JP2007242995A - 積層セラミック電子部品とその製造方法 - Google Patents

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篤志 金澤
Yoshimasa Kanazawa
賢昌 金沢
Tsutomu Onuma
力 大沼
Keiji Kawajiri
圭嗣 川尻
Tomohisa Okimoto
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Abstract

【課題】本発明はメッキ流れによる両端の外部電極間短絡を防止することを目的とするものである。
【解決手段】この目的を達成するために、本発明は内部電極層1を有するセラミック素子3と、このセラミック素子3の外部に設けられ、かつ前記内部電極層1に電気的に接続された外部電極4とを備え、前記セラミック素子3の外表面の内、少なくとも外部電極4部分以外の表面をガラス層5で覆うとともに、このガラス層5上の少なくとも一部分を酸化物層6、または絶縁物層で覆い、かつ前記外部電極4は、メッキ層を有する構成とした。
【選択図】図1

Description

本発明は、例えばセラミックコンデンサや積層バリスター等の積層セラミック電子部品とその製造方法に関するものである。
例えばセラミックコンデンサは、内部電極層を有するセラミック素子と、このセラミック素子の外部に設けられ、かつ前記内部電極層に電気的に接続された外部電極とを備えた構造になっており、前記セラミック素子の外表面のうち、少なくとも外部電極部分以外の表面は、電界メッキを施す際、または腐食雰囲気中での保護を目的として、ガラス層で覆っている。
なお、このような従来の技術に対応する先行文献としては、下記特許文献1が存在する。
特開2000−164406号公報
上述のごとくセラミック素子の外表面の内、少なくとも外部電極部分以外の表面をガラス層で覆えば、このガラス層により電界メッキを施す際、または腐食雰囲気中でのセラミック素子の保護を行うことはできるが、メッキにより前記内部電極層に電気的に接続された外部電極をセラミック素子の両端に形成する時に、これら両端の外部電極間のガラス層にもメッキ層が形成されてしまい(いわゆるメッキ流れ)、これによって両端の外部電極間が短絡されてしまうという問題が発生することがある。
その理由は種々考えられるが、セラミック素子の外表面を覆うガラス層は熱膨張係数の関係であまり肉厚にすることができず、その結果ガラス層上には下面のセラミック素子の表面凸凹形状が略転写され、これによりガラス層上に形成された突出部がメッキの核となり、上述のごとく両端の外部電極間のガラス層にもメッキ層が形成されてしまい(いわゆるメッキ流れ)、これによって両端の外部電極間が短絡されてしまうという問題が発生することがあげられる。
そこで本発明はいわゆるメッキ流れによる両端の外部電極間短絡を防止することを目的とするものである。
そしてこの目的を達成するために、本発明は、内部電極層を有するセラミック素子と、このセラミック素子の外部に設けられ、かつ前記内部電極層に電気的に接続された外部電極とを備え、前記セラミック素子の外表面の内、少なくとも外部電極部分以外の表面をガラス層で覆うとともに、このガラス層上の少なくとも一部分を酸化物層、または絶縁物層で覆い、かつ前記外部電極は、メッキ層を有する構成としたものである。
以上のように本発明は、セラミック素子の外表面の内、少なくとも外部電極部分以外の表面をガラス層で覆うとともに、このガラス層上の少なくとも一部分を酸化物層、または絶縁物層で覆ったものであるので、ガラス層上に転写された凹凸を小さくし、メッキの核となる突出部を実質的に無くすことができるので、いわゆるメッキ流れによる両端の外部電極間短絡を防止することができる。
(実施の形態1)
以下、本発明の一実施の形態を、積層セラミック電子部品の一例として、積層バリスターに適用したものを、添付図面を用いて説明する。
図1に示すごとく本実施形態の積層バリスターは、Pdよりなる内部電極層1とバリスター層2を有するセラミック素子3と、このセラミック素子3の外部に設けられ、かつ前記内部電極層1に電気的に接続された外部電極4とを備えている。
前記セラミック素子3の外表面はガラス層5で覆われ、さらにこのガラス層5の外表面は酸化物層6で覆われている。酸化物層6は本実施形態ではZnOを主成分とするもので形成され、これは後で詳述するが、バリスター層2をZnOを主成分とし、これにCoやCr等を微量添加して形成したことに起因している。
さて上記内部電極層1はこれらのガラス層5と酸化物層6を貫通し、外部電極4に電気的に接続されているのであるが、一方外部電極4は下面の塗布によるAg層7とその上面にメッキにより形成したNi層8、その上面にメッキにより形成したSn層9から形成されている。
