JP2012502182A5 - 耐火金属粉末の動的水素化 - Google Patents

耐火金属粉末の動的水素化 Download PDF

Info

Publication number
JP2012502182A5
JP2012502182A5 JP2011526142A JP2011526142A JP2012502182A5 JP 2012502182 A5 JP2012502182 A5 JP 2012502182A5 JP 2011526142 A JP2011526142 A JP 2011526142A JP 2011526142 A JP2011526142 A JP 2011526142A JP 2012502182 A5 JP2012502182 A5 JP 2012502182A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
powder
metal
metal powder
nozzle
cooling
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2011526142A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5389176B2 (ja
JP2012502182A (ja
Filing date
Publication date
Priority claimed from US12/206,944 external-priority patent/US8246903B2/en
Application filed filed Critical
Publication of JP2012502182A publication Critical patent/JP2012502182A/ja
Publication of JP2012502182A5 publication Critical patent/JP2012502182A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5389176B2 publication Critical patent/JP5389176B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Description

多くの耐金属粉末(Ta、Nb、Ti、Zrなど)は、特定の材料の鋳塊を水素化することによって作られる。水素化は金属を脆化させ、微粉に粉化または粉砕されやすくする。そしてこの粉末がトレイにのせられ、真空容器内に置かれ、バッチプロセスにおいて真空下で、水素化物が分解し、水素が排除される温度にまで高められる。原理上、水素が除去されると粉末はその延性および他の望ましい機械的性質を回復する。しかし、水素の除去においては、金属粉末が、酸素付着に対して高反応性および高感度となりうる。粉末がより微細であるほど、全表面積がより大きくなり、したがって粉末が酸素付着に対してより高反応性および高感度となる。脱水素化および真のTa粉末への変換後およそ10〜44ミクロンのサイズのタンタル粉末では、酸素付着は300ppm、およびそれ以上でありうる。この量の酸素は、再び材料を脆化させ、その有用な用途を大きく減じうる。
本発明者は、非常に短い時間枠(十分の数秒またはさらにそれ以下)で、直接タンタル水素化物粉末から直接タンタルのバルク片に移行させる方法を発見した。これは、従来の静的な、バッチ処理とは対照的に、動的な連続プロセスにおいて行われる。プロセスは、真空とは対照的に、正圧で、好ましくは高圧で実行される。脱水素化プロセスは、完全に不活性な環境において粉末粒子ごと(on a powder particle by
powder particle basis)に起き、脱水素化プロセスの終了後すぐに固化が起きる。固化すると、微粉がバルク物体へ固化することに伴い起きる表面積の大きな縮小により、酸素付着の問題が除去される。
上記課題を解決するために、本発明は、例えば、以下を提供する:
(項目1)
金属粉末を脱水素化するためのデバイスであって、
該粉末からの水素の拡散を可能にする高温ゾーンであって、下流の開口部と、該粉末による該水素の実質的再吸収(re‐absorbtion)を防ぐための冷却チャンバとに連絡する、高温ゾーンと、
該冷却チャンバから下流の基材であって、該基材上に該粉末が衝突して高密度沈着物を構築し、該金属粉末を動的に脱水素化し、前記粉末を高密度金属に固化させる、基材と
を備えるデバイス。
(項目2)
前記高温ゾーンが、前記金属粉末を完全に加熱された状態に保つために別個の予熱チャンバ内にある、上記項目に記載のデバイス。
(項目3)
前記冷却チャンバが、ジュールトムソン効果により冷却を引き起こす、上記項目のいずれかに記載のデバイス。
(項目4)
収束/発散ノズルを備える上記項目のいずれかに記載のデバイスであって、該収束/発散ノズルは、収束セクションであって、該収束セクションの上流端に入口を伴う収束セクションと、発散セクションであって、該発散セクションの下流端に出口を伴う発散セクションとを有し、該収束セクションおよび該発散セクションが、前記開口部を通じて互いに連絡し、前記予熱チャンバが該入口に位置し、前記基材が該出口およびその付近に位置し、該発散セクションが該冷却チャンバを備える、デバイス。
(項目5)
前記予熱チャンバおよび前記ノズルが、前記粉末を送るための不活性キャリヤガスの使用により作られる不活性雰囲気を有する、上記項目のいずれかに記載のデバイス。
(項目6)
前記予熱チャンバおよび前記ノズルが、正圧下にある、上記項目のいずれかに記載のデバイス。
(項目7)
前記予熱チャンバ内に位置する目的で、金属および合金粉末のソースを含む、上記項目のいずれかに記載のデバイス。
(項目8)
別個の予熱チャンバが必要でない、上記項目のいずれかに記載のデバイス。
(項目9)
基材がなく、前記粉末が密でない粉末として収集される、上記項目のいずれかに記載のデバイス。
(項目10)
前記粉末が不活性または非反応性雰囲気下で作製および収集されるように、チャンバが提供される、上記項目のいずれかに記載のデバイス。
(項目11)
金属粉末を脱水素化するためのプロセスであり、該金属粉末が脱水素化され、バルク固体の形に直接堆積され、該プロセスが、該粉末を高温ゾーンに配置するステップと、該粉末からの水素の拡散を可能にするのに十分な時間、該粉末を該高温ゾーンにおいて完全に加熱された状態に保つステップと、該粉末による前記水素の実質的再吸収を防ぐのに十分に短い滞留時間の間に、冷却チャンバに該粉末を冷却するステップと、基材上への衝突により、該基材上に高密度固体の形の沈着物を構築することにより、該粉末を固化させるステップとを包含する、プロセス。
(項目12)
前記プロセスが、連続プロセスである、上記項目のいずれかに記載のプロセス。
(項目13)
前記高温ゾーンが、収束/発散ノズルの入口に位置する予熱チャンバ内にあり、前記冷却チャンバが、該ノズルの該発散セクション内にあり、前記基材が、該ノズルの出口に位置し、不活性キャリヤガスにより該ノズルを通して該予熱チャンバから前記粉末を送ることにより、該予熱チャンバおよび該ノズル内に不活性雰囲気が作られる、上記項目のいずれかに記載のプロセス。
(項目14)
前記粉末が、正圧条件下に導かれ、脱水素化が粉末粒子ごとに急速に起き、該脱水素化プロセス終了後すぐに固化が起きる、上記項目のいずれかに記載のプロセス。
(項目15)
前記粉末を冷却するステップが、ジュールトムソン効果に起因して、前記冷却チャンバ内の温度を急速に低下させる、上記項目のいずれかに記載のプロセス。
(項目16)
前記ノズルの前記収束セクションにおいて、前記プロセスの最初の急速な拡散および低い溶解度から、遅い拡散および高い溶解度への移行があり、前記キャリヤガスおよび粒子の温度が、前記発散セクションの冷却チャンバ内で低下し、該キャリヤガス/粒子の速度が該冷却チャンバ内で増加する、上記項目のいずれかに記載のプロセス。
(項目17)
前記粉末が、一つのステップ中で脱水素化されて高密度バルク固体に堆積される、上記項目のいずれかに記載のプロセス。
(項目18)
前記耐金属粉末が、水素化物を形成するTa、Nb、TiおよびVからなる群より選択される、金属および合金粉末である、上記項目のいずれかに記載のプロセス。
(項目19)
前記金属粉末が、酸素含有量が200ppm未満である高密度金属に固化させられる、上記項目のいずれかに記載のプロセス。
(項目20)
前記酸素含有量が、150ppm未満である、上記項目のいずれかに記載のプロセス。(項目21)
前記粉末が、0.01秒以下の時間枠で、タンタルのバルク片に直接変換されるタンタル水素化物である、上記項目のいずれかに記載のプロセス。
(項目22)
基材がなく、前記粉末が、密でない粉末として収集される、上記項目のいずれかに記載のプロセス。
(項目23)
別個の予熱チャンバが使用されない、上記項目のいずれかに記載のプロセス。
本発明の一態様は、広くプロセスに関しており、本発明の別の態様は、耐金属粉末を脱水素化するデバイスに関する。このようなデバイスは、粉末から水素が拡散できるように高温ゾーンにおいて金属粉末を完全に加熱された状態に保つための予熱チャンバを、収束/発散ノズルの入口に備える。ノズルは、デバイスの発散部分において、開口部から下流に冷却チャンバを備える。この冷却チャンバにおいては、温度が急速に減少するとともに、ガス/粒子(すなわちキャリヤガスおよび粉末)の速度が急速に増加する。粉末による水素の実質的再吸収が防止される。最後に、ノズルの出口にある基材上に粉末が衝突させられ、高密度沈着物を構築して、金属粉末が動的に脱水素化され、基材上で高密度金属に固化させられる。

Claims (14)

  1. 脱水素化のための方法であって、該方法は以下:
    金属水素化物粉末を収束‐発散ノズルに供給する工程;
    該収束‐発散ノズル内で、予熱チャンバにて該金属水素化物粉末を加熱して、該金属水素化物粉末の水素含有量を減少させ、それによって水素を含まない金属粉末を形成する工程;
    該収束‐発散ノズル内で、該金属粉末中への水素の再吸収を防ぐのに十分に短い冷却時間で、該予熱チャンバと連絡している冷却チャンバにて該金属粉末を冷却する工程;ならびに
    該金属粉末を基材上に該収束‐発散ノズルから噴霧して固体沈着物を形成する工程
    を包含する、方法。
  2. 前記冷却チャンバの出口と前記基材との間の距離が10mm未満である、請求項に記載の方法。
  3. 前記金属水素化物粉末を加熱する工程および前記金属粉末を冷却する工程が不活性ガスの正圧下で実行される、請求項1に記載の方法。
  4. 前記金属水素化物粉末の水素含有量が、加熱前では3900ppmを超える、請求項1に記載の方法。
  5. 前記金属粉末の水素含有量が、噴霧後では100ppm未満である、請求項1に記載の方法。
  6. 前記金属粉末の水素含有量は、噴霧後では50ppm未満である、請求項に記載の方法。
  7. 前記金属水素化物粉末が耐金属水素化物粉末を含む、請求項1に記載の方法。
  8. 前記固体沈着物の酸素含有量が200ppm未満である、請求項1に記載の方法。
  9. 前記金属粉末が冷却スプレーにより噴霧される、請求項1に記載の方法。
  10. 前記金属粉末の酸素含有量が冷却中は増加しない、請求項1に記載の方法。
  11. 脱水素化デバイスであって、以下:
    収束‐発散ノズル内の、金属水素化物粉末を加熱して、該金属水素化物粉末の水素含有量を減少させ、それによって水素を含まない金属粉末を形成するための予熱チャンバであって、該収束‐発散ノズルの収束部分である予熱チャンバ;ならびに
    該収束‐発散ノズル内の、該金属粉末を該予熱チャンバから受容するための冷却チャンバであって、該収束‐発散ノズルの発散部分であり、そして、該金属粉末中への水素の再吸収を防ぐのに十分に短い冷却時間で、該金属粉末を冷却するよう作動する、冷却チャンバ;ならびに
    基材であって、該基材上に該金属粉末が該収束‐発散ノズルから噴霧されて固体沈着物を形成する、基材
    を備える、デバイス。
  12. 前記予熱チャンバから前記冷却チャンバまでの、前記金属粉末が進む方向に沿った該予熱チャンバの長さが、少なくとも0.074mmである、請求項11に記載の脱水素化デバイス。
  13. 前記予熱チャンバの長さが、少なくとも1.382mmである、請求項12に記載の脱水素化デバイス。
  14. 前記予熱チャンバおよび前記冷却チャンバ内に不活性ガスをさらに含む、請求項11に記載の脱水素化デバイス。
JP2011526142A 2008-09-09 2009-09-02 耐火金属粉末の動的水素化 Expired - Fee Related JP5389176B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US12/206,944 2008-09-09
US12/206,944 US8246903B2 (en) 2008-09-09 2008-09-09 Dynamic dehydriding of refractory metal powders
PCT/US2009/055691 WO2010030543A1 (en) 2008-09-09 2009-09-02 Dynamic dehydriding of refractory metal powders

