JPH03211751A - 基板移換装置 - Google Patents
基板移換装置Info
- Publication number
- JPH03211751A JPH03211751A JP2004597A JP459790A JPH03211751A JP H03211751 A JPH03211751 A JP H03211751A JP 2004597 A JP2004597 A JP 2004597A JP 459790 A JP459790 A JP 459790A JP H03211751 A JPH03211751 A JP H03211751A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- substrate
- main body
- substrate transfer
- partial
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野１
この発明はカセットの収納溝に収納された液晶表示装置
のガラス基板等の基板を他のカセットの収納溝に移し換
える装置に関するものである。
のガラス基板等の基板を他のカセットの収納溝に移し換
える装置に関するものである。
［従来の技術］
液晶表示装置を製造する場合には、カセットの収納溝に
たとえば２４枚のガラス基板を収納した状態でガラス基
板を搬送しながら、ガラス基板」二に薄膜トランジスタ
等を形成している。また、ガラス基板を加熱するときに
は、ガラス基板を収納したカセットを加熱炉内に挿入し
ている。この場合に、カセットの全部の収納溝にガラス
基板を収納した状態で加熱したときには、ガラス基板を
均一に加熱することができないので、カセットの１つお
きの収納溝にガラス基板を収納して、ガラス基板を加熱
している。
たとえば２４枚のガラス基板を収納した状態でガラス基
板を搬送しながら、ガラス基板」二に薄膜トランジスタ
等を形成している。また、ガラス基板を加熱するときに
は、ガラス基板を収納したカセットを加熱炉内に挿入し
ている。この場合に、カセットの全部の収納溝にガラス
基板を収納した状態で加熱したときには、ガラス基板を
均一に加熱することができないので、カセットの１つお
きの収納溝にガラス基板を収納して、ガラス基板を加熱
している。
従来、カセットの１つおきの収納溝にガラス基板を収納
するには、作業者が真空ピンセットにより全ての収納溝
にガラス基板が収納されたカセットからガラス基板を１
枚おきに引き抜き、そのガラス基板を他のカセットの１
つおきの収納溝に挿入している。
するには、作業者が真空ピンセットにより全ての収納溝
にガラス基板が収納されたカセットからガラス基板を１
枚おきに引き抜き、そのガラス基板を他のカセットの１
つおきの収納溝に挿入している。
しかし、この場合には、移換作業に多くの時間を要し、
異物がガラス基板に付着し、ガラス基板に傷が発生する
。
異物がガラス基板に付着し、ガラス基板に傷が発生する
。
この発明は上述の課題を解決するためになされたもので
、移換作業を短時間に行なうことができ、異物が基板に
付着することがなく、基板に傷が発生することがない基
板移換装置を提供することを目的とする。
、移換作業を短時間に行なうことができ、異物が基板に
付着することがなく、基板に傷が発生することがない基
板移換装置を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］
この目的を達成するため、この発明においては、複数の
収納溝を有するカセットに収納された基板を値のカセッ
トに移し換える基板移換装置において、移動ｉ１■能に
設けられた本体と、上記本体に取り付けられかつ上記カ
セットの上記収納溝の一部に対応する位置に設けられた
一部押し部材とを有する一部プッシャを設ける。
収納溝を有するカセットに収納された基板を値のカセッ
トに移し換える基板移換装置において、移動ｉ１■能に
設けられた本体と、上記本体に取り付けられかつ上記カ
セットの上記収納溝の一部に対応する位置に設けられた
一部押し部材とを有する一部プッシャを設ける。
１作用１
この基板移換装置においては、一部押し部材に対応した
位置にある収納溝に収納された基板のみを移し換えるこ
とができる。
位置にある収納溝に収納された基板のみを移し換えるこ
とができる。
〔実施例１
第１図はこの発明に係る基板移換装置を示す一部切断概
略平面図、第２図は同じく一部切断概略正面図、第３図
は同じく左側面図である。図において、ｌは基台、２は
一部プッシャ、３は一部プッシャ２の本体で５本体３は
第１図紙面左右方向に移動Ｉ７Ｉ能である。４は本体３
に取り付けられたロッド状の一部押し部材、５は全部ブ
ツシャ、６は全部ブツシャ５の本体で、本体６は第１図
紙面左右方向に移動可能である。７は本体６に取り付け