図2はセラミック素子3の外表面の一部分を拡大したもので、上述のごとくセラミック素子3の外表面はガラス層5で覆われ、さらにこのガラス層5の外表面は酸化物層6で覆われている。この内ガラス層5は酸化ケイ素系のガラス層となっており、このガラス層5は熱膨張係数の関係であまり肉厚にすることができず、その結果ガラス層5上には下面のセラミック素子3の表面凸凹形状が略転写され、これによりガラス層5上に突出部が形成されている。
しかしながら本実施形態ではこのガラス層5上に酸化物層6が形成され、この酸化物層6はガラス層5(0.1ミクロン)よりも遥かに肉厚の0.3〜0.5ミクロンとしているので、後の製造方法中で詳述するが、酸化物層6上には、もはやメッキの核となる突出部を実質的に無くすことができ、いわゆるメッキ流れによる両端の外部電極4間短絡を防止することができる。
図3は製造方法を示すもので、先ずZnOを主成分とし、これにCoやCr等を微量添加したバリスター材料を作製する(A)。
次にこのバリスター材料に有機バインダーや可塑剤を混入した状態でスラリー化を行う(B)。
その後このスラリーを用いてグリーンシートを作製し(C)、このグリーンシート上に図1の内部電極層1を印刷形成する。
次に内部電極層1付きのグリーンシートを積層し(D)、その後個片に分断後、成形体の面取り(E)をして成形体の両端に内部電極層1を露出させ、次に脱脂、焼成し(F)、その後外表面に樹脂を含浸し(G)、次にこの状態のセラミック素子3を、パーヒドロポリシラザンを主成分としたガラスコーティング溶液(AZエレクトリックマテリアス株式会社製)中に浸漬(H)し、その後ガラスコーティング溶液からセラミック素子3を引き上げ、450度で熱処理する。
この結果セラミック素子3の外表面は図1、図2のごとくガラス層5で覆われ、さらにこのガラス層5の外表面は酸化物層6で覆われている。このうちガラス層5は酸化ケイ素を主成分として形成されたもので、また酸化物層6は本実施形態ではZnOを主成分とするもので形成されている。
これは、バリスター層2がZnOを主成分とし、これにCoやCr等を微量添加して形成したものであり、これを上述のガラスコーティング溶液に浸漬した場合ZnO成分の一部が溶出し、その状態でガラスコーティング溶液から引き上げ、450度で熱処理すると、セラミック素子3の外表面は図1、図2のごとくガラス層5で覆われ、さらにこのガラス層5の外表面は酸化物層6で覆われた状態となる。
そしてこのようにして本実施形態では、このガラス層5上に酸化物層6が形成され、この酸化物層6はガラス層5(0.1ミクロン)よりも遥かに肉厚の0.3〜0.5ミクロンとなっているので、酸化物層6上には、もはやメッキの核となる突出部を実質的に無くすことができ、いわゆるメッキ流れによる両端の外部電極4間短絡を防止することができる。
つまりその後外部電極4として、まず塗布によりAg層7が形成され(I)、その後図4のメッキ装置を用いて、Ni層8とSn層9がメッキ形成される(J)。
図4に示すメッキ装置は、容器10中にメッキ液11とメッキ容器12を入れ、メッキ容器12中に図3の(I工程)後のセラミック素子3とスチールボール13を多数入れ、メッキ容器12を回転させながら電源14から陽極15にプラス、メッキ容器12にマイナスを印加してNi層8とSn層9を順番にメッキ形成する。
このメッキ時、本実施形態では、このガラス層5上に酸化物層6が形成され、この酸化物層6はガラス層5(0.1ミクロン)よりも遥かに肉厚の0.3〜0.5ミクロンとなっているので、酸化物層6上には、もはやメッキの核となる突出部を実質的に無くすことができ、この結果としていわゆるメッキ流れによる両端の外部電極4間短絡を防止することができる。
なお、本実施形態では、このガラス層5上に酸化物層6を形成したものを説明したが、この酸化物層6に代えて絶縁物層を設け、メッキの核となる突出部を実質的に無くし、いわゆるメッキ流れによる両端の外部電極4間短絡を防止するようにしても良い。
以上のように本発明はセラミック素子の外表面の内、少なくとも外部電極部分以外の表面をガラス層で覆うとともに、このガラス層上の少なくとも一部分を酸化物層、または絶縁物層で覆ったものであるので、ガラス層上に転写された凹凸を小さくし、メッキの核となる突出部を実質的に無くすことができるので、いわゆるメッキ流れによる両端の外部電極間短絡を防止することができ、各種積層セラミック部品に広く適用することができるものである。
本発明の一実施の形態における断面図 本発明の一実施の形態の一部拡大断面図 本発明の一実施の形態の製造工程を示す図 本発明の一実施の形態の製造工程を示す断面図
符号の説明
1 内部電極層
2 バリスター層
3 セラミック素子
4 外部電極
5 ガラス層
6 酸化物層
7 Ag層
8 Ni層

Claims (7)

  1. 内部電極層を有するセラミック素子と、このセラミック素子の外部に設けられ、かつ前記内部電極層に電気的に接続された外部電極とを備え、前記セラミック素子の外表面の内、少なくとも外部電極部分以外の表面をガラス層で覆うとともに、このガラス層上の少なくとも一部分を酸化物層、または絶縁物層で覆い、かつ前記外部電極は、メッキ層を有する積層セラミック電子部品。
  2. 酸化物層、または絶縁物層は、ガラス層よりも肉厚とした請求項1に記載の積層セラミック電子部品。
  3. 酸化物層、または絶縁物層はセラミック素子の主要成分と同じものとした請求項1、または2に記載の積層セラミック電子部品。
  4. 酸化物層、または絶縁物層と、セラミック素子とは、酸化亜鉛を主成分として形成された請求項1〜3のいずれか一つに記載の積層セラミック電子部品。
  5. 内部電極層を有する焼結済みのセラミック素子をガラスコーティング溶液中に浸漬し、次にガラスコーティング溶液中から取り出したセラミック素子を熱処理してこのセラミック素子の外表面をガラス層で覆うとともに、このガラス層上の少なくとも一部分を酸化物層、または絶縁物層で覆い、その後メッキにより前記内部電極層に電気的に接続された外部電極を形成する積層セラミック電子部品の製造方法。
  6. 外部電極は銀電極層上にメッキ層を設けて形成した請求項5に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
  7. セラミック素子は酸化亜鉛を主成分として形成し、ガラスコーティング溶液はパーヒドロポリシラザンを主成分とした請求項5または6に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
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Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009177085A (ja) * 2008-01-28 2009-08-06 Tdk Corp セラミック素子
JP2010027730A (ja) * 2008-07-16 2010-02-04 Tdk Corp セラミック積層電子部品およびその製造方法
JP2010080703A (ja) * 2008-09-26 2010-04-08 Tdk Corp セラミック積層電子部品およびその製造方法
JP2012230973A (ja) * 2011-04-25 2012-11-22 Kyocera Corp 積層セラミックコンデンサ
CN102891006A (zh) * 2011-07-20 2013-01-23 Tdk株式会社 电子部件及电子部件的制造方法
CN103325567A (zh) * 2012-03-20 2013-09-25 三星电机株式会社 多层陶瓷电子元件及其制备方法
CN103903856A (zh) * 2012-12-25 2014-07-02 株式会社村田制作所 层叠陶瓷电子部件
JP2015204337A (ja) * 2014-04-11 2015-11-16 アルプス・グリーンデバイス株式会社 電子部品、電子部品の製造方法および電子機器
JP2016076559A (ja) * 2014-10-03 2016-05-12 アルプス・グリーンデバイス株式会社 インダクタンス素子および電子機器
WO2016085004A1 (ko) * 2014-11-28 2016-06-02 홍익대학교 산학협력단 나노 박막층을 구비하는 적층 세라믹 칩 부품과 이의 제조 방법 및 이를 위한 원자층 증착 장치
US20170309389A1 (en) * 2016-04-21 2017-10-26 Tdk Corporation Electronic component
KR20190033433A (ko) 2017-09-21 2019-03-29 다이요 유덴 가부시키가이샤 세라믹 전자 부품 및 그 제조 방법
JP2019057705A (ja) * 2017-09-21 2019-04-11 太陽誘電株式会社 セラミック電子部品およびその製造方法
JPWO2022113822A1 (ja) * 2020-11-25 2022-06-02
JP2023036767A (ja) * 2016-09-08 2023-03-14 モダ-イノチップス シーオー エルティディー パワーインダクター
JP2023071558A (ja) * 2021-11-11 2023-05-23 パナソニックIpマネジメント株式会社 積層バリスタ及びその製造方法
JP2023142120A (ja) * 2022-03-24 2023-10-05 パナソニックIpマネジメント株式会社 積層セラミック部品の製造方法及び積層セラミック部品
WO2024079963A1 (ja) * 2022-10-12 2024-04-18 株式会社村田製作所 電子部品及び成膜方法
WO2025089298A1 (ja) * 2023-10-25 2025-05-01 株式会社村田製作所 電子部品、保護膜の成膜方法、及び電子部品の製造方法

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03173402A (ja) * 1989-12-02 1991-07-26 Murata Mfg Co Ltd チップバリスタ
JPH03204917A (ja) * 1989-12-29 1991-09-06 Tonen Corp セラミックコンデンサー
JPH0438801A (ja) * 1990-06-04 1992-02-10 Tonen Corp サーミスタ
JPH0547510A (ja) * 1991-08-20 1993-02-26 Murata Mfg Co Ltd チツプバリスタ
JPH0696907A (ja) * 1992-09-11 1994-04-08 Murata Mfg Co Ltd チップバリスタの製造方法
JPH08330106A (ja) * 1995-05-31 1996-12-13 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子部品とその製造方法
JP2000164406A (ja) * 1998-11-25 2000-06-16 Murata Mfg Co Ltd チップ型電子部品とその製造方法
JP2000323256A (ja) * 1999-05-13 2000-11-24 Sakurai New Research:Kk 避雷器エレメント
JP2001026415A (ja) * 1999-07-13 2001-01-30 Tonengeneral Sekiyu Kk 低誘電率多孔質シリカ質膜、半導体装置およびコーティング組成物
JP2004015016A (ja) * 2002-06-11 2004-01-15 Murata Mfg Co Ltd チップ型電子部品及びチップ型電子部品の製造方法

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03173402A (ja) * 1989-12-02 1991-07-26 Murata Mfg Co Ltd チップバリスタ
JPH03204917A (ja) * 1989-12-29 1991-09-06 Tonen Corp セラミックコンデンサー
JPH0438801A (ja) * 1990-06-04 1992-02-10 Tonen Corp サーミスタ
JPH0547510A (ja) * 1991-08-20 1993-02-26 Murata Mfg Co Ltd チツプバリスタ
JPH0696907A (ja) * 1992-09-11 1994-04-08 Murata Mfg Co Ltd チップバリスタの製造方法
JPH08330106A (ja) * 1995-05-31 1996-12-13 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子部品とその製造方法
JP2000164406A (ja) * 1998-11-25 2000-06-16 Murata Mfg Co Ltd チップ型電子部品とその製造方法
JP2000323256A (ja) * 1999-05-13 2000-11-24 Sakurai New Research:Kk 避雷器エレメント
JP2001026415A (ja) * 1999-07-13 2001-01-30 Tonengeneral Sekiyu Kk 低誘電率多孔質シリカ質膜、半導体装置およびコーティング組成物
JP2004015016A (ja) * 2002-06-11 2004-01-15 Murata Mfg Co Ltd チップ型電子部品及びチップ型電子部品の製造方法

Cited By (42)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7813104B2 (en) 2008-01-28 2010-10-12 Tdk Corporation Ceramic element
KR101055161B1 (ko) * 2008-01-28 2011-08-08 티디케이가부시기가이샤 세라믹 소자
JP2009177085A (ja) * 2008-01-28 2009-08-06 Tdk Corp セラミック素子
JP2010027730A (ja) * 2008-07-16 2010-02-04 Tdk Corp セラミック積層電子部品およびその製造方法
JP2010080703A (ja) * 2008-09-26 2010-04-08 Tdk Corp セラミック積層電子部品およびその製造方法
JP2012230973A (ja) * 2011-04-25 2012-11-22 Kyocera Corp 積層セラミックコンデンサ
CN102891006A (zh) * 2011-07-20 2013-01-23 Tdk株式会社 电子部件及电子部件的制造方法
CN107230549A (zh) * 2012-03-20 2017-10-03 三星电机株式会社 多层陶瓷电子元件及其制备方法
CN103325567A (zh) * 2012-03-20 2013-09-25 三星电机株式会社 多层陶瓷电子元件及其制备方法
US20130250480A1 (en) * 2012-03-20 2013-09-26 Samsung Electro-Mechanics Multi-layer ceramic electronic component and method of manufacturing the same
CN107230549B (zh) * 2012-03-20 2019-09-06 三星电机株式会社 多层陶瓷电子元件及其制备方法
JP2014127504A (ja) * 2012-12-25 2014-07-07 Murata Mfg Co Ltd 積層セラミック電子部品
KR101570204B1 (ko) * 2012-12-25 2015-11-18 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 적층 세라믹 전자부품
US9336948B2 (en) 2012-12-25 2016-05-10 Murata Manufacturing Co., Ltd. Laminated ceramic electronic component
CN103903856A (zh) * 2012-12-25 2014-07-02 株式会社村田制作所 层叠陶瓷电子部件
JP2015204337A (ja) * 2014-04-11 2015-11-16 アルプス・グリーンデバイス株式会社 電子部品、電子部品の製造方法および電子機器
JP2016076559A (ja) * 2014-10-03 2016-05-12 アルプス・グリーンデバイス株式会社 インダクタンス素子および電子機器
WO2016085004A1 (ko) * 2014-11-28 2016-06-02 홍익대학교 산학협력단 나노 박막층을 구비하는 적층 세라믹 칩 부품과 이의 제조 방법 및 이를 위한 원자층 증착 장치
US10513433B2 (en) 2014-11-28 2019-12-24 Hongik University Industry-Academic Corporation Foundation Laminated ceramic chip component including nano thin film layer, manufacturing method therefor, and atomic layer vapor deposition apparatus therefor
US20170309389A1 (en) * 2016-04-21 2017-10-26 Tdk Corporation Electronic component
US12224104B2 (en) 2016-04-21 2025-02-11 Tdk Corporation Electronic component
US10541078B2 (en) * 2016-04-21 2020-01-21 Tdk Corporation Electronic component
US11482371B2 (en) 2016-04-21 2022-10-25 Tdk Corporation Electronic component
JP2023036767A (ja) * 2016-09-08 2023-03-14 モダ-イノチップス シーオー エルティディー パワーインダクター
JP7499316B2 (ja) 2016-09-08 2024-06-13 モダ-イノチップス シーオー エルティディー パワーインダクター
JP7105615B2 (ja) 2017-09-21 2022-07-25 太陽誘電株式会社 セラミック電子部品およびその製造方法
CN109545551B (zh) * 2017-09-21 2022-08-30 太阳诱电株式会社 陶瓷电子器件和陶瓷电子器件的制造方法
JP2019057705A (ja) * 2017-09-21 2019-04-11 太陽誘電株式会社 セラミック電子部品およびその製造方法
CN109545551A (zh) * 2017-09-21 2019-03-29 太阳诱电株式会社 陶瓷电子器件和陶瓷电子器件的制造方法
KR102527062B1 (ko) 2017-09-21 2023-05-02 다이요 유덴 가부시키가이샤 세라믹 전자 부품 및 그 제조 방법
US10607782B2 (en) 2017-09-21 2020-03-31 Taiyo Yuden Co., Ltd. Ceramic electronic device and manufacturing method of ceramic electronic device
KR20190033433A (ko) 2017-09-21 2019-03-29 다이요 유덴 가부시키가이샤 세라믹 전자 부품 및 그 제조 방법
JPWO2022113822A1 (ja) * 2020-11-25 2022-06-02
WO2022113822A1 (ja) * 2020-11-25 2022-06-02 パナソニックIpマネジメント株式会社 積層バリスタおよびその製造方法
US12580105B2 (en) 2020-11-25 2026-03-17 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Multilayer varistor and method for manufacturing the same
JP2023071558A (ja) * 2021-11-11 2023-05-23 パナソニックIpマネジメント株式会社 積層バリスタ及びその製造方法
US12400774B2 (en) 2021-11-11 2025-08-26 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Multilayer varistor and method of manufacturing the same
JP7818216B2 (ja) 2021-11-11 2026-02-20 パナソニックIpマネジメント株式会社 積層バリスタ及びその製造方法
JP2023142120A (ja) * 2022-03-24 2023-10-05 パナソニックIpマネジメント株式会社 積層セラミック部品の製造方法及び積層セラミック部品
JP7529182B1 (ja) * 2022-10-12 2024-08-06 株式会社村田製作所 電子部品及び成膜方法
WO2024079963A1 (ja) * 2022-10-12 2024-04-18 株式会社村田製作所 電子部品及び成膜方法
WO2025089298A1 (ja) * 2023-10-25 2025-05-01 株式会社村田製作所 電子部品、保護膜の成膜方法、及び電子部品の製造方法

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