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2012502182A JP2012502182A (ja) 2012-01-26
JP2012502182A5 true JP2012502182A5 (ja) 2013-10-03
JP5389176B2 JP5389176B2 (ja) 2014-01-15

Family

ID=41799477

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011526142A Expired - Fee Related JP5389176B2 (ja) 2008-09-09 2009-09-02 耐火金属粉末の動的水素化

Country Status (6)

Country Link
US (3) US8246903B2 (ja)
EP (1) EP2328701B1 (ja)
JP (1) JP5389176B2 (ja)
KR (1) KR101310480B1 (ja)
CA (1) CA2736876C (ja)
WO (1) WO2010030543A1 (ja)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101368262B (zh) * 2005-05-05 2012-06-06 H.C.施塔克有限公司 向表面施加涂层的方法
US8802191B2 (en) * 2005-05-05 2014-08-12 H. C. Starck Gmbh Method for coating a substrate surface and coated product
US20080078268A1 (en) 2006-10-03 2008-04-03 H.C. Starck Inc. Process for preparing metal powders having low oxygen content, powders so-produced and uses thereof
AU2007317650B2 (en) * 2006-11-07 2012-06-14 H.C. Starck Surface Technology and Ceramic Powders GmbH Method for coating a substrate and coated product
US20080145688A1 (en) 2006-12-13 2008-06-19 H.C. Starck Inc. Method of joining tantalum clade steel structures
US8197894B2 (en) * 2007-05-04 2012-06-12 H.C. Starck Gmbh Methods of forming sputtering targets
US8246903B2 (en) 2008-09-09 2012-08-21 H.C. Starck Inc. Dynamic dehydriding of refractory metal powders
US8043655B2 (en) * 2008-10-06 2011-10-25 H.C. Starck, Inc. Low-energy method of manufacturing bulk metallic structures with submicron grain sizes
EP2503026A1 (de) 2011-03-21 2012-09-26 MTU Aero Engines GmbH Verfahren zum Reparieren einer Schicht auf einem Substrat
US9412568B2 (en) 2011-09-29 2016-08-09 H.C. Starck, Inc. Large-area sputtering targets
KR20230019411A (ko) * 2020-05-29 2023-02-08 오를리콘 메트코 (유에스) 아이엔씨. 브레이징 합금 분말 제조를 위한 hdh(수소화-탈수소화) 공정
KR102649715B1 (ko) * 2020-10-30 2024-03-21 세메스 주식회사 표면 처리 장치 및 표면 처리 방법

Family Cites Families (343)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3436299A (en) 1965-12-17 1969-04-01 Celanese Corp Polymer bonding
CH515996A (de) * 1968-06-06 1971-11-30 Starck Hermann C Fa Verfahren zur Herstellung von hochreinem Niob und/oder Tantal
US3990784A (en) 1974-06-05 1976-11-09 Optical Coating Laboratory, Inc. Coated architectural glass system and method
US4011981A (en) 1975-03-27 1977-03-15 Olin Corporation Process for bonding titanium, tantalum, and alloys thereof
US4028787A (en) 1975-09-15 1977-06-14 Cretella Salvatore Refurbished turbine vanes and method of refurbishment thereof
US4050133A (en) 1976-06-07 1977-09-27 Cretella Salvatore Method of refurbishing turbine vanes and the like
US4059442A (en) 1976-08-09 1977-11-22 Sprague Electric Company Method for making a porous tantalum pellet
US4073427A (en) 1976-10-07 1978-02-14 Fansteel Inc. Lined equipment with triclad wall construction
US4140172A (en) 1976-12-23 1979-02-20 Fansteel Inc. Liners and tube supports for industrial and chemical process equipment
JPS5467198A (en) 1977-11-07 1979-05-30 Kawasaki Heavy Ind Ltd Anti-corrosion material for high temperature weak oxidation atmosphere
US4135286A (en) 1977-12-22 1979-01-23 United Technologies Corporation Sputtering target fabrication method
US4291104A (en) 1978-04-17 1981-09-22 Fansteel Inc. Brazed corrosion resistant lined equipment
US4178987A (en) * 1978-07-12 1979-12-18 Standard Oil Company, A Corporation Of Indiana Moving bed hydride/dehydride systems
US4202932A (en) 1978-07-21 1980-05-13 Xerox Corporation Magnetic recording medium
US4209375A (en) 1979-08-02 1980-06-24 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Sputter target
US4349954A (en) 1980-11-26 1982-09-21 The United States Of America As Represented By The United States National Aeronautics And Space Administration Mechanical bonding of metal method
SE434353B (sv) 1981-02-06 1984-07-23 Nyby Uddeholm Ab Poros sinterkropp med god korrosionsbestendighet och sett att framstella denna
DE3130392C2 (de) 1981-07-31 1985-10-17 Hermann C. Starck Berlin, 1000 Berlin Verfahren zur Herstellung reiner agglomerierter Ventilmetallpulver für Elektrolytkondensatoren, deren Verwendung und Verfahren zur Herstellung von Sinteranoden
US4510171A (en) 1981-09-11 1985-04-09 Monsanto Company Clad metal joint closure
US4459062A (en) 1981-09-11 1984-07-10 Monsanto Company Clad metal joint closure
US4425483A (en) 1981-10-13 1984-01-10 Northern Telecom Limited Echo cancellation using transversal filters
CA1202599A (en) 1982-06-10 1986-04-01 Michael G. Down Upgrading titanium, zirconium and hafnium powders by plasma processing
JPS5920470A (ja) 1982-07-26 1984-02-02 Murata Mfg Co Ltd スパツタリング用タ−ゲツト
DE3309891A1 (de) 1983-03-18 1984-10-31 Hermann C. Starck Berlin, 1000 Berlin Verfahren zur herstellung von ventilmetallanoden fuer elektrolytkondensatoren
US4508563A (en) 1984-03-19 1985-04-02 Sprague Electric Company Reducing the oxygen content of tantalum
US4818559A (en) * 1985-08-08 1989-04-04 Sumitomo Chemical Company, Limited Method for producing endosseous implants
US4818629A (en) 1985-08-26 1989-04-04 Fansteel Inc. Joint construction for lined equipment
JPS62230967A (ja) 1986-03-31 1987-10-09 Mitsubishi Metal Corp 光磁気記録薄膜の形成に用いられた強磁性材製使用済みターゲットの再生方法
JPS6335769A (ja) 1986-07-29 1988-02-16 Seiko Epson Corp スパツタリング用タ−ゲツト
JPS6383243A (ja) * 1986-09-26 1988-04-13 Tdk Corp 希土類−鉄−ホウ素系焼結磁石の製造方法
JPS63100177A (ja) 1986-10-15 1988-05-02 Seiko Epson Corp スパツタリング用タ−ゲツト
BR8702042A (pt) 1986-12-22 1988-07-12 Kawasaki Steel Co Aparelho e processo para recobrimento por aspersao de um material refratario sobre uma construcao refrataria
CH669609A5 (ja) 1986-12-23 1989-03-31 Balzers Hochvakuum
US4722756A (en) 1987-02-27 1988-02-02 Cabot Corp Method for deoxidizing tantalum material
US4731111A (en) 1987-03-16 1988-03-15 Gte Products Corporation Hydrometallurical process for producing finely divided spherical refractory metal based powders
