JPH01108483A - 空気圧機器 - Google Patents

空気圧機器

Info

Publication number
JPH01108483A
JPH01108483A JP26464087A JP26464087A JPH01108483A JP H01108483 A JPH01108483 A JP H01108483A JP 26464087 A JP26464087 A JP 26464087A JP 26464087 A JP26464087 A JP 26464087A JP H01108483 A JPH01108483 A JP H01108483A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pneumatic
control valve
directional control
signal
output port
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP26464087A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0432243B2 (ja
Inventor
Katsuhiko Odajima
勝彦 小田島
Shoichi Miki
三樹 正一
Takeshi Nakamura
武 中村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SMC Corp
Original Assignee
SMC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SMC Corp filed Critical SMC Corp
Priority to JP26464087A priority Critical patent/JPH01108483A/ja
Publication of JPH01108483A publication Critical patent/JPH01108483A/ja
Publication of JPH0432243B2 publication Critical patent/JPH0432243B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
  • Servomotors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、入力電気信号に比例する出力空気圧によって
動作する空気圧機器に関するものである。
〔従来の技術〕
本発明の発明者らは、入力電気信号を該電気信号に比例
する空気圧に変換して出力する電空変換部と、この信号
空気圧によって動作する空気圧動作部を備え、上記電空
変換部に電歪素子を有する方向切換弁を使用した空気圧
機器を、実願昭62−112939号その他によって提
案した。
上記空気圧機器は、例えば第7図に示すように、電空変
換部lと、空気圧動作部の一例である空気式ポジショナ
2を備えている。
上記電空変換部1は、信号電流が入力されるコントロー
ラ4、電歪素子を利用した方向切換弁5.該方向切換弁
5から出力される信号空気圧を空気式ポジショナに伝達
する信号空気管路6、及び該信号空気管路6の信号空気
圧をフィードバック電気信号に変換してコントローラ4
にフィードバックする圧力センサ7を備え、上記コント
ローラ4は、入力電気信号と上記フィードバック電気信
号との大小を比較して、方向切換弁5の電歪素子13に
制御電圧を印加する。
方向切換弁5における弁本体9は、圧力空気源に連通ず
る供給オリアイス10.外部に連通ずる排気オリフィス
11及び空気管路6に連通する出カポ−)12を有し、
コントローラ4から印加される制御電圧によって歪曲す
る電歪素子13の自由端には、オリフィス10.11を
開閉する弁部材14.14が取付けられている。上記電
歪素子13は、電極の両面に電圧の印加極性によって互
いに伸縮する板状の圧電セラミックを張合わせて構成さ
れるバイモルフ型等の電歪素子で、所定の極性の電圧が
印加されると一方向に歪曲し、これと逆極性の電圧を印
加しまたは上記電圧の印加を解除すると、反対方向に歪
