JPH09321183A - Ｉｃ着脱装置及びその着脱ヘッド - Google Patents
Ｉｃ着脱装置及びその着脱ヘッドInfo
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- JPH09321183A JPH09321183A JP8135495A JP13549596A JPH09321183A JP H09321183 A JPH09321183 A JP H09321183A JP 8135495 A JP8135495 A JP 8135495A JP 13549596 A JP13549596 A JP 13549596A JP H09321183 A JPH09321183 A JP H09321183A
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B25J15/02—Gripping heads and other end effectors servo-actuated
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- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、ＩＣの品種の変更に伴う着脱ヘッ
ドの交換を不要とし、作業効率を向上させることを目的
とするものである。 【解決手段】 ロボット本体２４に支持されＩＣソケッ
ト１Ａに対してＩＣ１３を着脱する着脱ヘッド２５のソ
ケット押さえの間隔を、ＩＣソケット１Ａのサイズに応
じて調整可能とした。
ドの交換を不要とし、作業効率を向上させることを目的
とするものである。 【解決手段】 ロボット本体２４に支持されＩＣソケッ
ト１Ａに対してＩＣ１３を着脱する着脱ヘッド２５のソ
ケット押さえの間隔を、ＩＣソケット１Ａのサイズに応
じて調整可能とした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、トレイ上のＩＣ
を移送して、例えばバーンイン工程用の基板上のＩＣソ
ケットに装着したり、逆にＩＣソケットからＩＣを抜き
取りトレイ上に移送するＩＣ着脱装置に関するものであ
る。
を移送して、例えばバーンイン工程用の基板上のＩＣソ
ケットに装着したり、逆にＩＣソケットからＩＣを抜き
取りトレイ上に移送するＩＣ着脱装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、製造されたＩＣ（ＩＣパッケー
ジ）は、例えば１２０〜１３０℃の高温下で所定時間通
電するバーンイン工程を経た後に、電気的動作試験が行
われる。上記のバーンイン工程においては、基板上に並
んだ複数のＩＣソケットにＩＣを装着、即ち電気的に接
続した状態で、基板がバーンイン炉内にセットされる。
従って、バーンイン工程の前後には、基板上のＩＣソケ
ットに対してＩＣを移送し着脱する工程が必要となり、
この工程のためにＩＣ着脱装置が使用される。
ジ）は、例えば１２０〜１３０℃の高温下で所定時間通
電するバーンイン工程を経た後に、電気的動作試験が行
われる。上記のバーンイン工程においては、基板上に並
んだ複数のＩＣソケットにＩＣを装着、即ち電気的に接
続した状態で、基板がバーンイン炉内にセットされる。
従って、バーンイン工程の前後には、基板上のＩＣソケ
ットに対してＩＣを移送し着脱する工程が必要となり、
この工程のためにＩＣ着脱装置が使用される。
【０００３】図３４は従来のＩＣ着脱装置の一例を示す
斜視図である。図において、複数のＩＣソケット（図示
せず）が搭載されている基板（バーンイン基板）１は、
基板搬送部２により基板マガジン３から１枚ずつ搬送さ
れる。基板搬送部２の近傍には、複数のトレイ４が収納
されているトレイ収納部５が設けられている。各トレイ
４には、複数のＩＣ（図示せず）が載置される。
斜視図である。図において、複数のＩＣソケット（図示
せず）が搭載されている基板（バーンイン基板）１は、
基板搬送部２により基板マガジン３から１枚ずつ搬送さ
れる。基板搬送部２の近傍には、複数のトレイ４が収納
されているトレイ収納部５が設けられている。各トレイ
４には、複数のＩＣ（図示せず）が載置される。
【０００４】基板１とトレイ４との間のＩＣの移送は、
ロボット本体６によって行われる。このロボット本体６
には、ＩＣを吸着して保持する２個の着脱ヘッド７が搭
載されている。これら２個の着脱ヘッド７の間隔は、基
板１におけるＩＣソケットのピッチ、及びトレイ４内の
ＩＣ収納ピッチに応じて調整可能になっている。また、
ロボット本体６には、トレイ４を搬送するためのトレイ
チャック部８も搭載されている。
ロボット本体６によって行われる。このロボット本体６
には、ＩＣを吸着して保持する２個の着脱ヘッド７が搭
載されている。これら２個の着脱ヘッド７の間隔は、基
板１におけるＩＣソケットのピッチ、及びトレイ４内の
ＩＣ収納ピッチに応じて調整可能になっている。また、
ロボット本体６には、トレイ４を搬送するためのトレイ
チャック部８も搭載されている。
【０００５】次に、動作について説明する。例えば、ト
レイ収納部５に収納されたトレイ４上のＩＣを基板１上
のＩＣソケットに装着する場合、着脱ヘッド７をロボッ
ト本体６によりトレイ４のＩＣ上に移動させ、２個のＩ
Ｃを吸着させる。この後、着脱ヘッド７を基板１のＩＣ
ソケット上に移動させ、ＩＣソケットに装着して吸着を
解除する。
レイ収納部５に収納されたトレイ４上のＩＣを基板１上
のＩＣソケットに装着する場合、着脱ヘッド７をロボッ
ト本体６によりトレイ４のＩＣ上に移動させ、２個のＩ
Ｃを吸着させる。この後、着脱ヘッド７を基板１のＩＣ
ソケット上に移動させ、ＩＣソケットに装着して吸着を
解除する。
【０００６】このとき、ＩＣソケットには、コンタクト
の開閉を行うカバーが設けられており、このカバーを着
脱ヘッドで押圧することにより、コンタクトを開いた状
態でＩＣをＩＣソケットにセットする。そして、着脱ヘ
ッド７を上動させることにより、カバーの押圧を解除し
て、コンタクトを閉じ、ＩＣをＩＣソケットに保持させ
る。また、着脱ヘッド７におけるＩＣの位置決めは、Ｉ
Ｃの肩部をチャック爪（図示せず）で四方から矯正する
ことにより行われる。
の開閉を行うカバーが設けられており、このカバーを着
脱ヘッドで押圧することにより、コンタクトを開いた状
態でＩＣをＩＣソケットにセットする。そして、着脱ヘ
ッド７を上動させることにより、カバーの押圧を解除し
て、コンタクトを閉じ、ＩＣをＩＣソケットに保持させ
る。また、着脱ヘッド７におけるＩＣの位置決めは、Ｉ
Ｃの肩部をチャック爪（図示せず）で四方から矯正する
ことにより行われる。
【０００７】このようにして、トレイ４からＩＣを２個
ずつ基板１のＩＣソケットに装着していき、基板１の全
てのＩＣソケットにＩＣが装着されたら、次の基板１が
基板搬送部２により供給される。また、トレイ４の全て
のＩＣが無くなったら、トレイチャック部８により新た
なトレイ４が供給される。
ずつ基板１のＩＣソケットに装着していき、基板１の全
てのＩＣソケットにＩＣが装着されたら、次の基板１が
基板搬送部２により供給される。また、トレイ４の全て
のＩＣが無くなったら、トレイチャック部８により新た
なトレイ４が供給される。
【０００８】上記のように、ＩＣソケットにＩＣが装着
された基板をバーンイン炉（図示せず）に収納すること
により、バーンイン工程が行われる。バーンイン工程の
後には、上記と逆の手順によりＩＣソケットのＩＣがト
レイ４に移送される。
された基板をバーンイン炉（図示せず）に収納すること
により、バーンイン工程が行われる。バーンイン工程の
後には、上記と逆の手順によりＩＣソケットのＩＣがト
レイ４に移送される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記のように構成され
た従来のＩＣ着脱装置においては、チャック爪でＩＣの
位置決めをする必要があるとともに、ＩＣソケットにＩ
Ｃを着脱する際、着脱ヘッドのソケット押さえ（図示せ
ず）によりＩＣソケットのカバーを押圧する必要がある
が、装着されるＩＣに応じてＩＣソケットには種々のサ
イズのものがあるため、それぞれのＩＣソケットのサイ
ズに対応するソケット押さえと、ＩＣのサイズに対応す
るチャック爪とを有する着脱ヘッドを多数保管してお
き、ＩＣ及びＩＣソケットの種類が変わるたびに着脱ヘ
ッド全体を交換する必要があった。このような着脱ヘッ
ドの交換を行うためには、装置の運転を停止して１５〜
２０分以上もかかり、作業効率の低下を招いていた。特
に、多種少量生産の製品の増加に伴い、着脱ヘッドの交
換の回数も増え、交換のための時間及び労力が作業効率
に与える影響は大きなものとなっている。
た従来のＩＣ着脱装置においては、チャック爪でＩＣの
位置決めをする必要があるとともに、ＩＣソケットにＩ
Ｃを着脱する際、着脱ヘッドのソケット押さえ（図示せ
ず）によりＩＣソケットのカバーを押圧する必要がある
が、装着されるＩＣに応じてＩＣソケットには種々のサ
イズのものがあるため、それぞれのＩＣソケットのサイ
ズに対応するソケット押さえと、ＩＣのサイズに対応す
るチャック爪とを有する着脱ヘッドを多数保管してお
き、ＩＣ及びＩＣソケットの種類が変わるたびに着脱ヘ
ッド全体を交換する必要があった。このような着脱ヘッ
ドの交換を行うためには、装置の運転を停止して１５〜
２０分以上もかかり、作業効率の低下を招いていた。特
に、多種少量生産の製品の増加に伴い、着脱ヘッドの交
換の回数も増え、交換のための時間及び労力が作業効率
に与える影響は大きなものとなっている。
【００１０】一方、特定のサイズのＩＣ及びＩＣソケッ
トのみに対応した着脱ヘッドを多数搭載したロボットに
より、多数のＩＣを同時に移送する装置もあるが、やは
り上記のような多種少量生産には不向きであり、異なる
サイズのＩＣ及びＩＣソケットを扱っている間は、装置
全体を休止させておくことになってしまう。
トのみに対応した着脱ヘッドを多数搭載したロボットに
より、多数のＩＣを同時に移送する装置もあるが、やは
り上記のような多種少量生産には不向きであり、異なる
サイズのＩＣ及びＩＣソケットを扱っている間は、装置
全体を休止させておくことになってしまう。
【００１１】この発明は、上記のような問題点を解決す
ることを課題としてなされたものであり、着脱ヘッドの
交換時間を省略することにより、作業効率を大幅に向上
させることができるＩＣ着脱装置を得ることを目的とす
る。
ることを課題としてなされたものであり、着脱ヘッドの
交換時間を省略することにより、作業効率を大幅に向上
させることができるＩＣ着脱装置を得ることを目的とす
る。
【００１２】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係るＩ
Ｃ着脱装置は、ＩＣが載置されているトレイを供給する
トレイ供給部と、可動部を押圧して変位させることによ
りＩＣが着脱されるＩＣソケットを有する基板を供給す
る基板供給部と、トレイ供給部に供給されたトレイと基
板供給部に供給された基板との間でＩＣを移送するため
のロボット本体と、ＩＣソケットのサイズに応じて間隔
が調整可能になっておりＩＣソケットの可動部を押圧す
る複数のソケット押さえを有し、ロボット本体に支持さ
れＩＣを吸着保持する着脱ヘッドと、ロボット本体の動
作を制御する制御部とを備えたものである。
Ｃ着脱装置は、ＩＣが載置されているトレイを供給する
トレイ供給部と、可動部を押圧して変位させることによ
りＩＣが着脱されるＩＣソケットを有する基板を供給す
る基板供給部と、トレイ供給部に供給されたトレイと基
板供給部に供給された基板との間でＩＣを移送するため
のロボット本体と、ＩＣソケットのサイズに応じて間隔
が調整可能になっておりＩＣソケットの可動部を押圧す
る複数のソケット押さえを有し、ロボット本体に支持さ
れＩＣを吸着保持する着脱ヘッドと、ロボット本体の動
作を制御する制御部とを備えたものである。
【００１３】請求項２の発明に係るＩＣ着脱装置は、Ｉ
Ｃ及びＩＣソケットの少なくともいずれか一方の情報を
制御部に入力することにより、ソケット押さえの間隔が
自動的に調整されるものである。
Ｃ及びＩＣソケットの少なくともいずれか一方の情報を
