JPH01112409U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01112409U JPH01112409U JP674588U JP674588U JPH01112409U JP H01112409 U JPH01112409 U JP H01112409U JP 674588 U JP674588 U JP 674588U JP 674588 U JP674588 U JP 674588U JP H01112409 U JPH01112409 U JP H01112409U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- mirror
- focused spot
- predetermined direction
- optical system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 7
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 5
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は、本考案に係る非接触変位計の第１実
施例の構成を示す、一部ブロツク線図を含む正面
図、第２図は、第１図の矢視―方向から見た
平面図、第３図は、本考案の第２実施例の構成を
示す、一部ブロツク線図を含む正面図、第４図は
、第２実施例の作用を説明するための断面図、第
５図は、従来の非接触変位計の一例の構成を示す
正面図である。 １０……測定対象物、１２……集束スポツト光
、１４……レーザダイオード、１８……偏光ビー
ムスプリツタ、２２……対物レンズ、２６……フ
ーコープリズム、３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ，３０
Ｄ……受光素子、３２……差動増幅器、４０……
ミラー、４２……加振器、４８……加振回路、ｄ
……同期信号、５０……ピークホールド回路、６
０……積分回路（平均化回路）。
施例の構成を示す、一部ブロツク線図を含む正面
図、第２図は、第１図の矢視―方向から見た
平面図、第３図は、本考案の第２実施例の構成を
示す、一部ブロツク線図を含む正面図、第４図は
、第２実施例の作用を説明するための断面図、第
５図は、従来の非接触変位計の一例の構成を示す
正面図である。 １０……測定対象物、１２……集束スポツト光
、１４……レーザダイオード、１８……偏光ビー
ムスプリツタ、２２……対物レンズ、２６……フ
ーコープリズム、３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ，３０
Ｄ……受光素子、３２……差動増幅器、４０……
ミラー、４２……加振器、４８……加振回路、ｄ
……同期信号、５０……ピークホールド回路、６
０……積分回路（平均化回路）。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 測定対象物に集束スポツト光を照射する点
光源を含む照明装置と、該集束スポツト光の像を
形成するための結像光学系と、該像を形成するた
めの光線を所定方向に分離して２個所に結像させ
るためのフーコープリズムと、前記分離された光
線それぞれの前記所定方向の光量分布に応じた電
気信号を生成する受光素子とを含み、測定対象物
の前記結像光学系の光軸方向の変位を検出する非
接触変位計において、 前記照明装置中に、前記点光源からの光を反射
するミラーと、前記集束スポツト光が前記所定方
向と直角な方向に振動するように該ミラーを振動
させる加振器を備えると共に、 該加振器と同期して前記受光素子の出力の最大
値を保持する回路を付加したことを特徴とする非
接触変位計。 (2) 測定対象物に集束スポツト光を照射する点
光源を含む照明装置と、該集束スポツト光の像を
形成するための結像光学系と、該像を形成するた
めの光線を所定方向に分離して２個所に結像させ
るためのフーコープリズムと、前記分離された光
線それぞれの前記所定方向の光量分布に応じた電
気信号を生成する受光素子とを含み、測定対象物
の前記結像光学系の光軸方向の変位を検出する非
接触変位計において、 前記照明装置中に、前記点光源からの光を反射
するミラーと、前記集束スポツト光が前記所定方
向と直角な方向に振動するように該ミラーを振動
させる加振器を備えると共に、 該加振器と同期して前記受光素子の出力を平均
化する回路を付加したことを特徴とする非接触変
位計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988006745U JPH074496Y2 (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 非接触変位計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988006745U JPH074496Y2 (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 非接触変位計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01112409U true JPH01112409U (ja) | 1989-07-28 |
| JPH074496Y2 JPH074496Y2 (ja) | 1995-02-01 |
Family
ID=31211171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988006745U Expired - Lifetime JPH074496Y2 (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 非接触変位計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH074496Y2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57203911A (en) * | 1981-06-10 | 1982-12-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Signal processing system |
| JPS61210902A (ja) * | 1985-03-15 | 1986-09-19 | Toshiba Corp | 試料面高さ測定装置 |
| JPS62283427A (ja) * | 1986-06-02 | 1987-12-09 | Mitsubishi Electric Corp | 焦点誤差検出装置 |
-
1988
- 1988-01-22 JP JP1988006745U patent/JPH074496Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57203911A (en) * | 1981-06-10 | 1982-12-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Signal processing system |
| JPS61210902A (ja) * | 1985-03-15 | 1986-09-19 | Toshiba Corp | 試料面高さ測定装置 |
| JPS62283427A (ja) * | 1986-06-02 | 1987-12-09 | Mitsubishi Electric Corp | 焦点誤差検出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH074496Y2 (ja) | 1995-02-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2718705B2 (ja) | 光音響信号検出方法及びその装置 | |
| JP3513817B2 (ja) | 変位計 | |
| JPH074496Y2 (ja) | 非接触変位計 | |
| JPH0875433A (ja) | 表面形状測定装置 | |
| JPH07182666A (ja) | 光ピックアップシステム | |
| JP2891715B2 (ja) | 縞走査型干渉測定装置 | |
| JPS63106034U (ja) | ||
| JPS63126812U (ja) | ||
| JPS63122211U (ja) | ||
| JPS63188507U (ja) | ||
| JP2758420B2 (ja) | 反射型レーザ顕微鏡撮像装置 | |
| JPS6120057B2 (ja) | ||
| JPH01233310A (ja) | 光学式面形状測定方法および面形状測定用光学式プローブ | |
| JPH08101010A (ja) | 光学式変位センサ | |
| JPS6450460U (ja) | ||
| JP2594105Y2 (ja) | 光学式変位計 | |
| JPH0161608U (ja) | ||
| JPS6425710U (ja) | ||
| JPS6243254B2 (ja) | ||
| JPH027541U (ja) | ||
| JPH0431108U (ja) | ||
| JPH0337610U (ja) | ||
| JPH01169307A (ja) | 間隙測定装置 | |
| JPH0365909U (ja) | ||
| JPH02110814U (ja) |