WO2003088705A1 - Ultrasonic probe - Google Patents

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acoustic window
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Shigeyoshi Hasegawa
Kazuyoshi Irioka
Jun Koizumi
Michiyo Hirayama
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; ELECTRIC HEARING AIDS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R1/00—Details of transducers, loudspeakers or microphones
    • H04R1/02—Casings; Cabinets ; Supports therefor; Mountings therein
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    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; ELECTRIC HEARING AIDS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R1/00—Details of transducers, loudspeakers or microphones
    • H04R1/44—Special adaptations for subaqueous use, e.g. for hydrophone

Definitions

  • the present invention relates to an ultrasonic probe, and more specifically, surrounds an ultrasonic element with an acoustic window, and clarifies an acoustic propagation liquid in the acoustic window.
  • the present invention relates to a filled ultrasonic probe.
  • Ultrasonic probes are used in fish detectors and ultrasonic diagnostic equipment for living organisms.
  • an ultrasonic probe used in an ultrasonic diagnostic apparatus an ultrasonic element that transmits and receives ultrasonic waves is surrounded by an acoustic window, and an acoustic propagating liquid having an acoustic impedance close to that of a living body is enclosed in the acoustic window. Filled ones are known (for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. H08-98341).
  • An object of the present invention is to provide an ultrasonic probe capable of suppressing transmission of an acoustic propagation liquid from an acoustic window and maintaining pressure in the acoustic window.
  • an ultrasonic probe includes an element made of a piezoelectric body that transmits and receives ultrasonic waves, and an ultrasonic wave that fills an acoustic window surrounding the element with an ultrasonic wave propagating liquid.
  • the acoustic window is formed with a barrier layer that blocks liquid and gas permeation.
  • barrier layer for example, a layer containing at least one of a polyparaxylylene layer and a metal layer can be used.
  • FIG. 1 is a schematic sectional view showing an example of the ultrasonic probe according to the present invention.
  • FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view showing a storage section of the ultrasonic probe.
  • FIG. 3 is an enlarged sectional view showing an acoustic window of the ultrasonic probe.
  • the ultrasonic probe of the present invention includes an ultrasonic element for transmitting and receiving ultrasonic waves, an acoustic window surrounding the ultrasonic element, and an ultrasonic wave filled in the acoustic window. And propagation fluid.
  • the acoustic window has a barrier layer that inhibits the permeation of liquid and gas.
  • the barrier layer is preferably formed on an inner wall surface of the acoustic window.
  • polyparaxylylene or a derivative thereof can be used.
  • the polyparaxylylene derivative a polyparaxylylene derivative in which at least one of the hydrogen atoms of each aromatic ring is substituted with, for example, chlorine, bromine, fluorine, an alkyl group, an amino group, or the like can be used.
  • the thickness of the polyparaxylylene layer is preferably from 0.1 m to 500 m, and more preferably from 1 m to 500 m, since it has a good liquid permeation inhibiting property and the film formation is easy. It is preferably from l to 100.
  • the polyparaxylylene layer can be formed as a polyparaxylylene resin layer by chemical vapor deposition of diparaxylylene or a derivative thereof.
  • diparaxylylene for example, the product name “Parylene” manufactured by Three Ponds can be applied.
  • diparaxylylene derivative a derivative in which at least one hydrogen of each aromatic ring of diparaxylylene is substituted with, for example, chlorine, bromine, fluorine, an alkyl group, an amino group, or the like can be used.
  • diparaxylene dima-I (diparaxylene)
  • the obtained diparaxylene is heated to about 600 ° C under low pressure and thermally decomposed as shown in the following formula [Fig. 2], and the paraxylylene radical gas intermediate is obtained.
  • This gas is very reactive, and when it is led to the inner wall of the acoustic window, it condenses and polymerizes on its surface, forming a layer of polyparaxylylene.
  • the molecular weight of this polyparaxylylene is about 500,000.
