JPH01125362U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一例の縦断側面図、第２図は
第１図の底面図、第３図は本考案の他の実施例の
縦断側面図、第４図は第３図に使用する間隙形成
片の斜視図、第５図は本考案の更に他の実施例の
縦断側面図、第６図は蒸着装置の概略を示す縦断
側面図、第７図は従来の酸素ガス吹き付け態様を
示す縦断側面図である。 １……基板ホルダー、２……蒸着基板、３……
エアーチヤンバー、４……リング状枠、５……押
え部材、６……間隙形成片、７……ガスパイプ、
８……ヒーター、９……開口、１０……マスキン
グプレート、１１……蒸着開口、１２……傾斜面
。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 蒸着槽内に設けられる基板ホルダーの中
   央部にリング状の押え部材を固定することによ
   り、基板ホルダーとの間にリング状のエアーチヤ
   ンバーを形成し、該押え部材の内周縁にて、基
   板ホルダーの中央部に配置される蒸着基板の外
   周部を押圧固定すると共に、前記エアーチヤンバ
   ーの内周部から蒸着基板の表面に向けてガスをほ
   ぼ均一な圧力にて吹き出させるようにした蒸着基
   板ホルダー。 (2) 蒸着槽内に設けられる基板ホルダーの上
   面にリング状枠を設け、その上面に該リング状
   枠より幅の広いリング状の押え部材の外周部を
   固定することにより、リング状枠の中央部に載置
   される蒸着基板の外周部にエアーチヤンバーを
   形成すると共に、該押え部材の内周部にて蒸着基
   板との間に間隙形成片を介して蒸着基板を押圧
   固定し、パイプを通してエアーチヤンバーに送
   入したガスを蒸着基板の表面にほぼ均一な圧力に
   て吹き出させるようにした蒸着基板ホルダー。 (3) リング状枠とリング状の押え部材が一
   体的に形成されているものである請求項２記載の
   蒸着基板ホルダー。 (4) 間隙形成片がリング状の押え部材と一
   体的に設けられているものである請求項２または
   ３記載の蒸着基板ホルダー。