制御部に入力することにより、ソケット押さえの間隔が
自動的に調整されるものである。
【００１４】請求項３の発明に係るＩＣ着脱装置は、一
対のソケット押さえと、互いの間隔が開く方向へソケッ
ト押さえを付勢するばねと、いずれか一方のソケット押
さえに回動自在に設けられているレバーと、このレバー
の一端部に設けられレバーの回動角度に応じてソケット
押さえの間隔を規制する間隔規制部材と、レバーの他端
部に設けられているローラとを、着脱ヘッドに設け、ロ
ボット本体による着脱ヘッドの移動範囲内には、位置決
め面を有する位置決め部材が設けられており、位置決め
面にローラを当接させた状態で着脱ヘッドを移動させる
ことによりレバーを回動させ、ソケット押さえの間隔が
調整されるものである。
対のソケット押さえと、互いの間隔が開く方向へソケッ
ト押さえを付勢するばねと、いずれか一方のソケット押
さえに回動自在に設けられているレバーと、このレバー
の一端部に設けられレバーの回動角度に応じてソケット
押さえの間隔を規制する間隔規制部材と、レバーの他端
部に設けられているローラとを、着脱ヘッドに設け、ロ
ボット本体による着脱ヘッドの移動範囲内には、位置決
め面を有する位置決め部材が設けられており、位置決め
面にローラを当接させた状態で着脱ヘッドを移動させる
ことによりレバーを回動させ、ソケット押さえの間隔が
調整されるものである。
【００１５】請求項４の発明に係るＩＣ着脱装置は、着
脱ヘッドに装着されてＩＣをセンタリングする複数のセ
ンタリング治具が置かれたセンタリング治具ストッカを
備え、ＩＣの情報を制御部に入力することにより、ＩＣ
に応じたセンタリング治具が自動的に選択されて交換さ
れるものである。
脱ヘッドに装着されてＩＣをセンタリングする複数のセ
ンタリング治具が置かれたセンタリング治具ストッカを
備え、ＩＣの情報を制御部に入力することにより、ＩＣ
に応じたセンタリング治具が自動的に選択されて交換さ
れるものである。
【００１６】請求項５の発明に係るＩＣ着脱装置は、セ
ンタリング治具を保持するためのチャック爪と、このチ
ャック爪を開閉するエアシリンダとを、着脱ヘッドに設
けたものである。
ンタリング治具を保持するためのチャック爪と、このチ
ャック爪を開閉するエアシリンダとを、着脱ヘッドに設
けたものである。
【００１７】請求項６の発明に係るＩＣ着脱装置は、セ
ットされたトレイマガジン及びトレイマガジンに収容さ
れたトレイのいずれかを選択的に持ち上げるトレイ持上
装置を、トレイ供給部に設けたものである。
ットされたトレイマガジン及びトレイマガジンに収容さ
れたトレイのいずれかを選択的に持ち上げるトレイ持上
装置を、トレイ供給部に設けたものである。
【００１８】請求項７の発明に係るＩＣ着脱装置は、２
枚のトレイを支持し回転可能なトレイ受けが設けられて
いるトレイテーブルと、空のトレイを収容する空トレイ
収容部と、トレイ持上装置、トレイテーブル及び空トレ
イ収容部の間でトレイを搬送するトレイ搬送装置とを、
トレイ供給部に設けたものである。
枚のトレイを支持し回転可能なトレイ受けが設けられて
いるトレイテーブルと、空のトレイを収容する空トレイ
収容部と、トレイ持上装置、トレイテーブル及び空トレ
イ収容部の間でトレイを搬送するトレイ搬送装置とを、
トレイ供給部に設けたものである。
【００１９】請求項８に係るＩＣ着脱装置は、ＩＣソケ
ットに対するＩＣ着脱位置と基板交換位値との間で、基
板を水平に保ったまま基板の位置を入れ換える基板反転
装置を、基板供給部に設けたものである。
ットに対するＩＣ着脱位置と基板交換位値との間で、基
板を水平に保ったまま基板の位置を入れ換える基板反転
装置を、基板供給部に設けたものである。
【００２０】請求項９の発明に係るＩＣ着脱装置の着脱
ヘッドは、ロボット本体に支持されＩＣを吸着する吸着
部と、この吸着部の外側に設けられているとともに、互
いの間隔が調整可能になっており、ＩＣソケットへのＩ
Ｃの着脱時にＩＣソケットの可動部を押圧する一対のソ
ケット押さえとを備えたものである。
ヘッドは、ロボット本体に支持されＩＣを吸着する吸着
部と、この吸着部の外側に設けられているとともに、互
いの間隔が調整可能になっており、ＩＣソケットへのＩ
Ｃの着脱時にＩＣソケットの可動部を押圧する一対のソ
ケット押さえとを備えたものである。
【００２１】請求項１０の発明に係るＩＣ着脱装置の着
脱ヘッドは、間隔が開く方向へソケット押さえを付勢す
るばねと、いずれか一方のソケット押さえに回動自在に
設けられているレバーと、このレバーの一端部に設けら
れレバーの回動角度に応じてソケット押さえの間隔を規
制する間隔規制部材とを備えたものである。
脱ヘッドは、間隔が開く方向へソケット押さえを付勢す
るばねと、いずれか一方のソケット押さえに回動自在に
設けられているレバーと、このレバーの一端部に設けら
れレバーの回動角度に応じてソケット押さえの間隔を規
制する間隔規制部材とを備えたものである。
【００２２】請求項１１の発明に係るＩＣ着脱装置の着
脱ヘッドは、ソケット押さえの間隔を調整するときに一
対のソケット押さえを同期して変位させる同期ギヤを備
えたものである。
脱ヘッドは、ソケット押さえの間隔を調整するときに一
対のソケット押さえを同期して変位させる同期ギヤを備
えたものである。
【００２３】請求項１２の発明に係るＩＣ着脱装置の着
脱ヘッドは、間隔が開く方向へソケット押さえを付勢す
るばねと、ソケット押さえの間隔を調整するときに一対
のソケット押さえを同期して変位させる同期ギヤと、同
期ギヤに押し付けられ、ソケット押さえの間隔を保持す
る間隔保持部材とを備えたものである。
脱ヘッドは、間隔が開く方向へソケット押さえを付勢す
るばねと、ソケット押さえの間隔を調整するときに一対
のソケット押さえを同期して変位させる同期ギヤと、同
期ギヤに押し付けられ、ソケット押さえの間隔を保持す
る間隔保持部材とを備えたものである。
【００２４】請求項１３の発明に係るＩＣ着脱装置の着
脱ヘッドは、平行な状態を保ったまま一対のソケット押
さえを同期して直線移動させる直線移動機構を備えたも
のである。
脱ヘッドは、平行な状態を保ったまま一対のソケット押
さえを同期して直線移動させる直線移動機構を備えたも
のである。
【００２５】請求項１４の発明に係るＩＣ着脱装置の着
脱ヘッドは、ＩＣをセンタリングするセンタリング治具
を保持するためのチャック爪と、このチャック爪を開閉
するエアシリンダとを備えたものである。
脱ヘッドは、ＩＣをセンタリングするセンタリング治具
を保持するためのチャック爪と、このチャック爪を開閉
するエアシリンダとを備えたものである。
【００２６】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
について説明する。 実施の形態１．図１はこの発明の実施の形態１によるＩ
Ｃ着脱装置を示す斜視図、図２は図１の装置の平面図で
ある。設置台１１上には、セットされた複数のトレイ４
を徐々に持ち上げて供給するトレイ持上装置１２が設け
られている。各トレイ４は、複数のＩＣ（ＩＣパッケー
ジ）１３を位置決めして載置可能に構成されている。ト
レイ持上装置１２のトレイ４が移送されるトレイテーブ
ル１４は、トレイ持上装置１２の一側に隣接して設けら
れている。このトレイテーブル１４は、２枚のトレイ４
を支持する回転可能なトレイ受け１５を有しており、こ
のトレイ受け１５を１８０゜回転させることにより、ト
レイ受け１５上の２枚のトレイ４の位置を入れ換えるこ
とができる。
について説明する。 実施の形態１．図１はこの発明の実施の形態１によるＩ
Ｃ着脱装置を示す斜視図、図２は図１の装置の平面図で
ある。設置台１１上には、セットされた複数のトレイ４
を徐々に持ち上げて供給するトレイ持上装置１２が設け
られている。各トレイ４は、複数のＩＣ（ＩＣパッケー
ジ）１３を位置決めして載置可能に構成されている。ト
レイ持上装置１２のトレイ４が移送されるトレイテーブ
ル１４は、トレイ持上装置１２の一側に隣接して設けら
れている。このトレイテーブル１４は、２枚のトレイ４
を支持する回転可能なトレイ受け１５を有しており、こ
のトレイ受け１５を１８０゜回転させることにより、ト
レイ受け１５上の２枚のトレイ４の位置を入れ換えるこ
とができる。
【００２７】空のトレイ４を収容する空トレイ収容部１
６は、トレイ持上装置１２の他側に隣接して設けられて
いる。トレイ持上装置１２，トレイテーブル１４及び空
トレイ収容部１６の間のトレイ４の搬送は、トレイ搬送
装置１７により行われる。また、上記のトレイ持上装置
１２，トレイテーブル１４，空トレイ収容部１６及びト
レイ搬送装置１７により、トレイ供給部１８が構成され
ている。
６は、トレイ持上装置１２の他側に隣接して設けられて
いる。トレイ持上装置１２，トレイテーブル１４及び空
トレイ収容部１６の間のトレイ４の搬送は、トレイ搬送
装置１７により行われる。また、上記のトレイ持上装置
１２，トレイテーブル１４，空トレイ収容部１６及びト
レイ搬送装置１７により、トレイ供給部１８が構成され
ている。
【００２８】複数の基板（バーンイン基板）１を昇降可
能に収容している基板収容装置１９は、設置台１１の所
定の位置に結合されている。設置台１１上には、基板供
給部としての基板反転装置２０が設けられている。この
基板反転装置２０は、設置台１１の上面と平行な軸を中
心に回転可能な一対の回転ホルダ２１と、これらの回転
ホルダ２１間に設けられ基板１を支持する２個の基板支
持台２２とを有している。また、回転ホルダ２１を回転
させることにより、基板１を水平に保ったまま２個の基
板支持台２２の位置が入れ換えられるように構成されて
いる。基板収容装置１９と基板反転装置２０との間での
基板１の搬送は、図２（図１では省略）に示すように、
設置台１１上に設けられた基板搬送装置２３により行わ
れる。
能に収容している基板収容装置１９は、設置台１１の所
定の位置に結合されている。設置台１１上には、基板供
給部としての基板反転装置２０が設けられている。この
基板反転装置２０は、設置台１１の上面と平行な軸を中
心に回転可能な一対の回転ホルダ２１と、これらの回転
ホルダ２１間に設けられ基板１を支持する２個の基板支
持台２２とを有している。また、回転ホルダ２１を回転
させることにより、基板１を水平に保ったまま２個の基
板支持台２２の位置が入れ換えられるように構成されて
いる。基板収容装置１９と基板反転装置２０との間での
基板１の搬送は、図２（図１では省略）に示すように、
設置台１１上に設けられた基板搬送装置２３により行わ
れる。
【００２９】また、設置台１１上には、トレイテーブル
１４上のトレイ４と基板反転装置２０上の基板１との間
でＩＣ１３を移送するロボット本体２４が設けられてい
る。このロボット本体２４には、ＩＣ１３を吸着して保
持する着脱ヘッド２５が上下動可能に支持されている。
さらに、ロボット本体２４による着脱ヘッド２５の移動
範囲内には、凹部２６ａを有する位置決め部材２６と、
複数のセンタリング治具２７が置かれたセンタリング治
具ストッカ２８が設けられている。設置台１１上に設け
られた透明なカバー２９には、操作パネル３０が固定さ
れている。設置台１１内には、シーケンスコントローラ
を有し装置全体の運転を制御する制御部（図示せず）が
収容されており、操作パネル３０はこの制御部に接続さ
れている。
１４上のトレイ４と基板反転装置２０上の基板１との間
でＩＣ１３を移送するロボット本体２４が設けられてい
る。このロボット本体２４には、ＩＣ１３を吸着して保
持する着脱ヘッド２５が上下動可能に支持されている。
さらに、ロボット本体２４による着脱ヘッド２５の移動
範囲内には、凹部２６ａを有する位置決め部材２６と、
複数のセンタリング治具２７が置かれたセンタリング治
具ストッカ２８が設けられている。設置台１１上に設け
られた透明なカバー２９には、操作パネル３０が固定さ
れている。設置台１１内には、シーケンスコントローラ
を有し装置全体の運転を制御する制御部（図示せず）が
収容されており、操作パネル３０はこの制御部に接続さ
れている。
【００３０】次に、装置全体の基本的な動作について説
明する。まず、ＩＣ１３が載置された複数のトレイ４が
積層収容されているトレイマガジン４Ａをトレイ持上装
置１２にセットするとともに、空のトレイマガジン４Ａ