曲し、または元の状態に復帰する。
上記空気式ポジショナ2は、信号空気管路6から入力さ
れる信号空気圧によって変位する入圧ダイヤフラム17
、該ダイヤフラム17の変位によって揺動するフラッパ
18と該フラッパ18に対向して開口するノズル19よ
りなるノズルフラー7パ機構20、上記ノズル19の背
圧の昇降によって変位する背圧ダイヤフラム21.該背
圧ダイヤフラム21と一体に変位する弁棒22、該弁棒
22の変位と復帰ばね23の付勢力の大小によって圧力
空気の供給ポートPと出力ポートAの連通路を通断する
弁体24.出力ポートAとダイヤフラムバルブ25とを
連通させる空気管路2B、及び該ダイヤフラムバルブ2
5の駆動を入圧ダイヤフラム17にフィードバックする
フィードバック機構27を有し、該フィードバック機構
27は、上記ダイヤフラムバルブ25と一体的に駆動す
るバルブレバー30により回動するフィード/へツクレ
バー 31、M 32.伝達アーム33及びし/<−3
4を備え、該レバー34と上記入圧ダイヤフラム17と
の間にフィードバックスプリング35を設けたものとし
て構成されている。第7図中の符号37は信号空気管路
6に設けた絞りで、方向切換弁5の動作による圧力変動
(脈動)をなくして信号空気圧をアナログ的にするもの
である。
上記空気圧機器は、コントローラ4に信号電流が入力さ
れると、コントローラ4が、該入力電気信号と圧力セン
サ7からフィードバックされる信号空気圧を変換したフ
ィードバック電気信号との大小を比較し、フィードバッ
ク電気信号が入力電気信号よりも小さい場合には、コン
トローラ4が、電歪素子13に供給オリフィス10を開
放して排気オリフィス11を閉鎖する方向に歪曲する極
性の制御電圧を印加するので、圧力空気源からの圧力空
気が出力ポート12を通って信号空気管路6に供給され
て信号空気圧が上昇し、これによってフィードバック電
気信号が入力電気信号よりも大きくなると、コントロー
ラ4が、電歪素子13に上記と逆極性の制御電圧を印加
するか或いは上記電圧の印加を解除して、電歪素子13
を供給オリフィスlOを閉鎖して排気オリフィス11を
開放する方向に復帰させて、信号空気管路6の信号空気
圧が低下してフィードバック電気信号が入力電気信号よ
りも小さくなり、電気信号がコントローラ4に入力され
ている間は、方向切換弁5は上述の動作を繰返えしてい
る。
この場合、開閉動作を高頻度で行うことによって、出力
ポート12から入力電気信号に比例するアナログ的な信
号空気圧が出力される。
上記空気式ポジショナ2は、入圧ダイヤフラム17及び
ノズルフラッパ機構20が平衡状態にあるときに、入力
電気信号によって信号空気管路6の信9空気圧が上昇す
ると、入圧ダイヤフラム17が図において左方に変位し
てフラッパ18が揺動し、ノズル19が開放してその背
圧が低下するので、圧力空気源に連通している背圧ダイ
ヤフラム21及び弁#522が図において右動し、弁体
24が供給ポー)Pと出力ポートAt一連通させる。
したがって、圧力空気が空気管路26を通ってダイヤフ
ラムバルブ25に供給されて該バルブ25が駆動し、バ
ルブ25の駆動はフィードバック機構27によって入圧
ダイヤフラム17にフィードバックされる。このように
して、フィードバックスプリング35が入圧ダイヤフラ
ム17に作用する力と、@号空気圧が入圧ダイヤフラム
17に作用する力とが等しくなると、新たl平衡状態に
なって入圧ダイヤフラム17及びノズルフラッパ機構2
0が安定する。
上記提案の空気圧機器は、信号空気管路6に絞りを設置
しない場合には、入力電気信号をステップ的に印加した
ときに信号空気圧に多少の脈動が残る(第8図参照)、
この脈動の大きさは、各定数を最適値に設計することに
より非常に小さくすることができるが、これを完全にな
くすことは技術的に困難である。しかしながら、この空
気圧機器を信号系等に使用する場合には、脈動を完全に
なくすことが必要である。
この場合、信号空気管路6に絞り37を設置することに
より、信号空気圧の脈動を完全になくすことができるが
、絞りによって信号空気圧が所定の圧力に到達する時間
t1が長くなる(第9図参照)、換言すれば空気圧機器
の応答性が低下するという新たな問題を生ずる。