  • n represents a repeating unit.
  • the polyparaxylylene layer can be formed by vapor deposition of diparaxylene or a derivative thereof.
  • the deposition rate is generally between 0.1 and 0.2 mZ. According to the method using this vapor deposition, an extremely thin layer can be formed, and permeation and outflow of the acoustic propagation liquid can be prevented.
  • a metal layer may be used as the barrier layer.
  • the metal layer for example, a metal such as aluminum, gold, nickel, and platinum, preferably, a metal such as aluminum and gold can be used.
  • the thickness of the metal layer is preferably 0.1 m to 30 m from the viewpoint of having good liquid permeation inhibiting property and facilitating film formation.
  • the metal layer can be formed by, for example, an evaporation method. Alternatively, it may be formed by attaching a metal thin film. As a result, a thin film layer can be formed, and outflow due to permeation of the acoustic propagation liquid can be prevented.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of the structure of the ultrasonic probe according to the present invention.
  • This ultrasonic probe is a probe used for ultrasonic diagnosis. A part of the probe is inserted into a body cavity of a subject, and an ultrasonic scan is performed in the body cavity. It is a tentacle.
  • This ultrasonic probe includes an insertion portion 100 inserted into a body cavity, and a grip portion 200 held outside the body cavity by an operator.
  • the insertion section 100 includes a storage section 10 disposed at a distal end thereof, and a rod section 20 for disposing the storage section 10 at a desired position in a body cavity.
  • the storage unit 10 is configured by joining an acoustic window 4 and a frame 8, and stores an ultrasonic element unit therein.
  • FIG. 1 the structure inside the storage unit 10 is simplified for simplicity.
  • FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view showing a detailed structure inside the storage unit 10.
  • the acoustic window 4 is not particularly limited, and the same as the conventional acoustic window can be used. However, it is preferable to use poly (methylpentene-1) having a thickness of about 1 to 3 mm. This is because the extracted image is not distorted because there is little deformation when pressed against the body surface, and the thickness is such that ultrasonic attenuation can be tolerated.
  • the barrier layer 3 is formed on the inner wall surface of the acoustic window 4 as described above.
  • the barrier layer 3 is preferably formed in close contact with the inner wall surface of the acoustic window 4 as shown in FIG.
  • the acoustic window 4 having such a barrier layer 3 has a very small decrease in the amount of liquid due to liquid permeation, and there is almost no drop in internal pressure. Can be secured.
  • the barrier layer 3 is a polyparaxylylene layer having a thickness of 5 m.
  • this polyparaxylylene layer can be efficiently formed by, for example, vapor deposition of “Parylene” (trade name, manufactured by Three Bond Corporation). Can be.
  • the polyparaxylylene layer is a thick film, or when the window has a simple shape, it is also possible to adopt a bonding method.
  • the barrier layer 3 it is also possible to use a deposited film or a sticking film of aluminum, gold, or the like.
  • the acoustic window 4 of the storage unit 10 is filled with a degassed acoustic propagation liquid 5.
  • a degassed acoustic propagation liquid 5 for example, physiological saline or the like can be used.
  • a through hole is provided in the frame 8, and a pipe 9 extending to the drip portion 200 through the rod portion 20 is connected to the through hole.
  • the propagation liquid 5 is filled.
  • the acoustic window 4 is configured such that the acoustic propagation liquid 5 communicates with the spare tank 12 described later via the pipe 9.
  • the ultrasonic element unit includes the vibrator 2 and a rotation mechanism that holds and rotates the vibrator 2.
  • An acoustic lens 7 is arranged on the ultrasonic wave transmitting / receiving surface of the vibrator 2.
  • the rotating mechanism is, for example, a self-rotating motor, a rotor 1 having a vibrator 2 mounted thereon, a bracket 6 rotatably supporting the rotor, and a rotation for applying a rotating force to the rotor 1.