られた全部押し部材、８は基台ｌに取り付けられた載置
台、９は基台ｌに取り付けられた載置台、１０は基台Ｉ
に設けられた雌ネジと螺合した高さ調整ネジ、］１は載
置台９に取り付けられたロック装置、１２はロック装置
１１のロックネジ、１３はカセット、１４はカセット１
３の収納溝で、一部押し部材４は上から第１番目、第３
番目、第５番目の収納溝１４に対応する位置に設けられ
ている。１５はカセット１３の下部に設けられた突出部
、１６はガラス基板である。
略平面図、第２図は同じく一部切断概略正面図、第３図
は同じく左側面図である。図において、ｌは基台、２は
一部プッシャ、３は一部プッシャ２の本体で５本体３は
第１図紙面左右方向に移動Ｉ７Ｉ能である。４は本体３
に取り付けられたロッド状の一部押し部材、５は全部ブ
ツシャ、６は全部ブツシャ５の本体で、本体６は第１図
紙面左右方向に移動可能である。７は本体６に取り付け
られた全部押し部材、８は基台ｌに取り付けられた載置
台、９は基台ｌに取り付けられた載置台、１０は基台Ｉ
に設けられた雌ネジと螺合した高さ調整ネジ、］１は載
置台９に取り付けられたロック装置、１２はロック装置
１１のロックネジ、１３はカセット、１４はカセット１
３の収納溝で、一部押し部材４は上から第１番目、第３
番目、第５番目の収納溝１４に対応する位置に設けられ
ている。１５はカセット１３の下部に設けられた突出部
、１６はガラス基板である。
この基板移換装置においては、第４図に示すように、全
ての収納溝１４にガラス基板１６が収納されたカセット
１３ａを載置台８に載置し、全ての収納溝１４にガラス
基板１６が収納されていないカセット１３ｂを載置台９
に載置し、ロック装置１１でカセット１３ｂを載置台９
に固定し、高さ調整ネジ１０によってカセット１３ｂの
第４図紙面左側の高さを調節したのち、一部プッシャ２
を第４図紙面右方に移動すれば、カセット１３ａの上か
ら第２番目、第４番目、第６番目の収納溝１４にガラス
基板１６が収納され、カセット１３ｂの−Ｌから第１番
目、第３番目、第５番目の収納溝１４にガラス基板１６
が収納された状態とすることができる。つぎに、１つお
きの収納溝１４にガラス基板１６を収納したカセット１
３ａ。
ての収納溝１４にガラス基板１６が収納されたカセット
１３ａを載置台８に載置し、全ての収納溝１４にガラス
基板１６が収納されていないカセット１３ｂを載置台９
に載置し、ロック装置１１でカセット１３ｂを載置台９
に固定し、高さ調整ネジ１０によってカセット１３ｂの
第４図紙面左側の高さを調節したのち、一部プッシャ２
を第４図紙面右方に移動すれば、カセット１３ａの上か
ら第２番目、第４番目、第６番目の収納溝１４にガラス
基板１６が収納され、カセット１３ｂの−Ｌから第１番
目、第３番目、第５番目の収納溝１４にガラス基板１６
が収納された状態とすることができる。つぎに、１つお
きの収納溝１４にガラス基板１６を収納したカセット１
３ａ。
１３ｂを加熱炉に挿入して、ガラス基板１６を加熱した
のち、第５図に示すように、カセット１３ａを載置台８
に載置し、カセット！３ｂを載置台９に載置し、ロック
装置１１でカセット１３ｂを載置台９に固定し、高さ調
整ネジ１０によってカセット１３ｂの第４図紙面左側の
高さを調節したのち、全部ブツシャ５を第４図紙面右方
ｊに移動すれば、カセット１３ａの収納溝１４に収納さ
れた３枚のガラス基板１６がカセット１３ｂの収納溝１
４に移動されて、カセット１３ｂの全ての収納溝１４に
ガラス基板１６が収納された状態とすることができる。
のち、第５図に示すように、カセット１３ａを載置台８
に載置し、カセット！３ｂを載置台９に載置し、ロック
装置１１でカセット１３ｂを載置台９に固定し、高さ調
整ネジ１０によってカセット１３ｂの第４図紙面左側の
高さを調節したのち、全部ブツシャ５を第４図紙面右方
ｊに移動すれば、カセット１３ａの収納溝１４に収納さ
れた３枚のガラス基板１６がカセット１３ｂの収納溝１
４に移動されて、カセット１３ｂの全ての収納溝１４に
ガラス基板１６が収納された状態とすることができる。
このように、この基板移換装置においては、部ブツシャ
２によりガラス基板１６を移動するから、移換作業を短
時間に行なうことができ、異物がガラス基板１６に付着
することがなく、ガラス基板１６に傷が発生することが
ない。また、高さ調整ネジ１０を設けているので、２つ
のカセット１３の収納溝１４の高さを一致させることが
できるので、ガラス基板１６を確実に移し換えることが
できる。さらに、ロック装置１１を設けているので、ガ
ラス基板１６を移し換える場合に、カセットＩ３が転倒
するのを防止することができる。
２によりガラス基板１６を移動するから、移換作業を短
時間に行なうことができ、異物がガラス基板１６に付着
することがなく、ガラス基板１６に傷が発生することが
