JP2004134765A - 移動中のコンベヤから直接的に基板キャリアをアンロードする基板キャリアハンドラー - Google Patents

移動中のコンベヤから直接的に基板キャリアをアンロードする基板キャリアハンドラー Download PDF

Info

Publication number
JP2004134765A
JP2004134765A JP2003309124A JP2003309124A JP2004134765A JP 2004134765 A JP2004134765 A JP 2004134765A JP 2003309124 A JP2003309124 A JP 2003309124A JP 2003309124 A JP2003309124 A JP 2003309124A JP 2004134765 A JP2004134765 A JP 2004134765A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate carrier
conveyor
end effector
substrate
handler
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2003309124A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4845337B2 (ja
Inventor
Michael R Rice
マイケル　アール．　ライス
Jeffrey C Hudgens
ジェフレイ　シー．　ハドジェンス
Eric A Englhardt
エリック　エー．　エングルハード
Robert B Lowrance
ロバート　ビー．　ローレンス
Martin R Elliott
マーチン　アール．　エリオット
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Applied Materials Inc
Original Assignee
Applied Materials Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Applied Materials Inc filed Critical Applied Materials Inc
Publication of JP2004134765A publication Critical patent/JP2004134765A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4845337B2 publication Critical patent/JP4845337B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/07—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for semiconductor wafers Not used, see H10P72/00
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G37/00—Combinations of mechanical conveyors of the same kind, or of different kinds, of interest apart from their application in particular machines or use in particular manufacturing processes
    • B65G37/02—Flow-sheets for conveyor combinations in warehouses, magazines or workshops
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/52—Devices for transferring articles or materials between conveyors i.e. discharging or feeding devices
    • B65G47/60—Devices for transferring articles or materials between conveyors i.e. discharging or feeding devices to or from conveyors of the suspended, e.g. trolley, type
    • B65G47/61—Devices for transferring articles or materials between conveyors i.e. discharging or feeding devices to or from conveyors of the suspended, e.g. trolley, type for articles
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/34—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H10P72/3404—Storage means
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/34—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H10P72/3408—Docking arrangements
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/34—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H10P72/3411—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Intermediate Stations On Conveyors (AREA)

Abstract

【課題】　コンベアの移動中にコンベアから基板キャリアをアンロードすると共にコンベアに基板キャリアをロードする方法及び装置を提供する。
【解決手段】　第１の態様において、基板キャリアを連続的に搬送するコンベアにより基板ロードステーションがサービスされる。基板ロードステーションの一部分である基板キャリアハンドラーは、コンベアの移動中にコンベアと基板キャリアを交換するように動作する。キャリア交換手順は、基板キャリアハンドラーのエンドエフェクターを、コンベアの速度に実質的に一致する速度で移動することを含む。多数の他の態様も提供される。
【選択図】　　　図２Ａ

