同嗲 齒 輪 6 1 9 62 0 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Λ4規格(210 X 297公釐) 17 3 8 5 5 6 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 五、 發明説明( 16 ) 1 I 藉 該 裝 卸 頭 亦 如 同 實 施 形 態 1可 自動諝整插座壓 件42 . 1 1 I 43之 間 隔 ί 可 提 高 作 業 效 率 C 1 1 1 又 參 在 上 述 例 中 使 用 齒 軌 64作 為 保 持 間 隔 構 件, 但 只 I 請 1 I 要 是 其 可 抗 著 彈 簧 44之 彈 性 而 可 停 止 同 步 齒 輪 6 1 ,62之 迴 先 閲 1 I 讀 1 I 轉 » 即 一 般 的 摩 擦 材 料 亦 可 * 且 可 連 缠 調 整 開 度 〇 背 面 1 | 之 1 形 態 4 意 1 I 事 1 在 上 述 例 中 氣 缸 63來 移 動 齒 軌 63 , 妖 而 9 如第28 i αΐ _ 項 再 1 填 1 所 示 9 用 具 有 操 作 桿 66 a之壓接裝置66, 將齒軌壓接 於同 寫 本 裝 頁 1 步 齒 輪 6 1 > 62之 構 成 亦 可 0 該 時 » 切 換 操 作 桿 66 ί(來 使齒 ^--✓ 1 軌 6 4向 上 移 動 9 可 解 除 同 步 齒 輪 6 1 S 62 之 鎖 固 C 又, 插 座 1 1 壓 件 42 » 43 之 間 隔 為 t 使 用 配 合 於 所 對 應 種 類 之 間隔用 之 1 1 夾 具 以 手 動 方 式 調 整 C 訂 1 菁 m 形 態 {j I | 第 29 圖 為 顯 示 本 發 明 實 施 形 態 5之裝卸頭要部之 構成 1 I 圖 0 圖 中 i 在 頭 軸 4 1 之 下 端 部 9 固 定 有 向 水 平 方 向延伸 之 1 1 線 導 軌 7 1 0 有 對 插 座 壓 件 » 即 第 1及第2之 插 座 壓 件7 2 , 73 1 為 藉 導 承 構 件 74而 互 相 平 行 地 安 裝 於 該 導 軌 7 1 C 該等插 座 1 1 壓 件 72 > 7 3 為 » 可 沿 著 導 軌 7 1 而 直 線 移 動 白 如 0 又, 第 1 1 1 之 插 座 壓 件 72設 有 嚙 合 面 72 a c 1 1 第 1及第2 之 插 座 壓 件 72 • 73 之 間 > 設 有 彈 箦 7 5來將 該 1 I 等 插 座 壓 件 向 互 相 開 離 之 方 向 彈 壓 C 固 定 於 頭 軸 41之支 持 1 I 部 (未圖示) 安 裝 有 以 支 點 76 a為中心而迴轉自句 1之齒 輪7 6 1 1 1 0 該 齒 輪 76上 t 以 對 稱 於 支 點 76 a之狀態設有- -對凸 輪溝 1 1 1 7 6 b 〇 固定方〗 :插座壓件72 , 7 3之ft I合銷77滑動自如地 扣合 1 1 18 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 3 8 5 5 6 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明(17 ) 1 I 於 該 等 凸 輪 溝 76b c 齒輪76為, 將、 +周部之齒嚙合於定位 1 I 用 齒 軌 7 8之 齒 之 狀 態 上 下 移 動 裝 卸 頭 來 迴 轉 C I 1 | 該 例 中 之 直 線 移 動 機 構 79偽 由 導 軌 7 1 * 導承構件74 , V I 請 i 先 齒 輪 76及 扣 合 銷7 7所構 成 C 齒 輪7 6之 支 點 76 a安裝有棒狀 閱 I 讀 背 面 1 I 之 桿 79 0 在 捍 79之 一 端 部 » 迥 轉 白 如 地 安 裝 有與嚙合面 1 I 之 1 I 72 a嚙合之止動件80。 桿79之另- -端部, 迴轉自如地安裝 注 意 1 | 事 1 有 m 子 8 1 〇 項 再 1 裝 該 裝 卸 頭 為 » 以 齒 輪 76嚙 合 於 定 位 用 齒 軌7 8之狀態改 舄 本 頁 1 變 裝 卸 頭 之 高 度 來 迴 轉 齒 輪 76 > 與 其 聯 動 而 移動插座壓件 —^ 1 | 72 * 73來調 整 開 度 0 鎖 定 開 度 時 » 使 止 動 件80嚙合於第1 1 插 座 壓 件 72之 嚙 合 面 7 2a而為之。 