JPS63227774A (ja) 1987-03-16 1988-09-22 Seiko Epson Corp スパツタリング用タ−ゲツト
US4851262A (en) * 1987-05-27 1989-07-25 Carnegie-Mellon University Method of making carbide, nitride and boride powders
JPS6415353A (en) 1987-07-08 1989-01-19 Toshiba Corp Alloy for thermal spraying
JPH0756190B2 (ja) 1987-11-17 1995-06-14 清水建設株式会社 構造物の振動抑制装置
US4915898A (en) * 1988-04-25 1990-04-10 Energy Conversion Devices, Inc. Method for the continuous fabrication of comminuted hydrogen storage alloy material negative electrodes
US4905886A (en) 1988-07-20 1990-03-06 Grumman Aerospace Corporation Method for diffusion bonding of metals and alloys using thermal spray deposition
US4915745A (en) 1988-09-22 1990-04-10 Atlantic Richfield Company Thin film solar cell and method of making
US4923531A (en) * 1988-09-23 1990-05-08 Rmi Company Deoxidation of titanium and similar metals using a deoxidant in a molten metal carrier
US5242481A (en) 1989-06-26 1993-09-07 Cabot Corporation Method of making powders and products of tantalum and niobium
US5147125A (en) 1989-08-24 1992-09-15 Viratec Thin Films, Inc. Multilayer anti-reflection coating using zinc oxide to provide ultraviolet blocking
US4964906A (en) 1989-09-26 1990-10-23 Fife James A Method for controlling the oxygen content of tantalum material
JP3031474B2 (ja) 1989-12-26 2000-04-10 株式会社東芝 高純度タンタル材,タンタルターゲット,薄膜および半導体装置の製造方法
JPH03229888A (ja) * 1990-02-05 1991-10-11 Tokai Carbon Co Ltd マグネタイト被覆電極の製造方法
JPH0756Y2 (ja) 1990-02-20 1995-01-11 金沢樹脂工業株式会社 育苗箱
DE69016433T2 (de) 1990-05-19 1995-07-20 Papyrin Anatolij Nikiforovic Beschichtungsverfahren und -vorrichtung.
US5091244A (en) 1990-08-10 1992-02-25 Viratec Thin Films, Inc. Electrically-conductive, light-attenuating antireflection coating
US5270858A (en) 1990-10-11 1993-12-14 Viratec Thin Films Inc D.C. reactively sputtered antireflection coatings
US5271965A (en) 1991-01-16 1993-12-21 Browning James A Thermal spray method utilizing in-transit powder particle temperatures below their melting point
JP2963240B2 (ja) 1991-07-10 1999-10-18 新日本製鐵株式会社 タンデム圧延機の張力制御方法
JPH05232580A (ja) 1991-11-28 1993-09-10 Misawa Homes Co Ltd スピーカー装置
JP2552213Y2 (ja) * 1991-12-03 1997-10-29 東邦チタニウム株式会社 チタン粉末の製造装置
US5230459A (en) 1992-03-18 1993-07-27 Tosoh Smd, Inc. Method of bonding a sputter target-backing plate assembly assemblies produced thereby
US5269899A (en) 1992-04-29 1993-12-14 Tosoh Smd, Inc. Cathode assembly for cathodic sputtering apparatus
US5612254A (en) 1992-06-29 1997-03-18 Intel Corporation Methods of forming an interconnect on a semiconductor substrate
US5693203A (en) 1992-09-29 1997-12-02 Japan Energy Corporation Sputtering target assembly having solid-phase bonded interface
US5305946A (en) 1992-11-05 1994-04-26 Nooter Corporation Welding process for clad metals
JPH06144124A (ja) 1992-11-09 1994-05-24 Mazda Motor Corp 自動車の内装部材取付方法
JP3197640B2 (ja) 1992-11-30 2001-08-13 朝日興業株式会社 気泡発生装置
US5330798A (en) 1992-12-09 1994-07-19 Browning Thermal Systems, Inc. Thermal spray method and apparatus for optimizing flame jet temperature
US5679473A (en) 1993-04-01 1997-10-21 Asahi Komag Co., Ltd. Magnetic recording medium and method for its production
US5428882A (en) 1993-04-05 1995-07-04 The Regents Of The University Of California Process for the fabrication of aluminum metallized pyrolytic graphite sputtering targets
JPH06346232A (ja) 1993-06-11 1994-12-20 Asahi Glass Co Ltd スパッタリング用ターゲットおよびその製造方法
US5466355A (en) 1993-07-15 1995-11-14 Japan Energy Corporation Mosaic target
JPH0776705A (ja) * 1993-09-07 1995-03-20 Nippon Steel Corp チタン粉末製造の脱水素化処理における冷却方法および装置
WO1995015816A1 (en) 1993-12-10 1995-06-15 Toto, Ltd. Multi-functional material having photo-catalytic function and production method therefor
US5433835B1 (en) 1993-11-24 1997-05-20 Applied Materials Inc Sputtering device and target with cover to hold cooling fluid
US5487822A (en) 1993-11-24 1996-01-30 Applied Materials, Inc. Integrated sputtering target assembly
US5392981A (en) 1993-12-06 1995-02-28 Regents Of The University Of California Fabrication of boron sputter targets
JPH07228966A (ja) 1994-02-16 1995-08-29 Mitsubishi Materials Corp クロム長尺円筒ターゲットの製造方法
US5687600A (en) 1994-10-26 1997-11-18 Johnson Matthey Electronics, Inc. Metal sputtering target assembly
JPH08169464A (ja) 1994-12-20 1996-07-02 Inax Corp 人造大理石カウンターの木枠梱包体
US6103392A (en) 1994-12-22 2000-08-15 Osram Sylvania Inc. Tungsten-copper composite powder
CN1146740A (zh) 1995-02-22 1997-04-02 丰田自动车株式会社 滚焊工艺和滚焊设备
US5836506A (en) 1995-04-21 1998-11-17 Sony Corporation Sputter target/backing plate assembly and method of making same
US5795626A (en) * 1995-04-28 1998-08-18 Innovative Technology Inc. Coating or ablation applicator with a debris recovery attachment
EP1452622A3 (en) 1995-08-23 2004-09-29 Asahi Glass Ceramics Co., Ltd. Target and process for its production, and method for forming a film having a high refractive index
DE19532244C2 (de) 1995-09-01 1998-07-02 Peak Werkstoff Gmbh Verfahren zur Herstellung von dünnwandigen Rohren (I)
GB9600070D0 (en) * 1996-01-04 1996-03-06 British Ceramic Res Ltd Electrodes
US5766544A (en) 1996-03-15 1998-06-16 Kemp Development Corporation Process for fluidizing particulate material within a rotatable retort
US6269536B1 (en) 1996-03-28 2001-08-07 H.C. Starck, Inc. Production of low oxygen metal wire
US5993513A (en) 1996-04-05 1999-11-30 Cabot Corporation Method for controlling the oxygen content in valve metal materials
US5954856A (en) 1996-04-25 1999-09-21 Cabot Corporation Method of making tantalum metal powder with controlled size distribution and products made therefrom
US5738770A (en) 1996-06-21 1998-04-14 Sony Corporation Mechanically joined sputtering target and adapter therefor
KR100237316B1 (ko) 1996-08-01 2000-01-15 박호군 자성 박막 형성을 위한 스파터링 타겟 및 그 제조방법
US5863398A (en) 1996-10-11 1999-01-26 Johnson Matthey Electonics, Inc. Hot pressed and sintered sputtering target assemblies and method for making same
US5859654A (en) 1996-10-31 1999-01-12 Hewlett-Packard Company Print head for ink-jet printing a method for making print heads
WO1998037249A1 (de) 1997-02-19 1998-08-27 H.C. Starck Gmbh & Co. Kg Tantalpulver, verfahren zu seiner herstellung, sowie daraus erhältliche sinteranoden
JP3098204B2 (ja) 1997-03-07 2000-10-16 ティーディーケイ株式会社 光磁気記録用合金ターゲット、その製造方法およびその再生方法
JPH10275887A (ja) 1997-03-31 1998-10-13 Nec Corp 半導体装置
US5972065A (en) 1997-07-10 1999-10-26 The Regents Of The University Of California Purification of tantalum by plasma arc melting
US20030052000A1 (en) 1997-07-11 2003-03-20 Vladimir Segal Fine grain size material, sputtering target, methods of forming, and micro-arc reduction method
JPH1169637A (ja) 1997-08-15 1999-03-09 Kokusai Electric Co Ltd 携帯用電子機器
US6010583A (en) 1997-09-09 2000-01-04 Sony Corporation Method of making unreacted metal/aluminum sputter target
DE19747385A1 (de) * 1997-10-27 1999-04-29 Linde Ag Herstellung von Formteilen
JP4947834B2 (ja) 1997-11-26 2012-06-06 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド ダメージフリー被覆刻設堆積法
US6911124B2 (en) 1998-09-24 2005-06-28 Applied Materials, Inc. Method of depositing a TaN seed layer
JP3052240B2 (ja) 1998-02-27 2000-06-12 東京タングステン株式会社 X線管用回転陽極及びその製造方法
JPH11269637A (ja) 1998-03-24 1999-10-05 Sumitomo Metal Mining Co Ltd 大型スパッタリングターゲットの製造方法
JPH11269639A (ja) 1998-03-24 1999-10-05 Sumitomo Metal Mining Co Ltd スパッタリングターゲットの再生方法
US6171363B1 (en) 1998-05-06 2001-01-09 H. C. Starck, Inc. Method for producing tantallum/niobium metal powders by the reduction of their oxides with gaseous magnesium
US6189663B1 (en) 1998-06-08 2001-02-20 General Motors Corporation Spray coatings for suspension damper rods
US6875324B2 (en) 1998-06-17 2005-04-05 Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. Sputtering target material
WO2000006793A1 (en) 1998-07-27 2000-02-10 Applied Materials, Inc. Sputtering target assembly
JP2000052438A (ja) 1998-08-11 2000-02-22 Sulzer Innotec Ag 繊維・プラスチック化合物材料の連続的形状体の製造法及び該方法を行うプラント
US6071389A (en) 1998-08-21 2000-06-06 Tosoh Smd, Inc. Diffusion bonded sputter target assembly and method of making
US6461766B1 (en) * 1998-08-27 2002-10-08 Ovonic Battery Company, Inc. Hydrogen storage powder and process for preparing the same
US6749103B1 (en) 1998-09-11 2004-06-15 Tosoh Smd, Inc. Low temperature sputter target bonding method and target assemblies produced thereby
DE19847012A1 (de) 1998-10-13 2000-04-20 Starck H C Gmbh Co Kg Niobpulver und Verfahren zu dessen Herstellung
FR2785897B1 (fr) 1998-11-16 2000-12-08 Commissariat Energie Atomique Couche mince d'oxyde d'hafnium et procede de depot
US6328927B1 (en) 1998-12-24 2001-12-11 Praxair Technology, Inc. Method of making high-density, high-purity tungsten sputter targets
US6176947B1 (en) 1998-12-31 2001-01-23 H-Technologies Group, Incorporated Lead-free solders
US6197082B1 (en) 1999-02-17 2001-03-06 H.C. Starck, Inc. Refining of tantalum and tantalum scrap with carbon
KR20000062587A (ko) 1999-03-02 2000-10-25 로버트 에이. 바쎄트 박막 증착에 사용 및 재사용하기 위한 열분사에 의한스퍼터 타깃의 제조 및 재충전 방법
US6558447B1 (en) 1999-05-05 2003-05-06 H.C. Starck, Inc. Metal powders produced by the reduction of the oxides with gaseous magnesium
US6139913A (en) 1999-06-29 2000-10-31 National Center For Manufacturing Sciences Kinetic spray coating method and apparatus
JP2001020065A (ja) 1999-07-07 2001-01-23 Hitachi Metals Ltd スパッタリング用ターゲット及びその製造方法ならびに高融点金属粉末材料
US6165413A (en) 1999-07-08 2000-12-26 Praxair S.T. Technology, Inc. Method of making high density sputtering targets
US6478902B2 (en) 1999-07-08 2002-11-12 Praxair S.T. Technology, Inc. Fabrication and bonding of copper sputter targets
US6283357B1 (en) 1999-08-03 2001-09-04 Praxair S.T. Technology, Inc. Fabrication of clad hollow cathode magnetron sputter targets
US6521173B2 (en) 1999-08-19 2003-02-18 H.C. Starck, Inc. Low oxygen refractory metal powder for powder metallurgy
US6261337B1 (en) 1999-08-19 2001-07-17 Prabhat Kumar Low oxygen refractory metal powder for powder metallurgy
DE19942916A1 (de) 1999-09-08 2001-03-15 Linde Gas Ag Herstellen von aufschäumbaren Metallkörpern und Metallschäumen
US6245390B1 (en) 1999-09-10 2001-06-12 Viatcheslav Baranovski High-velocity thermal spray apparatus and method of forming materials
JP2001085378A (ja) 1999-09-13 2001-03-30 Sony Corp 半導体装置およびその製造方法
JP4240679B2 (ja) 1999-09-21 2009-03-18 ソニー株式会社 スパッタリング用ターゲットの製造方法
JP3632524B2 (ja) 1999-09-24 2005-03-23 東ソー株式会社 Mg含有ITOスパッタリングターゲットおよびMg含有ITO蒸着材の製造方法
JP4510959B2 (ja) 1999-10-07 2010-07-28 キヤノンアネルバ株式会社 反応性スパッタリング装置
US6258402B1 (en) 1999-10-12 2001-07-10 Nakhleh Hussary Method for repairing spray-formed steel tooling
JP2001123267A (ja) 1999-10-26 2001-05-08 Sanyo Special Steel Co Ltd Ge−Sb−Te系スパッタリングターゲット材の製造方法
US6267851B1 (en) 1999-10-28 2001-07-31 Applied Komatsu Technology, Inc. Tilted sputtering target with shield to block contaminants
RU2166421C1 (ru) 1999-12-06 2001-05-10 Государственный космический научно-производственный центр им. М.В. Хруничева Способ восстановления изделий
US6878250B1 (en) 1999-12-16 2005-04-12 Honeywell International Inc. Sputtering targets formed from cast materials
JP3530792B2 (ja) * 1999-12-24 2004-05-24 トーカロ株式会社 金属基複合材料およびその製造方法
KR100418331B1 (ko) 1999-12-28 2004-02-14 가부시끼가이샤 도시바 진공 성막 장치용 부품 및 그것을 이용한 진공 성막 장치,및 타깃 장치
US6331233B1 (en) 2000-02-02 2001-12-18 Honeywell International Inc. Tantalum sputtering target with fine grains and uniform texture and method of manufacture
US7122069B2 (en) 2000-03-29 2006-10-17 Osram Sylvania Inc. Mo-Cu composite powder
US6502767B2 (en) 2000-05-03 2003-01-07 Asb Industries Advanced cold spray system
US6432804B1 (en) 2000-05-22 2002-08-13 Sharp Laboratories Of America, Inc. Sputtered silicon target for fabrication of polysilicon thin film transistors