Description

発明の内容
　本出願は、参考としてその全体をここに援用する２００２年８月３１日出願の米国プロビジョナル特許出願第６０／４０７，４６３号及び２００３年１月２７日出願の米国プロビジョナル特許出願第６０／４４３，００４号から優先権を請求するものである。
発明の分野
　本発明は、一般に、半導体デバイス製造システムに係り、より詳細には、製造設備内での半導体キャリアの搬送に係る。
関連出願のクロスレファレンス
　本出願は、各々参考としてその全体をここに援用する以下の共通に譲渡された出願中の米国特許出願に関連している。
　２００２年８月３１日出願の「System for Transporting Wafer Carriers」と題する米国プロビジョナル特許出願第６０／４０７，４５１号（代理人Docket No. 6900/L）；
　２００２年８月３１日出願の「Method and Apparatus for Using Wafer Carrier Movement to Actuate Wafer Carrier Door Opening/Closing」と題する米国プロビジョナル特許出願第６０／４０７，３３９号（代理人Docket No. 6976/L）；
　２００２年８月３１日出願の「Method and Apparatus for Unloading Wafer Carriers from Wafer Carrier Transport Systems」と題する米国プロビジョナル特許出願第６０／４０７，４７４号（代理人Docket No. 7024/L）；
　２００２年８月３１日出願の「Method and Apparatus for Supplying Wafers to a Processing Tool」と題する米国プロビジョナル特許出願第６０／４０７，３３６号（代理人Docket No. 7096/L）；
　２００２年８月３１日出願の「End Effector Having Mechanism For Reorienting A Wafer Carrier Between Vertical And Horizontal Orientations」と題する米国プロビジョナル特許出願第６０／４０７，４５２号（代理人Docket No. 7097/L）；
　２００２年８月３１日出願の「Wafer Loading Station with Docking Grippers at Docking Stations」と題する米国プロビジョナル特許出願第６０／４０７，３３７号（代理人Docket No. 7099/L）；
　２００２年８月３１日出願の「Wafer Carrier Door having Door Latching and Wafer Clamping Mechanism」と題する米国プロビジョナル特許出願第６０／４０７，３４０号（代理人Docket No. 7156/L）；
　２００３年１月２７日出願の「Method and Apparatus for Transporting Wafer Carriers」と題する米国プロビジョナル特許出願第６０／４４３，０８７号（代理人Docket No. 7163/L）；
　２００３年１月２７日出願の「Overhead Transfer Flange and Support for Suspending Wafer Carrier」と題する米国プロビジョナル特許出願第６０／４４３，１５３号（代理人Docket No. 8092/L）；
　２００３年１月２７日出願の「Systems and Methods for Transferring Wafer Carriers Between Processing Tools」と題する米国プロビジョナル特許出願第６０／４４３，００１号（代理人Docket No. 8201/L）；及び
　２００３年１月２７日出願の「Apparatus and Method for Storing and Loading Wafer Carriers」と題する米国プロビジョナル特許出願第６０／４４３，１１５号（代理人Docket No. 8202/L）。
発明の背景
　半導体デバイスの製造は、典型的に、シリコン基板やガラスプレート等の基板に対して一連の手順を遂行することを伴う（このような基板は、パターン化されるか非パターン化であるかに関わりなく、ウェハとも称される）。これらのステップは、研磨、付着、エッチング、ホトリソグラフィー、熱処理等を含む。通常、複数の処理チャンバーを含む単一の処理システム即ち「ツール」において多数の異なる処理ステップが実行される。しかしながら、一般的なケースでは、製造設備内の他の処理位置で他のプロセスを実行することも必要とされ、従って、基板を製造設備内で１つの処理位置から別の処理位置へ搬送することが必要となる。製造されるべき半導体デバイスの形式に基づき、製造設備内の多数の異なる処理位置で比較的多数の処理ステップを実行することが必要となる。
　従来、密封されたポッドやカセットや容器等の基板キャリア内で、１つの処理位置から別の処理位置へ基板が搬送される。又、従来、自動誘導ビヒクルやオーバーヘッド搬送システムや基板キャリア取り扱いロボット等の自動基板キャリア搬送装置を使用して、基板キャリアを製造設備内の位置から位置へ移動するか、或いは基板キャリアを基板キャリア搬送装置へ移送したり又はそこから移送したりしている。
　個々の基板については、処女基板の形成又は受け取りから、半導体デバイスを出来上がった基板から切断するまでの全製造プロセスに、数週間又は数ヶ月と測定される経過時間が必要となる。従って、典型的な製造設備では、非常に多数の基板がいつでも「進行中のワーク」（ＷＩＰ）として存在することになる。ＷＩＰとして製造設備に存在する基板は、稼働資本の非常に大きな投資を表わし、基板当たりの製造コストを高める傾向となる。それ故、製造設備に対して所定の基板スループットを得るためにＷＩＰの量を減少することが望まれる。これを行うには、各基板を処理するための全経過時間を短縮しなければならない。
発明の概要
　本発明の第１の態様においては、基板を処理ツールへ供給するための第１装置が提供される。この第１装置は、基板キャリアを処理ツールの第１ロードポートへ搬送するための基板キャリアハンドラーを備えている。この基板キャリアハンドラーは、基板キャリアを支持するためのエンドエフェクターを含む。基板キャリアハンドラーにはコントローラが接続され、このコントローラは、基板キャリアが基板キャリアコンベアにより搬送されて移動している間に基板キャリアハンドラーのエンドエフェクターが基板キャリアコンベアから基板キャリアを解離させるように、基板キャリアハンドラーを制御するよう動作する。
　本発明の第２の態様においては、基板を処理ツールへ供給するための第２装置が提供される。この第２装置は、基板キャリアを処理ツールの第１ロードポートへ搬送するための基板キャリアハンドラーを備えている。この基板キャリアハンドラーは、（１）垂直ガイドと、（２）この垂直ガイドに結合された水平ガイドと、（３）基板キャリアを支持すると共に、垂直ガイドに対して垂直に且つ水平ガイドに対して水平に移動するためのエンドエフェクターとを含む。基板キャリアハンドラーにはコントローラが接続され、このコントローラは、基板キャリアハンドラーのエンドエッフェクターが、基板キャリアハンドラーに隣接配置された基板キャリアコンベアから基板キャリアを解離させるように、基板キャリアハンドラーを制御するよう動作する。
　本発明の第３の態様においては、基板を処理ツールへ供給するための第３装置が提供される。この第３装置は、基板キャリアを処理ツールの第１ロードポートへ搬送するための基板キャリアハンドラーを備えている。この基板キャリアハンドラーは、基板キャリアを支持するためのエンドエッフェクターを含む。基板キャリアハンドラーにはコントローラが接続され、このコントローラは、（１）基板キャリアが基板キャリアコンベアにより搬送されるときに基板キャリアの動きに実質的に一致させるように基板キャリアハンドラーのエンドエッフェクターを水平方向に移動し、（２）エンドエッフェクターを持ち上げて基板キャリアに係合させて、基板キャリアを基板キャリアコンベアから解離させ、（３）基板キャリアを第１ロードポートへと搬送するように、基板キャリアハンドラーを制御するよう動作する。本発明のこれら及び他の態様に基づいて、システム、方法及びコンピュータプログラム製品として、多数の他の態様も提供される。
　本発明の方法及び装置は、交換中に移動状態に保たれたコンベアとで基板キャリアを交換するための効率的で且つ信頼性の高い構成を提供する。本発明の方法及び装置は、コンベアの移動中にコンベアと基板キャリアを交換するための付加的な装置を必要とせずに、基板ロードステーションの一部分として慣習的に設けられる基板キャリアハンドラーを本発明により動作できるという点で特に効果的である。
　本発明の他の特徴及び態様は、実施形態の以下の詳細な説明、特許請求の範囲及び添付図面から完全に明らかとなろう。
詳細な説明
　上記で取り上げた２００２年８月３１日出願の「System for Transporting Semiconductor Wafer Carriers」と題する米国特許出願第６０／４０７，４５１号（代理人Docket No. 6900）は、サービスされる製造設備の運転中に常時移動するよう意図された基板キャリアコンベアを備えた基板キャリア搬送システムを開示している。常時移動するコンベアは、製造設備内での基板の搬送を容易にし、製造設備における各基板の合計「休止」時間を短縮して、ＷＩＰを減少すると共に、資本及び製造コストを削減することが意図される。製造設備をこのように運転するためには、コンベアの移動中にコンベアから基板キャリアをアンロードすると共にコンベアに基板キャリアをロードするための方法及び装置が提供されねばならない。
　本発明の少なくとも１つの態様によれば、基板ロードステーションの基板キャリアハンドラーは、平行な垂直ガイドに沿って垂直に移動可能な水平ガイドと、この水平ガイドに沿って水平に移動可能なエンドエフェクターとを備えている。基板ロードステーションを通過して基板キャリアを移送する移動コンベア（基板キャリアコンベア）から基板キャリアをアンロードするために、エンドエフェクターは、基板キャリアが基板キャリアコンベアにより搬送されるときに基板キャリアの速度に実質的に一致する速度で水平ガイドに沿って移動される（例えば、水平方向に基板キャリアのスピードに実質的に一致させることにより）。更に、エンドエフェクターは、基板キャリアが搬送されるときに基板キャリアに隣接する位置に維持される。従って、エンドエフェクターは、基板キャリアの速度に実質的に一致する間に基板キャリアの位置に実質的に一致する。同様に、コンベアの位置及び／又は速度も一致される。
　エンドエッフェクターは、それが基板キャリアの速度（及び／又は位置）に実質的に一致する間に、水平ガイドを垂直ガイドに沿って上方に移動することにより持ち上げられ、これにより、エンドエフェクターは、基板キャリアに接触し、基板キャリアを基板キャリアコンベアから解離させる。同様に、基板キャリアは、エンドエフェクターとコンベアとの速度（及び／又は位置）をロード中に実質的に一致させることにより、移動中の基板キャリアコンベアにロードすることができる。本発明の少なくとも１つの実施形態では、エンドエフェクターと基板キャリアコンベアとの間でのこのような基板キャリアの引き渡しは、エンドエフェクターと基板キャリアとの間の速度及び／又は加速度が実質的にゼロの状態で行われる。以下に更に述べるように、本発明の多数の他の態様も提供される。
　図１は、基板キャリアを従来の処理ツール１１３の付近に保管するための位置において従来のロード・保管装置１１１を示す上面図である。このロード・保管装置１１１と、処理ツール１１３との間には、ファクトリインターフェイス（ＦＩ）１１５が配置されて示されている。ロード・保管装置１１１は、クリーンルーム壁１１７の第１側面に隣接配置され、ファクトリインターフェイス１１５は、クリーンルーム壁１１７の第２側面に隣接配置される。ファクトリインターフェイス１１５は、クリーンルーム壁１１７に平行なトラック（図示せず）に沿って水平に移動するＦＩロボット１１９を含み、このロボットは、ロード・保管装置１１１に存在する１つ以上の基板キャリア１２０から基板（図示せず）を抽出する。ＦＩロボット１１９は、処理ツール１１３のロードロックチャンバー１２１へ基板を搬送する。
　図１に示されたロードロックチャンバー１２１は、処理ツール１１３の移送チャンバー１２３に結合される。又、移送チャンバー１２３には、処理チャンバー１２５及び補助処理チャンバー１２７も結合される。処理チャンバー１２５及び補助処理チャンバー１２７の各々は、酸化、薄膜付着、エッチング、熱処理、脱気、冷却、等々の従来の半導体デバイス製造プロセスを実行するように構成される。基板１３１のような基板を処理チャンバー１２５、１２７及びロードロックチャンバー１２１間で移送するために、移送チャンバー１２３内には基板取り扱いロボット１２９が配置される。
　ロード・保管装置１１１は、基板キャリアに含まれた基板が処理ツール１１３により処理される前又は後に、基板キャリアを保管するための１つ以上の基板キャリア保管棚１３３を備えている。又、ロード・保管装置１１１は、１つ以上のドッキングステーション（図示されていないが、例えば、保管棚１３３の下にある）も備えている。基板キャリアは、ＦＩロボット１１９によりそこから基板を抽出するためにドッキングステーションにおいてドッキングされる。又、ロード・保管装置１１１には、ファクトリロード位置１３５も含まれ、ここでは、自動誘導ビヒクル（ＡＧＶ）のような基板キャリア搬送装置が基板キャリアを堆積し又はピックアップする。
　ロード・保管装置１１１は、更に、ファクトリロード位置１３５、保管棚１３３及びドッキングステーションの間で基板キャリアを移動するための基板キャリアハンドラー１３７も備えている。
　製造設備内での基板の搬送を容易にする上記目標によれば、常時移動する基板キャリアコンベアによりロード・保管装置１１１のような基板ロードステーションへ及びそこから基板キャリアを搬送することが望ましい（例えば、休止時間を短縮し、ひいては、進行中のワーク及び製造コストを減少するために）。従って、本発明によれば、基板キャリアコンベアが移動している間に、基板キャリアコンベアから基板キャリアをアンロードできると共に、基板キャリアコンベアに基板キャリアをロードできる本発明の基板ロードステーションが提供される。
　図２Ａ−６Ｅを参照して、本発明の実施形態を以下に説明する。図２Ａは、本発明により設けられた基板ロードステーション２０１の前面図である。図２Ａには示されていないが、本発明の基板ロードステーション２０１は、図１を参照して上述した種類の処理ツール及び／又はファクトリインターフェイスが組み合わされることを理解されたい。
　基板ロードステーション２０１は、処理ツールへ及び／又はそこから移送するために基板又は基板キャリアが配置される１つ以上のロードポート又は同様の位置を備えている（例えば、１つ以上のドッキングステーション２０３であるが、ドッキング／アンドッキング運動を使用しない移送位置が使用されてもよい）。図２Ａに示す特定の実施形態では、基板ロードステーション２０１は、各々４個のドッキングステーションが２列２０５に配置された全部で８個のドッキングステーション２０３を備えている。他の個数の列及び／又はドッキングステーションを使用してもよい。各ドッキングステーション２０３は、そのドッキングステーション２０３において基板キャリア２０７を支持及び／又はドッキングすると共に、そのドッキングステーション２０３において基板キャリア２０７から基板（図示せず）を抽出して図１の処理ツール１１３のような処理ツールへ移送することができる（例えば、図１のファクトリインターフェイスロボット１１９のようなファクトリインターフェイスロボットにより）。本発明の一実施形態において、基板キャリア２０７は、単一基板キャリアである。「単一基板キャリア」とは、一度に１枚の基板しか含まない形状及びサイズにされた基板キャリアを意味するものと理解されたい。２枚以上の基板を保持する基板キャリアも使用できる（例えば、２５枚又は他の数）。（或いは又、１つ以上のドッキングステーション２０３が、基板キャリアなしに基板を直接支持するようにしてもよい。）各ドッキングステーション２０３は、例えば、２００２年８月３１日出願の「Wafer Loading Station with Docking Grippers at Docking Stations」と題する上記で取り上げた米国特許出願第６０／４０７，３３７号（代理人Docket No. 7099）に開示されたように構成される。他のドッキングステーション構成も使用できる。
　各ドッキングステーション２０３は、ポート２０９を含み、これを通して基板をファクトリインターフェイス（例えば、図１のファクトリインターフェイス１１５）に移送することができる。各ポート２０９に隣接してドッキンググリッパー２１１があり、これは、基板キャリア２０７を懸架すると共に、その懸架された基板キャリアをドッキング位置と非ドッキング位置との間で移動する。或いは又、可動段又は他の支持体（図示せず）を使用して、各ドッキングステーション２０３において各基板キャリア２０７を支持し（例えば、下から又は他のやり方で）及び／又はドッキング／アンドッキングすることができる。又、各ポート２０９は、基板キャリアオープン装置２１３も含み、これは、上記で取り上げた２００２年８月３１日出願の「Method and Apparatus for Using Wafer Carrier Movement to Actuate Wafer Carrier Door Opening/Closing」と題する米国特許出願第６０／４０７，３３９号（代理人Docket No. 6976）に開示されたように、１つの態様において、基板キャリア２０７が非ドッキング位置からドッキング位置へ移動するときに、基板キャリア２０７のドッキング移動を使用して、基板キャリア２０７をオープンするものである。各基板キャリア２０７は、例えば、上記で取り上げた２００２年８月３１日出願の「Wafer Carrier having Door Latching and Wafer Clamping Mechanisms」と題する米国特許出願第６０／４０７，３４０号（代理人Docket No. 7156）に開示されたキャリアドアラッチング及び／又は基板クランピング特徴を有する。他の基板キャリアオープン装置、ドアラッチング及び／又は基板クランピング構成も使用できる。
　又、基板ロードステーション２０１は、本発明の態様に基づいて動作する基板キャリアハンドラー２１５も備えている。本発明の１つ以上の実施形態において、この基板キャリアハンドラー２１５は、一対の垂直ガイド２１７、２１９と、これら垂直ガイド２１７、２１９上を垂直に移動するように取り付けられた水平ガイド２２１とを備えている。水平ガイド２２１を垂直ガイド２１７、２１９に沿って垂直方向に移動するために、駆動ベルト又はリードスクリュー及びそれに関連した１つ又は複数のモータ（図示せず）或いは他の適当なメカニズムが設けられる。支持体２２３が水平ガイド２２１に沿って水平に移動するように水平ガイド２２１に取り付けられる。支持体２２３を水平ガイド２２１に沿って水平に移動するために、駆動ベルト又はリードスクリュー及びそれに関連した１つ又は複数のモータ（図示せず）或いは他の適当なメカニズムが設けられる。
　本発明の少なくとも１つの実施形態では、垂直ガイド２１７、２１９は、各々、ボッシュ・インクから入手できる部品Ｎｏ．１１４０−２６０−１０、１７６８ｍｍのような一体化型のガイド／ドライブメカニズムである。同様に、水平ガイドも、ボッシュ・インクから入手できる部品Ｎｏ．１１４０−２６０−１０、１４６８ｍｍのような一体化型のガイド／ドライブメカニズムである。他のガイド／ドライブメカニズムシステムも使用できる。
　支持体２２３には、エンドエフェクター２２５が取り付けられる。このエンドエフェクター２２５は、例えば、基板キャリア（例えば、基板キャリア２０７の１つ）を支持するための水平に向けられたプラットホーム２２７の形態である。少なくとも１つの実施形態では、プラットホーム２２７は、運動学的ピン又は他の運動学的位置決め特徴部２２９を有する。（図２Ａには２つの運動学的特徴部２２９しか示されていないが、３以上のような他の数の運動学的ピン又は特徴部がプラットホーム２２７に設けられてもよい。）運動学的特徴部２２９は、基板キャリア２０７の底面に設けられた凹形又は他の形状の特徴部（図２Ａには示さず）と協働して、基板キャリア２０７をプラットホーム２２７の正しい（正の）位置に誘導する。本発明の少なくとも１つの実施形態では、エンドエッフェクター２２５は、上記で取り上げた２００２年８月３１日出願の「End Effector Having Mechanism For Reorienting A Wafer Carrier Between Vertical And Horizontal Orientations」と題する米国特許出願第６０／４０７，４５２号（代理人Docket No. 7097）に開示されたように、例えば、基板キャリアの方向を垂直から水平へ及びその逆に変更することのできるエンドエフェクターである。又、他の適当なエンドエッフェクターも使用できる。
　矢印２３１で概略的に示された連続的に又は他の仕方で移動するコンベアが、基板ロードステーション２１０及び基板キャリアハンドラー２１５の上に配置される。コンベア２３１は、基板キャリア２０７のような基板キャリアを基板ロードステーション２０１へ搬送し及びそこから搬送する。本発明の一実施形態では、連続的に移動するコンベア２３１は、上記で取り上げた２００３年１月２７日出願の米国特許出願第６０／４４３，０８７号（代理人Docket No. 7163/L）に開示されたように、ステンレススチール又は同様の材料のリボンとして実施される。本発明は、連続的に又は他の仕方で移動する他の形式のコンベアでも同様に使用できる。
　基板ロードステーション２０１は、１つ以上のセンサ２３３、２３５を備え、これは、（１）コンベア、（２）コンベア２３１の部品（例えば、図４Ａ−４Ｅ、図６Ａ−６Ｅ及び図７Ｃ−７Ｄを参照して以下に詳細に述べるようにコンベア２３１により搬送される基板キャリアを支持するのに使用される部品）、及び／又は（３）コンベア２３１により搬送される基板キャリア、の移動及び／又は位置を検出する。例えば、センサ２３３は、基板ロードステーション２０１に取り付けられ、センサ２３５は、エンドエフェクター２２５に取り付けられる。他のセンサ位置を使用できると共に、いかなる適当なセンサ（例えば、スルービームセンサ、反射ベースのセンサ等）も使用できる。
　図２Ｂは、基板ロードステーション２０１の一部分を示す側面図で、センサ２３３の実施形態を説明するのに有用な図である。図２Ｂを参照すれば、センサ２３３は、コンベア２３１のスピード及び／又は位置、及び／又は基板キャリアの位置（及び／又は以下に詳細に述べるように基板キャリア２０７がコンベア２３１により搬送されるところのスピード）を検出するための第１センサ対２３３ａ、２３３ａ’を備えている。又、センサ２３３は、基板キャリア２０７がコンベア２３１により搬送されているかどうか検出するための第２センサ対２３３ｂ、２３３ｂ’も備えている。例えば、図２Ｂに示すように、第１センサ対２３３ａ、２３３ａ’は、コンベア２３１の高さに取り付けられ、第２センサ対２３３ｂ、２３３ｂ’は、基板キャリアがコンベア２３１により搬送されるところの高さに取り付けられる（例えば、基板ロードステーション２０１のフレームＦに結合された取り付けブラケットＢ、又は別の適当な取り付けメカニズムを介して）。各センサ対は、例えば、バナー・インクから入手できるモデルＮｏ．Ｍ１２６Ｅ２ＬＤＱの光源及びモデルＮｏ．Ｑ２３ＳＮ６ＲＭＨＳＱＤＰの受光器である。他のセンサ構成／形式も使用できる。センサ２３５の実施形態は、図２Ｃ−Ｅ及び図３を参照して以下に詳細に説明する。
　コントローラ２３７（図２Ａ）は、センサ２３３、２３５に接続されると共に、基板キャリアハンドラー２１５に接続されて、センサ２３３、２３５から入力を受け取り、以下に述べるように基板キャリアハンドラー２１５の動作を制御する。２つより多数又は少数のセンサ２３３、２３５が設けられてもよく、これらセンサ２３３、２３５は、図２Ａ及び２Ｂに示すものとは異なる位置に取り付けられてもよい。コントローラ２３７は、基板ロードステーション２０１がサービスする処理ツールの動作を制御するのに使用されるコントローラと同じでもよいし、又は個別のコントローラでもよい。
　本発明の少なくとも１つの実施形態において、コンベア（及び／又はコンベアにより搬送される基板キャリア）のスピードは、直接測定することができる（センサ２３３を使用してコンベアのスピードを間接的に測定するのではなく）。例えば、図２Ａに示すように、１つ以上のエンコーダ２４０ａ、２４０ｂ（以下に述べる）をコンベア２３１に接続して、コンベア２３１（及びそれにより搬送される基板キャリア）のスピードを直接測定し、スピード情報をコントローラ２３７に与えることができる。２つより多数の、又は少数のエンコーダを使用してもよい。各エンコーダは、例えば、Ｕ．Ｓ．デジタルエンコーダ（例えば、ＨＤＳ６直角エンコーダ）であるか又は他の適当なエンコーダである。又、線型エンコーダ、分析装置又は他の位置決め装置を使用して、コンベアのスピード及び／又は位置を測定することができる。
　図３は、基板キャリア２０７をコンベア２３１からアンロードするために本発明による基板ロードステーション２０１によって実行されるプロセスを例示するフローチャートである。図４Ａ−４Ｅは、図３のプロセスの段階を示す概略側面図である。
　基板キャリア２０７をコンベア２３１からアンロードするための動作を実行すべきときには、基板キャリアハンドラー２１５の水平ガイド２２１が垂直ガイド２１７、２１９の上端２１７ａ、２１９ａの付近に配置されると共に、支持体２２３が水平ガイド２２１の上流側２２１ａの付近に配置される（図２Ａで見ると、左側であるが、コンベア２３１が右から左へ移動する場合には、右から左への移動が使用されてもよい）。
　図３のプロセスは、ステップ３０１でスタートし、ステップ３０３へと続く。ステップ３０３では、コンベア２３１により搬送されていて基板ロードステーション２０１によりコンベア２３１からアンロードされるべきである基板キャリア２０７（ターゲット基板キャリア２０７）の存在を指示するための信号（例えば、センサ２３３又は２３５からの）をコントローラ２３７が受け取る。例えば、図２Ｂを参照すれば、センサ対２３３ｂ、２３３ｂ’は、そのセンサ対２３３ｂ、２３３ｂ’に関連した光ビームＬがターゲット基板キャリア２０７により阻止されたときに、ターゲット基板キャリア２０７を検出する。センサ信号を受け取ると、コントローラ２３７は、支持体２２３（エンドエフェクター２２５が取り付けられた）をコンベア２３１と同じ移動方向（例えば、図２Ａにおいて右）に加速させて、ターゲット基板キャリア２０７の位置及びスピードに実質的に一致させるように、基板キャリアハンドラー２１５を制御する（図３のステップ３０５）。図４Ａは、図３のプロセスのこの段階を示している。
