JPH01100445U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01100445U JPH01100445U JP19544887U JP19544887U JPH01100445U JP H01100445 U JPH01100445 U JP H01100445U JP 19544887 U JP19544887 U JP 19544887U JP 19544887 U JP19544887 U JP 19544887U JP H01100445 U JPH01100445 U JP H01100445U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drive mechanism
- microscope
- probe card
- card holder
- mask plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係る針位置測定装
置の全体構成図、第２図は透明マスク板の平面図
、第３図はプローブカードの斜視図、第４図は本
考案以前の針位置測定装置の全体構成図である。 １……針、６……カードホルダー、７……顕微
鏡、８……テレビカメラ、９……コンピユータ、
１０……Ｘ―Ｙ駆動機構、１２……第一Ｚ駆動機
構、１３……第二Ｚ駆動機構、１４……Ｘ駆動機
構、１５……透明マスク板、１８……蒸着電極膜
、２０……Ｘ―Ｙ検査パターン、２１……導通試
験器。
置の全体構成図、第２図は透明マスク板の平面図
、第３図はプローブカードの斜視図、第４図は本
考案以前の針位置測定装置の全体構成図である。 １……針、６……カードホルダー、７……顕微
鏡、８……テレビカメラ、９……コンピユータ、
１０……Ｘ―Ｙ駆動機構、１２……第一Ｚ駆動機
構、１３……第二Ｚ駆動機構、１４……Ｘ駆動機
構、１５……透明マスク板、１８……蒸着電極膜
、２０……Ｘ―Ｙ検査パターン、２１……導通試
験器。
Claims (1)
- プローブカードをセツトするカードホルダーの
上方に、電動ズーム機構付きの顕微鏡とテレビカ
メラを配置し、このカードホルダーと顕微鏡の間
に、Ｘ―Ｙ検査パターン及び蒸着電極膜を下面形
成した透明マスク板を介在させ、この蒸着電極膜
とプローブカードの針との間の導通試験を行う導
通試験器を配設し、上記カードホルダーを移動さ
せる電動式の駆動機構、上記透明マスク板を移動
させる電動式の駆動機構、上記顕微鏡の電動ズー
ム機構、上記テレビカメラ、上記導通試験器をそ
れぞれ画像処理用のコンピユータに接続して成る
プローブカードの針位置測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19544887U JPH01100445U (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19544887U JPH01100445U (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01100445U true JPH01100445U (ja) | 1989-07-05 |
Family
ID=31486126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19544887U Pending JPH01100445U (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01100445U (ja) |
-
1987
- 1987-12-22 JP JP19544887U patent/JPH01100445U/ja active Pending
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