US20030023132A1 (en) 2000-05-31 2003-01-30 Melvin David B. Cyclic device for restructuring heart chamber geometry
US6582572B2 (en) 2000-06-01 2003-06-24 Seagate Technology Llc Target fabrication method for cylindrical cathodes
JP2001347672A (ja) 2000-06-07 2001-12-18 Fuji Photo Film Co Ltd インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録ヘッドの製造方法ならびにインクジェットプリンタ
US6748902B1 (en) 2000-06-09 2004-06-15 Brian Boesch System and method for training of animals
US6464933B1 (en) * 2000-06-29 2002-10-15 Ford Global Technologies, Inc. Forming metal foam structures
US6725522B1 (en) 2000-07-12 2004-04-27 Tosoh Smd, Inc. Method of assembling target and backing plates
US6497797B1 (en) 2000-08-21 2002-12-24 Honeywell International Inc. Methods of forming sputtering targets, and sputtering targets formed thereby
JP3791829B2 (ja) 2000-08-25 2006-06-28 株式会社日鉱マテリアルズ パーティクル発生の少ないスパッタリングターゲット
US6409897B1 (en) 2000-09-20 2002-06-25 Poco Graphite, Inc. Rotatable sputter target
WO2002027768A2 (en) 2000-09-27 2002-04-04 Nüp2 Incorporated Fabrication of semiconductor devices
US6413578B1 (en) 2000-10-12 2002-07-02 General Electric Company Method for repairing a thermal barrier coating and repaired coating formed thereby
US7041204B1 (en) 2000-10-27 2006-05-09 Honeywell International Inc. Physical vapor deposition components and methods of formation
US6498091B1 (en) 2000-11-01 2002-12-24 Applied Materials, Inc. Method of using a barrier sputter reactor to remove an underlying barrier layer
US6946039B1 (en) 2000-11-02 2005-09-20 Honeywell International Inc. Physical vapor deposition targets, and methods of fabricating metallic materials
US6669782B1 (en) 2000-11-15 2003-12-30 Randhir P. S. Thakur Method and apparatus to control the formation of layers useful in integrated circuits
US20020090464A1 (en) 2000-11-28 2002-07-11 Mingwei Jiang Sputter chamber shield
US6491208B2 (en) 2000-12-05 2002-12-10 Siemens Westinghouse Power Corporation Cold spray repair process
WO2002049785A1 (en) 2000-12-18 2002-06-27 Tosoh Smd, Inc. Low temperature sputter target/backing plate joining technique and assemblies made thereby
US6444259B1 (en) 2001-01-30 2002-09-03 Siemens Westinghouse Power Corporation Thermal barrier coating applied with cold spray technique
US7794554B2 (en) 2001-02-14 2010-09-14 H.C. Starck Inc. Rejuvenation of refractory metal products
BR0207202A (pt) 2001-02-14 2004-01-27 Starck H C Inc Rejuvenescência de produtos de metal refratário
CA2438819A1 (en) 2001-02-20 2002-09-12 Peter R. Jepson Refractory metal plates with uniform texture and methods of making the same
TWI232241B (en) 2001-03-13 2005-05-11 Ind Tech Res Inst Method of regenerating a phase change sputtering target for optical storage media
EP1371748A4 (en) 2001-03-14 2009-07-29 Nippon Mining Co SPUTTERTARGET, WHICH PRODUCES VERY LITTLE PARTICLES, BACK PLATE OR APPARATUS IN SPUTTER DEVICE, AND SPARKLING METHOD THROUGH SPARK EROSION
TW558471B (en) 2001-03-28 2003-10-21 Phild Co Ltd Method and device for manufacturing metallic particulates and manufactured metallic particulates
US6797137B2 (en) 2001-04-11 2004-09-28 Heraeus, Inc. Mechanically alloyed precious metal magnetic sputtering targets fabricated using rapidly solidfied alloy powders and elemental Pt metal
US6915964B2 (en) 2001-04-24 2005-07-12 Innovative Technology, Inc. System and process for solid-state deposition and consolidation of high velocity powder particles using thermal plastic deformation
US6722584B2 (en) 2001-05-02 2004-04-20 Asb Industries, Inc. Cold spray system nozzle
DE10126100A1 (de) 2001-05-29 2002-12-05 Linde Ag Verfahren und Vorrichtung zum Kaltgasspritzen
US6592935B2 (en) 2001-05-30 2003-07-15 Ford Motor Company Method of manufacturing electromagnetic devices using kinetic spray
US7201940B1 (en) 2001-06-12 2007-04-10 Advanced Cardiovascular Systems, Inc. Method and apparatus for thermal spray processing of medical devices
JP4332832B2 (ja) 2001-07-06 2009-09-16 富士電機デバイステクノロジー株式会社 垂直磁気記録媒体およびその製造方法
US7053294B2 (en) 2001-07-13 2006-05-30 Midwest Research Institute Thin-film solar cell fabricated on a flexible metallic substrate
US6780458B2 (en) 2001-08-01 2004-08-24 Siemens Westinghouse Power Corporation Wear and erosion resistant alloys applied by cold spray technique
CN1608141A (zh) 2001-09-17 2005-04-20 黑罗伊斯有限公司 废弃溅射靶的修复
US7081148B2 (en) 2001-09-18 2006-07-25 Praxair S.T. Technology, Inc. Textured-grain-powder metallurgy tantalum sputter target
US6770154B2 (en) 2001-09-18 2004-08-03 Praxair S.T. Technology, Inc. Textured-grain-powder metallurgy tantalum sputter target
US20030082297A1 (en) 2001-10-26 2003-05-01 Siemens Westinghouse Power Corporation Combustion turbine blade tip restoration by metal build-up using thermal spray techniques
JP4162467B2 (ja) 2001-10-30 2008-10-08 三井金属鉱業株式会社 スパッタリングターゲットの製造方法
JP4312431B2 (ja) 2001-11-30 2009-08-12 新日鉄マテリアルズ株式会社 ターゲット材
US20030178301A1 (en) 2001-12-21 2003-09-25 Lynn David Mark Planar magnetron targets having target material affixed to non-planar backing plates
US6861101B1 (en) 2002-01-08 2005-03-01 Flame Spray Industries, Inc. Plasma spray method for applying a coating utilizing particle kinetics
US6986471B1 (en) 2002-01-08 2006-01-17 Flame Spray Industries, Inc. Rotary plasma spray method and apparatus for applying a coating utilizing particle kinetics
US7651658B2 (en) 2002-01-24 2010-01-26 H.C. Starck Inc. Refractory metal and alloy refining by laser forming and melting
US20030175142A1 (en) 2002-03-16 2003-09-18 Vassiliki Milonopoulou Rare-earth pre-alloyed PVD targets for dielectric planar applications
US6627814B1 (en) 2002-03-22 2003-09-30 David H. Stark Hermetically sealed micro-device package with window
BE1014736A5 (fr) 2002-03-29 2004-03-02 Alloys For Technical Applic S Procede de fabrication et de recharge de cibles pour pulverisation cathodique.
US6623796B1 (en) 2002-04-05 2003-09-23 Delphi Technologies, Inc. Method of producing a coating using a kinetic spray process with large particles and nozzles for the same
US6896933B2 (en) 2002-04-05 2005-05-24 Delphi Technologies, Inc. Method of maintaining a non-obstructed interior opening in kinetic spray nozzles
US20030219542A1 (en) 2002-05-25 2003-11-27 Ewasyshyn Frank J. Method of forming dense coatings by powder spraying
DE10224777A1 (de) 2002-06-04 2003-12-18 Linde Ag Verfahren und Vorrichtung zum Kaltgasspritzen
DE10224780A1 (de) 2002-06-04 2003-12-18 Linde Ag Verfahren und Vorrichtung zum Kaltgasspritzen
EP1513963A1 (en) 2002-06-14 2005-03-16 Tosoh Smd, Inc. Target and method of diffusion bonding target to backing plate
US6759085B2 (en) 2002-06-17 2004-07-06 Sulzer Metco (Us) Inc. Method and apparatus for low pressure cold spraying
US20040005449A1 (en) 2002-07-05 2004-01-08 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho Foamed resin laminate sound insulation board and method for manufacturing the same
DE10231203B4 (de) 2002-07-10 2009-09-10 Interpane Entwicklungs-Und Beratungsgesellschaft Mbh Targetträgeranordnung
US20040016635A1 (en) 2002-07-19 2004-01-29 Ford Robert B. Monolithic sputtering target assembly
CA2433613A1 (en) 2002-08-13 2004-02-13 Russel J. Ruprecht, Jr. Spray method for mcralx coating
US7128988B2 (en) 2002-08-29 2006-10-31 Lambeth Systems Magnetic material structures, devices and methods
JP4883546B2 (ja) 2002-09-20 2012-02-22 Jx日鉱日石金属株式会社 タンタルスパッタリングターゲットの製造方法
US6743468B2 (en) 2002-09-23 2004-06-01 Delphi Technologies, Inc. Method of coating with combined kinetic spray and thermal spray
US7108893B2 (en) 2002-09-23 2006-09-19 Delphi Technologies, Inc. Spray system with combined kinetic spray and thermal spray ability
DK1578540T3 (da) 2002-09-25 2011-04-18 Alcoa Inc Belagt køretøjshjul og fremgangsmåde
US20040065546A1 (en) 2002-10-04 2004-04-08 Michaluk Christopher A. Method to recover spent components of a sputter target
DE60335394D1 (de) 2002-10-09 2011-01-27 Nat Inst For Materials Science Verfahren zur herstellung eines metall berzugs mit einer hvof-spritzpistole und vorrichtung zum thermischen spritzen
CA2444917A1 (en) 2002-10-18 2004-04-18 United Technologies Corporation Cold sprayed copper for rocket engine applications
US6749002B2 (en) 2002-10-21 2004-06-15 Ford Motor Company Method of spray joining articles
EP1556526B1 (en) 2002-10-21 2009-03-11 Cabot Corporation Method of forming a sputtering target assembly and assembly made therefrom
DE10253794B4 (de) 2002-11-19 2005-03-17 Hühne, Erwin Dieter Niedertemperatur Hochgeschwindigkeits-Flammspritzsystem
TW571342B (en) 2002-12-18 2004-01-11 Au Optronics Corp Method of forming a thin film transistor
AU2003285656A1 (en) 2002-12-20 2004-07-14 Koninklijke Philips Electronics N.V. System with macrocommands
US7067197B2 (en) 2003-01-07 2006-06-27 Cabot Corporation Powder metallurgy sputtering targets and methods of producing same
US6872427B2 (en) 2003-02-07 2005-03-29 Delphi Technologies, Inc. Method for producing electrical contacts using selective melting and a low pressure kinetic spray process
EP1592823B1 (en) 2003-02-20 2007-04-11 N.V. Bekaert S.A. A method of manufacturing a sputter target
ES2371070T3 (es) 2003-02-24 2011-12-27 Tekna Plasma Systems Inc. Procedimiento para fabricar un blanco de pulverización catódica.
TW200506080A (en) 2003-02-25 2005-02-16 Cabot Corp Method of forming sputtering target assembly and assemblies made therefrom
JP4000075B2 (ja) 2003-02-27 2007-10-31 株式会社東芝 ロータの補修方法
JP4422975B2 (ja) 2003-04-03 2010-03-03 株式会社コベルコ科研 スパッタリングターゲットおよびその製造方法
JP4163986B2 (ja) 2003-04-09 2008-10-08 新日本製鐵株式会社 不溶性電極及びその製造方法
US7278353B2 (en) 2003-05-27 2007-10-09 Surface Treatment Technologies, Inc. Reactive shaped charges and thermal spray methods of making same
EP1639620A2 (en) 2003-06-20 2006-03-29 Cabot Corporation Method and design for sputter target attachment to a backing plate
JP4008388B2 (ja) 2003-06-30 2007-11-14 シャープ株式会社 半導体キャリア用フィルムおよびそれを用いた半導体装置、液晶モジュール
JP3890041B2 (ja) 2003-07-09 2007-03-07 株式会社リケン ピストンリング及びその製造方法
US6992261B2 (en) 2003-07-15 2006-01-31 Cabot Corporation Sputtering target assemblies using resistance welding
US7425093B2 (en) 2003-07-16 2008-09-16 Cabot Corporation Thermography test method and apparatus for bonding evaluation in sputtering targets
US7170915B2 (en) 2003-07-23 2007-01-30 Intel Corporation Anti-reflective (AR) coating for high index gain media
US7314650B1 (en) 2003-08-05 2008-01-01 Leonard Nanis Method for fabricating sputter targets
US7208230B2 (en) 2003-08-29 2007-04-24 General Electric Company Optical reflector for reducing radiation heat transfer to hot engine parts
JP4310251B2 (ja) 2003-09-02 2009-08-05 新日本製鐵株式会社 コールドスプレー用ノズル及びコールドスプレー被膜の製造方法
US7951275B2 (en) 2003-09-12 2011-05-31 Jx Nippon Mining & Metals Corporation Sputtering target and method for finishing surface of such target
US7351450B2 (en) 2003-10-02 2008-04-01 Delphi Technologies, Inc. Correcting defective kinetically sprayed surfaces
US7128948B2 (en) 2003-10-20 2006-10-31 The Boeing Company Sprayed preforms for forming structural members
US7335341B2 (en) 2003-10-30 2008-02-26 Delphi Technologies, Inc. Method for securing ceramic structures and forming electrical connections on the same
WO2005079209A2 (en) 2003-11-26 2005-09-01 The Regents Of The University Of California Nanocrystalline material layers using cold spray
US20050147742A1 (en) 2004-01-07 2005-07-07 Tokyo Electron Limited Processing chamber components, particularly chamber shields, and method of controlling temperature thereof
US20070172378A1 (en) 2004-01-30 2007-07-26 Nippon Tungsten Co., Ltd. Tungsten based sintered compact and method for production thereof
US7832619B2 (en) 2004-02-27 2010-11-16 Howmet Corporation Method of making sputtering target
US7504008B2 (en) 2004-03-12 2009-03-17 Applied Materials, Inc. Refurbishment of sputtering targets
US6905728B1 (en) 2004-03-22 2005-06-14 Honeywell International, Inc. Cold gas-dynamic spray repair on gas turbine engine components
US7244466B2 (en) 2004-03-24 2007-07-17 Delphi Technologies, Inc. Kinetic spray nozzle design for small spot coatings and narrow width structures
US20050220995A1 (en) 2004-04-06 2005-10-06 Yiping Hu Cold gas-dynamic spraying of wear resistant alloys on turbine blades
JP4826066B2 (ja) 2004-04-27 2011-11-30 住友金属鉱山株式会社 非晶質の透明導電性薄膜およびその製造方法、並びに、該非晶質の透明導電性薄膜を得るためのスパッタリングターゲットおよびその製造方法
US7066375B2 (en) 2004-04-28 2006-06-27 The Boeing Company Aluminum coating for the corrosion protection of welds
DE102004029354A1 (de) 2004-05-04 2005-12-01 Linde Ag Verfahren und Vorrichtung zum Kaltgasspritzen
US20070243095A1 (en) 2004-06-15 2007-10-18 Tosoh Smd, Inc. High Purity Target Manufacturing Methods
US20060006064A1 (en) 2004-07-09 2006-01-12 Avi Tepman Target tiles in a staggered array
ITMN20040016A1 (it) 2004-07-13 2004-10-13 Amfag Spa Utensile raschiatore per aereatore installato su rubinetto
US20060011470A1 (en) 2004-07-16 2006-01-19 Hatch Gareth P Sputtering magnetron control devices
US20060021870A1 (en) 2004-07-27 2006-02-02 Applied Materials, Inc. Profile detection and refurbishment of deposition targets
JP2006052440A (ja) 2004-08-11 2006-02-23 Hyogo Prefecture 無電解めっき用触媒液及び無電解めっき皮膜の形成方法
JP2006052449A (ja) * 2004-08-13 2006-02-23 Nippon Steel Corp コールドスプレー皮膜の形成方法
US20060045785A1 (en) 2004-08-30 2006-03-02 Yiping Hu Method for repairing titanium alloy components
US20060042728A1 (en) 2004-08-31 2006-03-02 Brad Lemon Molybdenum sputtering targets
WO2006034054A1 (en) 2004-09-16 2006-03-30 Belashchenko Vladimir E Deposition system, method and materials for composite coatings
WO2006032522A1 (de) 2004-09-25 2006-03-30 Abb Technology Ag Verfahren zur herstellung einer abbrandfesten beschichtung, sowie entsprechende schirmung für vakuumschaltkammern
US20060090593A1 (en) 2004-11-03 2006-05-04 Junhai Liu Cold spray formation of thin metal coatings
US20060121187A1 (en) 2004-12-03 2006-06-08 Haynes Jeffrey D Vacuum cold spray process
DE102004059716B3 (de) 2004-12-08 2006-04-06 Siemens Ag Verfahren zum Kaltgasspritzen
US7378132B2 (en) 2004-12-14 2008-05-27 Honeywell International, Inc. Method for applying environmental-resistant MCrAlY coatings on gas turbine components
CN100364618C (zh) 2004-12-27 2008-01-30 戴萌 一种用于骨修补的外科植入物材料
US20060137969A1 (en) 2004-12-29 2006-06-29 Feldewerth Gerald B Method of manufacturing alloy sputtering targets
US7479299B2 (en) 2005-01-26 2009-01-20 Honeywell International Inc. Methods of forming high strength coatings
US7399355B2 (en) 2005-02-22 2008-07-15 Halliburton Energy Services, Inc. Fluid loss control additive and cement compositions comprising same
US7399335B2 (en) 2005-03-22 2008-07-15 H.C. Starck Inc. Method of preparing primary refractory metal
US7354659B2 (en) 2005-03-30 2008-04-08 Reactive Nanotechnologies, Inc. Method for fabricating large dimension bonds using reactive multilayer joining
DE102005018618A1 (de) 2005-04-21 2006-10-26 Rheinmetall Waffe Munition Gmbh Waffenrohr und Verfahren zur Beschichtung der inneren Oberfläche des Waffenrohres
US20060251872A1 (en) 2005-05-05 2006-11-09 Wang Jenn Y Conductive barrier layer, especially an alloy of ruthenium and tantalum and sputter deposition thereof
US8802191B2 (en) 2005-05-05 2014-08-12 H. C. Starck Gmbh Method for coating a substrate surface and coated product
CN101368262B (zh) 2005-05-05 2012-06-06 H.C.施塔克有限公司 向表面施加涂层的方法
US20060266639A1 (en) 2005-05-24 2006-11-30 Applied Materials, Inc. Sputtering target tiles having structured edges separated by a gap
US7316763B2 (en) 2005-05-24 2008-01-08 Applied Materials, Inc. Multiple target tiles with complementary beveled edges forming a slanted gap therebetween
KR100620213B1 (ko) 2005-05-31 2006-09-06 어플라이드 사이언스(주) 스퍼터링 타겟의 솔더 본딩 방법
US7550055B2 (en) 2005-05-31 2009-06-23 Applied Materials, Inc. Elastomer bonding of large area sputtering target
KR100683124B1 (ko) 2005-06-04 2007-02-15 재단법인서울대학교산학협력재단 초음속 분사 적층기술을 이용한 금형의 보수 방법
US7644745B2 (en) 2005-06-06 2010-01-12 Applied Materials, Inc. Bonding of target tiles to backing plate with patterned bonding agent
US7652223B2 (en) 2005-06-13 2010-01-26 Applied Materials, Inc. Electron beam welding of sputtering target tiles
US20060289305A1 (en) 2005-06-27 2006-12-28 Applied Materials, Inc. Centering mechanism for aligning sputtering target tiles
US20070012557A1 (en) 2005-07-13 2007-01-18 Applied Materials, Inc Low voltage sputtering for large area substrates
JP4200156B2 (ja) 2005-09-15 2008-12-24 麒麟麦酒株式会社 飲料注出装置の洗浄システム
US7837929B2 (en) 2005-10-20 2010-11-23 H.C. Starck Inc. Methods of making molybdenum titanium sputtering plates and targets
JP4795157B2 (ja) 2005-10-24 2011-10-19 新日本製鐵株式会社 コールドスプレー装置
US7624910B2 (en) 2006-04-17 2009-12-01 Lockheed Martin Corporation Perforated composites for joining of metallic and composite materials
US8187720B2 (en) 2005-11-14 2012-05-29 Lawrence Livermore National Security, Llc Corrosion resistant neutron absorbing coatings
US7618500B2 (en) 2005-11-14 2009-11-17 Lawrence Livermore National Security, Llc Corrosion resistant amorphous metals and methods of forming corrosion resistant amorphous metals
US8480864B2 (en) 2005-11-14 2013-07-09 Joseph C. Farmer Compositions of corrosion-resistant Fe-based amorphous metals suitable for producing thermal spray coatings
US8075712B2 (en) 2005-11-14 2011-12-13 Lawrence Livermore National Security, Llc Amorphous metal formulations and structured coatings for corrosion and wear resistance
US20070116890A1 (en) 2005-11-21 2007-05-24 Honeywell International, Inc. Method for coating turbine engine components with rhenium alloys using high velocity-low temperature spray process
CA2560030C (en) 2005-11-24 2013-11-12 Sulzer Metco Ag A thermal spraying material, a thermally sprayed coating, a thermal spraying method an also a thermally coated workpiece
US8790499B2 (en) 2005-11-25 2014-07-29 Applied Materials, Inc. Process kit components for titanium sputtering chamber
CA2571099C (en) 2005-12-21 2015-05-05 Sulzer Metco (Us) Inc. Hybrid plasma-cold spray method and apparatus
ATE400674T1 (de) 2006-01-10 2008-07-15 Siemens Ag Kaltspritzanlage und kaltspritzverfahren mit moduliertem gasstrom
US7402277B2 (en) * 2006-02-07 2008-07-22 Exxonmobil Research And Engineering Company Method of forming metal foams by cold spray technique
TW200738896A (en) 2006-04-12 2007-10-16 Wintek Corp Sputtering target
EP1849887A1 (de) 2006-04-26 2007-10-31 Sulzer Metco AG Target für eine Sputterquelle
JP5210498B2 (ja) 2006-04-28 2013-06-12 株式会社アルバック 接合型スパッタリングターゲット及びその作製方法
US20070289864A1 (en) 2006-06-15 2007-12-20 Zhifei Ye Large Area Sputtering Target
US20070289869A1 (en) 2006-06-15 2007-12-20 Zhifei Ye Large Area Sputtering Target
US7815782B2 (en) 2006-06-23 2010-10-19 Applied Materials, Inc. PVD target
KR101377574B1 (ko) 2006-07-28 2014-03-26 삼성전자주식회사 프락시 모바일 아이피를 사용하는 이동통신 시스템에서보안 관리 방법 및 그 시스템
US20080041720A1 (en) 2006-08-14 2008-02-21 Jaeyeon Kim Novel manufacturing design and processing methods and apparatus for PVD targets
WO2008079461A2 (en) 2006-09-08 2008-07-03 Reactive Nanotechnologies, Inc. Reactive multilayer joining with improved metallization techniques
JP5297378B2 (ja) 2006-09-12 2013-09-25 トーソー エスエムディー,インク. スパッタリングターゲットアセンブリとそれを製造する方法
US20080078268A1 (en) 2006-10-03 2008-04-03 H.C. Starck Inc. Process for preparing metal powders having low oxygen content, powders so-produced and uses thereof
AU2007317650B2 (en) 2006-11-07 2012-06-14 H.C. Starck Surface Technology and Ceramic Powders GmbH Method for coating a substrate and coated product
US8197781B2 (en) 2006-11-07 2012-06-12 Infinite Power Solutions, Inc. Sputtering target of Li3PO4 and method for producing same
US20080110746A1 (en) 2006-11-09 2008-05-15 Kardokus Janine K Novel manufacturing design and processing methods and apparatus for sputtering targets
US20080145688A1 (en) 2006-12-13 2008-06-19 H.C. Starck Inc. Method of joining tantalum clade steel structures
WO2008081585A1 (ja) 2007-01-05 2008-07-10 Kabushiki Kaisha Toshiba スパッタリングターゲットとその製造方法
US8784729B2 (en) 2007-01-16 2014-07-22 H.C. Starck Inc. High density refractory metals and alloys sputtering targets
US20110303535A1 (en) 2007-05-04 2011-12-15 Miller Steven A Sputtering targets and methods of forming the same
US8197894B2 (en) 2007-05-04 2012-06-12 H.C. Starck Gmbh Methods of forming sputtering targets
US7914856B2 (en) 2007-06-29 2011-03-29 General Electric Company Method of preparing wetting-resistant surfaces and articles incorporating the same
US20090010792A1 (en) 2007-07-02 2009-01-08 Heraeus Inc. Brittle metal alloy sputtering targets and method of fabricating same
US7871563B2 (en) 2007-07-17 2011-01-18 Williams Advanced Materials, Inc. Process for the refurbishing of a sputtering target
US7901552B2 (en) 2007-10-05 2011-03-08 Applied Materials, Inc. Sputtering target with grooves and intersecting channels
JP4279350B1 (ja) 2007-11-01 2009-06-17 住友金属工業株式会社 穿孔圧延用プラグ、その穿孔圧延用プラグの再生方法、およびその穿孔圧延用プラグの再生設備列
TWI367904B (en) 2007-12-06 2012-07-11 Ind Tech Res Inst Aliphatic copolyester and its preparation, melt-blown nonwovens and fiber woven fabrics comprising the aliphatic copolyester
US8173206B2 (en) 2007-12-20 2012-05-08 General Electric Company Methods for repairing barrier coatings
EP2225406A4 (en) 2007-12-21 2012-12-05 Infinite Power Solutions Inc PROCEDURE FOR SPUTTER TARGETS FOR ELECTROLYTE FILMS
JP2009221543A (ja) 2008-03-17 2009-10-01 Hitachi Cable Ltd スパッタリングターゲット材
GB2459917B (en) 2008-05-12 2013-02-27 Sinito Shenzhen Optoelectrical Advanced Materials Company Ltd A process for the manufacture of a high density ITO sputtering target
DE102008024504A1 (de) 2008-05-21 2009-11-26 Linde Ag Verfahren und Vorrichtung zum Kaltgasspritzen
EP2135973A1 (en) 2008-06-18 2009-12-23 Centre National de la Recherche Scientifique Method for the manufacturing of sputtering targets using an inorganic polymer
JP5092939B2 (ja) 2008-07-01 2012-12-05 日立電線株式会社 Tft用平板型銅スパッタリングターゲット材及びスパッタリング方法
US20100012488A1 (en) 2008-07-15 2010-01-21 Koenigsmann Holger J Sputter target assembly having a low-temperature high-strength bond
US8246903B2 (en) 2008-09-09 2012-08-21 H.C. Starck Inc. Dynamic dehydriding of refractory metal powders
US8043655B2 (en) 2008-10-06 2011-10-25 H.C. Starck, Inc. Low-energy method of manufacturing bulk metallic structures with submicron grain sizes
US8192799B2 (en) 2008-12-03 2012-06-05 Asb Industries, Inc. Spray nozzle assembly for gas dynamic cold spray and method of coating a substrate with a high temperature coating
JP4348396B1 (ja) 2008-12-26 2009-10-21 田中貴金属工業株式会社 再生ターゲットの製造方法
US20100170937A1 (en) 2009-01-07 2010-07-08 General Electric Company System and Method of Joining Metallic Parts Using Cold Spray Technique
US8268237B2 (en) 2009-01-08 2012-09-18 General Electric Company Method of coating with cryo-milled nano-grained particles
US8363787B2 (en) 2009-03-25 2013-01-29 General Electric Company Interface for liquid metal bearing and method of making same
KR101294329B1 (ko) 2009-03-30 2013-08-07 삼성코닝정밀소재 주식회사 대형 스퍼터링 타겟재 제조방법
US8673122B2 (en) 2009-04-07 2014-03-18 Magna Mirrors Of America, Inc. Hot tile sputtering system
US8821701B2 (en) 2010-06-02 2014-09-02 Clifton Higdon Ion beam sputter target and method of manufacture
US20120017521A1 (en) 2010-07-26 2012-01-26 Matthew Murray Botke Variable performance building cladding according to view angle
US20120061235A1 (en) 2010-10-27 2012-03-15 Primestar Solar, Inc. Mixed sputtering target of cadmium sulfide and cadmium telluride and methods of their use
EP2646593A1 (en) 2010-11-30 2013-10-09 Dow Global Technologies LLC Refurbishing copper and indium containing alloy sputter targets
US9412568B2 (en) 2011-09-29 2016-08-09 H.C. Starck, Inc. Large-area sputtering targets
KR20140108268A (ko) 2011-12-16 2014-09-05 에이치. 씨. 스타아크 아이앤씨 스퍼터링 타겟들의 스프레이 재생

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2012502182A5 (ja) 耐火金属粉末の動的水素化
JP5389176B2 (ja) 耐火金属粉末の動的水素化
Li et al. Formation of an amorphous phase in thermally sprayed WC-Co
CN107557737B (zh) 一种制备管状靶材的方法
US4592781A (en) Method for making ultrafine metal powder
JPH0748609A (ja) 耐熱化合物又は金属間化合物と過飽和固溶体のガス噴霧合成による粒子の生成方法
CN103108976B (zh) 喷镀用粉末及喷镀膜的形成方法
JP6817615B2 (ja) 金属粉末製造方法及び金属粉末製造装置
CN103827346B (zh) 使用特殊粉末涂料材料的涂布方法以及这种涂料材料的用途
Smirnov et al. Receiving finely divided metal powder by inert gas atomization
EP3504020B1 (en) Low melting point metal or alloy powders atomization manufacturing processes
US4687510A (en) Method for making ultrafine metal powder
US5102620A (en) Copper alloys with dispersed metal nitrides and method of manufacture
US4961457A (en) Method to reduce porosity in a spray cast deposit
KR101020042B1 (ko) 기재 열충격 제어수단을 구비한 고상파우더 분사 증착 장치및 고상파우더 분사 증착 과정에서의 기재 열충격 제거를 위한 온도조절방법
CN116024517B (zh) 耐蚀材料及其制备方法和应用
Sahu et al. Aspects of porosity formation in spray deposited thin aluminium strip
JPH024906A (ja) フレーク状急冷凝固金属粉末の製造法
CN111250693A (zh) 用于增材再制造的高熵合金粉末及其制备方法
JP2597096B2 (ja) プラズマ噴流流動層を有する造粒装置
Gupta et al. Effect of atomization on the distribution of SiC particulates in spray deposited Al-7Si/SiC metal matrix composites
HK40032051A (en) A kind of high-hardness surface coating structure and its preparation method
McHugh Spray-forming monolithic aluminum alloy and metal matrix composite strip
Fuxiao et al. Distribution of lead in lead-containing aluminium alloys obtained by liquid phase co-spray forming technique
JPH0477043B2 (ja)