　本発明の少なくとも１つの実施形態では、ターゲット基板キャリア２０７の位置及びスピードに実質的に一致させるようにエンドエフェクター２２５を加速する（ステップ３０５）前に、コントローラ２３７は、センサ２３３（又は１つ以上のエンコーダ２４０ａ、２４０ｂ）を使用して、コンベア２３１のスピードを決定する。コンベア２３１の位置を決定することもできる。上述したように、センサ２３３は、コンベア２３１のスピード（及び／又は基板キャリア２０７がコンベア２３１により搬送されるところのスピード）を検出するための第１センサ対２３３ａ、２３３ａ’（図２Ｂ）と、基板キャリア２０７がコンベア２３１により搬送されているかどうか検出するための第２センサ対２３３ｂ、２３３ｂ’とを備えている。このようなスピード及び／又は位置の決定は、各ターゲット基板キャリア２０７をアンロードする前又はその間に、周期的に、連続的に又は他の何らかの間隔で行われる。
　コンベア２３１のスピードに基づき、コントローラ２３７は、エンドエフェクター２２５の運動プロフィールを決定すると共に、この運動プロフィールに基づいてエンドエフェクター２２５の運動を指令し、エンドエッフェクター２２５及びターゲット基板キャリア２０７のスピード及び位置を実質的に一致させる。この運動プロフィールは、コンベア２３１のスピードが所定のスピード範囲（例えば、エンドエフェクター２２５が所定の運動プロフィールに従って加速され、移動され及び／又は配置された場合に、エンドエフェクター２２５がターゲット基板キャリア２０７と適切に整列されることを保証する範囲）内にある場合に、エンドエフェクター２２５がアンロード操作の実行を開始する（例えば、加速を開始する）ことだけをコントローラ２３７が許し、さもなければ、図３のプロセスを終了するように、「予め決定」される。このような所定の運動プロフィールは、コンベア２３１のスピードが測定されない場合にも使用できる（例えば、エンドエフェクター２２５が所定の運動プロフィールに従って加速された場合に、エンドエフェクター２２５がターゲット基板キャリア２０７と適切に整列されることを保証する所定のスピード範囲内にコンベア２３１のスピードが維持されると仮定する）。
　コントローラ２３７は、例えば、所定の運動プロフィールのルックアップテーブルや、運動プロフィールを計算するためのアルゴリズム等を使用することにより、コンベア２３１のスピードを使用してエンドエフェクター２２５の運動プロフィールを決定する。コンベアのスピードではなく、基板キャリアのスピードを測定し、これを使用して、運動プロフィールを決定できるし、又はエンドエフェクター２２５に対して所定の運動プロフィールを使用すべきかどうかも決定できることが理解されよう。各運動プロフィールは、アンロード操作中にエンドエフェクター２２５により使用される加速、減速、上昇及び下降（以下に述べる）の全てを含む。
　上述したように、本発明の少なくとも１つの実施形態では、コンベア２３１は、上記で取り上げた２００３年１月２７日出願の米国特許出願第６０／４４３，０８７号（代理人Docket No. 7163/L）に開示されたように、リボン形状のバンド（例えば、ステンレススチール又は別の適当な材料の）で構成される。このような実施形態では、コンベア２３１は、このコンベア２３１に沿って所定の間隔でスロット又は他の開口（例えば、図２Ｂのスロット２３１ａ）が設けられ、コンベア２３１のこれらスロットがセンサ対２３３ａ、２３３ａ’（図２Ｂ）の近傍を移動するときに、センサ対２３３ａ、２３３ａ’の光ビームがこれらスロットを通過する。センサ対２３３ａ、２３３ａ’の光ビームがコンベア２３１を（コンベアの２つの次々のスロットを経て）次々に２回透過する間の時間を測定することにより、２つの次々のスロット間の距離が分かっているので、コンベア２３１の速度を決定することができる。又、各基板キャリア２０７（図２Ｃ）の上のスロット２３１ａの位置は、コントローラ２３７に、コンベア２３１及び／又は基板キャリア２０７の位置情報を与える。
　本発明のもう１つの実施形態では、エンコーダ２４０ａ、２４０ｂ（図２Ａ）を使用して、コンベアのスピードが直接読み取られる。例えば、各エンコーダ２４０ａ、２４０ｂは、コンベアのスピード情報をコントローラ２３７に与え、次いで、コントローラ２３７は、エンコーダ２４０ａ、２４０ｂから受け取った情報を、エラーチェック又は機密ルーチンの一部分として比較する。このようなスピードの監視は、周期的に、連続的に又は他の何らかの間隔で行われる。コンベアスピードを直接測定し（例えば、１つ以上のエンコーダ又は他の位置決め装置により）、更に、センサ２３３（及び例えばスロット２３１ａ）によりバンドの位置を決定することにより、コンベア２３１が移動している間にエンドエフェクター２２５とコンベア２３１との間での基板キャリアの引き渡しを、以下に詳細に述べるように、正確に実行することができる。
　図４Ａでは、ターゲット基板キャリア２０７が、その上部フランジ４０２に係合するキャリア係合部材４０１により、コンベア２３１で搬送されて示されている。基板キャリア２０７を支持するための他の構成（例えば、基板キャリア２０７をその側面、下面等で支持するための１つ以上のメカニズム）も使用できる。キャリア係合部材４０１に対する１つのこのような構成が、上記で取り上げられた２００３年１月２７日出願の米国特許出願第６０／４４３，１５３号（代理人Docket No. 8092/L）に開示されている。
　矢印４０３は、コンベア２３１の移動方向を示す。基板キャリアハンドラー２１５のエンドエフェクター２２５は、図４Ａでは、ターゲット基板キャリア２０７の下の位置に示されており、ターゲット基板キャリア２０７のスピードに実質的に一致するスピードでコンベア２３１と同じ方向に移動される（矢印４０５で示すように）。従って、エンドエフェクター２２５は、ターゲット基板キャリア２０７の速度（例えば、スピード及び方向）に実質的に一致する。更に、エンドエフェクター２２５は、ターゲット基板キャリア２０７の位置にも実質的に一致する。より一般的には、エンドエフェクター２２５は、ターゲット基板キャリア２０７の運動（速度及び／又は位置）に実質的に一致する。ここで使用する「実質的に一致する」とは、基板キャリア内に収容された基板にダメージを及ぼすことなく且つ潜在的にダメージを及ぼす粒子を発生することなく、基板キャリアを移動中のコンベア及び／又はキャリア係合部材からアンロードしたり及び／又はそこにロードしたりするに充分な一致を意味する。
　図４Ａに示す実施形態では、ターゲット基板キャリア２０７がコンベア２３１と共に移動する。従って、エンドエフェクター２２５も、コンベア２３１のスピード、速度、運動及び／又は位置に実質的に一致される。コンベア２３１がターゲット基板キャリア２０７に対して異なる速度で移動するか又は全く移動しない実施形態も考えられる。例えば、キャリア係合部材４０１それ自体が、ターゲット基板キャリア２０７をコンベア２３１に沿って移動してもよい。この後者の実施形態では、エンドエフェクター２２５は、コンベア２３１のスピード、速度及び／又は位置に実質的に一致しない。
　本発明の１つ以上の実施形態では、エンドエフェクター２２５は、コンベア２３１上にターゲット基板キャリア２０７が存在するのを検出するトリガー（又は発進）センサ（例えば、図２Ｂのセンサ対２３３ｂ、２３３ｂ’）と同じ位置に配置されなくてもよい。このような場合には、ステップ３０５におけるエンドエフェクター２２５の加速を遅らせて、エンドエフェクター２２５とトリガーセンサとの位置の相違を補償することが必要になる。この「発進オフセット」は、例えば、エンドエフェクター２２５とトリガーセンサとの間の距離、コンベア２３１のスピード、等に依存する。この発進オフセットは、エンドエフェクター２２５に対する運動プロフィールとは個別であってもよいし、又はそれに組み込まれてもよい。
　再び図３を参照すると、ステップ３０７において、エンドエフェクター２２５に対するターゲット基板キャリア２０７の位置が検出される（例えば、センサ２３５（図２Ａ）からの１つ又は複数の信号により）。例えば、センサ２３５が、バナー・インクから入手できるモデルＮｏ．ＱＳ３０センサシステム等の光源／検出器対で構成される場合に、センサ２５３は、ターゲット基板キャリア２０７に向って光ビームを放射し、これは、エンドエフェクター２２５がターゲット基板キャリア２０７に対して適切に配置されている場合だけセンサ２３５により検出される（例えば、エンドエフェクター２２５が基板キャリア２０７に対して適切に配置されたときだけセンサ２３５に向けて光を反射する角度の付いたノッチのような適当な反射面及び／又は表面トポロジーを基板キャリア２０７に設けることにより）。図２Ｃは、エンドエフェクター２２５の一部分の斜視図であり、エンドエフェクター２２５がターゲット基板キャリア２０７に対して適切に配置されたときにターゲット基板キャリア２０７の一部分に形成されたノッチ２４３から反射される光ビーム２４１（図２Ｄ）を検出するように配置された例示的センサ２３５を示している。図２Ｄは、図２Ｃの一部分の拡大斜視図である。図２Ｃ−２Ｄに示されたように、センサ２３５は、適当なブラケット又は他の支持構造体２４７を経てエンドエフェクター２２５に結合される。他の構成も使用できる。
　本発明の少なくとも１つの実施形態において、エンドエフェクター２２５がターゲット基板キャリア２０７に対して適切に配置されない場合には、図３のプロセスが終了となる。或いは又、本発明の別の実施形態では、ターゲット基板キャリア２０７に対するエンドエフェクター２２５の必要な位置の調整を行うことができる（ステップ３０９）。例えば、コントローラ２３７は、適切な整列信号がセンサ２３５から受け取られるまでエンドエフェクター２２５を加速及び／又は減速し、運動学的ピン２２９（図４Ａ）が、ターゲット基板キャリア２０７の整列特徴部（例えば、凹状又は他の形状の特徴部４０７）の下に適切に配置されるよう確保する。ステップ３０７及び３０９は、ターゲット基板キャリア２０７及びエンドエフェクター２２５が移動中である間に実行されると共に、エンドエフェクター２２５がターゲット基板キャリア２０７の下に配置されて、それとスピードを実質的に一致させるように実行される。従って、エンドエフェクター２２５は、ターゲット基板キャリア２０７が移動中である間にターゲット基板キャリア２０７に隣接し且つその下に保たれるように移動される。ターゲット基板キャリア２０７とエンドエフェクター２２５の相対的な位置は、何回も（又は連続的に）検出及び調整することができ、更に、フィードバック制御ループ（図示せず）を使用して、エンドエフェクター２２５のスピード及び／又は位置をターゲット基板キャリア２０７と実質的に一致した状態に保つよう確保できることが理解されよう。本発明の更に別の実施形態では、ステップ３０７及び３０９を排除してもよい（例えば、コンベア２３１のスピード及びエンドエフェクター２２５の発進時間／位置に相関された所定の運動プロフィールが使用される場合）。このような実施形態では、センサ２３５を排除できる。
　センサ２３５に代わって又はそれに加えて、エンコーダ２４０ａ及び／又は２４０ｂを使用して、アンロード操作中にコンベアのスピードを監視することができる。アンロード操作中のコンベア速度の全体的な逸脱に応答して、コントローラ２３７は、アンロード操作を中断することができる（例えば、エンドエフェクター２２５がコンベア２３１又はそれにより搬送されている基板キャリアを妨げないことを保証する別の運動プロフィールを使用することにより）。或いは又、コンベア速度の変動が小さい場合には、コントローラ２３７は、適切なアンロード（又はロード）操作を確保するようにエンドエフェクターの位置を調整することができる（例えば、加速又は減速により）。従って、エンドエフェクター２２５、センサ２３３、エンコーダ２４０ａ及び／又は２４０ｂ、及び／又はコントローラ２３７を含む閉ループシステムは、コンベアスピードに変動があっても適切なアンロード（又はロード）操作を確保することができる。
　エンドエフェクター２２５がターゲット基板キャリア２０７に対して適切に配置されたと仮定すれば、図３のプロセスのステップ３０７及び／又はステップ３０９に続いて、ステップ３１１が実行される。ステップ３１１では、コントローラ２３７は、エンドエフェクター２２５の水平スピード（及び／又は瞬時位置）をターゲット基板キャリア２０７のスピード（及び／又は瞬時位置）に実質的に一致させ続けながら、エンドエフェクター２２５を上昇させる（例えば、水平ガイド２２１を垂直ガイド２１７、２１９上で上昇させて、エンドエフェクター２２５を上昇させる）ように基板キャリアハンドラー２１５を制御する。エンドエフェクター２２５が上昇すると、その運動学的ピン２２９が、ターゲット基板キャリア２０７の底面の凹状特徴部４０７と係合状態になる。従って、エンドエフェクター２２５は、コンベア２３１が基板キャリア２０７を搬送する高さまで移動される。このようにして、エンドエフェクター２２５は、ターゲット基板キャリア２０７の底面に接触する（図４Ｂに示すように）。本発明の１つ以上の実施形態では、エンドエフェクター２２５は、図８Ａ−Ｄを参照して以下に詳細に述べるように、実質的にゼロ速度及び／又は加速度でターゲット基板キャリア２０７に接触するのが好ましい。エンドエフェクター２２５が上昇を続けるにつれて（エンドエフェクターがターゲット基板キャリア２０７と水平スピード及び／又は位置を実質的に一致し続けながら）、ターゲット基板キャリア２０７（及び特にその上部フランジ４０２）は、図４Ｃに示されたように、コンベア２３１のキャリア係合部材４０１との係合が外れるように持ち上げられる。
　次いで、図３のステップ３１３において、コントローラ２３７は、エンドエフェクター２２５の水平移動を減速して、ターゲット基板キャリア２０７を減速するように、基板キャリアハンドラー２１５を制御する。減速の程度は、ターゲット基板キャリア２０７が、コンベア２３１より低速であるが、矢印４０３で指示された方向に移動を続けるというものである。これは、キャリア係合部材４０１（ターゲット基板キャリア２０７のフランジ４０２に係合した）が、図４Ｄに示すように、フランジ４０２より先に移動するのを許す。キャリア係合部材４０１がフランジ４０２の下から外れると（図４Ｄに示すように）、エンドエフェクター２２５が再び加速され、エンドエフェクター２２５と、そこに支持されたターゲット基板キャリア２０７の水平スピードがコンベア２３１の水平スピードと再び実質的に一致され、コンベア２３１により搬送されている別の基板キャリア（例えば、図４Ｄの基板キャリア４０９）がターゲット基板キャリア２０７に衝突するのを防止する。
　図３のステップ３１５では、エンドエッフェクター２２５を下降し（例えば、垂直ガイド２１７、２１９に沿って水平ガイド２２１を下げることにより）、ターゲット基板キャリア２０７をコンベア２３１から離すように下げる。ターゲット基板キャリア２０７の下降が図４Ｅに示されている。ターゲット基板キャリア２０７が支持されたエンドエフェクター２２５は、次いで、減速され（図３のステップ３１７）、停止される。上述したように、本発明の少なくとも１つの実施形態では、上記エンドエフェクター２２５の加速、減速、上昇及び／又は下降が、エンドエフェクター２２５に対して決定された運動プロフィールによって定義される。（運動プロフィールの例は、図８Ａ−８Ｄを参照して以下に説明する。）
　ステップ３１９では、基板キャリアハンドラー２１５は、エンドエフェクター２２５に支持されたターゲット基板キャリア２０７をドッキングステーション２０３（図２Ａ）の１つへ搬送する。或いは又、ロードステーション２０１が１つ以上の保管棚又は他の保管位置（例えば、基板キャリアを保管するための図２Ａに仮想線で示された保管棚２３９）を含む場合には、基板キャリアハンドラー２１５は、ターゲット基板キャリア２０７を保管位置の１つへ搬送する。（他の及び／又はより多くの保管位置が使用されてもよい。）図３のプロセスは、次いで、ステップ３２１で終了する。
　ターゲット基板キャリア２０７がドッキングステーション２０３の１つへ運ばれたと仮定すれば、ターゲット基板キャリア２０７は、基板キャリアハンドラー２１５により、各ドッキングステーション２０３のドッキンググリッパー２１１へ引き渡される。次いで、ターゲット基板キャリア２０７は、ドッキングステーション２０３においてドッキングされ、ドッキングステーション２０３の基板キャリアオープン装置２１３により開放され、ターゲット基板キャリア２０７からターゲット基板を抽出することができる（例えば、図１のＦＩロボット１１９のような基板ハンドラーにより）。抽出された基板は、基板ロードステーション２０１に関連した処理ツール（例えば、図１の処理ツール１１３）へ移送され、１つ以上の製造プロセスが処理ツールによって基板に施される。処理ツールにおいて処理が完了すると、基板は、ドッキングステーション２０３においてターゲット基板キャリア２０７へ戻され、次いで、ターゲット基板キャリア２０７が閉じられて、ドッキングステーション２０３からドッキング解除される。次いで、基板キャリアハンドラー２１５は、ターゲット基板キャリア２０７をドッキングステーション２０３から離して、コンベア２３１の真下の位置へ搬送する（例えば、基板キャリア２０７を、保管位置２３９のような保管位置に保管するのではなく、コンベア２３１へ返送すべきと仮定すれば）。即ち、基板キャリア２０７がエンドエフェクター２２５に支持された状態で、水平ガイド２２１が垂直ガイド２１７、２１９の上端２１７ａ、２１９ａ付近に移動され、次いで、支持体２２３が水平ガイド２２１の上流端２２１ａへ移動される。次いで、基板キャリア２０７は、図５−６Ｅを参照して説明するように、コンベア２３１へ移送されて戻される。
　図５−６Ｅを参照し、ターゲット基板キャリア２０７をコンベア２３１にロードするために本発明により実行されるプロセスの一例を以下に説明する。図５は、本発明の基板キャリアロードプロセスを示すフローチャートである。図６Ａ−６Ｅは、図５のプロセスの種々の段階を示す概略側面図である。
　図５のプロセスは、ステップ５０１でスタートし、ステップ５０３へと続く。ステップ５０３において、コントローラ２３７は、コンベア２３１の空のキャリア係合部材４０１の存在を指示する信号（例えば、センサ２３３又は２３５からの）を受け取る。この信号に応答して、ステップ５０５において、コントローラ２３７は、エンドエフェクター２２５（コンベア２３１へ移送されるべきターゲット基板キャリア２０７が載せられた）を水平ガイド２２１に沿って加速して空のキャリア係合部材４０１（及び／又はコンベア２３１）の移動に実質的に一致させるように、基板キャリアハンドラー２１５を制御する。例えば、エンドエフェクター２２５は、水平方向における空のキャリア係合部材４０１のスピード及び位置に実質的に一致する。上述したように、１つ以上の実施形態において、エンドエフェクター２２５は、トリガーセンサ（例えば、図２Ｂのセンサ対２３３ｂ、２３３ｂ’）と同じ位置に配置されなくてもよい。このような場合に、ステップ５０５におけるエンドエフェクター２２５の加速を遅らせて、エンドエフェクター２２５及びトリガー（又は発進）センサの位置の相違を補償することが必要である。
　本発明の少なくとも１つの実施形態では、空のキャリア係合部材４０１の位置及びスピードに実質的に一致するようにエンドエフェクター２２５を加速する（ステップ５０５）前に、コントローラ２３７は、コンベア２３１に結合されたセンサ２３３又は１つ以上のエンコーダ２４０ａ、２４０ｂを使用して、コンベア２３１のスピードを決定する。コンベア２３１の位置を決定することもできる。コンベア２３１のスピードに基づいて、コントローラ２３７は、エンドエフェクター２２５の運動プロフィールを決定すると共に、この運動プロフィールに基づいてエンドエフェクター２２５の運動を指令し、エンドエッフェクター２２５（ターゲット基板キャリア２０７が載せられた）のスピード及び位置を、そのターゲット基板キャリア２０７をロードすべき空のキャリア係合部材４０１に実質的に一致させる。この運動プロフィールは、コンベア２３１のスピードが所定のスピード範囲（例えば、エンドエフェクター２２５が所定の運動プロフィールに従って加速された場合に、エンドエフェクター２２５が空のキャリア係合部材４０１と適切に整列されることを保証する範囲）内にある場合に、エンドエフェクター２２５がロード操作の実行を開始する（例えば、加速を開始する）ことだけをコントローラ２３７が許し、さもなければ、図５のプロセスを終了するように、「予め決定」される。
　或いは又、コントローラ２３７は、例えば、所定の運動プロフィールのルックアップテーブルや、運動プロフィールを計算するためのアルゴリズム等を使用することにより、コンベア２３１のスピードを使用してエンドエフェクター２２５の運動プロフィールを決定してもよい。コンベアのスピードではなく、キャリア係合部材のスピードを測定し、これを使用して、運動プロフィールを決定できるか、又はエンドエフェクター２２５に対して所定の運動プロフィールを使用すべきかどうか決定できることも理解されよう。各運動プロフィールは、ロード操作中にエンドエフェクター２２５により使用される加速、減速、上昇及び下降（以下に述べる）の全てを含む。（図８Ａ−８Ｄを参照して、運動プロフィールの例を以下に説明する。）
　図６Ａに示すように、エンドエフェクター２２５は、コンベア２３１と実質的に一致する速度で移動されており、ターゲット基板キャリア２０７のフランジ４０２は、ターゲット基板キャリア２０７をロードすべきキャリア係合部材４０１の下で且つ若干後方にある。このように、以下に述べるようにコンベア２３１へターゲット基板キャリア２０７を移送する間に、キャリア係合部材４０１によりフランジ４０２が妨げられないようにしてターゲット基板キャリア２０７を持ち上げることができる。一般に、ターゲット基板キャリア２０７のフランジ４０２は、ターゲット基板キャリア２０７をロードすべきキャリア係合部材４０１と、このターゲット基板キャリア２０７をロードすべきキャリア係合部材４０１に続くキャリア係合部材（及び／又はそこに配置された基板キャリア）とに接触しないようにして、ターゲット基板キャリア２０７を持ち上げることのできるいかなる位置に配置することもできる。
　ステップ５０５に続いて、ステップ５０７において、ターゲット基板キャリア２０７及びキャリア係合部材４０１の相対的な水平位置が感知される（例えば、図２Ａのセンサ２３５により）。例えば、センサ２３５が、光源／検出器対で構成される場合に、センサ２５３は、空のキャリア係合部材４０１（又はコンベア２３１）に向って光ビームを放射し、これは、エンドエフェクター２２５が空のキャリア係合部材４０１に対して適切に配置されている場合だけセンサ２３５により検出される（図２Ｃ−２Ｄを参照して上述したように）。
　図２Ｅは、エンドエフェクター２２５の一部分の斜視図で、キャリア係合部材４０１をコンベア２３１に結合するキャリア係合部材４０１の部分２４９を検出するように配置されたセンサ２３５を示している。より詳細には、キャリア係合部材４０１のこの部分２４９は、エンドエフェクター２２５がロード操作に対してキャリア係合部材４０１の下に適切に配置されたときに光ビーム２４１（センサ２３５により放射された）をセンサ２３５に反射して戻すような角度にされたノッチ２５１を含む。他の構成が使用されてもよい。例えば、１つ以上のエンコーダ２４０ａ、２４０ｂ、又はコンベアのスピードを直接測定する他の位置決め装置がこのような情報をコントローラ２３７に与え（例えば、連続的に）、コントローラ２３７がロード（又はアンロード）操作中にコンベアの位置を追跡するようにしてもよい。
　本発明の少なくとも１つの実施形態では、エンドエフェクター２２５が空のキャリア係合部材４０１に対して適切に配置されない場合には、図５のプロセスが終了となる。或いは又、本発明の別の実施形態では、ステップ５０９において、ターゲット基板キャリア２０７とキャリア係合部材４０１との水平方向の相対的な位置決めの際に必要な調整が行われる（例えば、以下に述べるようにターゲット基板キャリア２０７が持ち上げられるときにフランジ４０２がキャリア係合部材４０１に接触しないよう確保するために）。例えば、コントローラ２３７は、センサ２３５から適切な整列信号が受け取られるまでエンドエフェクター２２５を加速及び／又は減速する。このような位置調整中に、ターゲット基板キャリア２０７の水平スピードと、コンベア２３１及び／又はキャリア係合部材４０１の水平スピードは、実質的に一致した状態に保たれる。本発明の更に別の実施形態では、ステップ５０７及び５０９が排除されてもよい（例えば、コンベア２３１のスピード及び／又はエンドエフェクター２２５の発進時間／位置に相関された所定の運動プロフィールが使用される場合）。このような実施形態では、センサ２３５が排除されてもよい。
　エンドエフェクター２２５が空のキャリア係合部材４０１に対して適切に配置されたと仮定すれば、ステップ５１１において、図６Ｂに示すように、垂直ガイド２１７、２１９（図２Ａ）に沿って水平ガイド２２１を上昇させることによりエンドエフェクター２２５が上昇されて、ターゲット基板キャリア２０７及び特にそのフランジ４０２がキャリア係合部材４０１のレベルまで持ち上げられる。図６Ｂに示すように、フランジ４０２は、キャリア係合部材４０１の若干上に配置される（例えば、以下に述べるように、そこにロードするために）。
　次いで、ステップ５１３で表わされ、図６Ｃに示されたように、ターゲット基板キャリア２０７が加速されて、ターゲット基板キャリア２０７のフランジ４０２がコンベア２３１のキャリア係合部材４０１の上にもっていかれる。次いで、ターゲット基板キャリア２０７が減速されて、ターゲット基板キャリア２０７の水平速度が再びコンベア２３１の水平速度に実質的に一致するようにされる。その後、図６Ｄに示され、ステップ５１５で表わされたように、エンドエフェクター２２５が下降されて（コンベア２３１の水平速度と実質的に一致し続けながら）、ターゲット基板キャリア２０７のフランジ４０２をコンベア２３１のキャリア係合部材４０１と係合状態にもっていき、ターゲット基板キャリア２０７をキャリア係合部材４０１へ引き渡す。本発明の１つ以上の実施形態では、ターゲット基板キャリア２０７は、図８Ａ−８Ｂを参照して以下に述べるように、実質的にゼロ速度及び／又は加速度でキャリア係合部材４０１に接触するのが好ましい。基板キャリアハンドラー２１５は、コントローラ２３７の制御のもとで、エンドエフェクター２２５を下降し続け（例えば、コンベア２３１の水平速度と実質的に一致し続けながら）、エンドエフェクター２２５の運動学的ピン２２９がターゲット基板キャリア２０７の底面の特徴部４０７から解離されるようにする。ステップ５１７の結果の一例が図６Ｅに示されている。
　エンドエフェクター２２５がターゲット基板キャリア２０７から解離された後に、ステップ５１９において、エンドエフェクター２２５が減速され（例えば、停止され）、図５のプロセスが終了となる（ステップ５２１）。その間、フランジ４０２を介してコンベア２３１のキャリア係合部材４０１に支持されたターゲット基板キャリア２０７は、コンベア２３１によりロードステーション２０１から離れるように搬送される。上述したように、本発明の少なくとも１つの実施形態では、上記エンドエフェクター２２５の加速、減速、上昇及び／又は下降は、エンドエフェクター２２５に対して決定された運動プロフィールによって定義される。
　従って、本発明により設けられた基板ロードステーション２０１、特に、コントローラ２３７の制御のもとで動作する基板キャリアハンドラー２１５は、移動中のコンベアから基板キャリアをアンロードし、移動中のコンベアに基板キャリアをロードするように機能する。このように、本発明の基板ロードステーション及び基板キャリアハンドラーは、製造設備内での基板休止時間、進行中ワーク、並びに稼働資本及び製造コストを減少することができる。
　本発明によれば、コントローラ２３７は、図３及び５のプロセスの一方又は両方を実行するようにプログラムできる。又、図３及び５のプロセスは、１つ以上のコンピュータプログラム製品において実施されてもよい。各コンピュータプログラム製品は、コンピュータにより読み取り可能な媒体により保持される（例えば、搬送波信号、フロッピーディスク、ハードドライブ、ランダムアクセスメモリ、等）。
　本発明の少なくとも１つの実施形態では、本発明の基板ロードステーション２０１は、停電や非常停止等の場合にエンドエフェクター２２５をコンベア２３１から自動的に引っ込めるように構成される。例えば、コントローラ２３７は、停電や非常停止等の所定の中断に応答してコンベア２３１から離れるようにエンドエフェクター２２５（及び／又は水平ガイド２２１）を自動的に引っ込めるエンドエフェクター引っ込めルーチンを含む。更に、エンドエフェクター２２５（及び／又は水平ガイド２２１）は、基板ロードステーション２０１から電力が除去されたときにエンドエフェクター２２５（及び／又は水平ガイド２２１）が自動的に引っ込むようにバイアスされてもよい。スプリング、重力、エアシリンダー、ボールスクリュー、リードスクリュー等の適当なバイアスメカニズムを使用することができる。上述したエンドエフェクター引っ込めルーチンは、例えば、１つ以上のコンピュータプログラム製品として実施されてもよい。
　基板ロードステーション２０１の設計に作用するパラメータは、例えば、（１）コンベアのスピード、（２）基板キャリアハンドラー２１５がエンドエフェクター２２５を移動できる水平及び／又は垂直のスピード、（２）基板キャリアハンドラー２１５のエンドエフェクター２２５に適用される水平及び／又は垂直の加速度及び減速度、（４）基板キャリアハンドラー２１５のエンドエフェクター２２５の水平及び垂直の移動範囲、（５）コンベア２３１により搬送される隣接基板キャリア２０７間の距離、（６）コンベア２３１が基板キャリア２０７を搬送する高さ、（７）基板キャリア２０７を搬送するのに使用されるコンベア２３１のキャリア係合部材４０１を越えるために基板キャリア２０７を持ち上げねばならない垂直距離、（８）各基板キャリア２０７の高さ（例えば、垂直方向寸法）、（９）キャリア係合部材４０１から解除した後に、コンベア２３１により搬送されている基板キャリアを、その解除された基板キャリア２０７に当たることなく、その解除された基板キャリア２０７の上を通せるようにするために、基板キャリア２０７を下げねばならない距離、（１０）使用するキャリア係合部材の形式、及び／又は（１１）他の同様のパラメータを含む。
　例えば、本発明の少なくとも１つの実施形態において、本発明の基板キャリアハンドラー２１５は、（１）エンドエフェクター２２５の最大水平速度をコンベア２３１の水平速度以上とすることができ、（２）基板キャリア２０７をコンベアのキャリア係合部材４０１から解離してそれを越えるに充分な高さまでエンドエフェクター２２５を持ち上げることができ、（３）コンベアのスピードに一致させるための第１水平速度、及び基板キャリア２０７をドッキングステーション２０３へ移送し及びそこから移送するための第２水平速度といった２つ以上の水平速度で移動することができ、（４）基板キャリア２０７をコンベア２３１から解離し又は基板キャリア２０７をコンベア２３１へ引き渡すための第１垂直速度、及び基板キャリア２０７をドッキングステーション２０３へ移送し及びそこから移送するための第２垂直速度といった２つ以上の垂直速度で移動することができ、及び／又は（５）基板キャリア２０７に収容された１つ又は複数の基板にダメージを及ぼすことなくエンドエフェクター２２５に支持された基板キャリア２０７の全ての加速及び減速（基板キャリアをコンベア２３１に係合させ又はそこから解離させるために必要な）を実行できねばならない。
　同様に、基板キャリアハンドラー２１５は、そのエンドエフェクター２２５を、最も下のドッキングステーション２０３にサービスするに充分な低いレベルまで下げるように動作できねばならない。（最も下のドッキングステーション２０３より下に保管棚又は他の保管位置が存在する場合には、基板キャリアハンドラー２１５は、エンドエフェクター２２５を更に下げてその最も下の保管棚／位置にサービスするように動作できねばならない。）水平ガイド２２１に設けられたエンドエフェクター２２５の水平移動範囲と、エンドエフェクター２２５を移動するメカニズムは、エンドエフェクター２２５が、コンベアスピードに実質的に一致する水平スピードまで加速し、基板キャリア２０７をコンベア２３１から解離し及び／又は基板キャリア２０７をコンベア２３１に係合し（コンベア２３１で搬送されている他の基板キャリアとの衝突を回避しながら）、更に、停止状態まで減速することができ、これらが全て、水平ガイド２２１により与えられる使用可能な水平移動範囲内で行われるというものでなければならない。
　本発明の基板ロードステーションの１つ以上の実施形態において上述した特徴／パラメータの幾つか又は全部を包含することが意図される。
　本発明の基板ロードステーション２０１の特定の実施形態を設計し及び／又はコントローラ２３７（図２Ａ）をプログラミングする上で考慮される種々のファクタ及びパラメータについて、図７Ａ−７Ｄを参照して以下に説明する。図７Ａ及び７Ｂは、図２Ａと同様に、本発明の基板ロードステーション２０１を示す簡単な前面図である。図７Ｃ−７Ｄは、図４Ａ−４Ｅ及び図６Ａ−６Ｅと同様に、コンベア２３１との係合中及び／又はコンベア２３１からの解離中の基板キャリアを示す簡単な側面図である。
　基板キャリアハンドラー２１５のエンドエフェクター２２５の水平範囲が図７Ａに示されている。エンドエフェクター２２５及び支持体２２３は、７０１において、基板キャリアハンドラー２１５の水平ガイド２２１に沿ったエンドエフェクター２２５の上流移動限界の位置に実線で輪郭が示されている。又、エンドエフェクター２２５及び支持体２２３は、７０２において、水平ガイド２２１に沿ったエンドエフェクター２２５の下流移動限界の位置に仮想線で示されている。図７Ａに示す距離ＤＨＲは、エンドエフェクター２２５の最大水平移動距離を表わす。
　この水平移動距離ＤＨＲの選択は、上記設計ファクタにより影響されるのに加えて、ドッキングステーション２０３又は棚２３９の位置（例えば、ドッキングステーション又は棚の数及び／又は水平スパン）、基板ロードステーション２０１に対する希望のフットプリント、基板ロードステーション２０１に結合されるファクトリインターフェイス又は処理ツールのサイズ、等々によっても影響される。
　エンドエフェクター２２５の垂直移動範囲が図７Ｂに示されている。エンドエフェクター２２５、支持体２２３及び水平ガイド２２１は、７０３において、エンドエフェクター２２５の垂直移動範囲の上限に実線で輪郭が示されている。この位置では、エンドエフェクター２２５は、コンベア２３１のキャリア係合部材４０１から基板キャリア２０７のフランジ４０２を越えさせるに充分な高である高さＥＨにある（図４Ｂ−４Ｄを参照）。
　図７Ｂを参照し続けると、エンドエフェクター２２５、支持体２２３及び水平ガイド２２１は、７０４において、エンドエフェクター２２５の垂直移動範囲の下限に仮想線で示されている。この位置では、エンドエフェクター２２５は、基板ロードステーション２０１の最も下のドッキングステーション（又は保管位置）にサービスするのに必要な最低高さである高さＥＬにある。図７Ｂに示された距離ＤＶＲは、エンドエフェクター２２５の最大垂直移動範囲（例えば、ＤＶＲ＝ＥＨ−ＥＬ）を表わす。他の垂直移動範囲を使用してもよい。
　基板キャリア２０７をコンベア２３１に係合し又はそこから解離する操作に影響するパラメータが図７Ｃ−７Ｄに示されている。図７Ｃは、コンベア２３１により搬送されている２つの隣接する基板キャリア２０７を分離する距離ＤＳを示す。この分離距離ＤＳは、キャリア係合部材４０１間の距離ＤＣＥＭに関係しているがそれより短く、又、基板キャリア２０７の水平距離にも関係している。距離ＤＳを長くすると、ロード及びアンロード操作中に基板キャリア２０７を上昇し、下降し、加速し及び／又は減速するためのスペース及び／又は時間周期が大きくなることにより、ロード及びアンロード操作を容易にする。しかしながら、距離ＤＳを長くすると、一般に、コンベア２３１により搬送することのできる基板キャリアの数が減少する。
　図７Ｄに示すように、本発明の少なくとも１つの実施形態において、基板キャリア２０７をコンベア２３１から解離するために、エンドエフェクター２２５は、運動学的特徴部２２９を、基板キャリア２０７の底面の高さＥＣＢに少なくとも等しい高さまで上昇させる。より詳細には、運動学的特徴部２２９は、この高さＥＣＢと、基板キャリア２０７を支持するキャリア係合部材４０１のシートの高さＨＣＥＭとの和に等しいか又はそれより大きい高さまで上昇される（例えば、キャリア係合部材４０１から基板キャリア２０７のフランジ４０２を越えさせるために）。解離された基板キャリア２０７を下げる前に、エンドエフェクター２２５が減速され、キャリア係合部材４０１が、フランジ４０２の長さＬＦより大きい全距離だけ基板キャリア２０７の前方へ移動できるようにする。本発明の基板ロードステーション２０１及び基板ハンドラー２１５の設計に影響するパラメータは、他にも多数ある。
　以上の説明は、本発明を例示する実施形態のみを開示したが、当業者であれば、本発明の範囲内に入る上記装置及び方法の変更が容易に明らかであろう。例えば、上記の基板キャリアハンドラーに２つの垂直ガイドを使用するのではなく、１つの垂直ガイドだけを使用してもよい。又、基板キャリアハンドラーは、水平ガイドが垂直ガイドに沿って垂直方向に移動するように結合されるのではなく、垂直ガイドが水平ガイドに沿って水平方向に移動するように結合されて構成されてもよい。
　基板キャリアハンドラーが水平ガイドに沿って移動するように取り付けられた垂直ガイドを含むときには、エンドエフェクターを上昇させて基板キャリアをコンベアから解離したり又はエンドエフェクターを下降させて基板キャリアをコンベアに引き渡したりすることは、エンドエフェクターを垂直ガイドに沿って上昇又は下降させることにより達成される（例えば、一対の垂直ガイドに対して水平ガイドを上昇させるのではなく）。基板キャリアハンドラー２１５の支持体２２３にアクチュエータ（図示されない駆動ベルト又はリードスクリュー等の）を設けて、水平ガイド２２１に対してエンドエフェクター２２５を上昇させコンベア２３１から基板キャリアを解離するか、又は水平ガイド２２１に向ってエンドエフェクター２２５を下降させてコンベア２３１に基板キャリアを引き渡してもよい（１つ又は複数の垂直ガイドに沿って水平ガイド２２１を上昇／下降するのに加えて又はそれに代わって）。
　本発明は、基板キャリアを垂直方向に搬送するコンベアから基板キャリアをアンロードしたりそこに基板キャリアをロードしたりするのにも使用できる。このような場合には、エンドエフェクター２２５は、上記で取り上げた２００２年８月３１日出願の「End Effector Having Mechanism For Reorienting a Wafer Carrier Between Vertical and Horizontal Orientations」と題する米国特許出願第６０／４０７，４５２号（代理人Docket No. 7097）に開示されたように、垂直の向きと水平の向きとの間で基板キャリアを再方向付けするための再方向付けメカニズムを含む。
　本発明は、単一基板キャリアについて説明するが、２つ以上の基板を保持する基板キャリアにも使用することができる。
　ここに説明する基板ロードステーションの特定実施形態は、複数の垂直スタックに配列されたドッキングステーションを備えている。しかしながら、上述した基板ロードステーションは、ドッキングステーションの１つの垂直スタックだけを備えてもよいし、１つのドッキングステーションだけを備えてもよいし、又はドッキングステーションの３つ以上の垂直スタックを備えてもよい。又、基板ロードステーションは、１つ以上の保管棚を備えてもよいし、及び／又は保管棚ではない１つ以上の他の基板キャリア保管設備を備えてもよい。
　ここに例示する基板ロードステーションでは、ドッキングステーションは、基板キャリアを懸架してそれをドッキング位置と非ドッキング位置との間で移動するドッキンググリッパーを備えるものとして示された。或いは又、ドッキングステーションは、基板キャリアをドッキング位置と非ドッキング位置との間で移動する間に、基板キャリアの底面又は側面等を経て下から基板キャリアを支持するドッキング用そり又はプラットホームを含んでもよい。
　本発明は、垂直及び水平ガイドが結合されたフレームを備えた基板ロードステーションに使用されるのが好ましい。このように、好ましい基板ロードステーションは、モジュラーであり、素早く設置して校正することができる。基板ロードステーションが１つ以上の保管棚（例えば、図２Ａの保管棚２３９）を含む場合には、各保管棚もフレームに取り付けられる。基板キャリアハンドラー及び保管棚（１つ又は複数）の両方をフレームに取り付けることにより、基板キャリアハンドラー及び保管棚は、互いに所定の位置をもつ。これは、設置及び校正を更に容易にし、モジュラー基板ロードステーションを使用する別の利点である。同様に、オーバーヘッドファクトリ搬送システムに基板キャリアをロードし及び／又はそこからアンロードするための専用メカニズムのような他のメカニズムは、ここに説明すると共に、例えば、上記で取り上げた２００２年８月３１日出願の「System For Transporting Wafer Carriers」と題する米国特許出願第６０／４０７，４５１号（代理人Docket No. 6900）に説明されたように、フレームに効果的に取り付けることができる。
　１つの態様において、フレームは、クリーンルーム壁、又はチャンバー（例えば、ファクトリインターフェイスチャンバー）の前壁の所定取り付け位置（例えば、予め設けられたボルト穴等）に取り付けられる。又、この壁は、ドッキンググリッパー又はドッキングプラットホームが取り付けられる所定取り付け位置も有するのが好ましい。更に、この壁は、基板キャリアオープンメカニズムが取り付けられる所定取り付け位置を有してもよい。フレーム、ドッキングメカニズム及び基板キャリアオープンメカニズムが同じ表面上の所定の位置に各々取り付けられるときには、各々の相対的な位置が予め決定され、基板ロードステーションの設置及び校正が容易にされる。
　ここに述べたコンベアは、基板ロードステーション２０１の上に配置されるものとして説明したが、コンベアは、基板ロードステーションの高さ又はそれより下に配置されてもよいし、或いは基板ロードステーションに隣接する別の位置に配置されてもよいことが意図される。
　ここに述べた基板ロードステーションは、基板を処理ツール、計測位置、又は基板が搬送される他の位置へ供給するのに使用することができる。
　以上の説明から、本発明の基板ロードステーションは、その基板ロードステーションのドッキングステーションから処理ツール（図１のシステムの場合のような）のロードロックチャンバーへ基板を移送するＦＩロボットを有するファクトリインターフェイス（ＦＩ）に関連して設置できることを理解されたい。或いは又、ファクトリインターフェイスを排除し、ロードロックチャンバーが、基板ロードステーションのドッキングステーションから基板を直接移送する基板ハンドラーを含むようにしてもよい。別の態様として、処理ツールが真空下以外の大気圧で動作するようにして、ロードロックチャンバーを排除してもよい。
　図８Ａ−８Ｄは、エンドエフェクター２２５に対する運動プロフィールの例を示す。本発明の少なくとも１つの実施形態において、このような運動プロフィールが使用されるときには、センサ２３３（例えば、「発進」センサ）を使用するだけでよい（例えば、センサ２３５は、排除してもよい）。図８Ａを参照すれば、曲線Ｃ１は、ロード操作中のｘ軸（コンベア２３１が移動する水平方向）に沿ったエンドエフェクターの速度を示す。曲線Ｃ２は、ロード操作中のｚ軸（垂直方向）に沿ったエンドエフェクターの速度を示す。曲線Ｃ３は、エンドエフェクターのｚ軸の位置を示し、曲線Ｃ４は、ロード操作中のエンドエフェクターのｘ軸の位置を示す。図８Ｂは、図８Ａと同様であるが、ｚ軸の位置データを拡大して示す。図８Ｃ−Ｄは、図８Ａ−Ｂと同様であるが、アンロード操作中のエンドエフェクター２２５に対するｘ軸速度（曲線Ｃ１’）、ｚ軸速度（曲線Ｃ２’）、ｚ軸位置（曲線Ｃ３’）、及びｘ軸位置（曲線Ｃ４’）を示す。図８Ａ−Ｂは、基板キャリアロード操作の開始中の低いｚ位置におけるｚ軸位置データ（曲線Ｃ３）を示すことに注意されたい（例えば、基板キャリアのサイズを補償するために）。
　図８Ａ−Ｂ及び曲線Ｃ１−Ｃ４を参照すれば、エンドエフェクター２２５は、ロード操作中に図５を参照して述べたものと同様の上昇、下降及び加速を実行することができる。例えば、図５及び６Ａ−Ｅを更に参照すれば、ロード操作のためのトリガー信号を受信した後（ステップ５０３）、エンドエフェクター２２５は、時間Ｔ１とＴ２との間にｘ方向にコンベア２３１の速度に一致するように加速する（曲線Ｃ１）（ステップ５０５及び図６Ａ）。その後、時間Ｔ３とＴ４との間に、エンドエフェクター２２５（曲線Ｃ３）は、コンベア２３１のレベルへ上昇され（ステップ５１１及び図６Ｂ）、例えば、コンベア２３１へロードされるべき基板キャリア２０７のフランジ４０２が、その基板キャリア２０７を受け取るべきキャリア係合部材４０１の上に来るようにする。
　時間Ｔ５とＴ６との間に、エンドエフェクター２２５は、コンベア２３１のスピード以上に加速され（曲線Ｃ１）（次いで、コンベア２３１の速度に減速され）、基板キャリア２０７のフランジ４０２がキャリア係合部材４０１の上に配置される（ステップ５１３及び図６Ｃ）。時間Ｔ７に、基板キャリア２０７のフランジ４０２がキャリア係合部材４０１の上に配置された状態で、エンドエフェクター２２５が下降し（曲線Ｃ３）、フランジ４０２がキャリア係合部材４０１に接触したときに停止する（時間Ｔ８に示すように）。次いで、エンドエフェクター２２５は、時間Ｔ９まで下降し、基板キャリア２０７は、キャリア係合部材４０１上に保持される。従って、基板キャリア２０７は、実質的にゼロの速度及び／又は加速度でコンベア２３１へ移送される（例えば、時間Ｔ８に）（ステップ５１５、５１７及び図６Ｄ−Ｅ）。例えば、エンドエフェクター２２５は、フランジ４０２がキャリア係合部材４０１に係合したときに停止するので、基板キャリア２０７の移送は、ｚ方向に実質的にゼロの速度及び加速度で行われる。同様に、ｘ方向におけるエンドエフェクターの速度は一定であり、キャリア交換中にコンベア２３１の速度に一致されるので（曲線Ｃ１）、基板キャリア２０７の移送は、ｘ方向に実質的にゼロの加速度で行われる。更に、少なくとも１つの実施形態では、基板キャリア移送中にｙ方向に運動は発生しない。従って、基板キャリアの移送は、３つの方向に実質的にゼロの加速度で且つ少なくとも２つの方向に実質的にゼロの速度で実行される。時間Ｔ９に続いて、エンドエフェクター２２５は、減速される（ステップ５１９及び曲線Ｃ１）。
　図８Ｃ−Ｄ及び曲線Ｃ１−Ｃ４を参照すれば、エンドエフェクター２２５は、アンロード操作中に図３を参照して述べたのと同様の上昇、下降及び加速を実行することができる。例えば、図３及び４Ａ−Ｅを更に参照すれば、アンロード操作のためのトリガー信号を受信した後（ステップ３０３）、エンドエフェクター２２５は、時間Ｔ１とＴ２との間にｘ方向にコンベア２３１の速度に一致するように加速する（曲線Ｃ１’）（ステップ３０５及び図４Ａ）。その後、時間Ｔ３とＴ４との間に、エンドエフェクター２２５は上昇され（曲線Ｃ３’）、運動学的特徴部２２９が、コンベア２３１からアンロードされるべき基板キャリア２０７の凹状特徴部４０７に係合するようにされる（ステップ３１１及び図４Ｂ）。時間Ｔ４において、エンドエフェクター２２５は、運動学的特徴部２２９が、凹状特徴部４０７に係合したときに上昇を停止する（曲線Ｃ２’及びＣ３’）。時間Ｔ４とＴ５との間に、エンドエフェクター２２５は、更に上昇され、基板キャリア２０７のフランジ４０２をキャリア係合部材４０１から離すように持ち上げる（ステップ３１１及び図４Ｃ）。従って、基板キャリア２０７は、実質的にゼロの速度及び／又は加速度で（例えば、ｘ、ｙ及び／又はｚ方向において、基板キャリア２０７をキャリア係合部材４０１から持ち上げる前に時間Ｔ４にｚ軸の運動が停止し、且つエンドエフェクター２２５とコンベア２３１との間にスピードの一致があるために）、キャリア係合部材４０１からアンロードされる。時間Ｔ５に続き、エンドエフェクター２２５は、上述され且つ図８Ｃ−Ｄに示したように、減速され、再加速され（ステップ３１３及び曲線Ｃ１’）、次いで、下降されて（ステップ３１５及び曲線Ｃ３’）、キャリア係合部材４０１を越える。
　従って、移動中のコンベアから基板キャリアをアンロードしたりそこにロードしたりすることは、１つ以上の方向に、より好ましくは２つの方向に、最も好ましくは全ての方向に、実質的にゼロの速度及び／又は加速度で行われる。垂直方向に実質的のゼロの速度及び加速度であるのが好ましく、更に、アンロード／ロード中には実質的にゼロの速度及び／又は加速度ではなくて、ゼロの速度及び／又は加速度であるのが更に好ましい。ここで使用する「ゼロの速度」又は「ゼロの加速度」とは、コンベアの高さ、コンベアのスピード、アクチュエータの再現性等のシステム変動や、コントローラの分解能、アクチュエータの分解能、エンドエフェクターの位置の公差等のシステム制約、等々が与えられたときに、できるだけゼロに近いことを意味する。「実質的にゼロの速度」又は「実質的にゼロの加速度」とは、基板キャリア内に収容された基板にダメージを及ぼしたり及び／又は潜在的にダメージを与える粒子を発生したりすることなく、基板キャリアを移動中のコンベア及び／又はキャリア係合部材からアンロードし及び／又はそこにロードすることができるに充分なほどゼロに近いことを意味する。例えば、基板キャリアは、比較的小さな速度で接触される。一実施形態において、エンドエフェクターは、垂直方向に急速に上昇され、次いで、比較的小さな又は実質的にゼロの速度に低速化された後、基板キャリアに接触される。同様に小さな（又は実質的にゼロの）加速度も使用できる。同様のロード操作を実行することができる。一実施形態では、基板又は基板キャリアが垂直方向に約０．５Ｇ未満の力で接触され、別の実施形態では、約０．１５Ｇ未満の力で接触される。他の接触力の値を使用してもよい。
　本発明は、主として、単一ウェハキャリアのみを含む基板キャリアを移動中のコンベアからアンロードしたりそこにロードしたりすることについて説明したが、多数の基板を含む基板キャリアも同様に移動中のコンベアからアンロードしたりそこにロードしたりできることが理解されよう。更に、本発明は、単一基板キャリア及び多基板キャリア（例えば、２５基板キャリア前面開放一体化ポッド）の両方を搬送するシステム内に使用することもできる。同様に、本発明は、個々の基板（例えば、閉じた基板キャリア内に収容されない基板）を移動中のコンベアからアンロードしたりそこにロードしたりするのにも使用できる。例えば、基板は、オープン基板キャリア、基板支持体、基板トレー、又は別の基板搬送装置を使用してコンベアを経て搬送することができ、この場合、エンドエフェクター２２５（又はその変形形態）が、同様のエンドエフェクター移動及び／又は運動プロフィールを使用してコンベアの基板搬送装置に基板を直接配置したりそこから基板を除去したりすることができる。従って、このような個々の基板は、ドッキングステーション又は他のロードポートへ移送することもできるし、もし必要であれば、ロードロックチャンバー及び／又は処理ツールへ直接移送することもできる。例えば、基板は、エンドエフェクター２２５からファクトリインターフェイス及び／又は処理ツールの基板取り扱いロボットへ直接移送することができる（例えば、直接的な「ブレード対ブレード」移送によるか又は中間移送位置を経て）。多数の個々の基板を同様に移動中のコンベアからアンロードしたり／そこにロードしたりすることができる。
　従って、本発明をその実施形態について開示したが、特許請求の範囲に規定された本発明の精神及び範囲内で他の実施形態も考えられることを理解されたい。
処理ツール及びそれに関連した基板キャリアロード・保管装置の従来の構成を示す上面図である。 本発明により設けられた基板ロードステーションの前面図である。 図２Ａの基板ロードステーションの一部分を示す側面図で、基板ロードステーションの第１センサの実施形態を説明するのに有用な図である。 図２Ａのエンドエフェクターの一部分を示す斜視図で、図２Ａの基板ロードステーションの第２センサを例示する図である。 図２Ｃの一部分の拡大斜視図である。 図２Ａのエンドエフェクターの一部分を示す斜視図で、キャリア係合部材の一部分を検出するように配置された第２センサを示す図である。 移動中のコンベアから基板キャリアをアンロードするために本発明により実行されるプロセスを例示するフローチャートである。 図３のプロセスのある段階を示す概略側面図である。 図３のプロセスの別の段階を示す概略側面図である。 図３のプロセスの更に別の段階を示す概略側面図である。 図３のプロセスの更に別の段階を示す概略側面図である。 図３のプロセスの更に別の段階を示す概略側面図である。 移動中のコンベアに基板キャリアをロードするために本発明により実行されるプロセスを例示するフローチャートである。 図５のプロセスのある段階を示す概略側面図である。 図５のプロセスの別の段階を示す概略側面図である。 図５のプロセスの更に別の段階を示す概略側面図である。 図５のプロセスの更に別の段階を示す概略側面図である。 図５のプロセスの更に別の段階を示す概略側面図である。 図２Ａと同様であるが、本発明の基板ロードステーションの簡単な前面図である。 図２Ａと同様の本発明の基板ロードステーションの簡単な前面図である。 図４Ａ−４Ｅ及び図６Ａ−６Ｅと同様の移動中のコンベアを示す簡単な側面図である。 図４Ａ−４Ｅ及び図６Ａ−６Ｅと同様の移動中のコンベアを示す簡単な側面図である。 本発明のエンドエフェクターの運動プロフィールを例示する図である。 本発明のエンドエフェクターの運動プロフィールを例示する図である。 本発明のエンドエフェクターの運動プロフィールを例示する図である。 本発明のエンドエフェクターの運動プロフィールを例示する図である。
符号の説明
１１１・・・従来のロード・保管装置、１１３・・・従来の処理ツール、１１５・・・ファクトリインターフェイス（ＦＩ）、１１７・・・クリーンルーム壁、１１９・・・ＦＩロボット、１２１・・・ロードロックチャンバー、１２３・・・移送チャンバー、１２５・・・処理チャンバー、１２７・・・補助処理チャンバー、１２９・・・基板取り扱いロボット、１３３・・・基板キャリア保管棚、１３７・・・基板キャリアハンドラー、２０１・・・本発明の基板ロードステーション、２０３・・・ドッキングステーション、２０７・・・基板キャリア、２０９・・・ポート、２１１・・・ドッキンググリッパー、２１３・・・基板キャリアオープン装置、２１５・・・基板キャリアハンドラー、２１７、２１９・・・垂直ガイド、２２１・・・水平ガイド、２２３・・・支持体、２２５・・・エンドエフェクター、２２７・・・プラットホーム、２２９・・・運動学的位置決め特徴部、２３１・・・コンベア、２３３、２３５・・・センサ、２３７・・・コントローラ、２４０ａ、２４０ｂ・・・エンコーダ、４０１・・・キャリア係合部材、４０２・・・フランジ。