を空トレイ収容部１６にセットする。また、複数の基板
１を収容した基板収容装置１９を所定の位置にセットす
る。
明する。まず、ＩＣ１３が載置された複数のトレイ４が
積層収容されているトレイマガジン４Ａをトレイ持上装
置１２にセットするとともに、空のトレイマガジン４Ａ
を空トレイ収容部１６にセットする。また、複数の基板
１を収容した基板収容装置１９を所定の位置にセットす
る。
【００３１】この後、操作パネル３０を操作して運転を
開始する。トレイ持上装置１２では、トレイマガジン４
Ａ内のトレイ４が徐々に持ち上げられ、最上部のトレイ
４がトレイ搬送装置１７によりトレイテーブル１４のト
レイ受け１５に搬送される。一方、基板収容装置１９内
の基板は、基板反転装置２０上に搬送される。この状態
で、ロボット本体２４により着脱ヘッド２５がトレイ受
け１５のトレイ４上に移動され、１個のＩＣ１３が着脱
ヘッド２５により吸着される。これにより、吸着された
ＩＣ１３は、位置決めされた状態で着脱ヘッド２５に保
持される。この後、着脱ヘッド２５は、ＩＣ１３を保持
したまま基板反転装置２０の基板１上に移動され、ＩＣ
ソケット１Ａ上に降ろされる。そして、移送されたＩＣ
１３がＩＣソケット１Ａに装着される。
開始する。トレイ持上装置１２では、トレイマガジン４
Ａ内のトレイ４が徐々に持ち上げられ、最上部のトレイ
４がトレイ搬送装置１７によりトレイテーブル１４のト
レイ受け１５に搬送される。一方、基板収容装置１９内
の基板は、基板反転装置２０上に搬送される。この状態
で、ロボット本体２４により着脱ヘッド２５がトレイ受
け１５のトレイ４上に移動され、１個のＩＣ１３が着脱
ヘッド２５により吸着される。これにより、吸着された
ＩＣ１３は、位置決めされた状態で着脱ヘッド２５に保
持される。この後、着脱ヘッド２５は、ＩＣ１３を保持
したまま基板反転装置２０の基板１上に移動され、ＩＣ
ソケット１Ａ上に降ろされる。そして、移送されたＩＣ
１３がＩＣソケット１Ａに装着される。
【００３２】このような作業が繰り返され、基板１上の
全てのソケット１ＡにＩＣ１３が装着されると、基板反
転装置２０の２枚の基板１の位置が入れ換えられ、次の
基板１にＩＣ１３のＩＣソケット１Ａに対してＩＣ１３
が装着される。そして、次の基板１に対するＩＣ装着作
業が行われている間に、基板搬送装着２３により、作業
済みの基板１が基板収容装置１９内に収容され、新しい
基板１が空いている基板支持台２２上に搬送されて位置
決めされる。この後、基板収容装置１９内の全ての基板
１に対する作業が終了すると、基板収容装置１９が設置
台１１から切り離され、次の工程へと搬送される。
全てのソケット１ＡにＩＣ１３が装着されると、基板反
転装置２０の２枚の基板１の位置が入れ換えられ、次の
基板１にＩＣ１３のＩＣソケット１Ａに対してＩＣ１３
が装着される。そして、次の基板１に対するＩＣ装着作
業が行われている間に、基板搬送装着２３により、作業
済みの基板１が基板収容装置１９内に収容され、新しい
基板１が空いている基板支持台２２上に搬送されて位置
決めされる。この後、基板収容装置１９内の全ての基板
１に対する作業が終了すると、基板収容装置１９が設置
台１１から切り離され、次の工程へと搬送される。
【００３３】また、トレイ受け１５上の一方のトレイ４
から全てのＩＣ１３が無くなると、トレイ受け１５が１
８０゜回転され、次のトレイ４からＩＣ１３が移送され
る。そして、次のトレイ４に対する作業が行われている
間に、トレイ受け１５上の空のトレイ４がトレイ搬送装
置１７により空トレイ収容部１６のトレイマガジン４Ａ
内に搬送され、新しいトレイ４がトレイ持上装置１２か
らトレイ受け１５上の待機位置に搬送される。
から全てのＩＣ１３が無くなると、トレイ受け１５が１
８０゜回転され、次のトレイ４からＩＣ１３が移送され
る。そして、次のトレイ４に対する作業が行われている
間に、トレイ受け１５上の空のトレイ４がトレイ搬送装
置１７により空トレイ収容部１６のトレイマガジン４Ａ
内に搬送され、新しいトレイ４がトレイ持上装置１２か
らトレイ受け１５上の待機位置に搬送される。
【００３４】上記のように、基板１の交換が基板反転装
置２０により、トレイ４の交換がトレイテーブル１４に
より、それぞれ瞬時に行われるため、これらの交換作業
に伴う装置の停止時間がなく、作業効率が向上される。
置２０により、トレイ４の交換がトレイテーブル１４に
より、それぞれ瞬時に行われるため、これらの交換作業
に伴う装置の停止時間がなく、作業効率が向上される。
【００３５】なお、基板１上のＩＣソケット１ＡからＩ
Ｃ１３を抜き取り、トレイ４に戻す作業は、上記の逆の
手順で行われる。
Ｃ１３を抜き取り、トレイ４に戻す作業は、上記の逆の
手順で行われる。
【００３６】次に、図１のＩＣ着脱装置の各部の詳細に
ついて説明する。まず、図３は図１のトレイ持上装置１
２を示す斜視図である。図において、トレイ持上装置１
２は、所定の位置に置かれたトレイマガジン４Ａを保持
するマガジン保持シリンダ３１、トレイマガジン４Ａ内
のトレイ４を持ち上げる持上台３２、持上台３２に回動
可能に設けられトレイマガジン４Ａに係合するＬ字状の
係合部材３３、及び係合部材３３を９０゜回動させる係
合部材シリンダ３４を有している。
ついて説明する。まず、図３は図１のトレイ持上装置１
２を示す斜視図である。図において、トレイ持上装置１
２は、所定の位置に置かれたトレイマガジン４Ａを保持
するマガジン保持シリンダ３１、トレイマガジン４Ａ内
のトレイ４を持ち上げる持上台３２、持上台３２に回動
可能に設けられトレイマガジン４Ａに係合するＬ字状の
係合部材３３、及び係合部材３３を９０゜回動させる係
合部材シリンダ３４を有している。
【００３７】このようなトレイ持上装置１２では、図３
に示すように、マガジン保持シリンダ３１によりトレイ
マガジン４Ａが所定の位置に保持され、係合部材３３が
閉じられた状態で、持上台３２が上昇することにより、
トレイマガジン４Ａ内に積層されたトレイ４が１枚分ず
つ持ち上げられる。そして、図１のトレイ搬送装置１７
により、トレイ４が上から順にトレイテーブル１４に搬
送される。
に示すように、マガジン保持シリンダ３１によりトレイ
マガジン４Ａが所定の位置に保持され、係合部材３３が
閉じられた状態で、持上台３２が上昇することにより、
トレイマガジン４Ａ内に積層されたトレイ４が１枚分ず
つ持ち上げられる。そして、図１のトレイ搬送装置１７
により、トレイ４が上から順にトレイテーブル１４に搬
送される。
【００３８】この後、トレイマガジン４Ａ内のトレイ４
が全て搬送されると、持上台３２が一度最下部まで下降
され、マガジン保持シリンダ３１が解除されるととも
に、係合部材３３が９０゜回動される。この状態で、持
上台３２が上昇することにより、係合部材３３がトレイ
マガジン４Ａの下面に係合し、空のトレイマガジン４Ａ
が所定の高さまで持ち上げられる。
が全て搬送されると、持上台３２が一度最下部まで下降
され、マガジン保持シリンダ３１が解除されるととも
に、係合部材３３が９０゜回動される。この状態で、持
上台３２が上昇することにより、係合部材３３がトレイ
マガジン４Ａの下面に係合し、空のトレイマガジン４Ａ
が所定の高さまで持ち上げられる。
【００３９】このように、トレイマガジン４Ａを所定の
高さに持ち上げた状態で、トレイマガジン４Ａの交換を
行うことにより、トレイマガジン４Ａが周囲の機器に衝
突するのが防止されるとともに、交換作業が容易にな
る。
高さに持ち上げた状態で、トレイマガジン４Ａの交換を
行うことにより、トレイマガジン４Ａが周囲の機器に衝
突するのが防止されるとともに、交換作業が容易にな
る。
【００４０】次に、図５は基板１の一例を示す平面図で
ある。図において、基板１上には、複数のＩＣソケット
１Ａが配列されているとともに、これらのＩＣソケット
１Ａに通電するための配線パターン（図示せず）が設け
られている。また、基板１の一端部には、バーンイン炉
（図示せず）内の接続部に挿入され電気的に接続される
コネクタ１Ｂが設けられている。
ある。図において、基板１上には、複数のＩＣソケット
１Ａが配列されているとともに、これらのＩＣソケット
１Ａに通電するための配線パターン（図示せず）が設け
られている。また、基板１の一端部には、バーンイン炉
（図示せず）内の接続部に挿入され電気的に接続される
コネクタ１Ｂが設けられている。
【００４１】図６はＩＣソケット１Ａの一例を示す平面
図、図７は図６の断面図、図８は図６のカバーを押圧し
た状態を示す平面図、図９は図８の断面図である。ＩＣ
ソケット１Ａのベース３５上には、弾性変形可能な複数
のコンタクトピン３６がＩＣ１３のリード１３ａに対応
して設けられている。これらのコンタクトピン３６は、
その弾性力によりリード１３ａを上から押さえ付けてい
る。また、ベース３５上には、全部のコンタクトピン３
６に係合する可動部としてのカバー３７が設けられてい
る。カバー３７の中央部には、ＩＣ１３を通すための開
口３７ａが設けられている。
図、図７は図６の断面図、図８は図６のカバーを押圧し
た状態を示す平面図、図９は図８の断面図である。ＩＣ
ソケット１Ａのベース３５上には、弾性変形可能な複数
のコンタクトピン３６がＩＣ１３のリード１３ａに対応
して設けられている。これらのコンタクトピン３６は、
その弾性力によりリード１３ａを上から押さえ付けてい
る。また、ベース３５上には、全部のコンタクトピン３
６に係合する可動部としてのカバー３７が設けられてい
る。カバー３７の中央部には、ＩＣ１３を通すための開
口３７ａが設けられている。
【００４２】このようなＩＣソケット１Ａでは、ＩＣ１
３の着脱時に着脱ヘッド２５（図１）によりカバー３７
が均等に押圧される。これにより、全てのコンタクトピ
ン３６が弾性変形し、図９に示すように、リード１３ａ
が解放される。カバー３７の押圧が解除されると、カバ
ー３７は上動し、コンタクトピン３６は元の形状に復元
され、リード１３ａがコンタクトピン３６に押さえ付け
られる。これにより、リード１３ａとコンタクトピン３
６とが電気的に接続される。
３の着脱時に着脱ヘッド２５（図１）によりカバー３７
が均等に押圧される。これにより、全てのコンタクトピ
ン３６が弾性変形し、図９に示すように、リード１３ａ
が解放される。カバー３７の押圧が解除されると、カバ
ー３７は上動し、コンタクトピン３６は元の形状に復元
され、リード１３ａがコンタクトピン３６に押さえ付け
られる。これにより、リード１３ａとコンタクトピン３
６とが電気的に接続される。
【００４３】次に、図１０は図１の基板反転装置２０を
示す平面図、図１１は図１０の斜視図、図１２は図１０
の装置の基板反転動作中の斜視図である。図において、
２個の基板支持台２２の位置を入れ換えるための駆動モ
ータ１２１の駆動により、回転ホルダ２１が回転され
る。このとき、駆動モータ１２１の支持部に固定されて
いる固定歯車１２２に噛み合う２個のアイドル歯車１２
３が、固定歯車１２２の周囲を自転しながら公転する。
これらアイドル歯車１２３には、基板支持台２２に固定
されている水平保持歯車１２４が噛み合っており、図１
１及び図１２にも示すように、基板支持台２２上の基板
１が水平に保たれるように歯数等が設定されている。
示す平面図、図１１は図１０の斜視図、図１２は図１０
の装置の基板反転動作中の斜視図である。図において、
２個の基板支持台２２の位置を入れ換えるための駆動モ
ータ１２１の駆動により、回転ホルダ２１が回転され
る。このとき、駆動モータ１２１の支持部に固定されて
いる固定歯車１２２に噛み合う２個のアイドル歯車１２
３が、固定歯車１２２の周囲を自転しながら公転する。
これらアイドル歯車１２３には、基板支持台２２に固定
されている水平保持歯車１２４が噛み合っており、図１
１及び図１２にも示すように、基板支持台２２上の基板
１が水平に保たれるように歯数等が設定されている。
【００４４】このような基板反転装置２０を用いること
により、簡単な構造で、基板１を水平に保ったまま基板
１の位置を入れ換えることができ、基板１の交換による
作業停止時間を省略することができ、作業効率を向上さ
せることができる。
により、簡単な構造で、基板１を水平に保ったまま基板
１の位置を入れ換えることができ、基板１の交換による
作業停止時間を省略することができ、作業効率を向上さ
せることができる。
【００４５】次に、着脱ヘッド２５の構造について説明
する。図１３は図１の着脱ヘッド２５を示す正面図であ
る。図において、ロボット本体２４に上下動可能に支持
されているヘッド軸４１の下端部には、ＩＣソケット１
Ａのカバー３７を押圧する一対のソケット押さえ、即ち
第１及び第２のソケット押さえ４２，４３が支点４２
ａ，４３ａを中心に回動可能に設けられている。第１及
び第２のソケット押さえ４２，４３には、これらが回動
する際に互いに噛み合う同期ギヤ４２ｂ，４３ｂが設け
られている。また、第１のソケット押さえ４２には、断
面三角形の細かい溝が連続して刻まれている噛合面４２
ｃが設けられている。
する。図１３は図１の着脱ヘッド２５を示す正面図であ
る。図において、ロボット本体２４に上下動可能に支持
されているヘッド軸４１の下端部には、ＩＣソケット１
Ａのカバー３７を押圧する一対のソケット押さえ、即ち
第１及び第２のソケット押さえ４２，４３が支点４２
ａ，４３ａを中心に回動可能に設けられている。第１及
び第２のソケット押さえ４２，４３には、これらが回動
する際に互いに噛み合う同期ギヤ４２ｂ，４３ｂが設け
られている。また、第１のソケット押さえ４２には、断
面三角形の細かい溝が連続して刻まれている噛合面４２
ｃが設けられている。
【００４６】第１及び第２のソケット押さえ４２，４３
は、これらの下端部が開離する方向へばね４４により付
勢されている。第２のソケット押さえ４３には、レバー
４５が支点４５ａを中心に回動自在に取り付けられてい
る。レバー４５の一端部には、第１及び第２のソケット
押さえ４２，４３の開方向への回動を規制する間隔規制
部材としてのストッパ４６が回動自在に取り付けられて
いる。また、ストッパ４６には、第１のソケット押さえ
４２の噛合面４２ｃと噛み合う噛合面４６ａが設けられ
ている。さらに、レバー４５を回動させ、第１のソケッ
ト押さえ４２の長さ方向のストッパ４６の位置を調整す
ることにより、第１及び第２のソケット押さえ４２，４
３の下端部の間隔、即ち開度が調整可能になっている。
レバー４５の他端部には、回動自在な第１のローラ４７
Ａが設けられている。第２のレバー４３には、回動自在
な第２のローラ４７Ｂが設けられている。
は、これらの下端部が開離する方向へばね４４により付
勢されている。第２のソケット押さえ４３には、レバー
４５が支点４５ａを中心に回動自在に取り付けられてい
る。レバー４５の一端部には、第１及び第２のソケット
押さえ４２，４３の開方向への回動を規制する間隔規制
部材としてのストッパ４６が回動自在に取り付けられて
いる。また、ストッパ４６には、第１のソケット押さえ
４２の噛合面４２ｃと噛み合う噛合面４６ａが設けられ
ている。さらに、レバー４５を回動させ、第１のソケッ
ト押さえ４２の長さ方向のストッパ４６の位置を調整す
ることにより、第１及び第２のソケット押さえ４２，４
３の下端部の間隔、即ち開度が調整可能になっている。
レバー４５の他端部には、回動自在な第１のローラ４７
Ａが設けられている。第２のレバー４３には、回動自在
な第２のローラ４７Ｂが設けられている。
【００４７】第１及び第２のソケット押さえ４２，４３
の間には、ヘッド軸４１の軸方向へ延びる吸着部として
の吸着管４８が設けられている。この吸着管４８の先端
部には、ＩＣ３１を吸着する吸着パッド４８ａが設けら
れている。ヘッド軸４１に対して固定されているハウジ
ング（図示せず）には、固定台４９が固定されており、
この固定台４９にはセンタリング治具２７が装着されて
いる。
の間には、ヘッド軸４１の軸方向へ延びる吸着部として
の吸着管４８が設けられている。この吸着管４８の先端
部には、ＩＣ３１を吸着する吸着パッド４８ａが設けら
れている。ヘッド軸４１に対して固定されているハウジ
ング（図示せず）には、固定台４９が固定されており、
この固定台４９にはセンタリング治具２７が装着されて
いる。
【００４８】図１４はセンタリング治具２７の一例を示
す斜視図である。センタリング治具２７には、２本の位
置決めピン２７ａが設けられており、これらの位置決め
ピン２７ａをそれぞれ固定台４９に設けられた位置決め
孔４９ａに挿通させることにより、センタリング治具２
７の位置決めが行われている。
す斜視図である。センタリング治具２７には、２本の位
置決めピン２７ａが設けられており、これらの位置決め
ピン２７ａをそれぞれ固定台４９に設けられた位置決め
孔４９ａに挿通させることにより、センタリング治具２
７の位置決めが行われている。
【００４９】センタリング治具２７の下面には、テーパ
状の壁部を有する凹部２７ｂが設けられている。吸着管
４８の先端部は、センタリング治具２７の孔２７ｃに挿
入され、吸着パッド４８ａの先端が凹部２７ｂ内に開口
している。従って、吸着パッド４８ａにより吸着された
ＩＣ１３は、凹部２７ａ内に引き付けられることにより
凹部２７ｂのテーパ状の壁部で自動的にセンタリングさ
れる。また、図１に示したように、センタリング治具ス
トッカ２８上には種々のセンタリング治具２７が置かれ
ており、ＩＣ１３のサイズに応じてこれらのセンタリン
グ治具２７との交換が可能となっている。
状の壁部を有する凹部２７ｂが設けられている。吸着管
４８の先端部は、センタリング治具２７の孔２７ｃに挿
入され、吸着パッド４８ａの先端が凹部２７ｂ内に開口
している。従って、吸着パッド４８ａにより吸着された
ＩＣ１３は、凹部２７ａ内に引き付けられることにより
凹部２７ｂのテーパ状の壁部で自動的にセンタリングさ
れる。また、図１に示したように、センタリング治具ス
トッカ２８上には種々のセンタリング治具２７が置かれ
ており、ＩＣ１３のサイズに応じてこれらのセンタリン
グ治具２７との交換が可能となっている。
【００５０】取付台４９には、支点５０ａを中心に回動
可能なチャック爪５０が設けられており、そのチャック
爪５０の先端部５０ｂがセンタリング治具２７の係合溝
２７ｄに係合することにより、センタリング治具２７が
保持されている。チャック爪５０は、その先端部５０ｂ
が係合溝２７ｄに係合する方向へばね５１により付勢さ
れている。チャック爪５０の中間部には、チャック解除
ローラ５２が回転自在に取り付けられている。また、取
付台４９には、チャック解除ローラ５２を押圧すること
により、ばね５１に逆らってチャック爪５０を回動させ
るエアシリンダ５３が搭載されている。
可能なチャック爪５０が設けられており、そのチャック
爪５０の先端部５０ｂがセンタリング治具２７の係合溝
２７ｄに係合することにより、センタリング治具２７が
保持されている。チャック爪５０は、その先端部５０ｂ
が係合溝２７ｄに係合する方向へばね５１により付勢さ
れている。チャック爪５０の中間部には、チャック解除
ローラ５２が回転自在に取り付けられている。また、取
付台４９には、チャック解除ローラ５２を押圧すること
により、ばね５１に逆らってチャック爪５０を回動させ
るエアシリンダ５３が搭載されている。
【００５１】上記のような着脱ヘッド２５では、ＩＣ１
３は、センタリング治具２７により位置決めされた状態
で、吸着パッド４８ａに吸着されて保持される。このよ
うに、トレイ４からＩＣ１３が取り出されると、ロボッ
ト本体２４により着脱ヘッド２５が移動され、ＩＣソケ
ット１Ａに対して正確な位置、正確な向きで着脱ヘッド
２５が下降される。
３は、センタリング治具２７により位置決めされた状態
で、吸着パッド４８ａに吸着されて保持される。このよ
うに、トレイ４からＩＣ１３が取り出されると、ロボッ
ト本体２４により着脱ヘッド２５が移動され、ＩＣソケ
ット１Ａに対して正確な位置、正確な向きで着脱ヘッド
２５が下降される。
【００５２】このとき、第１及び第２のソケット押さえ
４２，４３の開度は予め調整されているので、ＩＣソケ
ット１Ａのカバー３７がソケット押さえ４２，４３によ
り押圧され、コンタクトピン３６が図９のように弾性変
形する。この状態で、ＩＣ１３の吸着が解除され、着脱
ヘッド２５が持ち上げられる。これにより、コンタクト
ピン３６が復元し、ＩＣ１３がＩＣソケット１Ａに装着
される。ＩＣ１３の抜き取りは、上記の逆である。
４２，４３の開度は予め調整されているので、ＩＣソケ
ット１Ａのカバー３７がソケット押さえ４２，４３によ
り押圧され、コンタクトピン３６が図９のように弾性変
形する。この状態で、ＩＣ１３の吸着が解除され、着脱
ヘッド２５が持ち上げられる。これにより、コンタクト
ピン３６が復元し、ＩＣ１３がＩＣソケット１Ａに装着
される。ＩＣ１３の抜き取りは、上記の逆である。
【００５３】次に、ＩＣ１３の品種が変更された場合の
ＩＣ着脱装置の動作について説明する。図１５は図１の
ＩＣ着脱装置の品種変更時の動作手順を示すフローチャ
ートである。まず、作業員は、図１の操作パネル３０に
品種変更運転の指令を入力するとともに、新たなＩＣの
品種や使用するＩＣソケットなどの情報のうち必要な情
報を入力する。これにより、ロボット本体２４が制御さ
れ、着脱ヘッド２５がセンタリング治具ストッカ２８へ
移動される（ステップＳ１）。制御部のメモリには、セ
ンタリング治具ストッカ２８における各センタリング治
具２７の保管位置が予め入力され記憶されており、その
データに従って着脱ヘッド２５が正確に移動される。
ＩＣ着脱装置の動作について説明する。図１５は図１の
ＩＣ着脱装置の品種変更時の動作手順を示すフローチャ
ートである。まず、作業員は、図１の操作パネル３０に
品種変更運転の指令を入力するとともに、新たなＩＣの
品種や使用するＩＣソケットなどの情報のうち必要な情
報を入力する。これにより、ロボット本体２４が制御さ
れ、着脱ヘッド２５がセンタリング治具ストッカ２８へ
移動される（ステップＳ１）。制御部のメモリには、セ
ンタリング治具ストッカ２８における各センタリング治
具２７の保管位置が予め入力され記憶されており、その
データに従って着脱ヘッド２５が正確に移動される。
【００５４】この後、着脱ヘッド２５のエアシリンダ５
３が作動されることにより、ばね５１に逆らってチャッ
ク爪５０が回動され、センタリング治具２７の係合溝２
７ｄに対するチャック爪５０の先端部５０ｂの係合が解
除される。この状態で、着脱ヘッド２５が上動されるこ
とにより、図１６に示すように、位置決めピン２７ａが
位置決め孔４９ａから抜け、センタリング治具２７が着
脱ヘッド２５から解放される（ステップＳ２）。
３が作動されることにより、ばね５１に逆らってチャッ
ク爪５０が回動され、センタリング治具２７の係合溝２
７ｄに対するチャック爪５０の先端部５０ｂの係合が解
除される。この状態で、着脱ヘッド２５が上動されるこ
とにより、図１６に示すように、位置決めピン２７ａが
位置決め孔４９ａから抜け、センタリング治具２７が着
脱ヘッド２５から解放される（ステップＳ２）。
【００５５】次に、図１７に示すように、第１のローラ
４７Ａが凹部２６ａに対向するように着脱ヘッド２５が
位置決め部材２６の側方へ移動される（ステップＳ
３）。なお、図１７ないし図２１では、センタリング治
具２７の支持構造の図示を省略している。この後、着脱
ヘッド２５が位置決め部材２６側へ移動され、第１のロ
ーラ４７Ａが凹部２６ａ内に挿入されるとともに、第２
のローラ４７Ｂが位置決め部材２６に押し付けられる。
これにより、図１８に示すように、ばね４４に逆らって
第２のソケット押さえ４３が閉じられ、これに同期する
第１のソケット押さえ４２も閉じられ、噛合面４２ｃと
噛合面４６ａとの噛合が解除され、ストッパ４６が第１
のソケット押さえ４２から分離される（ステップＳ
４）。
４７Ａが凹部２６ａに対向するように着脱ヘッド２５が
位置決め部材２６の側方へ移動される（ステップＳ
３）。なお、図１７ないし図２１では、センタリング治
具２７の支持構造の図示を省略している。この後、着脱
ヘッド２５が位置決め部材２６側へ移動され、第１のロ
ーラ４７Ａが凹部２６ａ内に挿入されるとともに、第２
のローラ４７Ｂが位置決め部材２６に押し付けられる。
これにより、図１８に示すように、ばね４４に逆らって
第２のソケット押さえ４３が閉じられ、これに同期する
第１のソケット押さえ４２も閉じられ、噛合面４２ｃと
噛合面４６ａとの噛合が解除され、ストッパ４６が第１
のソケット押さえ４２から分離される（ステップＳ
４）。
【００５６】この後、図１９に示すように、着脱ヘッド
２５が上昇され、第１のローラ４７Ａが凹部２６ａの上
面、即ち位置決め面２６ｂに当接する。この状態から、
着脱ヘッド２５がさらに上昇されることにより（ステッ
プＳ５）、レバー４５が図の反時計方向へ回動される。
制御部には、ＩＣ１３の品種に応じた着脱ヘッド２５の
移動量が予め入力され記憶されており、着脱ヘッド２５
は設定された高さで停止される。
２５が上昇され、第１のローラ４７Ａが凹部２６ａの上
面、即ち位置決め面２６ｂに当接する。この状態から、
着脱ヘッド２５がさらに上昇されることにより（ステッ
プＳ５）、レバー４５が図の反時計方向へ回動される。
制御部には、ＩＣ１３の品種に応じた着脱ヘッド２５の
移動量が予め入力され記憶されており、着脱ヘッド２５
は設定された高さで停止される。
【００５７】この後、図２０に示すように、着脱ヘッド
２５が位置決め部材２６から開離する方向へ水平に移動
されると、ばね４４の復元力により第１及び第２のソケ
ット押さえ４２，４３が開方向へそれぞれ回動し、第１
のソケット押さえ４２にストッパ４６が再び結合される
（ステップＳ６）。そして、着脱ヘッド２５がさらに水
平移動され、図２１に示すように、位置決め部材２６か
ら開離すると、第１及び第２のソケット押さえ４２，４
３の開度、即ち下端部の間隔の変更が完了する。
２５が位置決め部材２６から開離する方向へ水平に移動
されると、ばね４４の復元力により第１及び第２のソケ
ット押さえ４２，４３が開方向へそれぞれ回動し、第１
のソケット押さえ４２にストッパ４６が再び結合される
（ステップＳ６）。そして、着脱ヘッド２５がさらに水
平移動され、図２１に示すように、位置決め部材２６か
ら開離すると、第１及び第２のソケット押さえ４２，４
３の開度、即ち下端部の間隔の変更が完了する。
【００５８】ここで、第１及び第２のソケット押さえ４
２，４３の開度は、第１のソケット押さえ４２に対する
ストッパ４６の位置により調整され、ストッパ４６の位
置は、レバー４５の角度によって調整される。さらに、
レバー４５の角度は、位置決め面２６ｂからの着脱ヘッ
ド２５の上昇量によって調整される。従って、図１９で
示した着脱ヘッド２５の上昇時の高さをＩＣ１３の品種
毎に制御部に入力し記憶させておくことにより、品種に
応じた開度を得ることができる。
２，４３の開度は、第１のソケット押さえ４２に対する
ストッパ４６の位置により調整され、ストッパ４６の位
置は、レバー４５の角度によって調整される。さらに、
レバー４５の角度は、位置決め面２６ｂからの着脱ヘッ
ド２５の上昇量によって調整される。従って、図１９で
示した着脱ヘッド２５の上昇時の高さをＩＣ１３の品種
毎に制御部に入力し記憶させておくことにより、品種に
応じた開度を得ることができる。
【００５９】このように、開度の変更が完了したら、着
脱ヘッド２５は、再びセンタリング治具ストッカ２８に
移動される（ステップＳ７）。このとき、着脱ヘッド２
５は、次に装着されるセンタリング治具ストッカ２８の
保管位置の真上に正確に位置決めされる。そして、エア
シリンダ５３によりチャック爪５０がばね５１に逆らっ
て回動した状態で、図２２に示すように、着脱ヘッド２
５が下降され、位置決めピン２７ａが位置決め孔４９ａ
に挿入される。
脱ヘッド２５は、再びセンタリング治具ストッカ２８に
移動される（ステップＳ７）。このとき、着脱ヘッド２
５は、次に装着されるセンタリング治具ストッカ２８の
保管位置の真上に正確に位置決めされる。そして、エア
シリンダ５３によりチャック爪５０がばね５１に逆らっ
て回動した状態で、図２２に示すように、着脱ヘッド２
５が下降され、位置決めピン２７ａが位置決め孔４９ａ
に挿入される。
【００６０】この後、図２３に示すように、エアシリン
ダ５３による押圧が解除されると、ばね５１によりチャ
ック爪５０が回動し、その先端部５０ｂが係合溝２７ｄ
に係合し、センタリング治具２７の装着が完了する（ス
テップＳ８）。これにより、センタリング治具２７の交
換及びソケット押さえ４２，４３の開度調整が終了し、
着脱ヘッド２５は、選択された品種のＩＣ１３の着脱作
業が可能となる。
ダ５３による押圧が解除されると、ばね５１によりチャ
ック爪５０が回動し、その先端部５０ｂが係合溝２７ｄ
に係合し、センタリング治具２７の装着が完了する（ス
テップＳ８）。これにより、センタリング治具２７の交
換及びソケット押さえ４２，４３の開度調整が終了し、
着脱ヘッド２５は、選択された品種のＩＣ１３の着脱作
業が可能となる。
【００６１】このような着脱ヘッド２５を有するＩＣ着
脱装置によれば、ＩＣ１３の品種が変更されても着脱ヘ
ッド２５全体を交換する必要がないため、着脱ヘッド２
５の交換時間を省略することができ、これにより作業効
率を大幅に向上させることができる。
脱装置によれば、ＩＣ１３の品種が変更されても着脱ヘ
ッド２５全体を交換する必要がないため、着脱ヘッド２
５の交換時間を省略することができ、これにより作業効
率を大幅に向上させることができる。
【００６２】また、制御部にＩＣやＩＣソケットの情報
を記憶しておくことにより、センタリング治具２７の交
換及びソケット押さえ４２，４３の開度調整を自動的に
行うため、作業効率は一層向上する。
を記憶しておくことにより、センタリング治具２７の交
換及びソケット押さえ４２，４３の開度調整を自動的に
行うため、作業効率は一層向上する。
【００６３】さらに、位置決め面２６ｂを有する位置決
め部材２６に対する着脱ヘッド２５の移動量でソケット
押さえ４２，４３の開度を調整することができるので、
開度をより正確に調整することができる。
め部材２６に対する着脱ヘッド２５の移動量でソケット
押さえ４２，４３の開度を調整することができるので、
開度をより正確に調整することができる。
【００６４】さらにまた、エアシリンダ５３によりチャ
ック爪５０を回動させてセンタリング治具２７のロック
を解除するようにしたので、センタリング治具２７の着
脱を小さなスペースで素早く行うことができる。但し、
エアシリンダ５３を省略し、手動によりチャック爪５０
を回動させてセンタリング治具２７の交換を手動で行う
ことも可能である。
ック爪５０を回動させてセンタリング治具２７のロック
を解除するようにしたので、センタリング治具２７の着
脱を小さなスペースで素早く行うことができる。但し、
エアシリンダ５３を省略し、手動によりチャック爪５０
を回動させてセンタリング治具２７の交換を手動で行う
ことも可能である。
【００６５】また、一対のソケット押さえ４２，４３が
同期ギヤ４２ｂ，４３ｂにより同期して回動するため、
開度の調整が容易である。
同期ギヤ４２ｂ，４３ｂにより同期して回動するため、
開度の調整が容易である。
【００６６】なお、上記の例ではバーンイン工程につい
て示したが、バーンイン工程の前及び後に行われる電気
的動作試験についても、ＩＣソケットにＩＣを着脱する
必要があれば、この発明の装置を適用することができ
る。
て示したが、バーンイン工程の前及び後に行われる電気
的動作試験についても、ＩＣソケットにＩＣを着脱する
必要があれば、この発明の装置を適用することができ
る。
【００６７】実施の形態２．また、上記の例ではソケッ
ト押さえ４２，４３の間隔を自動的に調整するものを示
したが、手動で行うものでもよい。即ち、図２４に示す
ように第１のローラを省略して、治具等を用いて手動で
ストッパ４６の位置を調整するようにしてもよい。この
場合、ＩＣ品種に対応したストッパ４６の結合位置をソ
ケット押さえ４２に記しておくこともできる。
ト押さえ４２，４３の間隔を自動的に調整するものを示
したが、手動で行うものでもよい。即ち、図２４に示す
ように第１のローラを省略して、治具等を用いて手動で
ストッパ４６の位置を調整するようにしてもよい。この
場合、ＩＣ品種に対応したストッパ４６の結合位置をソ
ケット押さえ４２に記しておくこともできる。
【００６８】実施の形態３．次に、図２５はこの発明の
実施の形態３による着脱ヘッドの要部を示す構成図であ
る。図において、一対のソケット押さえ４２，４３の上
端部には、これらが回動する際に互いに噛み合う同期ギ
ヤ６１，６２が設けられている。これらの同期ギヤ６
１，６２には、エアシリンダ６３により上下動する間隔
保持部材としてのラック６４が押し付けられている。他
の構成は、上記実施の形態１とほぼ同様である。
実施の形態３による着脱ヘッドの要部を示す構成図であ
る。図において、一対のソケット押さえ４２，４３の上
端部には、これらが回動する際に互いに噛み合う同期ギ
ヤ６１，６２が設けられている。これらの同期ギヤ６
１，６２には、エアシリンダ６３により上下動する間隔
保持部材としてのラック６４が押し付けられている。他
の構成は、上記実施の形態１とほぼ同様である。
【００６９】このような着脱ヘッドでは、ソケット押さ
え４２，４３の間隔は、ラック６４により保持されてい
る。従って、これを変更する場合には、エアシリンダ６
３により同期ギヤ６１，６２からラック６４を開離させ
た後、図２６に示すように、平面を持つ位置決め部材６
５にローラ４７Ｂを押し付け、ばね４４に逆らってソケ
ット押さえ４２，４３を閉じる。この後、図２７に示す
ように、設定された量だけ着脱ヘッドを水平に移動さ
せ、適当な開度となった状態で、エアシリンダ６３を作
動させ、ラック６４により同期ギヤ６１，６２をロック
する。
え４２，４３の間隔は、ラック６４により保持されてい
る。従って、これを変更する場合には、エアシリンダ６
３により同期ギヤ６１，６２からラック６４を開離させ
た後、図２６に示すように、平面を持つ位置決め部材６
５にローラ４７Ｂを押し付け、ばね４４に逆らってソケ
ット押さえ４２，４３を閉じる。この後、図２７に示す
ように、設定された量だけ着脱ヘッドを水平に移動さ
せ、適当な開度となった状態で、エアシリンダ６３を作
動させ、ラック６４により同期ギヤ６１，６２をロック
する。
【００７０】このような着脱ヘッドによっても、実施の
形態１と同様にソケット押さえ４２，４３の間隔を自動
的に調整することができ、作業効率が向上する。
形態１と同様にソケット押さえ４２，４３の間隔を自動
的に調整することができ、作業効率が向上する。
【００７１】なお、上記の例では間隔保持部材としてラ
ック６４を用いたが、ばね４４に抗して同期ギヤ６１，
６２の回動を止めることができれば、単なる摩擦材であ
ってもよく、開度を連続的に調整することができる。
ック６４を用いたが、ばね４４に抗して同期ギヤ６１，
６２の回動を止めることができれば、単なる摩擦材であ
ってもよく、開度を連続的に調整することができる。
【００７２】実施の形態４．また、上記の例ではエアシ
リンダ６３によりラック６４を動かしたが、図２８に示
すように、操作レバー６６ａを有する押付装置６６によ
りラック６４を同期ギヤ６１，６２に押し付けるように
してもよい。この場合、操作レバー６６ａを切り換える
ことにより、ラック６４が上動し、同期ギヤ６１，６２
のロックが解除される。また、ソケット押さえ４２，４
３の間隔は、品種に対応した間隔に合わせるための治具
を用いて手動で調整される。
リンダ６３によりラック６４を動かしたが、図２８に示
すように、操作レバー６６ａを有する押付装置６６によ
りラック６４を同期ギヤ６１，６２に押し付けるように
してもよい。この場合、操作レバー６６ａを切り換える
ことにより、ラック６４が上動し、同期ギヤ６１，６２
のロックが解除される。また、ソケット押さえ４２，４
３の間隔は、品種に対応した間隔に合わせるための治具
を用いて手動で調整される。
【００７３】実施の形態５．次に、図２９はこの発明の
実施の形態５による着脱ヘッドの要部を示す構成図であ
る。図において、ヘッド軸４１の下端部には、水平方向
へ延びるガイドレール７１が固定されている。このガイ
ドレール７１には、一対のソケット押さえ、即ち第１及
び第２のソケット押さえ７２，７３がガイド部材７４を
介して互いに平行に取り付けられている。これらのソケ
ット押さえ７２，７３は、ガイドレール７１に沿って直
線移動可能になっている。また、第１のソケット押さえ
７２には、噛合面７２ａが設けられている。
実施の形態５による着脱ヘッドの要部を示す構成図であ
る。図において、ヘッド軸４１の下端部には、水平方向
へ延びるガイドレール７１が固定されている。このガイ
ドレール７１には、一対のソケット押さえ、即ち第１及
び第２のソケット押さえ７２，７３がガイド部材７４を
介して互いに平行に取り付けられている。これらのソケ
ット押さえ７２，７３は、ガイドレール７１に沿って直
線移動可能になっている。また、第１のソケット押さえ
７２には、噛合面７２ａが設けられている。
【００７４】第１及び第２のソケット押さえ７２，７３
の間には、これらを互いに開離する方向へ付勢するばね
７５が設けられている。ヘッド軸４１に対して固定され
ている支持部（図示せず）には、支点７６ａを中心に回
動可能なギヤ７６が取り付けられている。このギヤ７６
には、一対のカム溝７６ｂが支点７６ａに対して対象に
設けられている。これらのカム溝７６ｂには、ソケット
押さえ７２，７３に固定された係合ピン７７が摺動自在
に係合している。ギヤ７６は、外周部の歯を位置決めラ
ック７８の歯に噛み合わせた状態で着脱ヘッドを上下動
させることにより、回動される。
の間には、これらを互いに開離する方向へ付勢するばね
７５が設けられている。ヘッド軸４１に対して固定され
ている支持部（図示せず）には、支点７６ａを中心に回
動可能なギヤ７６が取り付けられている。このギヤ７６
には、一対のカム溝７６ｂが支点７６ａに対して対象に
設けられている。これらのカム溝７６ｂには、ソケット
押さえ７２，７３に固定された係合ピン７７が摺動自在
に係合している。ギヤ７６は、外周部の歯を位置決めラ
ック７８の歯に噛み合わせた状態で着脱ヘッドを上下動
させることにより、回動される。
【００７５】この例における直線移動機構７９は、ガイ
ドレール７１，ガイド部材７４，ギヤ７６及び係合ピン
７７により構成されている。ギヤ７６の支点７６ａに
は、棒状のレバー７９が回動自在に取り付けられてい
る。レバー７９の一端部には、噛合面７２ａと噛み合う
ストッパ８０が回動自在に取り付けられている。レバー
７９の他端部には、ローラ８１が回動自在に取り付けら
れている。
ドレール７１，ガイド部材７４，ギヤ７６及び係合ピン
７７により構成されている。ギヤ７６の支点７６ａに
は、棒状のレバー７９が回動自在に取り付けられてい
る。レバー７９の一端部には、噛合面７２ａと噛み合う
ストッパ８０が回動自在に取り付けられている。レバー
７９の他端部には、ローラ８１が回動自在に取り付けら
れている。
【００７６】このような着脱ヘッドでは、位置決めラッ
ク７８にギヤ７６を噛み合わせた状態で着脱ヘッドの高
さを変えることにより、ギヤ７６が回動され、これに連
動してソケット押さえ７２，７３が移動され、開度が調
整される。開度のロックは、ストッパ８０を第１のソケ
ット押さえ７２の噛合面７２ａに噛合させることにより
行われる。
ク７８にギヤ７６を噛み合わせた状態で着脱ヘッドの高
さを変えることにより、ギヤ７６が回動され、これに連
動してソケット押さえ７２，７３が移動され、開度が調
整される。開度のロックは、ストッパ８０を第１のソケ
ット押さえ７２の噛合面７２ａに噛合させることにより
行われる。
【００７７】この例では、第１及び第２のソケット押さ
え７２，７３の開度が、回動ではなく、直線移動により
調整されるので、吸着パッド４８ａの先端面に対するソ
ケット押さえ７２，７３の先端面の高さ方向の位置が、
開度によらず常に一定となり、ＩＣに対する吸着パッド
４８ａの押付力の変化が防止される。
え７２，７３の開度が、回動ではなく、直線移動により
調整されるので、吸着パッド４８ａの先端面に対するソ
ケット押さえ７２，７３の先端面の高さ方向の位置が、
開度によらず常に一定となり、ＩＣに対する吸着パッド
４８ａの押付力の変化が防止される。
【００７８】実施の形態６．なお、上記実施の形態５で
はソケット押さえ７２，７３の間隔を自動的に調整した
が、治具等を用いて手動で調整するようにしてもよい。
この場合、図３０に示すような構造とし、ストッパ８０
を手動で解除した状態でギヤ７６を手動で回動させれば
よい。
はソケット押さえ７２，７３の間隔を自動的に調整した
が、治具等を用いて手動で調整するようにしてもよい。
この場合、図３０に示すような構造とし、ストッパ８０
を手動で解除した状態でギヤ７６を手動で回動させれば
よい。
【００７９】実施の形態７．図３１はこの発明の実施の
形態７による着脱ヘッドの要部を示す構成図である。図
において、第１及び第２のソケット押さえ７２，７３
は、リンク機構８２により同期して開閉するようになっ
ている。また、ソケット押さえ７２，７３は、リンク機
構８２を介してばね８３により開方向へ付勢されてい
る。第２のストッパ７３には、レバー８４が回動自在に
取り付けられている。このレバー８４の一端部には噛合
面７２ａと噛み合うストッパ８５が、他端部には第１の
ローラ８６がそれぞれ回動自在に取り付けられている。
また、第２のソケット押さえ７３には、第２のローラ８
７が取り付けられている。この例における直線移動機構
８８は、ガイドレール７１，ガイド部材７４及びリンク
機構８２により構成されている。
形態７による着脱ヘッドの要部を示す構成図である。図
において、第１及び第２のソケット押さえ７２，７３
は、リンク機構８２により同期して開閉するようになっ
ている。また、ソケット押さえ７２，７３は、リンク機
構８２を介してばね８３により開方向へ付勢されてい
る。第２のストッパ７３には、レバー８４が回動自在に
取り付けられている。このレバー８４の一端部には噛合
面７２ａと噛み合うストッパ８５が、他端部には第１の
ローラ８６がそれぞれ回動自在に取り付けられている。
また、第２のソケット押さえ７３には、第２のローラ８
７が取り付けられている。この例における直線移動機構
８８は、ガイドレール７１，ガイド部材７４及びリンク
機構８２により構成されている。
【００８０】このような着脱ヘッドは、実施の形態１と
同様の位置決め部材２６に第２のローラ８７を押し付け
てストッパ８５を分離した後、着脱ヘッドを設定高さま
で上昇させてレバー８４を回動させる。この後、着脱ヘ
ッドを水平移動させることにより、ストッパ８５の位置
までソケット押さえ７２，７３が直線移動し、開度が調
整される。従って、他の例と同様に開度調整の作業効率
が向上する。また、第１及び第２のソケット押さえ７
２，７３の開度が直線移動により調整されるので、ＩＣ
に対する吸着パッド４８ａの押付力の変化が防止され
る。さらに、一対のソケット押さえ７２，７３をリンク
機構８２により同期させているので、構造が簡単であ
る。
同様の位置決め部材２６に第２のローラ８７を押し付け
てストッパ８５を分離した後、着脱ヘッドを設定高さま
で上昇させてレバー８４を回動させる。この後、着脱ヘ
ッドを水平移動させることにより、ストッパ８５の位置
までソケット押さえ７２，７３が直線移動し、開度が調
整される。従って、他の例と同様に開度調整の作業効率
が向上する。また、第１及び第２のソケット押さえ７
２，７３の開度が直線移動により調整されるので、ＩＣ
に対する吸着パッド４８ａの押付力の変化が防止され
る。さらに、一対のソケット押さえ７２，７３をリンク
機構８２により同期させているので、構造が簡単であ
る。
【００８１】実施の形態８．なお、上記実施の形態７で
はソケット押さえ７２，７３の間隔を自動的に調整した
が、治具等を用いて手動で調整するようにしてもよい。
この場合、図３２に示すような構造とし、ストッパ８５
を手動で解除した状態でソケット押さえ７２，７３を手
動で動かせばよい。
はソケット押さえ７２，７３の間隔を自動的に調整した
が、治具等を用いて手動で調整するようにしてもよい。
この場合、図３２に示すような構造とし、ストッパ８５
を手動で解除した状態でソケット押さえ７２，７３を手
動で動かせばよい。
【００８２】実施の形態９．次に、図３３はこの発明の
実施の形態９による着脱ヘッドの要部を示す構成図であ
る。図において、ヘッド軸４１には、パルスモータ９１
が固定されている。ガイドレール７１に沿って直線移動
する一対のソケット押さえ７２，７３には、ボールねじ
９２が螺合されている。このボールねじ９２の第１のソ
ケット押さえ７２に螺合する部分と、第２のソケット押
さえ７３に螺合する部分とでは、それぞれ逆向きのねじ
が切られている。従って、ボールねじ９２が回転する
と、第１及び第２のソケット押さえ７２，７３は、それ
ぞれ逆方向、即ち開閉するように移動する。パルスモー
タ９１の駆動力は、プーリ９３，９４及びタイミングベ
ルト９５を介してボールねじ９２に伝達される。この例
における直線移動機構９６は、ガイドレール７１，ガイ
ド部材７４，パルスモータ９１，ボールねじ９２，プー
リ９３，９４及びタイミングベルト９５から構成されて
いる。
実施の形態９による着脱ヘッドの要部を示す構成図であ
る。図において、ヘッド軸４１には、パルスモータ９１
が固定されている。ガイドレール７１に沿って直線移動
する一対のソケット押さえ７２，７３には、ボールねじ
９２が螺合されている。このボールねじ９２の第１のソ
ケット押さえ７２に螺合する部分と、第２のソケット押
さえ７３に螺合する部分とでは、それぞれ逆向きのねじ
が切られている。従って、ボールねじ９２が回転する
と、第１及び第２のソケット押さえ７２，７３は、それ
ぞれ逆方向、即ち開閉するように移動する。パルスモー
タ９１の駆動力は、プーリ９３，９４及びタイミングベ
ルト９５を介してボールねじ９２に伝達される。この例
における直線移動機構９６は、ガイドレール７１，ガイ
ド部材７４，パルスモータ９１，ボールねじ９２，プー
リ９３，９４及びタイミングベルト９５から構成されて
いる。
【００８３】このような着脱ヘッドでは、パルスモータ
９１によりボールねじ９２を回転させ、ソケット押さえ
７２，７３の間隔を自動的に調整する。また、制御部に
は、ＩＣの品種に対応するソケット押さえ７２，７３の
間隔を得るためのパルスモータ９１の運転情報が記憶さ
れており、ＩＣの品種を入力することにより必要な時間
だけパルスモータ９１に通電され、ソケット押さえ７
２，７３の間隔が設定された間隔に変更される。
９１によりボールねじ９２を回転させ、ソケット押さえ
７２，７３の間隔を自動的に調整する。また、制御部に
は、ＩＣの品種に対応するソケット押さえ７２，７３の
間隔を得るためのパルスモータ９１の運転情報が記憶さ
れており、ＩＣの品種を入力することにより必要な時間
だけパルスモータ９１に通電され、ソケット押さえ７
２，７３の間隔が設定された間隔に変更される。
【００８４】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明の
ＩＣ着脱装置は、着脱ヘッドのソケット押さえの間隔
を、ＩＣソケットのサイズに応じて調整可能としたの
で、ＩＣの品種の変更に伴う着脱ヘッドの交換を不要と
することができ、作業効率を大幅に向上させることがで
きる。
ＩＣ着脱装置は、着脱ヘッドのソケット押さえの間隔
を、ＩＣソケットのサイズに応じて調整可能としたの
で、ＩＣの品種の変更に伴う着脱ヘッドの交換を不要と
することができ、作業効率を大幅に向上させることがで
きる。
【００８５】請求項２の発明のＩＣ着脱装置は、ＩＣ及
びＩＣソケットの少なくともいずれか一方の情報を制御
部に入力することにより、ソケット押さえの間隔が自動
的に調整されるので、作業効率をさらに向上させること
ができる。
びＩＣソケットの少なくともいずれか一方の情報を制御
部に入力することにより、ソケット押さえの間隔が自動
的に調整されるので、作業効率をさらに向上させること
ができる。
【００８６】請求項３の発明のＩＣ着脱装置は、位置決
め部材の位置決め面に着脱ヘッドのローラを当接させた
状態で着脱ヘッドを移動させることによりレバーを回動
させ、ソケット押さえの間隔を自動的に調整するように
したので、ソケット押さえの間隔をより確実かつスムー
ズに調整することができる。
め部材の位置決め面に着脱ヘッドのローラを当接させた
状態で着脱ヘッドを移動させることによりレバーを回動
させ、ソケット押さえの間隔を自動的に調整するように
したので、ソケット押さえの間隔をより確実かつスムー
ズに調整することができる。
【００８７】請求項４の発明のＩＣ着脱装置は、ＩＣの
情報を制御部に入力することにより、ＩＣに応じたセン
タリング治具がセンタリング治具ストッカ上から自動的
に選択されて交換されるようにしたので、センタリング
治具の交換作業の効率を向上させることができる。
情報を制御部に入力することにより、ＩＣに応じたセン
タリング治具がセンタリング治具ストッカ上から自動的
に選択されて交換されるようにしたので、センタリング
治具の交換作業の効率を向上させることができる。
【００８８】請求項５の発明のＩＣ着脱装置は、センタ
リング治具を保持するためのチャック爪と、このチャッ
ク爪を開閉するエアシリンダとを、着脱ヘッドに設けた
ので、センタリング治具を小さなスペースで素早く着脱
することができる。
リング治具を保持するためのチャック爪と、このチャッ
ク爪を開閉するエアシリンダとを、着脱ヘッドに設けた
ので、センタリング治具を小さなスペースで素早く着脱
することができる。
【００８９】請求項６の発明のＩＣ着脱装置は、セット
されたトレイマガジン及びトレイマガジンに収容された
トレイのいずれかを選択的に持ち上げるトレイ持上装置
を、トレイ供給部に設けたので、トレイマガジンの交換
作業を容易に行うことができる。
されたトレイマガジン及びトレイマガジンに収容された
トレイのいずれかを選択的に持ち上げるトレイ持上装置
を、トレイ供給部に設けたので、トレイマガジンの交換
作業を容易に行うことができる。
【００９０】請求項７の発明のＩＣ着脱装置は、２枚の
トレイを支持し回転可能なトレイ受けが設けられている
トレイテーブルと、空のトレイを収容する空トレイ収容
部と、トレイ持上装置、トレイテーブル及び空トレイ収
容部の間でトレイを搬送するトレイ搬送装置とを、トレ
イ供給部に設けたので、トレイ交換に伴う作業停止時間
を省略することができ、ＩＣ着脱作業の効率を向上させ
ることができる。
トレイを支持し回転可能なトレイ受けが設けられている
トレイテーブルと、空のトレイを収容する空トレイ収容
部と、トレイ持上装置、トレイテーブル及び空トレイ収
容部の間でトレイを搬送するトレイ搬送装置とを、トレ
イ供給部に設けたので、トレイ交換に伴う作業停止時間
を省略することができ、ＩＣ着脱作業の効率を向上させ
ることができる。
【００９１】請求項８の発明のＩＣ着脱装置は、基板の
位置を入換可能な基板反転装置を基板供給部に設けたの
で、基板の交換による装置全体の停止時間を省略するこ
とができ、ＩＣ着脱作業の効率を向上させることができ
る。
位置を入換可能な基板反転装置を基板供給部に設けたの
で、基板の交換による装置全体の停止時間を省略するこ
とができ、ＩＣ着脱作業の効率を向上させることができ
る。
【００９２】請求項９の発明のＩＣ着脱装置の着脱ヘッ
ドは、ソケット押さえの間隔を調整可能としたので、Ｉ
Ｃの品種の変更に伴う着脱ヘッドの交換を不要とするこ
とができ、作業効率を大幅に向上させることができる。
ドは、ソケット押さえの間隔を調整可能としたので、Ｉ
Ｃの品種の変更に伴う着脱ヘッドの交換を不要とするこ
とができ、作業効率を大幅に向上させることができる。
【００９３】請求項１０の発明のＩＣ着脱装置の着脱ヘ
ッドは、間隔が開く方向へソケット押さえを付勢するば
ねと、いずれか一方のソケット押さえに回動自在に設け
られているレバーと、このレバーの一端部に設けられレ
バーの回動角度に応じてソケット押さえの間隔を規制す
る間隔規制部材とを備えたので、簡単な構造で、ソケッ
ト押さえの間隔を調整できるとともに、調整した間隔を
より確実に保持することができる。
ッドは、間隔が開く方向へソケット押さえを付勢するば
ねと、いずれか一方のソケット押さえに回動自在に設け
られているレバーと、このレバーの一端部に設けられレ
バーの回動角度に応じてソケット押さえの間隔を規制す
る間隔規制部材とを備えたので、簡単な構造で、ソケッ
ト押さえの間隔を調整できるとともに、調整した間隔を
より確実に保持することができる。
【００９４】請求項１１の発明のＩＣ着脱装置の着脱ヘ
ッドは、ソケット押さえの間隔を調整するときに一対の
ソケット押さえを同期して変位させる同期ギヤを備えた
ので、簡単な構造でソケット押さえの間隔を左右均等に
調整することができる。
ッドは、ソケット押さえの間隔を調整するときに一対の
ソケット押さえを同期して変位させる同期ギヤを備えた
ので、簡単な構造でソケット押さえの間隔を左右均等に
調整することができる。
【００９５】請求項１２の発明のＩＣ着脱装置の着脱ヘ
ッドは、間隔が開く方向へソケット押さえを付勢するば
ねと、ソケット押さえの間隔を調整するときに一対のソ
ケット押さえを同期して変位させる同期ギヤと、同期ギ
ヤに押し付けられ、ソケット押さえの間隔を保持する間
隔保持部材とを備えたので、簡単な構造で、ソケット押
さえの間隔を左右均等に調整できるとともに、調整した
間隔をより確実に保持することができる。
ッドは、間隔が開く方向へソケット押さえを付勢するば
ねと、ソケット押さえの間隔を調整するときに一対のソ
ケット押さえを同期して変位させる同期ギヤと、同期ギ
ヤに押し付けられ、ソケット押さえの間隔を保持する間
隔保持部材とを備えたので、簡単な構造で、ソケット押
さえの間隔を左右均等に調整できるとともに、調整した
間隔をより確実に保持することができる。
【００９６】請求項１３の発明のＩＣ着脱装置の着脱ヘ
ッドは、平行な状態を保ったまま一対のソケット押さえ
を同期して直線移動させる直線移動機構を備えたので、
吸着部の先端面に対するソケット押さえの先端面の高さ
方向の位置が、開度によらず常に一定となり、ＩＣに対
する吸着部の押付力の変化が防止される。
ッドは、平行な状態を保ったまま一対のソケット押さえ
を同期して直線移動させる直線移動機構を備えたので、
吸着部の先端面に対するソケット押さえの先端面の高さ
方向の位置が、開度によらず常に一定となり、ＩＣに対
する吸着部の押付力の変化が防止される。
【００９７】請求項１４の発明のＩＣ着脱装置の着脱ヘ
ッドは、ＩＣをセンタリングするセンタリング治具を保
持するためのチャック爪と、このチャック爪を開閉する
エアシリンダとを備えたので、センタリング治具を小さ
なスペースで素早く着脱することができる。
ッドは、ＩＣをセンタリングするセンタリング治具を保
持するためのチャック爪と、このチャック爪を開閉する
エアシリンダとを備えたので、センタリング治具を小さ
なスペースで素早く着脱することができる。
【図１】 この発明の実施の形態１によるＩＣ着脱装置
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図２】 図１の装置の平面図である。
【図３】 図１のトレイ持上装置を示す斜視図である。
【図４】 図３のトレイマガジンを持ち上げた状態を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図５】 基板の一例を示す平面図である。
【図６】 ＩＣソケットの一例を示す平面図である。
【図７】 図６の断面図である。
【図８】 図６のカバーを押圧した状態を示す平面図で
ある。
ある。
【図９】 図８の断面図である。
【図１０】 図１の基板反転装置を示す平面図である。
【図１１】 図１０の斜視図である。
【図１２】 図１０の装置の基板反転動作中の斜視図で
ある。
ある。
【図１３】 図１の着脱ヘッドを示す正面図である。
【図１４】 センタリング治具の一例を示す斜視図であ
る。
る。
【図１５】 図１のＩＣ着脱装置の品種変更時の動作手
順を示すフローチャートである。
順を示すフローチャートである。
【図１６】 図１３のセンタリング治具を解放した状態
を示す構成図である。
を示す構成図である。
【図１７】 図１の着脱ヘッドを位置決め部材へ移動さ
せた状態を示す要部構成図である。
せた状態を示す要部構成図である。
【図１８】 図１７の着脱ヘッドを位置決め部材に押し
付けた状態を示す要部構成図である。
付けた状態を示す要部構成図である。
【図１９】 図１８の着脱ヘッドを上昇させた状態を示
す要部構成図である。
す要部構成図である。
【図２０】 図１９の着脱ヘッドを水平移動させた状態
を示す要部構成図である。
を示す要部構成図である。
【図２１】 図２０の着脱ヘッドを位置決め部材から開
離させた状態を示す要部構成図である。
離させた状態を示す要部構成図である。
【図２２】 図２１の着脱ヘッドをセンタリング治具上
に下降させた状態を示す構成図である。
に下降させた状態を示す構成図である。
【図２３】 図２２のセンタリング治具の装着を完了し
た状態を示す構成図である。
た状態を示す構成図である。
【図２４】 この発明の実施の形態２による着脱ヘッド
の要部を示す構成図である。
の要部を示す構成図である。
【図２５】 この発明の実施の形態３による着脱ヘッド
の要部を示す構成図である。
の要部を示す構成図である。
【図２６】 図２５の着脱ヘッドを位置決め部材に押し
付けた状態を示す構成図である。
付けた状態を示す構成図である。
【図２７】 図２６の着脱ヘッドを水平移動させた状態
を示す要部構成図である。
を示す要部構成図である。
【図２８】 この発明の実施の形態４による着脱ヘッド
の要部を示す構成図である。
の要部を示す構成図である。
【図２９】 この発明の実施の形態５による着脱ヘッド
の要部を示す構成図である。
の要部を示す構成図である。
【図３０】 この発明の実施の形態６による着脱ヘッド
の要部を示す構成図である。
の要部を示す構成図である。
【図３１】 この発明の実施の形態７による着脱ヘッド
の要部を示す構成図である。
の要部を示す構成図である。
【図３２】 この発明の実施の形態８による着脱ヘッド
の要部を示す構成図である。
の要部を示す構成図である。
【図３３】 この発明の実施の形態９による着脱ヘッド
の要部を示す構成図である。
の要部を示す構成図である。
【図３４】 従来のＩＣ着脱装置の一例を示す斜視図で
ある。
ある。
１ 基板、１Ａ ＩＣソケット、４ トレイ、１２ ト
レイ持上装置、１３ＩＣ、１４ トレイテーブル、１５
トレイ受け、１７ トレイ搬送装置、１８トレイ供給
部、２０ 基板反転装置（基板供給部）、２４ ロボッ
ト本体、２５ 着脱ヘッド、２６ 位置決め部材、２６
ｂ 位置決め面、２７ センタリング治具、２８ セン
タリング治具ストッカ、３７ カバー（可動部）、４
２，４３，７２，７３ ソケット押さえ、４２ｂ，４３
ｂ 同期ギヤ、４４ ばね、４５ レバー、４６ スト
ッパ（間隔規制部材）、４７Ａ 第１のローラ、４８吸
着管（吸着部）、５０ チャック爪、５３ エアシリン
ダ、６４ ラック（間隔保持部材）、７８，８８，９６
直線移動機構。
レイ持上装置、１３ＩＣ、１４ トレイテーブル、１５
トレイ受け、１７ トレイ搬送装置、１８トレイ供給
部、２０ 基板反転装置（基板供給部）、２４ ロボッ
ト本体、２５ 着脱ヘッド、２６ 位置決め部材、２６
ｂ 位置決め面、２７ センタリング治具、２８ セン
タリング治具ストッカ、３７ カバー（可動部）、４
２，４３，７２，７３ ソケット押さえ、４２ｂ，４３
ｂ 同期ギヤ、４４ ばね、４５ レバー、４６ スト
ッパ（間隔規制部材）、４７Ａ 第１のローラ、４８吸
着管（吸着部）、５０ チャック爪、５３ エアシリン
ダ、６４ ラック（間隔保持部材）、７８，８８，９６
直線移動機構。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮本 亮一 熊本県菊池郡大津町大字高尾野字平成272 番10号 三菱電機熊本セミコンダクタ株式 会社内
Claims (14)
- 【請求項１】 ＩＣが載置されているトレイを供給する
トレイ供給部と、 可動部を押圧して変位させることにより上記ＩＣが着脱
されるＩＣソケットを有する基板を供給する基板供給部
と、 上記トレイ供給部に供給されたトレイと上記基板供給部
に供給された基板との間で上記ＩＣを移送するためのロ
ボット本体と、 上記ＩＣソケットのサイズに応じて間隔が調整可能にな
っており上記ＩＣソケットの可動部を押圧する複数のソ
ケット押さえを有し、上記ロボット本体に支持され上記
ＩＣを吸着保持する着脱ヘッドと、 上記ロボット本体の動作を制御する制御部とを備えてい
ることを特徴とするＩＣ着脱装置。 - 【請求項２】 ＩＣ及びＩＣソケットの少なくともいず
れか一方の情報を制御部に入力することにより、ソケッ
ト押さえの間隔が自動的に調整されることを特徴とする
請求項１記載のＩＣ着脱装置。 - 【請求項３】 着脱ヘッドは、一対のソケット押さえ
と、互いの間隔が開く方向へ上記ソケット押さえを付勢
するばねと、いずれか一方のソケット押さえに回動自在
に設けられているレバーと、このレバーの一端部に設け
られ上記レバーの回動角度に応じて上記ソケット押さえ
の間隔を規制する間隔規制部材と、上記レバーの他端部
に設けられているローラとを有しており、ロボット本体
による上記着脱ヘッドの移動範囲内には、位置決め面を
有する位置決め部材が設けられており、上記位置決め面
に上記ローラを当接させた状態で上記着脱ヘッドを移動
させることにより上記レバーを回動させ、上記ソケット
押さえの間隔が調整されることを特徴とする請求項２記
載のＩＣ着脱装置。 - 【請求項４】 着脱ヘッドに装着されてＩＣをセンタリ
ングする複数のセンタリング治具が置かれたセンタリン
グ治具ストッカを備え、上記ＩＣの情報を制御部に入力
することにより、上記ＩＣに応じたセンタリング治具が
自動的に選択されて交換されることを特徴とする請求項
１ないし請求項３のいずれかに記載のＩＣ着脱装置。 - 【請求項５】 着脱ヘッドは、センタリング治具を保持
するためのチャック爪と、このチャック爪を開閉するエ
アシリンダとを有していることを特徴とする請求項４記
載のＩＣ着脱装置。 - 【請求項６】 トレイ供給部は、セットされたトレイマ
ガジン及び上記トレイマガジンに収容されたトレイのい
ずれかを選択的に持ち上げるトレイ持上装置を有してい
ることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか
に記載のＩＣ着脱装置。 - 【請求項７】 トレイ供給部は、２枚のトレイを支持し
回転可能なトレイ受けが設けられているトレイテーブル
と、空のトレイを収容する空トレイ収容部と、トレイ持
上装置、上記トレイテーブル及び上記空トレイ収容部の
間でトレイを搬送するトレイ搬送装置とを有しているこ
とを特徴とする請求項６記載のＩＣ着脱装置。 - 【請求項８】 基板供給部は、ＩＣソケットに対するＩ
Ｃ着脱位置と基板交換位値との間で、基板を水平に保っ
たまま基板の位置を入れ換える基板反転装置を有してい
ることを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか
に記載のＩＣ着脱装置。 - 【請求項９】 ロボット本体に支持されＩＣを吸着する
吸着部と、 この吸着部の外側に設けられているとともに、互いの間
隔が調整可能になっており、ＩＣソケットへの上記ＩＣ
の着脱時に上記ＩＣソケットの可動部を押圧する一対の
ソケット押さえとを備えていることを特徴とするＩＣ着
脱装置の着脱ヘッド。 - 【請求項１０】 間隔が開く方向へソケット押さえを付
勢するばねと、いずれか一方のソケット押さえに回動自
在に設けられているレバーと、このレバーの一端部に設
けられ上記レバーの回動角度に応じて上記ソケット押さ
えの間隔を規制する間隔規制部材とを備えていることを
特徴とする請求項９記載のＩＣ着脱装置の着脱ヘッド。 - 【請求項１１】 ソケット押さえの間隔を調整するとき
に一対のソケット押さえを同期して変位させる同期ギヤ
を備えていることを特徴とする請求項９又は請求項１０
記載のＩＣ着脱装置の着脱ヘッド。 - 【請求項１２】 間隔が開く方向へソケット押さえを付
勢するばねと、ソケット押さえの間隔を調整するときに
一対のソケット押さえを同期して変位させる同期ギヤ
と、上記同期ギヤに押し付けられ、ソケット押さえの間
隔を保持する間隔保持部材とを備えていることを特徴と
する請求項９記載のＩＣ着脱装置の着脱ヘッド。 - 【請求項１３】 平行な状態を保ったまま一対のソケッ
ト押さえを同期して直線移動させる直線移動機構を備え
ていることを特徴とする請求項９記載のＩＣ着脱装置の
着脱ヘッド。 - 【請求項１４】 ＩＣをセンタリングするセンタリング
治具を保持するためのチャック爪と、このチャック爪を
開閉するエアシリンダとを備えていることを特徴とする
請求項９ないし請求項１３のいずれかに記載のＩＣ着脱
装置の着脱ヘッド。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13549596A JP3711301B2 (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | Ｉｃ着脱装置及びその着脱ヘッド |
| TW085115485A TW312809B (en) | 1996-05-29 | 1996-12-14 | IC mounting/demounting device and mounting/demounting head thereof |
| KR1019970000386A KR100250352B1 (ko) | 1996-05-29 | 1997-01-09 | Ic착탈장치 |
| US08/782,672 US5822847A (en) | 1996-05-29 | 1997-01-15 | IC mounting/demounting system and a mounting/demounting head therefor |
| DE19711683A DE19711683C2 (de) | 1996-05-29 | 1997-03-20 | IC-Baustein-Montage/Demontage-System sowie Montage/Demontage-Kopf für ein derartiges IC-Baustein-Montage-/Demontage-System |
| CN97103342A CN1085888C (zh) | 1996-05-29 | 1997-03-20 | Ic装卸装置及其装卸头 |
| MYPI97001218A MY129724A (en) | 1996-05-29 | 1997-03-21 | Ic mounting/demounting system and a mounting/demounting head therefor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13549596A JP3711301B2 (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | Ｉｃ着脱装置及びその着脱ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09321183A true JPH09321183A (ja) | 1997-12-12 |
| JP3711301B2 JP3711301B2 (ja) | 2005-11-02 |
Family
ID=15153082
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13549596A Expired - Fee Related JP3711301B2 (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | Ｉｃ着脱装置及びその着脱ヘッド |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5822847A (ja) |
| JP (1) | JP3711301B2 (ja) |
| KR (1) | KR100250352B1 (ja) |
| CN (1) | CN1085888C (ja) |
| DE (1) | DE19711683C2 (ja) |
| MY (1) | MY129724A (ja) |
| TW (1) | TW312809B (ja) |
Cited By (2)
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| US20210039266A1 (en) * | 2019-08-07 | 2021-02-11 | Lg Electronics Inc. | Tool changer and tool change system including the same |
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| CN1906983B (zh) * | 2004-01-15 | 2011-07-20 | 国际商业机器公司 | 一种芯片上系统 |
| JP4516354B2 (ja) * | 2004-05-17 | 2010-08-04 | パナソニック株式会社 | 部品供給方法 |
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| CN104627663B (zh) * | 2015-01-29 | 2017-02-22 | 广东金弘达自动化科技股份有限公司 | 一种镜头自动上料机 |
| JP6487373B2 (ja) * | 2016-05-25 | 2019-03-20 | ファナック株式会社 | ワーク固定装置 |
| CN108650878B (zh) * | 2018-08-21 | 2020-11-06 | 安徽广晟德自动化设备有限公司 | 一种适用于贴片机的运动控制装置和方法 |
| TWI878034B (zh) * | 2024-02-29 | 2025-03-21 | 連昇科技有限公司 | 拔取器 |
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|---|---|---|---|---|
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| JPS6310473A (ja) * | 1986-07-01 | 1988-01-18 | Mitsubishi Electric Corp | 燃料電池発電システム |
| JPH0191500A (ja) * | 1987-01-20 | 1989-04-11 | Ikegami Tsushinki Co Ltd | チップ部品の自動装着装置 |
| GB2201941A (en) * | 1987-03-13 | 1988-09-14 | Philips Nv | Gripping device |
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| JP2646800B2 (ja) * | 1990-04-16 | 1997-08-27 | 三菱電機株式会社 | 吸着位置決め機構 |
| DE4338852A1 (de) * | 1993-11-13 | 1995-05-18 | Kvh Verbautechnik Gmbh | Transportgreifer mit Blockiervorrichtung |
| DE4406771C2 (de) * | 1994-03-02 | 1997-02-06 | Fraunhofer Ges Forschung | Greifer für einen Industrieroboter |
| JP3295529B2 (ja) * | 1994-05-06 | 2002-06-24 | 松下電器産業株式会社 | Ｉｃ部品実装方法及び装置 |
| JP2789167B2 (ja) * | 1994-06-01 | 1998-08-20 | エスエムシー株式会社 | 揺動開閉チャック |
| US6019564A (en) * | 1995-10-27 | 2000-02-01 | Advantest Corporation | Semiconductor device transporting and handling apparatus |
| DE19626505A1 (de) * | 1996-07-02 | 1998-01-08 | Mci Computer Gmbh | Verfahren zur Handhabung von elektronischen Bauelementen in der Endmontage |
-
1996
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