  • a drive source magnet
  • the vibrator 2 is rotated in conjunction with the rotation of the rotor 1, and mechanical scanning of ultrasonic waves by a circular orbit can be realized.
  • a plurality of signal lines for transmitting and receiving electric signals for driving the vibrator 2 and the rotation mechanism are drawn out from the ultrasonic element unit. It is led to 200.
  • a spare tank 12 filled with the acoustic propagation liquid 5 is stored in the drip portion 200.
  • This spare tank 12 absorbs fluctuations in the internal pressure in the acoustic window 4 due to temperature changes and the like, and maintains the working pressure.
  • This spare tank 12 is connected to the pipe 9 through the nozzle 11
  • the acoustic propagation liquid 5 is configured to communicate with the window 4.
  • the spare tank 12 is formed of an elastic container whose capacity can be changed according to the filling amount when the liquid is filled inside.
  • a barrier layer is formed on the wall surface of the auxiliary tank 12, similarly to the wall surface of the acoustic window 4. Also, it is preferable that a barrier layer is similarly formed on the wall surface of the pipe 9 connecting the storage section 10 and the spare tank 12.
  • a cable 300 is drawn out from the drip portion 200, and the ultrasonic probe is connected to the ultrasonic diagnostic apparatus via the cable 300.
  • an ultrasonic probe is placed in the vicinity of the test object, the rotation mechanism is driven, and the mouth 1 is rotated. As a result, the vibrator 2 mounted on the rotor 1 rotates.
  • an electric signal (transmission signal) from the ultrasonic diagnostic apparatus is transmitted to the transducer 2.
  • the transmission signal is converted into an ultrasonic wave in the transducer 2, propagates through the acoustic propagation liquid 5, passes through the acoustic window 4, and is transmitted to the subject.
  • This ultrasonic wave is reflected by the subject, and a part of the reflected wave is received by the vibrator 2, converted into an electric signal (received signal), and transmitted to the ultrasonic diagnostic apparatus.
  • the received signal is converted into image data in the ultrasonic diagnostic apparatus.
  • the barrier layer 3 on the inner surface of the acoustic window 4, the infiltration or penetration of the acoustic propagation liquid 5 into the material of the acoustic window 4 is suppressed, and the pressure change of the acoustic propagation liquid 5 is reduced. be able to. Therefore, the change in the internal pressure of the acoustic window 4 can be reduced and its shape can be maintained, and since the acoustic propagating liquid 5 is always sufficiently filled, A faithful transmission of ultrasonic waves can be performed.
  • the barrier layer 3 is provided on the inner wall surface of the acoustic window 4, but may be provided on the outer wall surface of the acoustic window.
  • the acoustic window is composed of a plurality of layers, the same effect can be obtained by providing the acoustic window between the layers.
  • a penetrating portion may be provided in a part of the parier layer in order to increase the adhesion between the layers constituting the window.
  • an example in which the mechanical scanning type in which the vibrator is rotated in a short time is employed, but the electronic scanning type in which an array element in which a plurality of vibrators are arranged in a strip shape is used. It can be implemented similarly.
  • the barrier layer is formed of a polyparaxylylene layer or a metal layer
  • the barrier layer may be formed of a multilayer film including a polyparaxylylene layer and a metal layer.
  • the present invention is not limited to this, and since the transmittance of the resin differs depending on the acoustic propagation liquid, it is similarly possible to provide a film having the corresponding physical properties.
  • the ultrasonic probe of the present invention provides an ultrasonic probe in which the barrier layer is provided on the inner surface of the acoustic window, whereby the infiltration and transmission of the acoustic propagation liquid into the acoustic window material are suppressed. can do.
  • Such an ultrasonic probe can be used, for example, for an ultrasonic diagnostic apparatus.