Claims (90)

  1. 基板キャリアを処理ツールの第１ロードポートへ搬送するための基板キャリアハンドラーであって、上記基板キャリアを支持するためのエンドエフェクターを含む基板キャリアハンドラーと、
    　上記基板キャリアハンドラーに接続されたコントローラであって、上記基板キャリアが基板キャリアコンベアにより搬送されて移動している間に上記基板キャリアハンドラーの上記エンドエフェクターが上記基板キャリアコンベアから上記基板キャリアを解離させるように、上記基板キャリアハンドラーを制御するよう動作するコントローラと、
    を備えた基板を処理ツールへ供給する装置。
  2. 上記コントローラは、上記基板キャリアを上記基板キャリアコンベアから解離させる少なくとも一部分の間に上記基板キャリアハンドラーの上記エンドエフェクターが上記基板キャリアの移動に実質的に一致するように、上記基板キャリアハンドラーを制御するよう動作する、請求項１に記載の装置。
  3. 上記コントローラは、上記基板キャリアを上記基板キャリアコンベアから解離させる少なくとも一部分の間に上記基板キャリアハンドラーの上記エンドエフェクターが上記基板キャリアの速度に実質的に一致するように、上記基板キャリアハンドラーを制御するよう動作する、請求項２に記載の装置。
  4. 上記コントローラは、上記基板キャリアを上記基板キャリアコンベアから解離させる少なくとも一部分の間に上記基板キャリアハンドラーの上記エンドエフェクターが水平方向における上記基板キャリアのスピード及び位置に実質的に一致するように、上記基板キャリアハンドラーを制御するよう動作する、請求項３に記載の装置。
  5. 上記コントローラは、上記基板キャリアが上記基板キャリアコンベアにより搬送されているときに上記エンドエフェクターが上記基板キャリアに隣接してその下に留まる状態で移動されるように、上記基板キャリアハンドラーを制御するよう更に動作する、請求項１に記載の装置。
  6. 上記コントローラは、上記基板キャリアハンドラーの上記エンドエフェクターが水平方向に移動されながら持ち上げられて、上記基板キャリアを上記基板キャリアコンベアから解離させるように、上記基板キャリアハンドラーを制御するよう更に動作する、請求項５に記載の装置。
  7. 上記コントローラは、上記エンドエフェクターが垂直方向に実質的にゼロ速度以下及び実質的にゼロ加速度以下の少なくとも一方で上記基板キャリアに接触して、上記基板キャリアを上記基板キャリアコンベアから解離させるように、上記基板キャリアハンドラーを制御するよう更に動作する、請求項１に記載の装置。
  8. 上記コントローラは、上記エンドエフェクターが上記基板キャリアコンベアの水平移動方向に実質的にゼロ加速度以下で上記基板キャリアに接触して、上記基板キャリアを上記基板キャリアコンベアから解離させるように、上記基板キャリアハンドラーを制御するよう更に動作する、請求項７に記載の装置。
  9. 上記基板キャリアハンドラーは、垂直ガイドと、該垂直ガイドに結合された水平ガイドとを備えた、請求項１に記載の装置。
  10. 上記基板キャリアハンドラーは、一対の垂直ガイドを備え、
    　上記水平ガイドは、上記垂直ガイドに沿って垂直に移動するように取り付けられ、更に、
    　上記エンドエフェクターは、上記水平ガイドに沿って水平に移動するように取り付けられる、請求項９に記載の装置。
  11. 上記基板キャリアハンドラーは、少なくとも上記基板キャリアコンベアが上記基板キャリアを搬送する高さまで上記エンドエフェクターを移動する、請求項１に記載の装置。
  12. 上記第１ロードポートは、第１ドッキングステーションを備え、更に、少なくとも１つの他のドッキングステーションが上記第１ドッキングステーションに対して垂直方向に配置される、請求項１に記載の装置。
  13. ２列のドッキングステーションを更に備え、上記第１ドッキングステーションは、該２列のドッキングステーションの一方に含まれる、請求項１２に記載の装置。
  14. 上記コントローラに接続され、上記基板キャリアコンベアの要素の位置を指示するための少なくとも１つのセンサを更に備えた、請求項１に記載の装置。
  15. 上記基板キャリアは、単一基板キャリアである、請求項１に記載の装置。
  16. 上記基板キャリアハンドラーの上記エンドエフェクターは、複数の運動学的特徴部を有する水平に向けられたプラットホームを備えた、請求項１に記載の装置。
  17. 上記コンベアは、上記基板キャリアハンドラーの上に配置される、請求項１に記載の装置。
  18. 基板キャリアを保管するための少なくとも１つの保管棚を更に備え、
    　上記基板キャリアハンドラーは、基板キャリアを上記第１ロードポートと上記少なくとも１つの保管棚との間に搬送する、請求項１に記載の装置。
  19. 上記コントローラは、上記基板キャリアコンベアが移動している間に上記基板キャリアハンドラーの上記エンドエフェクターが上記基板キャリアを上記基板キャリアコンベアへ移送するように、上記基板キャリアハンドラーを制御するよう更に動作する、請求項１に記載の装置。
  20. 上記コントローラは、上記基板キャリアを上記基板キャリアコンベアへ移送する少なくとも一部分の間に上記基板キャリアハンドラーの上記エンドエフェクターが上記基板キャリアコンベアの移動に実質的に一致するように、上記基板キャリアハンドラーを制御するよう動作する、請求項１９に記載の装置。
  21. 上記コントローラは、上記基板キャリアを上記基板キャリアコンベアへ移送する少なくとも一部分の間に上記基板キャリアハンドラーの上記エンドエフェクターが上記基板キャリアの速度に実質的に一致するように、上記基板キャリアハンドラーを制御するよう動作する、請求項２０に記載の装置。
  22. 上記コントローラは、上記基板キャリアを上記基板キャリアコンベアへ移送する少なくとも一部分の間に上記基板キャリアハンドラーの上記エンドエフェクターが水平方向における上記基板キャリアコンベアのスピードに実質的に一致するように、上記基板キャリアハンドラーを制御するよう動作する、請求項２１に記載の装置。
  23. 上記コントローラは、上記基板キャリアが垂直方向に実質的にゼロ速度以下及び実質的にゼロ加速度以下の少なくとも一方で上記基板キャリアコンベアに接触して、上記基板キャリアを上記基板キャリアコンベアにロードするように、上記基板キャリアハンドラーを制御するよう更に動作する、請求項１９に記載の装置。
  24. 上記コントローラは、上記基板キャリアが上記基板キャリアコンベアの水平移動方向に実質的にゼロ加速度以下で上記基板キャリアコンベアに接触して、上記基板キャリアを上記基板キャリアコンベアにロードするように、上記基板キャリアハンドラーを制御するよう更に動作する、請求項２３に記載の装置。
  25. 基板キャリアを処理ツールの第１ロードポートへ搬送するための基板キャリアハンドラーであって、垂直ガイド、該垂直ガイドに結合された水平ガイド、及び上記基板キャリアを支持すると共に上記垂直ガイドに対して垂直方向に且つ上記水平ガイドに対して水平方向に移動するエンドエフェクターを含む基板キャリアハンドラーと、
    　上記基板キャリアハンドラーに接続されたコントローラであって、上記基板キャリアハンドラーの上記エンドエフェクターが、上記基板キャリアハンドラーに隣接配置された基板キャリアコンベアから上記基板キャリアを解離させるように、上記基板キャリアハンドラーを制御するよう動作するコントローラと、
    を備えた基板を処理ツールへ供給する装置。
  26. 上記基板キャリアハンドラーは、一対の垂直ガイドを備え、
    　上記水平ガイドは、上記一対の垂直ガイドに沿って垂直に移動され、更に、
    　上記エンドエフェクターは、上記水平ガイドに沿って水平に移動される、請求項２５に記載の装置。
  27. 上記コントローラは、上記基板キャリアが上記基板キャリアコンベアにより搬送されて移動している間に上記基板キャリアハンドラーの上記エンドエフェクターが上記基板キャリアコンベアから上記基板キャリアを解離させるように、上記基板キャリアハンドラーを制御するよう更に動作する、請求項２５に記載の装置。
  28. 基板キャリアを移送する方法であって、
    　基板キャリアを処理ツールのロードポートへ搬送するための基板キャリアハンドラーを備えた基板ロードステーションに隣接配置された基板キャリアコンベアで基板キャリアを搬送するステップと、
    　上記基板ロードステーションの上記基板キャリアハンドラーのエンドエフェクターを使用して、上記基板キャリアが上記基板キャリアコンベアにより搬送されて移動している間に上記基板キャリアコンベアから上記基板キャリアを解離させるステップと、
    を備えた方法。
  29. 上記基板ロードステーションの上記基板キャリアハンドラーの上記エンドエフェクターを使用して、上記基板キャリアを解離させる上記ステップは、上記基板キャリアを上記基板キャリアコンベアから解離させる少なくとも一部分の間に上記基板キャリアの移動に実質的に一致するように上記エンドエフェクターを移動させる段階を含む、請求項２８に記載の方法。
  30. 上記基板キャリアの移動に実質的に一致するように上記エンドエフェクターを移動させる上記段階は、上記基板キャリアを上記基板キャリアコンベアから解離させる少なくとも一部分の間に上記基板キャリアの速度に実質的に一致するように上記エンドエフェクターを移動させる工程を含む、請求項２９に記載の方法。
  31. 上記基板キャリアの移動に実質的に一致するように上記エンドエフェクターを移動させる上記段階は、上記基板キャリアを上記基板キャリアコンベアから解離させる少なくとも一部分の間に水平方向に沿った上記基板キャリアのスピード及び位置に実質的に一致するように上記エンドエフェクターを移動させる工程を含む、請求項２９に記載の方法。
  32. 上記基板キャリアを解離させる上記ステップは、上記基板キャリアの底面に接触するように上記エンドエフェクターを持ち上げる段階を含む、請求項２８に記載の方法。
  33. 上記基板キャリアを解離させる上記ステップは、上記基板キャリアハンドラーの一部分である水平ガイドに沿って上記エンドエフェクターを移動させる段階を含む、請求項２８に記載の方法。
  34. 上記基板キャリアを解離させる上記ステップは、上記基板キャリアハンドラーの一部分である少なくとも１つの垂直ガイドに沿って上記水平ガイドを持ち上げる段階を含む、請求項３３に記載の方法。
  35. 上記基板キャリアを解離させる上記ステップは、上記基板キャリアが搬送される高さまで上記エンドエフェクターを移動させる段階を含む、請求項２８に記載の方法。
  36. 上記基板ロードステーションの上記基板キャリアハンドラーの上記エンドエフェクターを使用して、上記基板キャリアを解離させる上記ステップは、垂直方向に実質的にゼロ速度以下及び実質的にゼロ加速度以下の少なくとも一方で上記基板キャリアを上記エンドエフェクターに接触して、上記基板キャリアを上記基板キャリアコンベアから解離させる段階を含む、請求項２８に記載の方法。
  37. 上記基板ロードステーションの上記基板キャリアハンドラーの上記エンドエフェクターを使用して、上記基板キャリアを解離させる上記ステップは、上記基板キャリアコンベアの水平移動方向に実質的にゼロ加速度以下で上記基板キャリアを上記エンドエフェクターに接触して、上記基板キャリアを上記基板キャリアコンベアから解離させる段階を含む、請求項３６に記載の方法。
  38. 上記基板キャリアを搬送するステップは、上記基板ロードステーションの上に上記基板キャリアを搬送する段階を含む、請求項２８に記載の方法。
  39. 上記エンドエフェクターを使用して、上記基板キャリアコンベアが移動している間に上記基板キャリアコンベアへ上記基板キャリアを移送するステップを更に備えた、請求項２８に記載の方法。
  40. 上記エンドエフェクターを使用して、上記基板キャリアコンベアへ上記基板キャリアを移送する上記ステップは、上記基板キャリアコンベアへ上記基板キャリアを移送する少なくとも一部分の間に上記基板キャリアコンベアの移動に実質的に一致するように上記エンドエフェクターを移動する段階を含む、請求項３９に記載の方法。
  41. 上記基板キャリアコンベアの移動に実質的に一致するように上記エンドエフェクターを移動する上記段階は、上記基板キャリアコンベアの速度に実質的に一致するように上記エンドエフェクターを移動する工程を含む、請求項４０に記載の方法。
  42. 上記基板キャリアコンベアの移動に実質的に一致するように上記エンドエフェクターを移動する上記段階は、水平方向に沿った上記基板キャリアコンベアのスピードに実質的に一致するように上記エンドエフェクターを移動する工程を含む、請求項４０に記載の方法。
  43. 上記基板キャリアコンベアへ上記基板キャリアを移送する上記ステップは、上記エンドエフェクターを下降させて、上記基板キャリアを上記基板キャリアコンベアのキャリア係合部材に引き渡す段階を含む、請求項３９に記載の方法。
  44. 上記エンドエフェクターは、水平ガイドを下げることにより下降される、請求項４３に記載の方法。
  45. 上記基板キャリアコンベアへ上記基板キャリアを移送する上記ステップは、上記基板キャリアコンベアが上記基板キャリアを搬送する高さまで上記エンドエフェクターを移動する段階を含む、請求項４３に記載の方法。
  46. 上記エンドエフェクターを使用して、上記基板キャリアコンベアが移動している間に上記基板キャリアコンベアへ上記基板キャリアを移送する上記ステップは、垂直方向に実質的にゼロ速度以下及び実質的にゼロ加速度以下の少なくとも一方で上記基板キャリアコンベアを上記基板キャリアに接触させて、上記基板キャリアを上記基板キャリアコンベアにロードする段階を含む、請求項３９に記載の方法。
  47. 上記エンドエフェクターを使用して、上記基板キャリアコンベアが移動している間に上記基板キャリアコンベアへ上記基板キャリアを移送する上記ステップは、上記基板キャリアコンベアの水平移動方向に実質的にゼロ加速度以下で上記基板キャリアコンベアを上記基板キャリアに接触させて、上記基板キャリアを上記基板キャリアコンベアにロードする段階を含む、請求項４６に記載の方法。
  48. 基板ロードステーションが、基板キャリアを処理ツールの第１ロードポートへ搬送するための基板キャリアハンドラーを有し、該基板キャリアハンドラーは、垂直ガイド、該垂直ガイドに結合された水平ガイド、及び上記基板キャリアを支持すると共に上記垂直ガイドに対して垂直方向に且つ上記水平ガイドに対して水平方向に移動するエンドエフェクターを含んでいて、上記基板ロードステーションに隣接配置された基板キャリアコンベアで上記基板キャリアを搬送するステップと、
    　上記基板ロードステーションの上記基板キャリアハンドラーの上記エンドエフェクターを使用して、上記基板キャリアコンベアから上記基板キャリアを解離させるステップと、
    を備えた基板キャリアを基板ロードステーションへ移送する方法。
  49. 上記基板キャリアハンドラーは、一対の垂直ガイドを備え、
    　上記水平ガイドは、上記一対の垂直ガイドに沿って垂直に移動し、更に、
    　上記エンドエフェクターは、上記水平ガイドに沿って水平に移動する、請求項４８に記載の方法。
  50. 上記エンドエフェクターを使用して、上記基板キャリアコンベアから上記基板キャリアを解離させる上記ステップは、上記基板キャリアが移動している間に上記基板キャリアコンベアから上記基板キャリアを解離する段階を含む、請求項４８に記載の方法。
  51. 基板キャリアを処理ツールの第１ロードポートへ搬送するための基板キャリアハンドラーであって、上記基板キャリアを支持するためのエンドエフェクターを含む基板キャリアハンドラーと、
    　上記基板キャリアハンドラーに接続されたコントローラであって、上記基板キャリアが基板キャリアコンベアにより搬送されているときに上記基板キャリアの移動に実質的に一致するように上記基板キャリアハンドラーの上記エンドエフェクターを水平方向に移動させ、上記エンドエフェクターを持ち上げて、上記基板キャリアに係合させると共に、上記基板キャリアを上記基板キャリアコンベアから解離させ、更に、上記基板キャリアを上記第１ロードポートへ搬送するように、上記基板キャリアハンドラーを制御するよう動作するコントローラと、
    を備えた基板を処理ツールへ供給する装置。
  52. 上記コントローラは、上記持ち上げステップ後に上記エンドエフェクターの水平移動を減速するように上記基板キャリアハンドラーを制御するように動作する、請求項５１に記載の装置。
  53. 上記コントローラは、上記減速ステップ後に上記エンドエフェクターを下降するように上記基板キャリアハンドラーを制御するように動作する、請求項５２に記載の装置。
  54. 上記コントローラは、上記減速ステップの後であって且つ上記下降ステップの前に上記エンドエフェクターの水平移動を加速するように上記基板キャリアハンドラーを制御するように動作する、請求項５３に記載の装置。
  55. 上記コントローラは、上記下降ステップ後に上記エンドエフェクターの水平移動を停止するように上記基板キャリアハンドラーを制御するように動作する、請求項５３に記載の装置。
  56. 上記コントローラは、上記搬送ステップ後に上記基板キャリアを上記第１ロードポートへ引き渡すように上記基板キャリアハンドラーを制御するように動作する、請求項５１に記載の装置。
  57. 基板キャリアが基板キャリアコンベアにより搬送されるときに上記基板キャリアの移動に実質的に一致するように基板キャリアハンドラーのエンドエフェクターを水平方向に移動させるステップと、
    　上記エンドエフェクターを持ち上げて、上記基板キャリアに係合すると共に、上記基板キャリアを上記基板キャリアコンベアから解離させるステップと、
    　上記基板キャリアをロードポートへ搬送するステップと、
    を備えた基板キャリアハンドラーを操作する方法。
  58. 上記移動させるステップは、上記基板キャリアハンドラーの水平ガイドに沿って上記エンドエフェクターを移動させる段階を含む、請求項５７に記載の方法。
  59. 上記持ち上げるステップの後に上記エンドエフェクターの水平移動を減速するステップを更に備えた、請求項５７に記載の方法。
  60. 上記減速するステップの後に上記エンドエフェクターを下降するステップを更に備えた、請求項５９に記載の方法。
  61. 上記減速ステップの後であって且つ上記下降ステップの前に上記エンドエフェクターの水平移動を加速するステップを更に備えた、請求項６０に記載の方法。
  62. 上記下降ステップ後に上記エンドエフェクターの水平移動を停止するステップを更に備えた、請求項６０に記載の方法。
  63. 上記搬送ステップ後に上記基板キャリアを上記ロードポートへ引き渡すステップを更に備えた、請求項５７に記載の方法。
  64. 上記持ち上げるステップは、上記基板キャリアハンドラーの水平ガイドを持ち上げる段階を含む、請求項５７に記載の方法。
  65. 上記コントローラは、所定の事象に応答して上記コンベアから上記エンドエフェクターを自動的に引っ込めるように動作する、請求項１に記載の装置。
  66. 上記所定の事象は、停電及び非常停止の少なくとも一方を含む、請求項６５に記載の装置。
  67. 上記コントローラは、所定の事象に応答して上記コンベアから上記エンドエフェクターを自動的に引っ込めるように動作する、請求項２５に記載の装置。
  68. 上記所定の事象は、停電及び非常停止の少なくとも一方を含む、請求項６７に記載の装置。
  69. 所定の事象に応答して上記コンベアから上記エンドエフェクターを自動的に引っ込めるステップを更に備えた、請求項２８に記載の方法。
  70. 上記所定の事象は、停電及び非常停止の少なくとも一方を含む、請求項６９に記載の方法。
  71. 上記コントローラは、所定の事象に応答して上記コンベアから上記エンドエフェクターを自動的に引っ込めるように動作する、請求項５１に記載の装置。
  72. 上記所定の事象は、停電及び非常停止の少なくとも一方を含む、請求項７１に記載の装置。
  73. 所定の事象に応答して上記コンベアから上記エンドエフェクターを自動的に引っ込めるステップを更に備えた、請求項４８に記載の方法。
  74. 上記所定の事象は、停電及び非常停止の少なくとも一方を含む、請求項７３に記載の方法。
  75. 所定の事象に応答して上記コンベアから上記エンドエフェクターを自動的に引っ込めるステップを更に備えた、請求項５７に記載の方法。
  76. 上記所定の事象は、停電及び非常停止の少なくとも一方を含む、請求項７５に記載の方法。
  77. 基板キャリアを処理ツールの第１ロードポートへ搬送するための基板キャリアハンドラーであって、上記基板キャリアを支持するためのエンドエフェクターを含む基板キャリアハンドラーと、
    　上記基板キャリアハンドラーに接続されたコントローラであって、基板キャリアコンベアのスピードを決定し、上記基板キャリアコンベアのスピードに基づいて上記エンドエフェクターに対する第１運動プロフィールを決定し、該第１運動プロフィールを使用して、上記基板キャリアコンベアから上記基板キャリアを解離する少なくとも一部分の間に上記エンドエフェクターの運動を制御することにより、上記基板キャリアが移動している間に上記基板キャリアハンドラーの上記エンドエフェクターが上記基板キャリアコンベアから上記基板キャリアを解離させるように、上記基板キャリアハンドラーを制御するよう動作するコントローラと、
    を備えた基板を処理ツールへ供給する装置。
  78. 上記コントローラは、上記基板キャリアコンベアのスピードが所定範囲外である場合に上記基板キャリアコンベアからの上記基板キャリアの解離を中断するよう更に動作する、請求項７７に記載の装置。
  79. 上記コントローラは、上記基板キャリアコンベアのスピードに基づいて上記エンドエフェクターの第２運動プロフィールを決定し、該第２運動プロフィールを使用して、上記基板キャリアコンベアへ上記基板キャリアを移送する少なくとも一部分の間に上記エンドエフェクターの移動を制御することにより、上記基板キャリアコンベアが移動している間に上記基板キャリアハンドラーの上記エンドエフェクターが上記基板キャリアコンベアへ上記基板キャリアを移送するように、上記基板キャリアハンドラーを制御するよう動作する、請求項７７に記載の装置。
  80. 上記コントローラは、上記基板キャリアコンベアのスピードが所定範囲外である場合に上記基板キャリアコンベアへの上記基板キャリアの移送を中断するよう更に動作する、請求項７９に記載の装置。
  81. 基板キャリアをロードポートへ搬送するための基板キャリアハンドラーを備えた基板ロードステーションに隣接配置された基板キャリアコンベアで基板キャリアを搬送するステップと、
    　上記基板キャリアコンベアのスピードを決定するステップと、
    　上記基板キャリアコンベアのスピードに基づいて上記基板キャリアハンドラーのエンドエフェクターに対する第１運動プロフィールを決定するステップと、
    　上記第１運動プロフィールを使用して、上記基板キャリアコンベアから上記基板キャリアを解離させる少なくとも一部分の間に上記エンドエフェクターの移動を制御するステップと、
    を備えた基板キャリアの移送方法。
  82. 上記基板キャリアコンベアのスピードに基づいて上記エンドエフェクターに対する第２運動プロフィールを決定するステップと、
    　上記第２運動プロフィールを使用して、上記基板キャリアコンベアへ上記基板キャリアを移送する少なくとも一部分の間に上記エンドエフェクターの移動を制御するステップと、
    を更に備えた、請求項８１に記載の方法。
  83. 基板キャリアをロードポートへ搬送するための基板キャリアハンドラーを備えた基板ロードステーションに隣接配置された基板キャリアコンベアからの上記基板キャリアの解離を制御するためのコンピュータプログラム製品であって、上記基板キャリアコンベアのスピードを決定し、上記基板キャリアコンベアのスピードに基づいて上記基板キャリアハンドラーのエンドエフェクターに対する第１運動プロフィールを決定し、該第１運動プロフィールを使用して、上記基板キャリアコンベアから上記基板キャリアを解離させる少なくとも一部分の間に上記エンドエフェクターの移動を制御するためのコンピュータプログラムコードを有するコンピュータ読み取り可能な媒体を備えたコンピュータプログラム製品。
  84. 上記基板キャリアコンベアのスピードに基づいて上記エンドエフェクターに対する第２運動プロフィールを決定し、該第２運動プロフィールを使用して、上記基板キャリアコンベアへ上記基板キャリアを移送する少なくとも一部分の間に上記エンドエフェクターの移動を制御するためのコンピュータプログラムコードを更に備えた、請求項８３に記載のコンピュータプログラム製品。
  85. 基板を支持すると共に、該基板を処理ツールの第１ロードポートへ搬送するためのエンドエフェクターと、
    　上記エンドエフェクターに接続されたコントローラであって、上記基板がコンベアによって搬送されて移動している間に上記エンドエフェクターが上記基板を移動中のコンベアから解離させるように、上記エンドエフェクターを制御するよう動作するコントローラと、
    を備えた基板を処理ツールへ供給する装置。
  86. 上記コントローラは、上記エンドエフェクターが上記コンベアの移動中に上記コンベアへ上記基板を移送するように、上記エンドエフェクターを制御するよう動作する、請求項８５に記載の装置。
  87. 基板を支持すると共に、該基板を処理ツールのロードポートへ搬送するためのエンドエフェクターを備えた基板ロードステーションに隣接配置されたコンベアで基板を搬送するステップと、
    　上記基板ロードステーションの上記エンドエフェクターを使用して、上記基板が上記コンベアにより搬送されて移動している間に上記基板を上記コンベアから解離させるステップと、
    を備えた基板を移送する方法。
  88. 上記エンドエフェクターを使用して、上記コンベアの移動中に上記コンベアへ上記基板を移送するステップを更に備えた、請求項８７に記載の方法。
  89. 基板キャリアを処理ツールの第１ロードポートへ搬送するための基板キャリアハンドラーであって、上記基板キャリアを支持するためのエンドエフェクターを含む基板キャリアハンドラーと、
    　上記基板キャリアハンドラーに接続されたコントローラであって、基板キャリアコンベアが移動している間に上記基板キャリアハンドラーの上記エンドエフェクターが上記基板キャリアコンベアへ上記基板キャリアを移送するように、上記基板キャリアハンドラーを制御するよう動作するコントローラと、
    を備えた装置。
  90. 上記コントローラは、上記エンドエフェクターが垂直方向に実質的にゼロ速度以下で上記基板キャリアに接触して、上記基板キャリアコンベアから上記基板キャリアを解離させるように、上記基板キャリアハンドラーを制御するよう更に動作する、請求項１に記載の装置。
JP2003309124A 2002-08-31 2003-09-01 基板を処理ツールへ供給する装置、基板キャリアを移送する方法、およびコンピュータ読み取り可能な記録媒体 Expired - Fee Related JP4845337B2 (ja)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US40746302P 2002-08-31 2002-08-31
US60/407463 2002-08-31
US44300403P 2003-01-27 2003-01-27
US60/443004 2003-01-27

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009235278A Division JP4871985B2 (ja) 2002-08-31 2009-10-09 移動中のコンベヤから直接的に基板キャリアをアンロードする基板キャリアハンドラー

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004134765A true JP2004134765A (ja) 2004-04-30
JP4845337B2 JP4845337B2 (ja) 2011-12-28

Family

ID=31720746

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003309124A Expired - Fee Related JP4845337B2 (ja) 2002-08-31 2003-09-01 基板を処理ツールへ供給する装置、基板キャリアを移送する方法、およびコンピュータ読み取り可能な記録媒体
JP2009235278A Expired - Fee Related JP4871985B2 (ja) 2002-08-31 2009-10-09 移動中のコンベヤから直接的に基板キャリアをアンロードする基板キャリアハンドラー

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009235278A Expired - Fee Related JP4871985B2 (ja) 2002-08-31 2009-10-09 移動中のコンベヤから直接的に基板キャリアをアンロードする基板キャリアハンドラー

Country Status (6)

Country Link
US (4) US7243003B2 (ja)
EP (1) EP1396874A3 (ja)
JP (2) JP4845337B2 (ja)
KR (1) KR101047090B1 (ja)
CN (2) CN101217126B (ja)
TW (1) TWI324582B (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010140220A1 (ja) * 2009-06-02 2010-12-09 村田機械株式会社 無限駆動媒体を備えた搬送システムとそのキャリアの識別方法並びにキャリア
WO2010140221A1 (ja) * 2009-06-02 2010-12-09 村田機械株式会社 無限駆動媒体を備えた搬送システムとそのキャリブレーション方法、及びキャリアとキャリブレーションユニット
WO2010140219A1 (ja) * 2009-06-02 2010-12-09 村田機械株式会社 無限駆動媒体を備えた搬送システムと、搬送方法
WO2010140218A1 (ja) * 2009-06-02 2010-12-09 村田機械株式会社 無限駆動媒体を備えた搬送システムと、そこでの物品の受け渡し方法
JP2020149012A (ja) * 2019-03-15 2020-09-17 キヤノン株式会社 基板処理装置及び物品の製造方法
KR102940981B1 (ko) 2025-09-11 2026-03-19 (주)엠엑스앤 고정밀 및 저비용의 모듈형 공정 수행 컨베이어 시스템