[発明が解決しようとする問題点] 本発明は、第1の方向切換弁の出力ポートを空気圧動作
部に直接または絞りを介して連通させる第2の方向切換
弁を設けることにより、電空変換部から出力される空気
圧の脈動をなくしたものでありながら、その応答性を向
上させることを、解決しようとする問題点とするもので
ある。
[問題点を解決するための手段] 本発明は、入力電気信号を該入力電気信号に比例する空
気圧に変換して出力する電空変換部と、この空気圧によ
って動作する空気圧動作部よりなる空気圧機器において
、上記電空変換部が、圧力空気源に連通ずる供給オリフ
ィス、外部に連通ずる排気オリフィス、上記空気圧動作
部に連通ずる出力ポート、及び上記入力電気信号に対応
して歪曲し、上記出力ポートを2つのオリフィスの一方
に切換えて連通させる電歪素子を有する第1の方向切換
弁と、所定の時間経過後に上記入力電気信号により、上
記空気圧動作部に直接連通してl、Xる上記出力ポート
を、絞りを介して連通ずる位置に切換える第2の方向切
換弁とを備えてl、Nることによって、上記冊題点を解
決したものである。
[作 用] 入力電気信号が入力されると、これに対応して歪曲する
電歪素子により供給オリフィスが開放して排気オリフィ
スが閉鎖するので、第1の方向切換弁から入力電気信号
に比例した空気圧が出力され、空気圧動作部はこの空気
圧により動作する。
上記空気圧は、当初は直接空気圧動件部連通しているの
で、空気圧動作部の空気圧は速やかに上昇する。所定の
時間が経過すると、第2の方向切換弁が絞りを介して空
気圧動作部に連通ずる位置に切換わるので、絞りによっ
て空気圧の脈動をなくすことができる。また、空気圧が
所定の圧力に到達する時間が短縮されるので、機器の応
答性を向上させることができる。
[実施例] 第1図は本発明の第1実施例を示し、この実施例は、電
歪素子13を有する第1の方向切換弁41の出力ポート
12と空気圧ポジショナ2とを連通させる信号空気管路
6に、絞り37に代わる第2の方向切換弁42を設けて
いる。第1実施例の他の構成は、第7図に示す既提案の
空気圧機器と同じであるから、図中同一の符号を付して
詳細な説明は省略する。
上記第2の方向切換弁42は、出力ポート12に連通ず
る入口ポート43、信号空気管路6に直接連通する第1
出ロポート44、及び第2出ロポート45を備え、該第
2出ロポート45は、絞り46を介して信号空気管路6
に連通しており、切換弁42のソレノイド42aは、遅
延回路47を介して上記コントローラ4に電気的に接続
している。
上記遅延回路47は、電歪素子13への電圧の印加によ
り上昇する信号空気圧が、出力圧の約50〜97%、好
ましくは90〜95%に達したときに上記ソレノイド4
2aを励磁するもので、ソレノイド42aが励磁される
と、第1出ロポート44に連通している入口ポート43
を第2出ロポート45に連通させて、信号空気圧を絞り
46を介して空気圧動作部2に伝達させる。
したがって、遅延時間の経過前は、信号空気圧を直接空
気圧動作部2に伝達させて信号空気圧が所定の圧力に到
達する時間t2を短縮させることにより機器の応答性を
向上させることができ、遅延時間の経過後は、信号空気
圧を絞り46を介して空気圧動作部に伝達させることに
より信号空気圧の脈動を完全になくすことができる(第
2図参照)。
入力電気信号が解除されると、第2の方向切換弁42は
、復帰スプリングの付勢力によって入口ポート43と第
1出ロポート44が連通ずる位置に復帰する。
第1実施例の他の動作は、第7図に示す空気圧機器と同
じであるから、詳細な説明は省略する。
第3図は、第2の方向切換弁50を、ソレノイド50a
の非励磁、励磁によって入口ポート51と出口ポート5
2の連通を通断する2ポート弁とした変形例を示し、信
号空気管路6は、第2の方向切換弁50と並列に接続し
たバイパス53に絞り54を備えている。
上記方向切換弁は、ソレノイド50aが非励磁のときは
、第1の方向切換弁41の出力ポート12が方向切換弁
50とバイパス54とによって信号空気管路6に連通し
、ソレノイド50aが励磁されると、絞り54を有する
バイパス53によって連通ずる。
第4図は、第2の方向切換弁60を、入口オリフィス6
1.出口ポート62.電圧の印加、印加解除により入口
オリフィス61を開閉する電歪素子63を有するものと
した別の変形例を示し、信号空気管路6は、第2の方向
切換弁60と並列に接続したバイパス64に絞り65を
備えている。
上記方向切換弁は、電歪素子63に制御電圧が印加され
ないときは、入口オリフィス61と出口ボート62が連
通し、遅延回路47を介して制it圧が印加されると、
電歪素子63が歪曲して入口オリフィス61を閉鎖する
。
第5図は、空気圧動作部を電空変換部69へのフィード
バック機構を有するコントロールバルブ70とした本発
明の第2実施例を示し、第2実施例におけるコントロー
ラ4.第1の方向切換弁41及び第2の方向切換弁42
は、第1実施例と同一の構成を備えているから1図中同
一の符号を付して詳細な説明は省略する。なお、上記第
2の方向切換弁は、第3図及び第4図に示す方向切換弁
50.60とすることができる。
上記コントロールバルブ70におけるフィードバック機
構71は、コントロールバルブ70と一体的に駆動する
バルブレバー72により回動するフィードバックレバー
73、支軸74及びフィードバックカム75.並びにフ
ィードバックカム75の押圧によってたわむカンチレバ
ー76、カンチレバー76に取付けられ、カンチレバー
76の変位をそれに比例する電気信号に変換して出力す
る変位センサ77、及び該変位センサ77から出力され
るフィードバック電気信号をコントローラ4にフィード
バックするフィードバック回路78を備え、上記フィー
ドバックカム75は、図における時計方向の回動によっ
て支軸からの距離が大きくなるカム面を有している。
したがって、電歪素子13への制御電圧の印加により、
第1の方向切換弁4からの出力空気圧によってコントロ
ールバルブ70が駆動すると、パルブレハーフ2が図に
おいて下動じてフィードバラフレ/<−73,支軸74
及びフィードバックカム75を図において時計方向に回
動させ、カンチレバー先端のロール79がカム75で押
圧されてカンチレバー76が変位し、該カンチレバー7
6上の変位センサ77がこの変位をそれに比例するフィ
ードバック電気信号に変換してコントローラ4にフィー
ドバックする。
上記第2実施例における第2の方向切換弁42または5
0.60の作用は、既述のとおりであるから、詳細な説
明は省略する。
第6図は、第1の方向切換弁80を、電歪素子利用の2
つの開閉弁81.82とした変形例を示し、この方向切
換弁80における共通の弁本体は、弁室83a、83b
を備え、弁室83aは圧力空気源に連通ずる供給オリフ
ィス10と空気管路88に連通するボート84を有し、
コントローラ4から印加される制御電圧により歪曲する
電歪素子85の自由端には、供給オリフィス10を開閉
する弁部材14が取付けられている。一方、弁室83b
は、外部に連通ずる排気オリフィス11と空気管路88
に連通するボート86を有し、コントローラ4から印加
される制御電圧によって歪曲する電歪素子87の自由端
には、排気オリフィス11を開閉する弁部材14が取付
けられており、これらの電歪素子85.87は、電歪素
子13と同一の構成を備えている。
また、図示を省略しているが、空気管路88に上述の第
2の方向切換弁42或いは50.60が設けられている
。
上記方向切換弁80は、フィードバック電気信号が入力
電気信号よりも小さい場合には、コントローラ4が電歪
素子85に供給オリフィス10を開放する方向に、電歪
素子87に排気オリフィス11を閉鎖する方向に歪曲さ
せる極性のII御電電圧それぞれ印加するので、圧力空
気源からの圧力空気がボート84がら空気管路8日に供
給されて、空気圧がアナログ的に上昇する。これによっ
てフィードバック電気信号が入力電気信号よりも大きく
なると、コントローラ4が電歪素子85.87に上記と
逆極性の制御電圧を印加するか或いは上記電圧の印加を
解除して、電歪素子85を供給オリフィス10を閉鎖す
る方向に、電歪素子87を排気オリフィス+1を開放す
る方向に復帰させるので、空気圧がアナログ的に低下す
る。
この場合、入力電気信号が一定で、入力電気信号とフィ
ードバック電気信号とが等しいときは、電気圧動作部に
おける空気消費がないために、供給及び排気オリフィス
と共に閉鎖して無駄な空気消費をなくすことができる。
なお、図示を省略しているが、第1の方向切換弁41.
80と第2の方向切換弁42,50.60を一体的なも
のとして、コンパクトにすることができる。また、空気
圧動作部を、ブースタリレー等の他の構成にすることも
できる。
[発明の効果] 本発明の空気圧機器は、第1の方向切換弁の出力ポート
を、空気圧動作部に直接連通ずる位置と絞りを介して連
通ずる位置とに切換える第2の方向切換弁を設けるとと
もに、該方向切換弁を直接空気圧動作部に連通させ、所
定の時間経過後入力電気信号によって絞りを介して連通
させるようにしたので、電空変換部からの信号空気圧の
脈動をなくすことができるものでありながら1機器の応
答性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1実施例の概略構成図、第2図は同
上入力電気信号及び出力空気圧の波形の一例図、第3図
及び第4図は第2の方向切換弁の変形例の概略構成図、
第5図は本発明の第2実施例の概略構成図、第6図は第
1の方向切換弁の変形例の概略構成図、第7図は既提案
の空気圧機器の概略構成図、第8図及び第9図は同上絞
りのない場合と絞りを設けた場合の入力電化信号及び信
号空気圧の波形の一例図である。 1.63・・電空変換部。 2・・空気式ポジショナ、 1011・供給オリフィス、 11・・排気オリフィス、12・・出力ポート。 13.63,85.87 ・・電歪素子、41.80 
・・第1の方向切換弁、 42.50,60・・第2の方向切換弁、46.54,
65・拳絞り、 70・・コントロールバルブ。 特許出願人  ニスエムシー株式会社 (外1名)− 第 2rlA や 第3図 ea n

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、入力電気信号を該入力電気信号に比例する空気圧に
    変換して出力する電空変換部と、この空気圧によって動
    作する空気圧動作部よりなる空気圧機器において、 上記電空変換部が、 圧力空気源に連通する供給オリフィス、外部に連通する
    排気オリフィス、上記空気圧動作部に連通する出力ポー
    ト、及び上記入力電気信号に対応して歪曲し、上記出力
    ポートを2つのオリフィスの一方に切換えて連通させる
    電歪素子を有する第1の方向切換弁と、 所定の時間経過後に上記入力電気信号により、上記空気
    圧動作部に直接連通している上記出力ポートを、絞りを
    介して連通する位置に切換える第2の方向切換弁、 とを備えていることを特徴とする空気圧機器。
JP26464087A 1987-10-20 1987-10-20 空気圧機器 Granted JPH01108483A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26464087A JPH01108483A (ja) 1987-10-20 1987-10-20 空気圧機器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26464087A JPH01108483A (ja) 1987-10-20 1987-10-20 空気圧機器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01108483A true JPH01108483A (ja) 1989-04-25
JPH0432243B2 JPH0432243B2 (ja) 1992-05-28

Family

ID=17406160

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP26464087A Granted JPH01108483A (ja) 1987-10-20 1987-10-20 空気圧機器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH01108483A (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0432243B2 (ja) 1992-05-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4617952A (en) Switching valve and an electro-pneumatic pressure converter utilizing the same
JPH0478932B2 (ja)
US7343845B2 (en) Fluid operated position regulator
WO2001065121A3 (en) Force-controlled hydro-elastic actuator
US20060260701A1 (en) Valve arrangement with piezoelectric control
US5460202A (en) Three-way piezoelectric valve
US4261509A (en) Pneumatic switch control for pneumatic actuator in air conditioning control systems
KR20170121849A (ko) 입출력 압력차를 적용한 전공레귤레이터
JPH07253101A (ja) 電気−空圧変換器
JPH0432243B2 (ja)
JP2001503834A (ja) 電空ポジショナ
US5934169A (en) Double-acting electropneumatic positioner
JPS6320605A (ja) 空気圧レギユレ−タ
JPH0422083Y2 (ja)
JPH0440002Y2 (ja)
JPH0426897Y2 (ja)
JPH0336768Y2 (ja)
JPH05305593A (ja) 物品挾持装置
JPH0440001Y2 (ja)
JPH0356342B2 (ja)
JPH0435649Y2 (ja)
JP2601287B2 (ja) 開閉制御装置
JP2622344B2 (ja) 電−空変換装置およびこれを用いたアクチュエータシステム
JPH023019Y2 (ja)
JPH01131378A (ja) 自動開閉制御装置

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees