JPH0217832U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0217832U JPH0217832U JP9623188U JP9623188U JPH0217832U JP H0217832 U JPH0217832 U JP H0217832U JP 9623188 U JP9623188 U JP 9623188U JP 9623188 U JP9623188 U JP 9623188U JP H0217832 U JPH0217832 U JP H0217832U
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- JP
- Japan
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- furnace
- core tube
- furnace core
- diffusion
- groove
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- Pending
Links
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 3
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 claims 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Furnace Details (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係る炉芯管の
適用される拡散炉を説明する図、第２図は、同炉
芯管チユーブの外観斜視図、第３図は、同チユー
ブの変形例を示す外観斜視図、第４図は、従来の
炉芯管の断面図、第５図は、同従来の炉芯管が適
用される拡散炉を説明する図である。 １：炉芯管、２：チユーブ、２ａ：チユーブ内
壁、２ｂ：溝部、３：キヤツプ、３ｂ：液排出口
、４：電気炉、６：ボート、Ｗ：ウエハ。
適用される拡散炉を説明する図、第２図は、同炉
芯管チユーブの外観斜視図、第３図は、同チユー
ブの変形例を示す外観斜視図、第４図は、従来の
炉芯管の断面図、第５図は、同従来の炉芯管が適
用される拡散炉を説明する図である。 １：炉芯管、２：チユーブ、２ａ：チユーブ内
壁、２ｂ：溝部、３：キヤツプ、３ｂ：液排出口
、４：電気炉、６：ボート、Ｗ：ウエハ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 炉内に挿入され、内部にウエハを支持したボー
トが収納されると共に、不純物を含むキヤリアガ
スが流される拡散炉の炉芯管において、 炉芯管内壁底部には、炉芯管軸方向に延伸する
溝部が形成されると共に、この溝部内の液体を排
出する液排出口を備えたことを特徴とする拡散炉
の炉芯管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9623188U JPH0217832U (ja) | 1988-07-20 | 1988-07-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9623188U JPH0217832U (ja) | 1988-07-20 | 1988-07-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0217832U true JPH0217832U (ja) | 1990-02-06 |
Family
ID=31321087
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9623188U Pending JPH0217832U (ja) | 1988-07-20 | 1988-07-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0217832U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5425665A (en) * | 1977-07-28 | 1979-02-26 | Nec Corp | Reactor core tube |
| JPS6150330A (ja) * | 1984-08-20 | 1986-03-12 | Oki Electric Ind Co Ltd | 拡散炉の洗浄方法 |
-
1988
- 1988-07-20 JP JP9623188U patent/JPH0217832U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5425665A (en) * | 1977-07-28 | 1979-02-26 | Nec Corp | Reactor core tube |
| JPS6150330A (ja) * | 1984-08-20 | 1986-03-12 | Oki Electric Ind Co Ltd | 拡散炉の洗浄方法 |