Families Citing this family (64)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6283692B1 (en) 1998-12-01 2001-09-04 Applied Materials, Inc. Apparatus for storing and moving a cassette
US20020090282A1 (en) * 2001-01-05 2002-07-11 Applied Materials, Inc. Actuatable loadport system
US20030031538A1 (en) * 2001-06-30 2003-02-13 Applied Materials, Inc. Datum plate for use in installations of substrate handling systems
US7930061B2 (en) 2002-08-31 2011-04-19 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for loading and unloading substrate carriers on moving conveyors using feedback
US7684895B2 (en) * 2002-08-31 2010-03-23 Applied Materials, Inc. Wafer loading station that automatically retracts from a moving conveyor in response to an unscheduled event
US20050095110A1 (en) * 2002-08-31 2005-05-05 Lowrance Robert B. Method and apparatus for unloading substrate carriers from substrate carrier transport system
US20040081546A1 (en) * 2002-08-31 2004-04-29 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for supplying substrates to a processing tool
US7243003B2 (en) * 2002-08-31 2007-07-10 Applied Materials, Inc. Substrate carrier handler that unloads substrate carriers directly from a moving conveyor
US7234584B2 (en) * 2002-08-31 2007-06-26 Applied Materials, Inc. System for transporting substrate carriers
EP2019417A1 (en) * 2002-08-31 2009-01-28 Applied Materials, Inc. System for transporting substrate carriers
US7506746B2 (en) 2002-08-31 2009-03-24 Applied Materials, Inc. System for transporting substrate carriers
US7221993B2 (en) * 2003-01-27 2007-05-22 Applied Materials, Inc. Systems and methods for transferring small lot size substrate carriers between processing tools
US7778721B2 (en) * 2003-01-27 2010-08-17 Applied Materials, Inc. Small lot size lithography bays
US7578647B2 (en) * 2003-01-27 2009-08-25 Applied Materials, Inc. Load port configurations for small lot size substrate carriers
US7611318B2 (en) * 2003-01-27 2009-11-03 Applied Materials, Inc. Overhead transfer flange and support for suspending a substrate carrier
JP4447279B2 (ja) * 2003-10-15 2010-04-07 キヤノンアネルバ株式会社 成膜装置
US7720557B2 (en) * 2003-11-06 2010-05-18 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for enhanced operation of substrate carrier handlers
US20050209721A1 (en) * 2003-11-06 2005-09-22 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for enhanced operation of substrate carrier handlers
US7218983B2 (en) * 2003-11-06 2007-05-15 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for integrating large and small lot electronic device fabrication facilities
US10086511B2 (en) 2003-11-10 2018-10-02 Brooks Automation, Inc. Semiconductor manufacturing systems
US8639489B2 (en) 2003-11-10 2014-01-28 Brooks Automation, Inc. Methods and systems for controlling a semiconductor fabrication process
US8639365B2 (en) 2003-11-10 2014-01-28 Brooks Automation, Inc. Methods and systems for controlling a semiconductor fabrication process
US20080134076A1 (en) * 2003-11-10 2008-06-05 Pannese Patrick D Methods and systems for controlling a semiconductor fabrication process
US20070282480A1 (en) * 2003-11-10 2007-12-06 Pannese Patrick D Methods and systems for controlling a semiconductor fabrication process
TWI348450B (en) * 2003-11-13 2011-09-11 Applied Materials Inc Break-away positioning conveyor mount for accommodating conveyor belt bends
TW200524073A (en) * 2003-11-13 2005-07-16 Applied Materials Inc Kinematic pin with shear member and substrate carrier for use therewith
US7433756B2 (en) * 2003-11-13 2008-10-07 Applied Materials, Inc. Calibration of high speed loader to substrate transport system
KR101106869B1 (ko) * 2003-11-13 2012-01-19 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 예정되지 않은 이벤트에 반응하여 이동하는컨베이어로부터 자동으로 회수하는 웨이퍼 로딩 스테이션
TWI290875B (en) * 2004-02-28 2007-12-11 Applied Materials Inc Methods and apparatus for transferring a substrate carrier within an electronic device manufacturing facility
US7274971B2 (en) * 2004-02-28 2007-09-25 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for electronic device manufacturing system monitoring and control
US7177716B2 (en) 2004-02-28 2007-02-13 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for material control system interface
US20080019804A1 (en) * 2004-06-14 2008-01-24 Hirata Corporation Container Opening-Closing Apparatus and Container-Placement-Position Adjustment Method for the Same
US7611319B2 (en) 2004-06-16 2009-11-03 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for identifying small lot size substrate carriers
US7409263B2 (en) * 2004-07-14 2008-08-05 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for repositioning support for a substrate carrier
CN100358096C (zh) * 2004-10-21 2007-12-26 力晶半导体股份有限公司 定位套件与定位方法
US7314808B2 (en) * 2004-12-23 2008-01-01 Applied Materials, Inc. Method for sequencing substrates
US8303233B2 (en) * 2005-08-01 2012-11-06 Worthwhile Products Storage and retrieval system
US20070059153A1 (en) * 2005-09-14 2007-03-15 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for a transport lift assembly
US7661919B2 (en) 2005-09-28 2010-02-16 Muratec Automation Co., Ltd. Discontinuous conveyor system
EP1772405B1 (fr) * 2005-10-05 2009-04-08 Bobst S.A. Procédé de positionnement d'éléments en plaque dans une machine de traitement
US7591624B2 (en) * 2006-01-09 2009-09-22 International Business Machines Corporation Reticle storage pod (RSP) transport system utilizing FOUP adapter plate
FR2898880B1 (fr) * 2006-03-22 2008-05-30 Datacard Corp Machine lineaire de traitement d'objets portables et procede de traitement d'objets portables
US20070258796A1 (en) * 2006-04-26 2007-11-08 Englhardt Eric A Methods and apparatus for transporting substrate carriers
KR101042655B1 (ko) * 2006-07-27 2011-06-20 가부시키가이샤 아드반테스트 전자부품 이송방법 및 전자부품 핸들링 장치
WO2008045375A2 (en) * 2006-10-04 2008-04-17 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for loading and unloading substrate carriers on moving conveyors using feedback
US8776391B1 (en) 2007-04-13 2014-07-15 Align Technology, Inc. System for post-processing orthodontic appliance molds
TWI533394B (zh) * 2007-06-21 2016-05-11 尼康股份有限公司 Conveying method and conveying device
JP5369419B2 (ja) * 2007-10-18 2013-12-18 村田機械株式会社 保管庫、保管庫セット及び保管庫付き搬送システム
US7984543B2 (en) * 2008-01-25 2011-07-26 Applied Materials, Inc. Methods for moving a substrate carrier
JP5256810B2 (ja) * 2008-03-24 2013-08-07 村田機械株式会社 保管庫装置及び保管庫付き搬送システム
US8886354B2 (en) * 2009-01-11 2014-11-11 Applied Materials, Inc. Methods, systems and apparatus for rapid exchange of work material
US8285418B2 (en) * 2009-07-23 2012-10-09 Kla-Tencor Corporation Dual scanning stage
TWI496732B (zh) * 2009-07-31 2015-08-21 村田機械股份有限公司 供工具利用之緩衝儲存和運輸裝置
US9901210B2 (en) 2012-01-04 2018-02-27 Globalfoundries Singapore Pte. Ltd. Efficient transfer of materials in manufacturing
US9846415B2 (en) 2012-01-19 2017-12-19 Globalfoundries Singapore Pte. Ltd. Efficient transfer of materials using automated guided vehicles in semiconductor manufacturing
US9748125B2 (en) * 2012-01-31 2017-08-29 Applied Materials, Inc. Continuous substrate processing system
JPWO2015108065A1 (ja) * 2014-01-15 2017-03-23 東京エレクトロン株式会社 成膜方法及び熱処理装置
JP6310803B2 (ja) * 2014-07-29 2018-04-11 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置の製造方法
KR102680059B1 (ko) 2015-11-23 2024-06-28 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 프로세스 툴에서의 온-보드 메트롤로지(obm) 설계 및 그 영향
JP7111816B2 (ja) * 2018-07-30 2022-08-02 アルバックテクノ株式会社 基板リフト装置及び基板搬送方法
US11295973B2 (en) 2020-02-11 2022-04-05 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Apparatus and method for automated wafer carrier handling
CN112389970B (zh) * 2020-11-20 2022-02-25 昆山鸿仕达智能科技有限公司 双进双出式产品自动转换载具的转换机
CN115091249B (zh) * 2022-06-15 2023-03-21 深圳市久久犇自动化设备股份有限公司 一种数控机床生产线控制系统及方法
JP7740155B2 (ja) * 2022-07-28 2025-09-17 株式会社ダイフク 物品搬送設備

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61146690A (ja) * 1984-12-19 1986-07-04 Honda Motor Co Ltd 被組立て本体両側への部品組立て方法
JPH01150334A (ja) * 1987-12-07 1989-06-13 Mitsubishi Electric Corp 半導体ウエーハ搬送移載装置
JPH03154751A (ja) * 1989-11-08 1991-07-02 Hitachi Ltd 多品種搬送方法及び装置
JPH069048A (ja) * 1992-06-24 1994-01-18 Suzuki Motor Corp ワーク把持装置
JPH06114759A (ja) * 1992-09-30 1994-04-26 Canon Inc 往復直線駆動装置
JPH06255758A (ja) * 1993-03-05 1994-09-13 Shibuya Kogyo Co Ltd 容器の整列装置
JPH07335715A (ja) * 1994-06-09 1995-12-22 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置のカセット搬入／搬出方法及びその装置
JPH0819985A (ja) * 1994-07-04 1996-01-23 Mitsubishi Electric Corp ロボット装置
JPH0991015A (ja) * 1995-09-26 1997-04-04 Central Motor Co Ltd 同期作業ロボット
JPH10189682A (ja) * 1996-12-20 1998-07-21 Daikin Ind Ltd 真空処理装置
JP2000272562A (ja) * 1999-03-24 2000-10-03 Toyota Motor Corp ウインドガラス自動貼付装置
JP2002192487A (ja) * 2000-12-25 2002-07-10 Seiko Epson Corp ピックアンドプレイス装置の制御方法及び該方法を適用したピックアンドプレイス装置