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Description

超音波探触子
[技術分野]
本発明は、 超音波探触子に関するものであり、 更に詳しくは、 超音波 素子を音響ウィンドウで包囲し、 この音響ウィンドウ内に音響伝播液を 明
充填した超音波探触子に関するものである。
田
[背景技術]
超音波探触子は、 魚群探知器や、 生体を対象とした超音波診断装置な どに用いられている。 超音波診断装置に用いられる超音波探触子として は、 超音波を送受信す'る超音波素子を音響ウィンドウで包囲し、 この音 響ウインドウ内に、 生体に近い音響インピーダンスを有する音響伝播液 を充填したものが知られている （例えば、 特開平 0 2— 9 8 3 4 1号公 報）。
このような超音波探触子においては、 音響ウィンドウを構成する材料 として音響的特性から樹脂が用いられる。 そのため、 樹脂により分子構 造などの影響で吸水率が異なることから、 長期間にわたる使用において は、 音響伝播液の種類および温度、 樹脂材質などにより、 音響伝播液が 音響ウインドウを構成する樹脂に浸透したり、 更には音響ウインドウを 透過しその外部に漏れ出すおそれがあった。 その結果、 音響ウィンドウ 内の圧力が低下し、 外圧よりも低くなり、 音響ウィンドウを構成する樹 脂を透過して空気が混入するおそれがあった。 音響ウインドウ内に気泡 が混入すると、 これが超音波の反射体となるため、 超音波の送受信を阻 害され、 超音波診断画像の劣化を招く。 このような気泡の発生を抑制す るため、 この種の超音波探触子においては、 音響ウィンドウ内の圧力を 維持するために、 随時音響伝播液を補充しなければならないという問題 があった。 [発明の開示]
本発明は、 音響ウィンドウからの音響伝播液の透過を抑制し、 音響ゥ ィンドウ内の圧力を維持することが可能な超音波探触子を提供すること を目的とする。
前記目的を達成するため、 本発明の超音波探触子は、 超音波を送受波 する圧電体からなる素子と、 前記素子を包囲する音響ウィンドウ内に超 音波伝播液が充填されている超音波探触子であって、 前記音響ウィンド ゥには、 液体及び気体透過を遮断するバリァ層が形成されていることを 特徴とする。
前記バリア層としては、 例えば、 ポリパラキシリレン層および金属層 の少なくとも一方を含む層を使用することができる。
[図面の簡単な説明]
図 1は、 本発明に係る超音波探触子の一例を示す概略断面図である。 図 2は、 上記超音波探触子の格納部を示す拡大断面図である。
図 3は、上記超音波探触子の音響ウインドウを示す拡大断面図である。
[発明を実施するための最良の形態]
本発明の超音波探触子は、 前述したように、 超音波を送受波するため の超音波素子と、 前記超音波素子を包囲する音響ウィンドウと、 前記音 響ウィンドウ内に充填された超音波伝播液とを含む。 そして、 音響ウイ ンドウには、液体及び気体の透過を阻害するバリア層が形成されている。 このような構成にしたことにより、 音響ウィンドウからの音響伝播液の 透過を抑制し、 液量の減少を抑制することができる。 その結果、 音響ゥ ィンドウ内の圧力を維持することができる。
前記バリア層は、 好ましくは、 前記音響ウィンドウの内側壁面に形成 される。
前記バリア層としては、 ポリパラキシリレンまたはその誘導体を使用 することができる。 ポリパラキシリレン誘導体としては、 ボリパラキシ リレンの各芳香環の水素の少なくとも一つが、 例えば、 塩素、 臭素、 フ ッ素、 アルキル基、 アミノ基などで置換されたものを使用することがで きる。 ポリパラキシリレン層の層厚は、 良好な液体透過阻害性を有し、 且つ、 成膜が容易であることから、 0 . 1 m〜 5 0 0 mとすること が好ましく、 更には 1 m〜 l 0 0 であることが好ましい。
ポリパラキシリレン層は、 ジパラキシリレンまたはその誘導体を化学 蒸着することにより、 ポリパラキシリレン樹脂層として形成することが できる。 ジパラキシリレンとしては、 例えば、 スリーポンド社製商品名" パリレン"などが適用できる。また、ジパラキシリレン誘導体としては、 ジパラキシリレンの各芳香環の水素の少なくとも一つが、例えば、塩素、 臭素、 フッ素、 アルキル基、 アミノ基などで置換されたものを使用する ことができる。
このポリパラキシリレン樹脂層の形成方法の一例について、 更に詳し く説明する。 この樹脂は、 ます下記式 [化 1 ] に示すように、 パラキシ レンを約 9 0 0 °C、 水存在下で熱分解してラジカル化し、 ベンゼン又は トルエン中で 5 0〜 2 5 0 °Cに急冷する。 これにより、 環状ダイマーで 得られる。 [化 1 ]
Figure imgf000006_0001
ダイマ一 (ジパラキシレン） 得られたジパラキシレンを下記式 [ィヒ 2 ] に示すように、 低圧下にお いて約 6 0 0 °Cに昇温し、 熱分解させ、 パラキシリレンラジカルガス中 間体にする。 このガスは非常に反応性に富んでおり、 これを音響ウィン ドウの内側壁面に導くと、 その表面で凝縮して重合し、 ポリパラキシリ レンが層状に形成される。 このポリパラキシリレンの分子量は約 5 0万 である。 なお、 [化 2 ] において、 nはくり返し単位を示す。
[化 2 ]
Figure imgf000007_0001
p—キシリレンラジカル中間体 凝縮，重合
Figure imgf000007_0002
ポリパラキシリレン このように、 ポリパラキシリレン層は、 ジパラキシレンまたはその誘 導体の蒸着により形成できる。 その蒸着速度は、 一般に、 0 . 0 1〜 0 . 2 mZ分である。 この蒸着を利用した方法によれば、 極めて薄い層が 形成でき、 音響伝播液の透過流出を防止することができる。
バリア層としては金属層を使用してもよい。 この場合、 金属層として は、 例えば、 アルミニウム、 金、 ニッケル、 白金などの金属、 好ましく は、 アルミニウム、 金などの金属を使用することができる。 また、 金属 層の層厚は、 良好な液体透過阻害性を有し、 且つ、 成膜が容易であるこ とから、 0 . 1 m〜 3 0 mであることが好ましい。
金属層は、 例えば、 蒸着法によって形成することができる。 また、 金 属薄膜の貼り付けによって形成してもよい。 これにより、 薄膜の層が形 成でき、 音響伝播液の透過による流出を防止することができる。
以下、本発明の好ましい実施の形態について、図面を用いて説明する。 図 1は、本発明に係る超音波探触子の構造の一例を示す断面図である。 この超音波探触子は、 超音波診断に用いられる探触子であり、 その一部 を被検者の体腔内に挿入し、 この体腔内において超音波走査を行う、 体 腔内挿入型探触子である。 この超音波探触子は、 体腔内に挿入される揷 入部 1 0 0と、 体腔外において操作者によって把持されるグリップ部 2 0 0とを備えている。
挿入部 1 0 0は、 その先端部に配置される格納部 1 0と、 この格納部 1 0を体腔内の所望の位置に配するためのロッド部 2 0とを含む。 格納 部 1 0は、音響ウインドウ 4とフレーム 8が接合されて構成されており、 その内部には超音波素子ユニットが格納されている。 なお、 図 1におい ては、 簡単のため、 格納部 1 0内の構造を簡略化して図示している。 図 2は、 格納部 1 0内の詳細な構造を示す拡大断面図である。
音響ウィンドウ 4は、 特に限定するものではなく、 従来と同様のもの を使用することができるが、 厚さ 1〜 3 mm程度のポリ （メチルペンテ ンー 1 ) を使用することが好ましい。 体表への押し当てに対して変形が 少ないため抽出画像が歪まず、 且つ、 超音波減衰が許容できる程度の厚 さだからである。