1 本 例 中 > 第 1及第2之 插 座 壓 件 72 73之 開度為,並非 訂 1 藉 迴 轉 * 而 藉 直 線 移 動 來 調 整 ί 因 此 = 可 使 對吸附墊483 1 1 先 端 面 之 插 座 壓 件 72 t 73先端 面 之 高 度 方 向 位置為不依靠 1 I 開 度 而 可 經 常 保 持 為 一 定 S 可 防 止 吸 附 墊 48 3對1C之壓接 線 力 之 變 化 0 1 I s_ 形 熊 1 1 在 上 述 實 施 之 形 態 5中, 自動調整插座壓件72, 73之 1 1 1 間 隔 $ 但 使 用 夾 具 等 以 手 動 方 式 調 整 亦 可 C 該時,使用如 1 1 第 3 0圖 所 示 之 構 造 » 以 手 動 方 式 來 解 除 止 動 件8 0之狀態下 1 I » 以 手 m 方 式 迴 轉 齒 輪 76即 可 C 1 I 1L 形 態 7 1 第 3 1圖 為 顯 示 本 發 明 實 施 形 態 7之裝卸頭要部之構成 1 1 ! 圖' * C 圖 中 f 第 1及第2之 插 座 壓 件 72 * 73為 i 藉連桿機構82 1 1 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210 X 297公釐) 19 3 8 5 5 6 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明(18 ) 來同步開閉之構成。又,插座壓件72, 73為,藉連桿機構 82,由彈簧83向開方向彈壓。有捍84迴轉自如地安裝於第 2之止動件73。在該桿84之一端部,迴轉自如地安装有與 嚙合面72a嚙合之止動件85,在另一端部,迴轉自如地安 裝有第1之棍子86。又,有第2之棍子87安裝於第2之插座 壓件73。本例中之直線移動機構88為,由導軌7 1,導承構 件74及連捍機構82所構成。 本例之裝卸頭為,對如同第1實施形態之定位構件26 壓接第2棍子87而分離止動件85之後,使裝卸頭上昇至設 定高度來迴轉捍84。之後,水平移動裝卸頭,使插座壓件 72, 73直線移動至止動件85之位置來調整開度。因此,如 同其他例,可提高調整開度之作業效率。又,以直線移動 之方式來調整第1及第2之插座壓件72, 73之開度,因此, 可防止吸附墊48a對1C之壓接力之變化。再者,用連桿機 構82將一對插座壓件72, 73予以同步作業,其構造簡單。 官旃形糠8 在上述實施之形態7中,自動調整插座壓件72, 73之 間隔,但使用夾具等以手動方式調整亦可。此時,使用如 第32圖所示之構造,以手動方式來解除止動件85之狀態下 ,以手動方式移動插座壓件72, 73即可。 實fe 形態 第33圖為顯示本發明實施形態7之裝卸頭要部之構成 圖。圖中,有脈衝馬達91固定在頭軸41。有滾珠絲杠( b aYl SCrew)92螺合於沿著導軌71直線移動之一對插座颸 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. -訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 20 3 8 5 5 6 312SQ9 A7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 B7 五、發明説明(19 ) 件72, 73。該滾珠絲杠92之螺合於第1插座壓件72之部分, 與螺合於第2插座壓件7 3之部分,分別設有相反方向之螺 絲紋。因此,當滾珠絲杠92回轉時,第1及第2之插座壓件 7 2 , 7 3為分別向相反之方向,即開閉之方向移動。脈衝馬 達91之驅動力為.藉滑輪93, 94及同步皮帶95而傳達至滾 珠絲杠92。本例中之直線移動機構96為,由導軌71,導承 構件74,脈衝馬達91,滾珠絲杠92,滑輪93, 94及同步皮 帶95所構成。 在本例之裝卸頭中,用脈衝馬達91回轉滾珠絲杠92來 自動調整插座壓件7 2 ^ 7 3之間隔。又,控制部有儲存得到 對應於I C種類之插座壓件7 2 , 7 3間隔用之脈衝馬達9 1之蓮 轉資料,輸入1C之種類即在所必要時間内對脈衝馬達91通 電,將插座壓件7 2 , 7 3之間隔變更成為所設定之間隔。 發明夕效果 如以上說明,根據申請專利範圍第1項之發明之I C裝 卸裝置像構成為對應1C插座之尺寸來可調整裝卸頭之插座 壓件之間隔,因此,不需要隨箸1C種類之變更而變更裝卸 頭,可大幅度提高作業效率c 根據申請專利範圍第2項之發明之1C裝卸裝置為,將 1C及1C插座當中之至少一方之資料輸入於控制部,藉以可 自動調整插座壓件之間隔,因此,可大幅度提高作業效率 C 根據申請專利範圍第3項之發明之IC裝卸裝置為,以 装Ίίρ頭之棍子擋接於定位構件之定位面之狀態下移動裝卸 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝· -I訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) 21 3 8 5 5 6 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明(20 ) 頭 而 使 桿 迴 轉 藉 以 動 調 整 插 座 壓 件 之 間 隔 » 因 此 可 更 確 實 且 圓 滑 地 調 整 插 座 壓 件 之 間 隔 C 根 據 申 請 專 利 规 圍 第 4項之發明之 [C裝卸裝置為> 將 ^ 請 1C之 資 料 輸 入 控 制 部 來 白 動 地 從 定 心 夾 具 堆 置 部 上 選 擇 相 先 閱 讀 m 於 1C之 定 心 夾 具 來 更 換 因 此 9 可 提 高 更 換 定 心 夾 具 之 背 τέ 之 效 率 C 注 意 事 根 據 請 專 利 範 圍 第 5項之發明之1C裝卸裝置之裝卸 項 再 填 頭 為 S 構 成 為 可 調 整 插 座 壓 件 之 間 隔 » 因 此 不 必 隨 著 % 本 頁 裝 1C種 類 之 變 更 來 更 換 裝 卸 頭 > 可 大 幅 度 提 高 作 業 效 率 0 根 據 申 請 專 利 範 圍 第 6項之發明之1C裝卸裝置之裝卸 頭 為 > 具 備 有 將 插 座 壓 件 逼 向 開 離 間 隔 之 方 向 之 彈 簧 > 迴 轉 白 如 地 設 在 任 何 一 方 之 插 座 壓 件 之 捍 5 設 在 該 捍 之 一 端 訂 部 » 相 應 桿 之 迴 轉 角 度 來 控 制 插 座 壓 件 之 間 隔 之 間 隔 控 制 構 件 9 因 此 以 簡 no 単 的 構 造 可 調 整 插 座 壓 件 之 間 隔 之 同 時 » 可 確 實 保 持 所 調 整 之 間 隔 0 線 根 據 Φ 請 專 利 範 圍 第 7項之發明之1C裝卸裝置之裝卸 頭 為 爹 具 備 有 調 整 插 座 壓 件 之 間 隔 時 使 — 對 插 座 壓 件 同 步 變 位 之 同 步 齒 輪 9 因 此 9 以 簡 r»r* 単 的 構 造 可 諝 整 插 座 壓 件 之 間 隔 成 為 左 右 均 等 之 狀 態 0 根 據 申 請 專 利 範 圍 第 8項之發明之1C裝卸裝置之裝卸 頭 為 » 具 備 有 將 插 座 壓 件 逼 向 開 離 間 隔 之 方 向 之 彈 簧 » 調 整 插 座 壓 件 之 間 隔 時 使 一 對 插 座 壓 件 同 步 變 位 之 同 步 齒 輪 » 壓 接 於 同 步 齒 輪 來 保 持 插 座 壓 件 之 間 隔 之 保 持 間 隔 構 件 S ,* 因 此 9 以 簡 單 的 構 造 可 調 整 插 座 壓 件 之 間 隔 成 為 左 右 均 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 22 38 5 5 6 A7 B7 五、發明説明(21 ) 等之狀態之同時,可確實保持所調整之間隔 地 步 同 下 態 狀 行 平 其 持 保 以 件 壓 第座 圍插 範對 利一 專將 請有 申備 據具 根 , 為 頭 卸 裝 之 置 裝 卸 裝 C I 之 明 發 之 項 , 常 下經 態 置 狀位 之 向 度方 開度 靠 高 依之 不 面 , 端 此先 因件 , 壓 構座 機捅 動之 移面 線端 直先 之部 動附 移吸 線對 直將 化 變 之 力 接 壓 之 部 附 吸 之 C TJ 對 止 防 可明 , 説 定望 一 簡 為之 持式 保圖 圖 視 斜 之 置 裝 卸 裝 C 一—.. 之 1ί 態 形 施 實 明 發 本 示 顯 為 圖 11 第 視 斜 之 〇 態 圔狀 視之 斜器 之存 。 置 儲 圖裝盤 面上托 平昇示 之盤所 置托圖 裝之g3 第 上 第第昇 示示示 顯顯顯 為為為 圖圖圖 2 3 4 第第第 圖圖 11 11 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝· 訂 圖 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 第第第第第第 之 板 基 示 顯 為 圖 5 座 U 捅 C I 示 顯 為 圖 6 函圖 面 面 平平 之 之 例例 圖 面 平 之 態 狀 之 壓 。推 〇 圖體圖 面蓋面 剖之剖 之圖之 圖 δ 匾 6 第 8 第將第 示 示 示 顯顯顯 為為為 圖圖圖 圖 面 平 之 置 裝 轉 反 板 基 之 圖 11 第 示 顯 為 _ 圖 視 斜 之 屮 作 轉 反 。 板 圖基 視之 斜置 之裝 圖圖 ο ο 11 1 第第 示示 顯顯 為為 圖圖 1 2 1 .1 第第 具 夾 心 第定 示示 顯顯 為為 圖圖 3 4 11 Ί_ 第第 圖 面 正 之 頭 卸 裝 之 圖 圖 視 斜 之 例 線 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210 X 297公釐) 23 3 8 5 5 6 312SG9 A7 B7五、發明説明(22 ) 第15圖為顯示第1圔之1C装卸裝置之變更種類時之動 作順序之流程圖。 構 之 態 狀 之 放 開 以 予 具 夾 心 定 之 圖 3 1 第 示 顯 為 圖 6 11 第 圖 成 狀 之 件 構 位 定 至 動 移 頭 卸 裝 之 圖 第 將 示 〇 顯圖 為成 圖構 17部 第要 之 態 狀 之 件 構 位 定 於 接 壓 頭 卸 裝 之 圖 7 1 第 將 示 。 顯圖 為成 圖構 18部 第要 之 態 要 之 態 狀 之 昇 上 以 予 頭 卸 裝 之 圖 8 第 將 示 顯 為 圖 〇 9 Ϊ 1 圖 第成 構 部 態 狀 之 33 移 平 水 以 予 頭 卸 裝 之 圖 9 1L 第 將 示 顯 。 為圖 圖成 20構 第部 要 之 之 件 構 位 定 離 開 以 予 頭 卸 装 之 圖 ο 2 第 將 。 示 圖 顯成 為構 圖部 21要 第之 態 狀 具 夾 心 定 至 降 下 以 予 頭 卸 裝 之 圖 1L 2 C 第圖 將成 示構 顯部 為要 圖之 22態 第狀 之 上 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝- 訂 線 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 態 狀 之 裝 安 之 具 夾 心 定 示 所 圖 2 2 第 成 完 示 顯 為 〇 圖圖 23成 第構 部 要 成 構 之 部 要 頭 卸 裝 之 2 態 形 施 實 明 發 本 示 顯 為 圖 4 2 第 圖 圖 成 構 之 部 要 頭 卸 裝 之 3 態 形 施 實 明 發 本 示 顯 為 圖 5 2 第 狀 之 件 構 位 定 於 接 壓 頭 卸 裝 之 圖 5 2 第 將 示 顯 為 〇 圖圖 6 2 成 第構 ,之 態 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 3 8 5 5 6 A7 B7 五、發明説明(23 ) 第27圖為顯示將第26圖之裝卸頭予以水平移動之狀態 之要部構成圖。 成 構 之 部 要 頭 卸 裝 之 4 態 形 施 實 明 發 本 示 顯 為 圖 8 2 第 圖 成 構 之 部 要 頭 卸 裝 之 5 態 形 施 實 明 發 本 示 顯 為 圖 9 2 第 圖 成 構 之 部 要 頭 卸 裝 之 6 態 形 施 實 明 發 本 示 顯 為 圖 ο 3 第 圖 成 構 之 部 要 頭 卸 裝 之 7 態 形 施 實 明 發 本 示 顯 為 圖 11 3 第 (請先閏讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 圖 成 構 之 部 要 頭 卸 裝 之 8 態 形 施 實 明 發 本 示 顯 為 圖 2 3 第 圖 第 訂 圖 第 之 置 態 裝 形 卸 施 裝 實1C 明 之 發 往 本 以 示 示 顯 顯 為 為 圖 圖 成 構 之 部 要 頭 卸 裝 之 圖 視 斜 之 例 明Μ 符 板 基 頭 插 路 電 擭 uen 積 線 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 § 托 4 器 存 儲 盤 托 η 8 部 5 b 1 1 2 6 給 2 供 板 基 /ί\ 置 置置 裝 裝裝體 上台蓮轉本件 昇平搬反人構 盤盤盤板器位 托托托基機定
部部 路承給 電支供 體盤盤 積托托 3 5 8 11 11 1L 頭面 卸位 裝定 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210 X 297公釐) 25 38 5 5 6 31SSG0 at __B7 五、發明説明(24 ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 27 定 心 夾具 28 定 心 夾 具堆置部 37 蓋 體 (可動部 ) 42, 43 72, 73 插座壓件 42 b 、43b 同步齒輪 44 彈 簧 45 桿 4 6 止 動 件(間隔 控制構件) 47 A 第 1之棍子 48 吸 附 管 (吸附部) 50 卡 盤 爪 53 氣 缸 63 齒 軌 (間隔保 持構件) 78, 88 % 96 直線移動機構 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) 26 3 8 5 5 6

Claims (1)

  1. 2S0d ^ C8 D8 七、申請專利範圍 1. 一種積體電路裝卸裝置,其待激為,具備有: 供給有載置積體電路(以下簡稱為1C)之托盤之托 盤供給部, 供給具有推鼴可動部而使其變位,藉以裝卸上述 1C之1C插座之基板之基板供給部, 在供給於上述托盤供給部之托盤及供給於上述基 板供給部之基板之間,移送上述1C用之機器人本體, 可對暱上述1C插座之尺寸而諏整間隔,具有複數 値可壓上述1C插座可動部之插座壓件,由上述機器人 本體支持,吸附保持上述I C之吸附頭,以及 控制上述機器人本體之動作之控制部者。 2. 根據申請專利範圍第1項之ic裝卸裝置,在icaic插座 當中之至少有一方之資料輸入於控制部來自動調整插 座壓件之間隔者。 3. 根據申請專利範圍第2項之1C裝卸裝置,其中,裝卸頭 為,具備有: 一對插座壓件, 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 將上述插座壓件向互相之間隔擴開之方向彈壓之 彈簧, 迴轉自如地設在任何一方之插座壓件之桿, ‘設在該捍之一端部,相應上述桿之迴轉角度而控 制插座壓件之間隔之間隔控制構件, 設在上述捍之另一端部之棍子, ^ 在機器人本體之上述裝卸頭之移動範圍内,設置 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 27 38 5 5 6 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 々、申請專利範圍 具有定位面之定位構件,以上述棍子擋接於上述定位 面之狀態下移動上述裝卸頭來使上述桿迴轉來調整上 述插座壓件之間隔者。 4. 根據申請專利範圍第1項至第3項中任何一項之1C裝卸 裝置,其為,具備有: 設有安裝於裝卸頭而將1C予以定心(centerMns)之 複數個定心夾具(centering jig)之定心夾具堆置部, 輸入上述1C之資料於控制部來自動選擇相應於上述1C 之定心夾具而更換者。 5. —種1C裝卸裝置之裝卸頭,其待徽為,具備有: 由機器人本體支持,吸附1C之吸附部, 設在該吸著部之外侧之同時.可調整互相之間隔, 對1C插座裝卸上述1C時可壓上述1C插座之可動部之一 對插座壓件者。 6. 根據申請專利範圍第5項之1C裝卸裝置之裝卸頭,其為 ,具備有: 將插座壓件逼向其間隔擴開之方向之彈簧, 迴轉自如地設在任何一方之插座壓件之桿, 設在該桿之一端部,相上述桿之迴轉角度而限 制上述插座壓件之間隔之間隔控制構件者。 7. 根據申請專利範圍第5項或第6項之1C裝卸裝置之裝卸 頭,其為,具備有同步齒輪,以便在調整插座壓件之 間隔時,使一對之插座壓件予以同步而變位者。 8. ^根據申請專利範圍第5項之1C裝卸裝置之裝卸頭,其為 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 28 3 8 5 5 6 A8 B8 C8 D8 申請專利乾圍 ,具備有: 予 件 , 壓 簧座 "ml I 彈捅 之之 向對 方 一 之使 開 * 擴時及 隔隔 , 間間輪 其之齒 向件步 逼壓同 件座之 壓插位 座整變 插調而 將在步 同 以 之 隔 間 之 件 壓 座 捅 持 保 以 輪 齒 步 同 〇 述者 上件 於構 接持 壓保 隔 間 下者 之構 態機 狀動 第行移 圍平線 範其直 利持.之 專保勤 請有移 申備線 據具直 根 ,地 9 之 項 為 其 頭 卸 裝 之 置 裝 卸 裝 步 同 件 壓 .i 1-m 插 對1 使 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝. 訂 線 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙3L尺度逋用中國國家梂準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 29 3 8 5 5 6
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