Family Cites Families (192)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1639758A (en) 1925-02-12 1927-08-23 Jervis B Webb Overhead loading mechanism
US1906036A (en) 1930-05-28 1933-04-25 Moore Co Conveying mechanism
US2153071A (en) 1938-01-24 1939-04-04 Mechanical Handling Sys Inc Conveyer
US2949996A (en) 1957-07-08 1960-08-23 Radio Steel & Mfg Co Article conveyor and transfer mechanism
US3058604A (en) 1959-10-22 1962-10-16 Hauson Van Winkle Munning Co Article treating machine and loadunload mechanism therefor
US3131801A (en) 1960-04-09 1964-05-05 Buehler Ag Geb Vertical type endless conveyor
US3184032A (en) 1962-06-26 1965-05-18 Lecab Rullbanor Aktiebolag Arrangement in paternoster elevators
DE1632196A1 (de) 1967-03-25 1970-05-14 Hauni Werke Koerber & Co Kg Zigarettenschragenfoerderanlage
FR1532401A (fr) 1967-05-17 1968-07-12 Seita Procédé de transfert entre transporteurs en mouvement
JPS5014015B1 (ja) 1969-10-18 1975-05-24
NL151955B (nl) 1970-06-10 1977-01-17 Leidsche Apparatenfabriek Nv Selecteerinrichting voor aan een zijde open holle voorwerpen.
US3722656A (en) 1971-06-23 1973-03-27 Rexham Corp System for handling and accumulating articles
US3734263A (en) 1971-07-02 1973-05-22 A Dirks Revolvable station for processing a movable procession of factory-work pieces such as animal carcasses
US3815723A (en) 1971-11-05 1974-06-11 Cutler Hammer Inc Method and apparatus for transferring and storing articles
IT968102B (it) 1972-12-18 1974-03-20 Acma Spa Apparato per ordinare a passo oggetti provenienti disordina tamente da una linea erogatrice e per trasferirli quindi ad una linea ricevitrice
US3845286A (en) 1973-02-05 1974-10-29 Ibm Manufacturing control system for processing workpieces
FR2225363B1 (ja) 1973-04-10 1977-09-02 Remy & Cie E P
CH553709A (de) 1973-07-09 1974-09-13 Sig Schweiz Industrieges Foerderanlage mit vorrichtung zum trennen von in gegenseitiger beruehrung auf einem eingangsfoerderer zulaufenden gegenstaenden.
US4029194A (en) 1974-05-13 1977-06-14 Pemco, Inc. Automatic indexing and transferring apparatus
US4040302A (en) 1975-01-03 1977-08-09 Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha Chain drive for a transfer machine
US4033403A (en) 1975-09-17 1977-07-05 Seaton Engineering Company Synchronizing velocity and position control
US4033448A (en) 1975-10-24 1977-07-05 Whirlpool Corporation Conveyor transfer apparatus pickup and dropoff sensor
US4044886A (en) 1975-12-29 1977-08-30 Sender Wilfred E System for handling structural members
US4027246A (en) 1976-03-26 1977-05-31 International Business Machines Corporation Automated integrated circuit manufacturing system
US4166527A (en) 1977-08-01 1979-09-04 Stelron Cam Company Device for picking up and placing articles on movable conveyors and assembly lines and to an endless construction and to an article pickup and deposit device therefor
FR2417455A1 (fr) 1978-02-20 1979-09-14 Arenco Decoufle Sa Fse Dispositif pour transferer transversalement des objets cylindriques en forme de tiges, se deplacant longitudinalement
US4340137A (en) 1978-03-27 1982-07-20 Opcon, Inc. Cant movement and aligning mechanism
NL172429C (nl) 1978-09-21 1983-09-01 Tevopharm Schiedam Bv Inrichting voor het tussen de meenemers van een sleeptransporteur toevoeren van voorwerpen.
DE2848773A1 (de) 1978-11-10 1980-05-22 Schmermund Maschf Alfred Vorrichtung zum queraxialen foerdern und speichern von zigaretten
US4222479A (en) 1978-11-13 1980-09-16 Coors Container Company Container conveying and transfer system
US4401522A (en) 1980-09-29 1983-08-30 Micro-Plate, Inc. Plating method and apparatus
IT1188972B (it) 1980-12-12 1988-01-28 Gd Spa Dispositivo di trasferimento per articoli a forma di barretta
US4450950A (en) 1981-05-12 1984-05-29 Eastman Kodak Company Work piece transfer mechanism
US4653630A (en) 1981-11-16 1987-03-31 Anna Bravin Method of and device for controlling the transfer of articles from a first conveyor belt to predetermined locations on a second conveyor belt
FR2524436B1 (fr) 1982-04-02 1985-09-27 Nantaise Biscuiterie Dispositif regulateur de transfert de produits solides identiques entre des machines amont et aval de vitesses differentes
US4534843A (en) 1983-01-28 1985-08-13 Technic, Inc. Apparatus for electroplating and chemically treating contact elements of encapsulated electronic components and their like
US4538720A (en) 1983-03-25 1985-09-03 Pet, Incorporated Apparatus for transferring articles between conveyors
US4524858A (en) 1983-05-24 1985-06-25 Maxey Carl W Edger transport and position apparatus
US4540088A (en) 1983-06-20 1985-09-10 Wheelabrator-Frye Inc. Component conveyor apparatus
JPS6034311A (ja) 1983-07-28 1985-02-21 日本たばこ産業株式会社 停止待機運転制御式集積包装機の製品受渡搬送装置
US4667809A (en) 1983-10-19 1987-05-26 Trimmer Machine Co., Inc. Apparatus for aligning signatures
DE139775T1 (de) 1983-10-20 1986-04-10 Tetra Pak International AB, Lund Stau- und transportvorrichtung fuer gegenstaende.
US4585126A (en) 1983-10-28 1986-04-29 Sunkist Growers, Inc. Method and apparatus for high speed processing of fruit or the like
US4650264A (en) 1983-12-12 1987-03-17 Spacesaver Corporation Control system for vertical storage equipment
US4552261A (en) 1983-12-27 1985-11-12 Standard-Knapp, Inc. Article grouper for case packer
US4603770A (en) 1984-01-18 1986-08-05 Hartness Thomas Signor Rake conveyor apparatus
US4584944A (en) 1984-04-25 1986-04-29 Jervis B. Webb Company Conveyor system with automatic load transfer
US4702365A (en) 1984-09-10 1987-10-27 Pak Chong Il Apparatus for removing individual wafer segments from a framed carrier
IT1181265B (it) 1984-12-06 1987-09-23 Gd Spa Dispositivo per il trasferimento di articoli a forma di barretta
FR2580262B1 (fr) 1985-04-12 1987-05-22 Efcis Installation de manutention d'objets fragiles en atmosphere a empoussierement controle
US4750605A (en) 1985-08-07 1988-06-14 Lamb Technicon Corp. Workpiece transfer system
US4730733A (en) 1985-09-06 1988-03-15 Murata Kikai Kabushiki Kaisha System for delivering and inspecting packages
EP0218550B1 (de) 1985-10-09 1990-08-08 SIG Schweizerische Industrie-Gesellschaft Vorrichtung zum Vereinzeln und zum Zuführen von länglichen Nahrungsmittelprodukten zu einer Verpackungsmaschine
CA1261368A (en) 1985-10-28 1989-09-26 Donald C. Crawford Computer controlled non-contact feeder
US4775046A (en) 1986-01-17 1988-10-04 Future Automation, Inc. Transport belt for production parts
CA1289346C (en) 1986-02-27 1991-09-24 Takeo Yoshiji System for installing parts on workpiece
US4901843A (en) 1986-04-02 1990-02-20 Minnesota Automation, Inc. Advancing motion rotary apparatus
US4898373A (en) 1986-07-03 1990-02-06 Newsome John R High speed signature manipulating apparatus
US4869637A (en) 1986-08-27 1989-09-26 Bud Antle, Inc. Plant transfer mechanism
US5110249A (en) 1986-10-23 1992-05-05 Innotec Group, Inc. Transport system for inline vacuum processing
US4852717A (en) 1986-11-12 1989-08-01 Fmc Corporation Computer controlled light contact feeder
US4708727A (en) 1986-11-14 1987-11-24 Vitro Tec Fideicomiso Method and apparatus for synchronizing the velocity of a 90 degree push-out apparatus and of the carrier converyor in an I.S. glassware forming machine
JPS63168801A (ja) 1986-12-29 1988-07-12 Ozen Corp 再生針・レコ−ド盤衝突防止装置を備えた簡易音響再生機
US4759439A (en) 1987-01-29 1988-07-26 Dominion Chain Inc. Drive mechanism
DE3702775A1 (de) 1987-01-30 1988-08-11 Leybold Ag Vorrichtung zum quasi-kontinuierlichen behandeln von substraten
US4813528A (en) 1987-02-06 1989-03-21 Dominion Chain Inc. Conveyor loading system
US4765453A (en) 1987-04-27 1988-08-23 Westinghouse Electric Corp. Pellet-press-to-sintering-boat nuclear fuel pellet loading system
WO1988009303A1 (en) 1987-05-21 1988-12-01 Hine Design Inc. Method and apparatus for aligning silicon wafers
DE3724693C2 (de) 1987-07-25 1996-10-17 Bosch Gmbh Robert Verfahren und Vorrichtung zum Überführen von Gegenständen in eine Fördereinrichtung einer Verpackungsmaschine
US4830180A (en) 1988-01-15 1989-05-16 Key Technology, Inc. Article inspection and stabilizing system
JPH01203106A (ja) * 1988-02-04 1989-08-15 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 昇降装置
IT1217694B (it) * 1988-05-23 1990-03-30 Francesco Canziani Metodo per il controllo dell'esatto posizionamento degli oggetti da smistare in un impianto di smistamento automatico
US4936438A (en) 1988-05-31 1990-06-26 Welduction Automation Inc. Conveyor loading and unloading apparatus
US5086909A (en) 1988-09-23 1992-02-11 Powell Machinery, Inc. Gentle handling of fruit during weight sizing and other operations
JPH0298157A (ja) 1988-10-04 1990-04-10 Matsushita Electron Corp 半導体素子ピックアップ装置
JP2905857B2 (ja) 1989-08-11 1999-06-14 東京エレクトロン株式会社 縦型処理装置
US5135102A (en) 1989-09-19 1992-08-04 Quipp, Incorporated Sorting conveyor
JPH03106721A (ja) 1989-09-21 1991-05-07 Mitsubishi Electric Corp 縦型ウエーハ搬送装置
DE3938719A1 (de) 1989-11-23 1991-05-29 Rovema Gmbh Verfahren und vorrichtung zur foerderung und synchronisierung der bewegung von gegenstaenden
US5052544A (en) 1989-12-29 1991-10-01 Apv Douglas Machine Corporation Tray loading machine
US5261935A (en) 1990-09-26 1993-11-16 Tokyo Electron Sagami Limited Clean air apparatus
US5668056A (en) 1990-12-17 1997-09-16 United Microelectronics Corporation Single semiconductor wafer transfer method and manufacturing system
US5332013A (en) 1991-03-15 1994-07-26 Shinko Electric Co., Ltd. Unmanned conveying device in clean room
DE4111899A1 (de) 1991-04-12 1992-10-15 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zum transportieren von gegenstaenden in eine foerdereinrichtung einer verpackungsmaschine
US5099896A (en) 1991-04-24 1992-03-31 Harvey Industries, Inc Rotary board pick/store/place method and apparatus
IT1252458B (it) 1991-07-29 1995-06-16 Gd Spa Metodo per il trasferimento di prodotti fra trasportatori dotati di moto continuo
US5231926A (en) 1991-10-11 1993-08-03 Sequa Corporation Apparatus and method for substantially reducing can spacing and speed to match chain pins
US5123518A (en) 1991-12-12 1992-06-23 Pfaff Ernest H Apparatus for properly positioning vials
US5256204A (en) 1991-12-13 1993-10-26 United Microelectronics Corporation Single semiconductor water transfer method and manufacturing system
JP2867194B2 (ja) * 1992-02-05 1999-03-08 東京エレクトロン株式会社 処理装置及び処理方法
US5364225A (en) * 1992-06-19 1994-11-15 Ibm Method of printed circuit panel manufacture
US5320208A (en) 1992-07-02 1994-06-14 Utica Enterprises, Inc. Reciprocating lift mechanism
CA2074789C (en) 1992-07-28 1995-12-05 Joel W. Jones Precision guided transfer fixture
ES2078718T3 (es) 1992-08-04 1995-12-16 Ibm Estructuras de cadenas de fabricacion a base de transportadores totalmente automatizados e informatizados adaptados a recipientes transportables estancos a presion.
ES2101070T3 (es) 1992-08-04 1997-07-01 Ibm Recipientes portatiles estancos a presion para almacenar una rebanada de semiconductor en un ambiente gaseoso protector.
EP0582018B1 (en) 1992-08-04 1995-10-18 International Business Machines Corporation Pressurized interface apparatus for transferring a semiconductor wafer between a pressurized sealable transportable container and a processing equipment
EP0582017B1 (en) 1992-08-04 1995-10-18 International Business Machines Corporation Dispatching apparatus with a gas supply distribution system for handling and storing pressurized sealable transportable containers
US5207309A (en) 1992-08-18 1993-05-04 Simpkin Steven W Concomitant motion control device
US5341915A (en) 1992-11-06 1994-08-30 Kliklok Corporation Article phasing, transfer and squaring system for packaging line
KR100303075B1 (ko) 1992-11-06 2001-11-30 조셉 제이. 스위니 집적회로 웨이퍼 이송 방법 및 장치
US5269119A (en) 1993-03-12 1993-12-14 Ossid Corporation Linearly reciprocating conveyor apparatus
KR100221983B1 (ko) 1993-04-13 1999-09-15 히가시 데쓰로 처리장치
US5350050A (en) 1993-09-09 1994-09-27 Donald L. Collver Continuous vertical conveyor
US5565034A (en) 1993-10-29 1996-10-15 Tokyo Electron Limited Apparatus for processing substrates having a film formed on a surface of the substrate
US5570990A (en) 1993-11-05 1996-11-05 Asyst Technologies, Inc. Human guided mobile loader stocker
EP0735927B1 (de) 1993-12-23 1999-11-03 Siemens Aktiengesellschaft Übergabeeinrichtung für stückgut, insbesondere für postgut
DE69403890T2 (de) 1994-01-14 1998-01-08 International Business Machines Corp., Armonk, N.Y. Zusammenbau-/Ausbau-Einrichtung für abdichtbaren unter Druck stehenden Transportbehälter
JPH0817894A (ja) 1994-06-27 1996-01-19 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板表面処理装置
US5560471A (en) 1994-09-28 1996-10-01 Tetra Laval Holdings & Finance S. A. Apparatus for transferring containers to a moving conveyor
US5653327A (en) 1994-10-21 1997-08-05 Electrocom Gard Ltd. Inserter device and a method for transposing a stream of products using the same
IT1267468B1 (it) 1994-10-27 1997-02-05 Hitech Systems Srl Macchina perfezionata per il raggruppamento, a scopo di confezionamento, di prodotti convogliati singolarmente,
US5588282A (en) 1994-11-10 1996-12-31 Hartness International, Inc. Continuous motion case packing apparatus and method
US5884392A (en) 1994-12-23 1999-03-23 International Business Machines Corporation Automatic assembler/disassembler apparatus adapted to pressurized sealable transportable containers
TW297910B (ja) 1995-02-02 1997-02-11 Tokyo Electron Co Ltd
US5628614A (en) 1995-03-16 1997-05-13 Douglas Machine Limited Liability Company Continuous motion stacking apparatus and methods
US5612886A (en) 1995-05-12 1997-03-18 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. Method and system for dynamic dispatching in semiconductor manufacturing plants
US5667056A (en) 1995-06-06 1997-09-16 Sears, Roebuck And Co. Hanger transport system
US5617944A (en) 1995-06-15 1997-04-08 Valiant Machine & Tool, Inc. Shuttle transfer assembly
DK0790947T3 (da) 1995-09-08 2003-06-10 Siemens Schweiz Ag Fremgangsmåde og indretning til indslusning af stykgodsdele
US5558198A (en) 1995-09-18 1996-09-24 Juarez; Ramiro O. Band transportation system
US5762544A (en) 1995-10-27 1998-06-09 Applied Materials, Inc. Carrier head design for a chemical mechanical polishing apparatus
IT1285453B1 (it) 1996-01-25 1998-06-08 Ima Spa Metodo ed apparecchiatura per il prelievo e l'impilaggio di prodotti alimentari in file multiple e per il convogliamento delle pile di
US6227348B1 (en) 1996-01-26 2001-05-08 Elpatronic Ag Method and apparatus for separating and bringing together series of container bodies
US6036426A (en) 1996-01-26 2000-03-14 Creative Design Corporation Wafer handling method and apparatus
US5681597A (en) 1996-02-06 1997-10-28 Liquid Container L.P. Vacuum conveyor picker for blow bottle container
NL1003057C2 (nl) 1996-05-07 1997-11-10 Greefs Wagen Carrosserie Inrichting en werkwijze voor het aan-, afvoeren en overbrengen van voorwerpen, zoals vruchten.
IT1285694B1 (it) 1996-05-08 1998-06-18 Azionaria Costruzioni Acma Spa Metodo ed unita' per la formazione ed il convogliamento di gruppi di prodotti
US5823319A (en) 1996-05-10 1998-10-20 The Buschman Company Control system for the drop-out zone of a constant speed accumulating conveyor
DE59702155D1 (de) 1996-05-13 2000-09-14 Ipt Weinfelden Ag Weinfelden Verfahren zur hängenden förderung von behältern und vorrichtung zur durchführung des verfahrens
JPH1011503A (ja) 1996-06-21 1998-01-16 Tec Corp Ｐｏｓシステム
US6203582B1 (en) * 1996-07-15 2001-03-20 Semitool, Inc. Modular semiconductor workpiece processing tool
US5827118A (en) 1996-08-28 1998-10-27 Seh America, Inc. Clean storage unit air flow system
JPH10112490A (ja) 1996-10-03 1998-04-28 Nidek Co Ltd 半導体ウェハ搬送装置
FR2754525B1 (fr) 1996-10-14 1998-12-31 Eurocri Soc Nouv Procede et dispositif de transport de produits selon un pas determine
US5818716A (en) 1996-10-18 1998-10-06 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. Dynamic lot dispatching required turn rate factory control system and method of operation thereof
US5957648A (en) * 1996-12-11 1999-09-28 Applied Materials, Inc. Factory automation apparatus and method for handling, moving and storing semiconductor wafer carriers
JPH10256346A (ja) 1997-03-13 1998-09-25 Tokyo Electron Ltd カセット搬出入機構及び半導体製造装置
US6068668A (en) * 1997-03-31 2000-05-30 Motorola, Inc. Process for forming a semiconductor device
US5980183A (en) 1997-04-14 1999-11-09 Asyst Technologies, Inc. Integrated intrabay buffer, delivery, and stocker system
US6280134B1 (en) * 1997-06-17 2001-08-28 Applied Materials, Inc. Apparatus and method for automated cassette handling
US6579052B1 (en) 1997-07-11 2003-06-17 Asyst Technologies, Inc. SMIF pod storage, delivery and retrieval system
US6183186B1 (en) 1997-08-29 2001-02-06 Daitron, Inc. Wafer handling system and method
US6235634B1 (en) 1997-10-08 2001-05-22 Applied Komatsu Technology, Inc. Modular substrate processing system
JP3546217B2 (ja) 1997-11-21 2004-07-21 株式会社ダイフク 物品移載装置
AT405775B (de) * 1998-01-13 1999-11-25 Thallner Erich Verfahren und vorrichtung zum ausgerichteten zusammenführen von scheibenförmigen halbleitersubstraten
JPH11204615A (ja) 1998-01-19 1999-07-30 Speedfam Co Ltd ローディングロボットのウェーハローディング、アンローディング機構
JP3446598B2 (ja) 1998-03-23 2003-09-16 株式会社村田製作所 チップ部品の移載装置
KR100510433B1 (ko) 1998-04-06 2006-07-27 다이니치쇼지 가부시키가이샤 컨테이너
US6083566A (en) * 1998-05-26 2000-07-04 Whitesell; Andrew B. Substrate handling and processing system and method
WO1999064207A1 (en) 1998-06-08 1999-12-16 Genmark Automation, Inc. Prealigner for substrates in a robotic system
JP3462405B2 (ja) 1998-10-29 2003-11-05 東京エレクトロン株式会社 処理装置
KR100646906B1 (ko) 1998-09-22 2006-11-17 동경 엘렉트론 주식회사 기판처리장치 및 기판처리방법
US6283692B1 (en) * 1998-12-01 2001-09-04 Applied Materials, Inc. Apparatus for storing and moving a cassette
US6309279B1 (en) * 1999-02-19 2001-10-30 Speedfam-Ipec Corporation Arrangements for wafer polishing
SE514070C2 (sv) 1999-04-30 2000-12-18 Norden Pac Dev Ab Förfarande och anordning för överförande av förpackningar från en första intermittent arbetande enhet andra kontinuerligt arbetande enhet
US6195619B1 (en) * 1999-07-28 2001-02-27 Brooks Automation, Inc. System for aligning rectangular wafers
US6460369B2 (en) 1999-11-03 2002-10-08 Applied Materials, Inc. Consecutive deposition system
US6506009B1 (en) * 2000-03-16 2003-01-14 Applied Materials, Inc. Apparatus for storing and moving a cassette
US6919001B2 (en) 2000-05-01 2005-07-19 Intevac, Inc. Disk coating system
US6581750B1 (en) 2000-07-26 2003-06-24 Carl Strutz & Co., Inc. Method and apparatus for changing the orientation of workpieces about an angled axis for a decorator
WO2002019392A1 (en) 2000-09-01 2002-03-07 Motorola Inc. A method and device for docking a substrate carrier to a process tool
US20020090282A1 (en) 2001-01-05 2002-07-11 Applied Materials, Inc. Actuatable loadport system
US6435331B1 (en) 2001-03-16 2002-08-20 Lockheed Martin Corporation Dynamic gap establishing synchronous product insertion system
US6826986B2 (en) * 2001-05-05 2004-12-07 Ah Beng Lim Bi-directional singulation system and method
US6699329B2 (en) 2001-05-25 2004-03-02 George Koch Sons, Llc Coating and curing system
US20030031538A1 (en) * 2001-06-30 2003-02-13 Applied Materials, Inc. Datum plate for use in installations of substrate handling systems
US6524463B2 (en) 2001-07-16 2003-02-25 Technic, Inc. Method of processing wafers and other planar articles within a processing cell
US20030010449A1 (en) 2001-07-16 2003-01-16 Gramarossa Daniel J. Automatic wafer processing and plating system
US6511065B1 (en) 2001-08-28 2003-01-28 Heidelberger Druckmaschinen Ag Method for transferring signatures and gripper assembly for a matched velocity transfer device
US20030110649A1 (en) * 2001-12-19 2003-06-19 Applied Materials, Inc. Automatic calibration method for substrate carrier handling robot and jig for performing the method
US20030202865A1 (en) * 2002-04-25 2003-10-30 Applied Materials, Inc. Substrate transfer apparatus
US7684895B2 (en) * 2002-08-31 2010-03-23 Applied Materials, Inc. Wafer loading station that automatically retracts from a moving conveyor in response to an unscheduled event
US7506746B2 (en) * 2002-08-31 2009-03-24 Applied Materials, Inc. System for transporting substrate carriers
US7930061B2 (en) * 2002-08-31 2011-04-19 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for loading and unloading substrate carriers on moving conveyors using feedback
US6955197B2 (en) * 2002-08-31 2005-10-18 Applied Materials, Inc. Substrate carrier having door latching and substrate clamping mechanisms
US20050095110A1 (en) * 2002-08-31 2005-05-05 Lowrance Robert B. Method and apparatus for unloading substrate carriers from substrate carrier transport system
US7243003B2 (en) 2002-08-31 2007-07-10 Applied Materials, Inc. Substrate carrier handler that unloads substrate carriers directly from a moving conveyor
US7234584B2 (en) * 2002-08-31 2007-06-26 Applied Materials, Inc. System for transporting substrate carriers
US7258520B2 (en) * 2002-08-31 2007-08-21 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for using substrate carrier movement to actuate substrate carrier door opening/closing
US20040081546A1 (en) * 2002-08-31 2004-04-29 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for supplying substrates to a processing tool
US7611318B2 (en) * 2003-01-27 2009-11-03 Applied Materials, Inc. Overhead transfer flange and support for suspending a substrate carrier
US7077264B2 (en) * 2003-01-27 2006-07-18 Applied Material, Inc. Methods and apparatus for transporting substrate carriers
US7778721B2 (en) * 2003-01-27 2010-08-17 Applied Materials, Inc. Small lot size lithography bays
US7221993B2 (en) * 2003-01-27 2007-05-22 Applied Materials, Inc. Systems and methods for transferring small lot size substrate carriers between processing tools
US7107125B2 (en) * 2003-10-29 2006-09-12 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for monitoring the position of a semiconductor processing robot
US7230702B2 (en) * 2003-11-13 2007-06-12 Applied Materials, Inc. Monitoring of smart pin transition timing
TW200524073A (en) * 2003-11-13 2005-07-16 Applied Materials Inc Kinematic pin with shear member and substrate carrier for use therewith
US7433756B2 (en) * 2003-11-13 2008-10-07 Applied Materials, Inc. Calibration of high speed loader to substrate transport system
US7168553B2 (en) * 2003-11-13 2007-01-30 Applied Materials, Inc. Dynamically balanced substrate carrier handler
US7409263B2 (en) * 2004-07-14 2008-08-05 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for repositioning support for a substrate carrier
US20070258796A1 (en) * 2006-04-26 2007-11-08 Englhardt Eric A Methods and apparatus for transporting substrate carriers
US7984543B2 (en) * 2008-01-25 2011-07-26 Applied Materials, Inc. Methods for moving a substrate carrier

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61146690A (ja) * 1984-12-19 1986-07-04 Honda Motor Co Ltd 被組立て本体両側への部品組立て方法
JPH01150334A (ja) * 1987-12-07 1989-06-13 Mitsubishi Electric Corp 半導体ウエーハ搬送移載装置
JPH03154751A (ja) * 1989-11-08 1991-07-02 Hitachi Ltd 多品種搬送方法及び装置
JPH069048A (ja) * 1992-06-24 1994-01-18 Suzuki Motor Corp ワーク把持装置
JPH06114759A (ja) * 1992-09-30 1994-04-26 Canon Inc 往復直線駆動装置
JPH06255758A (ja) * 1993-03-05 1994-09-13 Shibuya Kogyo Co Ltd 容器の整列装置
JPH07335715A (ja) * 1994-06-09 1995-12-22 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置のカセット搬入／搬出方法及びその装置
JPH0819985A (ja) * 1994-07-04 1996-01-23 Mitsubishi Electric Corp ロボット装置
JPH0991015A (ja) * 1995-09-26 1997-04-04 Central Motor Co Ltd 同期作業ロボット
JPH10189682A (ja) * 1996-12-20 1998-07-21 Daikin Ind Ltd 真空処理装置
JP2000272562A (ja) * 1999-03-24 2000-10-03 Toyota Motor Corp ウインドガラス自動貼付装置
JP2002192487A (ja) * 2000-12-25 2002-07-10 Seiko Epson Corp ピックアンドプレイス装置の制御方法及び該方法を適用したピックアンドプレイス装置

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010140220A1 (ja) * 2009-06-02 2010-12-09 村田機械株式会社 無限駆動媒体を備えた搬送システムとそのキャリアの識別方法並びにキャリア
WO2010140221A1 (ja) * 2009-06-02 2010-12-09 村田機械株式会社 無限駆動媒体を備えた搬送システムとそのキャリブレーション方法、及びキャリアとキャリブレーションユニット
WO2010140219A1 (ja) * 2009-06-02 2010-12-09 村田機械株式会社 無限駆動媒体を備えた搬送システムと、搬送方法
WO2010140218A1 (ja) * 2009-06-02 2010-12-09 村田機械株式会社 無限駆動媒体を備えた搬送システムと、そこでの物品の受け渡し方法
JP5182598B2 (ja) * 2009-06-02 2013-04-17 村田機械株式会社 無限駆動媒体を備えた搬送システムと、そこでの物品の受け渡し方法
US8485343B2 (en) 2009-06-02 2013-07-16 Murata Machinery, Ltd. Conveying system having endless drive medium and conveying method
JP5288338B2 (ja) * 2009-06-02 2013-09-11 村田機械株式会社 無限駆動媒体を備えた搬送システムとそのキャリアの識別方法並びにキャリア
JP5288339B2 (ja) * 2009-06-02 2013-09-11 村田機械株式会社 無限駆動媒体を備えた搬送システムとそのキャリブレーション方法、及びキャリアとキャリブレーションユニット
JP5288337B2 (ja) * 2009-06-02 2013-09-11 村田機械株式会社 無限駆動体を備えた搬送システムと、搬送方法
KR101310132B1 (ko) 2009-06-02 2013-09-23 무라다기카이가부시끼가이샤 무한 구동 매체를 구비한 반송 시스템과 그 캐리어의 식별 방법 및 캐리어
KR101310131B1 (ko) * 2009-06-02 2013-09-23 무라다기카이가부시끼가이샤 무한 구동 매체를 구비한 반송 시스템과 여기에서의 물품 전달 방법
US8567586B2 (en) 2009-06-02 2013-10-29 Murata Machinery, Ltd. Conveying system having endless drive medium, method for identifying carrier thereof, and carrier
KR101373696B1 (ko) * 2009-06-02 2014-03-12 무라다기카이가부시끼가이샤 무한 구동 매체를 구비한 반송 시스템과 반송 방법
US8915695B2 (en) 2009-06-02 2014-12-23 Murata Machinery, Ltd Conveying system having endless drive medium and method for delivering/receiving article therein
JP2020149012A (ja) * 2019-03-15 2020-09-17 キヤノン株式会社 基板処理装置及び物品の製造方法
JP7212558B2 (ja) 2019-03-15 2023-01-25 キヤノン株式会社 基板処理装置、決定方法及び物品の製造方法
KR102940981B1 (ko) 2025-09-11 2026-03-19 (주)엠엑스앤 고정밀 및 저비용의 모듈형 공정 수행 컨베이어 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
EP1396874A2 (en) 2004-03-10
EP1396874A3 (en) 2005-01-12
TWI324582B (en) 2010-05-11
US20060259196A1 (en) 2006-11-16
JP4871985B2 (ja) 2012-02-08
US20070061042A1 (en) 2007-03-15
JP4845337B2 (ja) 2011-12-28
KR101047090B1 (ko) 2011-07-07
US7243003B2 (en) 2007-07-10
TW200416187A (en) 2004-09-01
US7792608B2 (en) 2010-09-07
US20040081538A1 (en) 2004-04-29
US7346431B2 (en) 2008-03-18
KR20040020828A (ko) 2004-03-09
JP2010045386A (ja) 2010-02-25
CN1495850A (zh) 2004-05-12
CN100552870C (zh) 2009-10-21
US7359767B2 (en) 2008-04-15
US20070274813A1 (en) 2007-11-29
CN101217126A (zh) 2008-07-09
CN101217126B (zh) 2011-04-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4871985B2 (ja) 移動中のコンベヤから直接的に基板キャリアをアンロードする基板キャリアハンドラー
US7930061B2 (en) Methods and apparatus for loading and unloading substrate carriers on moving conveyors using feedback
US7527141B2 (en) System for transporting substrate carriers
US7506746B2 (en) System for transporting substrate carriers
US7684895B2 (en) Wafer loading station that automatically retracts from a moving conveyor in response to an unscheduled event
US7168553B2 (en) Dynamically balanced substrate carrier handler
KR101057511B1 (ko) 기판 캐리어 전달용 시스템
US20060263187A1 (en) Method and apparatus for unloading substrate carriers from substrate carrier transport system
WO2008045375A2 (en) Methods and apparatus for loading and unloading substrate carriers on moving conveyors using feedback
CN1683223B (zh) 响应意外事件从移动式传送带自动退回的晶片装载装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060814

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090616

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20090916

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20090924

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20091009

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20091009

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100427

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20100727

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20100730

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100825

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20101130

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20101210

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110125

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110328

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110927

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20111011

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141021

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4845337

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees