EP4293232B1 - Pompe turbomoléculaire - Google Patents

Pompe turbomoléculaire

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EP4293232B1
EP4293232B1 EP23204203.6A EP23204203A EP4293232B1 EP 4293232 B1 EP4293232 B1 EP 4293232B1 EP 23204203 A EP23204203 A EP 23204203A EP 4293232 B1 EP4293232 B1 EP 4293232B1
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EP
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pump
outlet
inlet
turbomolecular
rotor
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EP23204203.6A
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EP4293232A1 (fr
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Michael Schill
Jan Hofmann
Niklas Wirth
Peter Vorwerk
Michael Schweighöfer
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Pfeiffer Vacuum Technology AG
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Pfeiffer Vacuum Technology AG
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Publication date
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    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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    • F04D17/08—Centrifugal pumps
    • F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
    • F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
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Claims (12)

  1. Pompe turbomoléculaire (111) comprenant un stator, muni d'au moins un élément de stator, et un rotor (149), apte à être entraîné en rotation autour d'un axe de rotation (151) par un moteur (125) et muni d'au moins un élément de rotor (12), qui forment ensemble un étage de pompage (26) disposé dans un carter de pompe (14),
    dans laquelle
    l'axe de rotation (151) définit une direction axiale, et le carter de pompe (14) définit précisément une entrée de pompe (115) et précisément une sortie de pompe (117),
    la sortie de pompe (117) est réalisée, vue dans la direction axiale, de manière décalée latéralement par rapport à l'axe de rotation (151),
    l'entrée de pompe (115) présente précisément une ouverture d'entrée (14) qui définit un plan d'entrée (18), et la sortie de pompe (117) présente précisément une ouverture de sortie (16) qui définit un plan de sortie (20),
    le plan d'entrée (18) et le plan de sortie (20) constituent le même plan, l'entrée de pompe (115) présente une surface d'entrée (28), et la sortie de pompe (117) présente une surface de sortie (30), et
    la surface de sortie (30) est supérieure ou égale à 100 % de la surface de d'entrée (28), ou
    les tailles de la surface de sortie (30) et de la surface d'entrée (28) diffèrent l'une de l'autre d'une valeur allant jusqu'à 20 %.
  2. Pompe turbomoléculaire (111) selon la revendication précédente,
    dans laquelle le plan d'entrée (18) et le plan de sortie (20) sont perpendiculaires à la direction axiale.
  3. Pompe turbomoléculaire (111) selon la revendication 1 ou 2,
    dans laquelle la sortie de pompe (117), en vue de côté de la pompe turbomoléculaire (111), est disposée au-dessus d'un premier étage de pompage (26) côté entrée, par rapport à une direction d'afflux (24) d'un flux de fluide (22).
  4. Pompe turbomoléculaire (111) selon l'une au moins des revendications précédentes,
    dans laquelle la pompe turbomoléculaire (111) peut fonctionner dans une plage de pression comprise entre 0,01 mbar et 100 mbars, en particulier entre 1 mbar et 10 mbars.
  5. Pompe turbomoléculaire (111) selon l'une au moins des revendications précédentes,
    dans laquelle le rotor (149) comprend moins de cinq éléments de rotor (12), en particulier des disques de rotor (155), et/ou le stator comprend moins de cinq éléments de stator, en particulier des disques de stator (157).
  6. Pompe turbomoléculaire (111) selon l'une au moins des revendications précédentes,
    dans laquelle la pompe turbomoléculaire (111) comporte exclusivement un refroidissement par air,
    en particulier, le carter de pompe (14) comporte plusieurs éléments de refroidissement, en particulier des lamelles de refroidissement (50) et/ou des broches de refroidissement, qui s'étendent à partir du carter de pompe (14), et/ou la pompe turbomoléculaire (111) comporte un refroidissement actif.
  7. Pompe turbomoléculaire (111) selon l'une au moins des revendications précédentes,
    dans laquelle la pompe turbomoléculaire (111) est une pompe à un seul flux.
  8. Pompe turbomoléculaire (111) selon l'une au moins des revendications précédentes,
    dans laquelle la pompe turbomoléculaire (111) comprend au moins un canal latéral, au moins un étage de Holweck et/ou au moins un étage de Siegbahn.
  9. Pompe turbomoléculaire (111) selon l'une au moins des revendications précédentes,
    dans laquelle la surface de sortie (30) est supérieure ou égale à 200 %, supérieure ou égale à 300 %, supérieure ou égale à 400 % ou supérieure ou égale à 500 % de la surface d'entrée (28).
  10. Pompe turbomoléculaire (111) selon l'une au moins des revendications précédentes,
    dans laquelle la sortie de pompe (117) est réalisée sous la forme d'une fente (32) présentant au moins un côté courbe (34),
    en particulier, la forme du côté courbe (34) reproduit la forme de l'ouverture d'entrée (14).
  11. Pompe turbomoléculaire (111) selon l'une au moins des revendications précédentes,
    dans laquelle le carter de pompe (14) est réalisé d'un seul tenant,
    en particulier, l'entrée de pompe (115) et la sortie de pompe (117) sont formées dans une portion de bride commune (36) de la pompe turbomoléculaire (111).
  12. Pompe turbomoléculaire (111) selon l'une au moins des revendications 1 à 10,
    dans laquelle l'entrée de pompe (115) et la sortie de pompe (117) sont formées sur des parties de carter distinctes du carter de pompe (14).
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