音響ウィンドウ 4の内側壁面には、 前述したように、 バリア層 3が形 成されている。 バリア層 3は、 図 3に示すように、 音響ウィンドウ 4の 内側壁面に密着させて形成することが好ましい。 このようなバリア層 3 を備えた音響ウインドウ 4は、 通常の室内環境においての使用の場合、 液体の透過による液量の減少が極めて少なく、 これにより内圧の降下も ほとんどないので、 安定した形状が確保できる。
本実施形態において、 バリア層 3は、 厚さ 5 mのポリパラキシリレ ン層である。 このポリパラキシリレン層は、 前述したように、 例えばス リ一ボンド社製商品名 "パリレン" の蒸着により、 効率良く形成するこ とができる。 また、 ポリパラキシリレン層が厚膜である場合や、 ウィン ドウが単純形状である'場合には、 貼り付け法を採用することも可能であ る。 また、 バリア層 3としては、 アルミニウム、 金などの蒸着膜または 貼り付け膜を使用することも可能である。
格納部 1 0の音響ウィンドウ 4内には、 脱気した音響伝播液 5が充填 されている。 音響伝播液 5としては、 例えば、 生理食塩水などを使用す ることができる。 また、 フレーム 8には貫通孔が設けられており、 この 貫通孔には、 ロッド部 2 0を通ってダリップ部 2 0 0にまで伸びたパイ プ 9が連結され、 このパイプ 9内にも音響伝播液 5が充填されている。 これにより、 音響ウィンドウ 4内は、 このパイプ 9を介して、 後述する 予備タンク 1 2との間で音響伝播液 5が連通するように構成される。 超音波素子ユニットは、 振動子 2と、 これを保持し、 回転させる回転 機構部とを含む。 また、 振動子 2の超音波送受波面には音響レンズ 7が 配置されている。 回転機構部は、 例えば、 自己回転型モータであり、 振 動子 2を搭載したロータ 1と、 このロータを回転自在に支持するブラケ ット 6と、 ロータ 1に回転力を付与するための回転駆動源 （磁石） とを 備えている。 このような回転機構部によれば、 ロータ 1の回転に連動さ せて、 振動子 2を回転させ、 円軌道による超音波の機械走査を実現する ことができる。 また、 超音波素子ユニットからは、 振動子 2および回転 機構部を駆動させるための電気信号を送受信するための複数の信号線が 引き出されており、 この信号線は、 ロッド部 2 0を通してグリップ部 2 0 0に導かれる。 · '
ダリップ部 2 0 0には、 音響伝播液 5が充填された予備タンク 1 2が 格納されている。 この予備タンク 1 2は、 温度変化などによる音響ウイ ンドウ 4内の内圧変動を吸収し、 作動圧力を維持するものである。 この 予備タンク 1 2は、 パイプ 9にノズル 1 1を介して連結され、 音響ウイ ンドウ 4内との間で音響伝播液 5が連通するよう構成されている。 予備 タンク 1 2は、 内部に液体が充填された場合に、 その充填量に応じた容 積変化が可能な弾性容器で構成される。
本実施形態においては、 予備タンク 1 2の壁面にも、 音響ウィンドウ 4の壁面と同様に、 バリア層が形成されていることが好ましい。 また、 格納部 1 0と予備タンク 1 2とを連結するパイプ 9の壁面にも、同様に、 バリァ層が形成されていることが好ましい。
また、 ダリップ部 2 0 0からはケーブル 3 0 0が引き出されており、 超音波探触子は、 このケーブル 3 0 0を介して超音波診断装置に接続さ れる。
次に、 上記超音波探触子の動作について説明する。
まず、被検物の近傍に超音波探触子を配置し、回転機構部を駆動させ、 口一夕 1を回転させる。 これにより、 ロータ 1に搭載された振動子 2が 回転運動を行う。 次に、 超音波診断装置からの電気信号 （送信信号） が 振動子 2に送信される。 この送信信号は、 振動子 2において超音波に変 換され、 音響伝播液 5を伝播し、 音響ウィンドウ 4を透過して、 被検体 に送波される。 この超音波は被検体で反射され、 その反射波の一部が振 動子 2で受波され、 電気信号 （受信信号） に変換されて、 超音波診断装 置に送信される。 受信信号は、 超音波診断装置において、 画像データに 変換される。 この超音波の送受信動作を、 ロータ 1を回転させながら繰 り返し行なうことにより、 超音波の走査が可能となる。
本実施形態によれば、 音響ウインドウ 4の内面にバリァ層 3を設ける ことにより、 音響伝播液 5の音響ウインドウ 4材料への浸潤あるいは透 過を抑制し、 音響伝播液 5の圧力変化を小さくすることができる。 その ため、 音響ウィンドウ 4の内圧変化を小さくし、 その形状を維持するこ とができ、また、常に十分な音響伝播液 5が充満されていることにより、 忠実な超音波の伝播を行うことができる。
なお、 上記説明においては、 バリア層 3を音響ウィンドウ 4の内側壁 面に設けることとしたが、 音響ウインドウの外側壁面に設けてもよい。 あるいは、 複数の層で構成された音響ウィンドウであれば、 その層間に 設けても同様の効果が得られる。 この場合、 ウィンドウを構成する層同 士の密着性を上げるため、 パリァ層の一部に貫通部を設けてもよい。 また、 上記説明においては、 振動子をモ一夕で回転させる機械走査式 を採用した例を挙げたが、 複数の振動子を短冊状に配列して成るアレイ 素子による電子走査式であっても同様に実施可能である。
また、 バリア層を、 ポリパラキシリレン層または金属層で構成した例 について説明したが、 バリア層を、 ポリパラキシリレン層および金属層 を含む多層膜で構成してもよい。 また、 これに限らず、 音響伝播液によ つて樹脂の透過率が異なるため、 これ対応した物性を有する膜を設ける ことについても同様に実施可能である。
[産業上の利用可能性]
以上説明したように、 本発明の超音波探触子は、 音響ウィンドウ内面 にバリァ層を設けることにより、 音響ウインドウ材料への音響伝搬液の 浸潤および透過が抑制された超音波探触子を提供することができる。 こ のような超音波探触子は、 例えば、 超音波診断装置などに利用すること が可能である。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . 超音波を送受波するための超音波素子と、 前記超音波素子を包囲 する音響ウインドウと、 前記音響ウインドウ内に充填された超音波伝播 液とを含み、
前記音響ウインドウの壁面に、 液体および気体の透過を阻害するバリ ァ層が形成されていることを特徴とする超音波探触子。
2 . 前記バリア層が、 前記音響ウィンドウの内側壁面に形成されてい る請求項 1に記載の超音波探触子。
3 . 前記バリア層が、 ポリパラキシリレン層および金属層の少なくと も一方を含む請求項 1に記載の超音波探触子。
4 . 前記バリア層がポリパラキシリレン層を含み、 前記ポリパラキシ リレン層の層厚が、 0 . 1〜 5 0 0 である請求項 3に記載の超音波 探触子。
5 . 前記バリア層がポリパラキシリレン層を含み、 前記ポリパラキシ リレン層が、 ジパラキシリレンまたはその誘導体の蒸着によって形成さ れたものである請求項 3に記載の超音波探触子。
6 . 前記バリア層が金属層を含み、前記金属層が、 アルミニウム、金、 ニッケルおよび白金からなる群より選ばれる少なくとも一種を金属を含 む請求項 3に記載の超音波探触子。
7. 前記バリア層が金属層を含み、 前記金属層の層厚が、 0. 1〜3 0 zmである請求項 3に記載の超音波探触子。
8. 前記バリア層が、 複数の層からなる請求項 1に記載の超音波探触 子。
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