ない。また、高さ調整ネジ１０を設けているので、２つ
のカセット１３の収納溝１４の高さを一致させることが
できるので、ガラス基板１６を確実に移し換えることが
できる。さらに、ロック装置１１を設けているので、ガ
ラス基板１６を移し換える場合に、カセットＩ３が転倒
するのを防止することができる。
なお、上述実施例においては、一部押し部材４を上から
第１番目、第３番目、第５番目の収納溝１４に対応する
位置に設けたが、一部押し部材を任意の収納溝１４に対
応する位置に設けてもよい。
第１番目、第３番目、第５番目の収納溝１４に対応する
位置に設けたが、一部押し部材を任意の収納溝１４に対
応する位置に設けてもよい。
また、上述実施例においては、ロッド状の一部押し部材
４を用いたが、板状の一部押し部材を用いてもよい。さ
らに、本体３の収納溝１４に対応する位置に一部押し部
材４の着脱手段を設ければ、一部押し部材４を任意の収
納溝１４に対応した位置に取り付けることができる。ま
た、一部プッシャ２、全部ブツシャ５を駆動する駆動装
置およびそれらの駆動装置を制御する制御装置を設けれ
ば、一部プッシャ２、全部ブツシャ５を自動的に移動す
ることができる。
４を用いたが、板状の一部押し部材を用いてもよい。さ
らに、本体３の収納溝１４に対応する位置に一部押し部
材４の着脱手段を設ければ、一部押し部材４を任意の収
納溝１４に対応した位置に取り付けることができる。ま
た、一部プッシャ２、全部ブツシャ５を駆動する駆動装
置およびそれらの駆動装置を制御する制御装置を設けれ
ば、一部プッシャ２、全部ブツシャ５を自動的に移動す
ることができる。
［発明の効果］
以上説明したように、この発明に係る基板移換装置にお
いては、一部プッシャにより基板を移動するから、移換
作業を短時間に行なうことができ、異物が基板に付着す
ることがなく、基板に傷が発生することがない。このよ
うに、この発明の効果は顕著である。
いては、一部プッシャにより基板を移動するから、移換
作業を短時間に行なうことができ、異物が基板に付着す
ることがなく、基板に傷が発生することがない。このよ
うに、この発明の効果は顕著である。
第１図はこの発明に係る基板移換装置を示す一部切断概
略平面図、第２図は同じく一部切断概略正面図、第３図
は同じく左側面図、第４図、第５図はそれぞれ第１図〜
第３図に示した基板移換装置の動作説明図である。 ■ ２・・・一部プッシャ ３・・・本体 ４・・・一部押し部材 ３・・・カセット ４・・・収納溝 第２ 図 第３ 図 ３−ｍ−本体 ４−−−−９１〒し蓼ロオオ ４−−−Ｊｌ又、訴う】１ 第４ 図
略平面図、第２図は同じく一部切断概略正面図、第３図
は同じく左側面図、第４図、第５図はそれぞれ第１図〜
第３図に示した基板移換装置の動作説明図である。 ■ ２・・・一部プッシャ ３・・・本体 ４・・・一部押し部材 ３・・・カセット ４・・・収納溝 第２ 図 第３ 図 ３−ｍ−本体 ４−−−−９１〒し蓼ロオオ ４−−−Ｊｌ又、訴う】１ 第４ 図
Claims (1)
- １、複数の収納溝を有するカセットに収納された基板を
他のカセットに移し換える基板移換装置において、移動
可能に設けられた本体と、上記本体に取り付けられかつ
上記カセットの上記収納溝の一部に対応する位置に設け
られた一部押し部材とを有する一部プッシャを具備する
ことを特徴とする基板移換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004597A JPH03211751A (ja) | 1990-01-16 | 1990-01-16 | 基板移換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004597A JPH03211751A (ja) | 1990-01-16 | 1990-01-16 | 基板移換装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03211751A true JPH03211751A (ja) | 1991-09-17 |
Family
ID=11588454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004597A Pending JPH03211751A (ja) | 1990-01-16 | 1990-01-16 | 基板移換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03211751A (ja) |
-
1990
- 1990-01-16 JP JP2004597A patent/JPH03211751A/ja active Pending
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