JPH01140103A - カラーフィルターの製造方法 - Google Patents
カラーフィルターの製造方法Info
- Publication number
- JPH01140103A JPH01140103A JP62299230A JP29923087A JPH01140103A JP H01140103 A JPH01140103 A JP H01140103A JP 62299230 A JP62299230 A JP 62299230A JP 29923087 A JP29923087 A JP 29923087A JP H01140103 A JPH01140103 A JP H01140103A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color filter
- temp
- resin layer
- treatment
- color
- Prior art date
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- Pending
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- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、熱処理時に発生するカラーフィルターのク
ラックおよび変色を防止し得る固体ｖｌｉｌ素像素子ラ
ーフィルターの製造方法に関する。
ラックおよび変色を防止し得る固体ｖｌｉｌ素像素子ラ
ーフィルターの製造方法に関する。
（従来の技術）
従来カラーフィルターを製造する際には、カラーフィル
ター用透明基板または固体ｉａ像素子を形成して平滑化
処理を施した基板上にカラーフィルターを形成した後に
、熱処理を施してカラーフィルターの乾燥を行なってい
る。この熱処理は、基板上にカラーフィルターを形成し
た段階で、基板。
ター用透明基板または固体ｉａ像素子を形成して平滑化
処理を施した基板上にカラーフィルターを形成した後に
、熱処理を施してカラーフィルターの乾燥を行なってい
る。この熱処理は、基板上にカラーフィルターを形成し
た段階で、基板。
全体を内部の湿度が１１０ないし１５０℃のオーブンに
入れ、そのまま８０分程度放置することにより行なわれ
る。
入れ、そのまま８０分程度放置することにより行なわれ
る。
また、透明基板上に形成したカラーフィルターは、後に
接着剤を介して固体ｌ１（ｉＩ素子と貼り合わせるが、
その際にも接着剤の硬化を助成するために熱処理を施す
。
接着剤を介して固体ｌ１（ｉＩ素子と貼り合わせるが、
その際にも接着剤の硬化を助成するために熱処理を施す
。
（発明が解決しようとする問題点）
しかし、カラーフィルター乾燥のための熱処理は、被染
色樹脂層の染色もしくは被染色樹脂層の染色後その上に
設けられる混色防止層の形成の度に行なわれるものであ
るが、それに伴う樹脂層の膨脹、収縮によってカラーフ
ィルターのメインパターンにクラックが発生する場合が
ある。
色樹脂層の染色もしくは被染色樹脂層の染色後その上に
設けられる混色防止層の形成の度に行なわれるものであ
るが、それに伴う樹脂層の膨脹、収縮によってカラーフ
ィルターのメインパターンにクラックが発生する場合が
ある。
また、カラーフィルターと固体撮像素子との貼り合わせ
の際の熱処理により、カラーフィルターが変色するとい
う問題も生じる。
の際の熱処理により、カラーフィルターが変色するとい
う問題も生じる。
カラーフィルターが変色したり、メインパターンにクラ
ックが発生した場合には、規定された波長以外の波長を
有する光が受光部に入射するために、カラーフィルター
としては使用不可能となる。
ックが発生した場合には、規定された波長以外の波長を
有する光が受光部に入射するために、カラーフィルター
としては使用不可能となる。
この発明は、上記事情に鑑み、カラーフィルター形成時
においてカラーフィルターのメインパターンに発生する
クラックと、カラーフィルターと固体撮像素子との貼り
合わせの際のカラーフィルターの変色とを防止し得るカ
ラーフィルターの製造方法を提供することを目的とする
。
においてカラーフィルターのメインパターンに発生する
クラックと、カラーフィルターと固体撮像素子との貼り
合わせの際のカラーフィルターの変色とを防止し得るカ
ラーフィルターの製造方法を提供することを目的とする
。
〔問題点を解決するための手段〕
この発明のカラーフィルターの製造方法は、基板上にレ
ジストを用いて被染色樹脂層を形成して該樹脂層を染色
し、その後すぐに、もしくは染色した該樹脂層上に染料
の混色を防止する混色防止層を樹脂を用いてを形成した
後、基板全体を室温ないし４０℃の雰囲気下に置ぎ、昇
温速度０．５ないし２．０℃７ｇ＋ｉｎで該雰囲気温度
を１５０ないし１８０”Ｃまで昇温し、適当な時間その
まま保持することにより熱処理を施すことを特徴とする
。
ジストを用いて被染色樹脂層を形成して該樹脂層を染色
し、その後すぐに、もしくは染色した該樹脂層上に染料
の混色を防止する混色防止層を樹脂を用いてを形成した
後、基板全体を室温ないし４０℃の雰囲気下に置ぎ、昇
温速度０．５ないし２．０℃７ｇ＋ｉｎで該雰囲気温度
を１５０ないし１８０”Ｃまで昇温し、適当な時間その
まま保持することにより熱処理を施すことを特徴とする
。
この熱処理は、通常オーブン内で行なわれるが、内部温
度および昇温速度の間第が可能なものであれば特に限定
されるものではない。
度および昇温速度の間第が可能なものであれば特に限定
されるものではない。
この発明の製造方法において、カラーフィルターのメイ
ンパターンを形成する樹脂は、重クロム酸系レジスト、
例えば重クロム酸系のグリユー、ゼラチン、カゼイン等
を好適に使用することができる。
ンパターンを形成する樹脂は、重クロム酸系レジスト、
例えば重クロム酸系のグリユー、ゼラチン、カゼイン等
を好適に使用することができる。
この発明の製造方法において、カラーフィルターの熱処
理を行なう雰囲気の初期温度は室温ないし４０℃が好適
であり、該雰囲気温度の昇温速度は０．５ないし２．０
℃／ｓｉｎが好適であるが、特には０．９ないし１．１
℃／ｓｉｎが好ましく、また、該雰囲気の最終温度は１
５０ないし１８０℃が好適であるが、特には１６０ない
し１７０℃が好ましい。なお、最終温度達成後の保持時
間は、乾燥に要する時間を適宜選択することができるが
、通常５０ないし１８０分程程度ある。
理を行なう雰囲気の初期温度は室温ないし４０℃が好適
であり、該雰囲気温度の昇温速度は０．５ないし２．０
℃／ｓｉｎが好適であるが、特には０．９ないし１．１
℃／ｓｉｎが好ましく、また、該雰囲気の最終温度は１
５０ないし１８０℃が好適であるが、特には１６０ない
し１７０℃が好ましい。なお、最終温度達成後の保持時
間は、乾燥に要する時間を適宜選択することができるが
、通常５０ないし１８０分程程度ある。
この発明の製造方法によると、基板上にカラーフィルタ
ーを形成した後の乾燥のための熱処理が、基板温度の急
激な上昇を招く方法ではなく、室温ないしそれに近い温
度から時間をかけて徐々に温度を上げる方法によって行
なわれる。したがって、熱処理の際のカラーフィルター
の膨脹、収縮が軽減され、カラーフィルターのメインパ
ターンにクラックが発生する可能性は小さくなる。
ーを形成した後の乾燥のための熱処理が、基板温度の急
激な上昇を招く方法ではなく、室温ないしそれに近い温
度から時間をかけて徐々に温度を上げる方法によって行
なわれる。したがって、熱処理の際のカラーフィルター
の膨脹、収縮が軽減され、カラーフィルターのメインパ
ターンにクラックが発生する可能性は小さくなる。
また、最ｎ温度を高温にすることにより、この熱処理を
施したカラーフィルターは、後の貼り合わせの際の熱処
理にも変色を起こすことなく安定である。
施したカラーフィルターは、後の貼り合わせの際の熱処
理にも変色を起こすことなく安定である。
以下、この発明の一実施例を詳細に説明する。
ガラス基板上に、重クロム酸系レジストであるゼラチン
を塗布し、フォトマスクを使用して露光を行なった後、
現像によって未硬化の樹脂を除去することによってバタ
ーニングを行なった。形成された樹脂層をカヤノール・
ミーリング・グリーン５ＧＷ（日本上薬（株）製）を用
いて染色した後、基板全体をオーブンに入れ、以下の条
件で熱処理を行なった。
を塗布し、フォトマスクを使用して露光を行なった後、
現像によって未硬化の樹脂を除去することによってバタ
ーニングを行なった。形成された樹脂層をカヤノール・
ミーリング・グリーン５ＧＷ（日本上薬（株）製）を用
いて染色した後、基板全体をオーブンに入れ、以下の条
件で熱処理を行なった。
オーブン内の初期温度： ４０ ℃
昇温速度： １．０ ℃／ａｋｉｎオーブン内の
最終温度： １６０ ”Ｃ保持時間：最終温度達成
１６０分間 熱処理中のオープン内の温度変化は、第１図に示す通り
であった。第１図において、縦軸はオープン内の温度を
、横軸は経過時間をそれぞれ示す。
最終温度： １６０ ”Ｃ保持時間：最終温度達成
１６０分間 熱処理中のオープン内の温度変化は、第１図に示す通り
であった。第１図において、縦軸はオープン内の温度を
、横軸は経過時間をそれぞれ示す。
熱処理を終えた基板に、冷却後、感光性透明樹脂である
ＦＶＲ（富士薬品工業（株）製）を全面に塗布し、再び
フォトマスクを用いて露光した後、現像によって未硬化
の樹脂を除去して混色防止用の樹脂層を形成し、基板を
再びオーブンに入れて以下の条件で熱処理を行なった。
ＦＶＲ（富士薬品工業（株）製）を全面に塗布し、再び
フォトマスクを用いて露光した後、現像によって未硬化
の樹脂を除去して混色防止用の樹脂層を形成し、基板を
再びオーブンに入れて以下の条件で熱処理を行なった。
オーブン内の初期温度＝ ４０ ℃
昇温速度＝ １．１ ℃／ｍｉｎオーブン内の最
ＩＩ温度： １７５ ℃保持時間：最終温度達成後 ７
０分間 さらに、染料としてスミノール・ミーリング・スカーレ
ットＧ（住友化学（株）製）およびカヤノール・ミーリ
ング・ブルーＧＷ（日本上薬（株）製）を用いて上記方
法により同様の処理を繰返し、カラーフィルターを形成
した。
ＩＩ温度： １７５ ℃保持時間：最終温度達成後 ７
０分間 さらに、染料としてスミノール・ミーリング・スカーレ
ットＧ（住友化学（株）製）およびカヤノール・ミーリ
ング・ブルーＧＷ（日本上薬（株）製）を用いて上記方
法により同様の処理を繰返し、カラーフィルターを形成
した。
以上の方法によって形成されたカラーフィルターには、
メインパターンにクラックが発生して使用不可能となっ
たものは無く、固体１１１１１素子との貼り合わせの際
の熱処理による変色も見られない。
メインパターンにクラックが発生して使用不可能となっ
たものは無く、固体１１１１１素子との貼り合わせの際
の熱処理による変色も見られない。
以上のように、この発明が提供するカラーフィルターの
製造方法によれば、基板上にカラーフィルターを形成す
る工程におけるメインパターンのクラック発生と、カラ
ーフィルターおよび固体撮像素子の貼り合わせの際の熱
処理による変色を防止することが可能となる。
製造方法によれば、基板上にカラーフィルターを形成す
る工程におけるメインパターンのクラック発生と、カラ
ーフィルターおよび固体撮像素子の貼り合わせの際の熱
処理による変色を防止することが可能となる。
第１図は、この発明に係わる実施例における熱処理中の
オーブン内の湿度変化を示す縮図である。 出願人代理人 弁理士 鈴江武廊
オーブン内の湿度変化を示す縮図である。 出願人代理人 弁理士 鈴江武廊
Claims (1)
- カラーフィルター用透明基板または固体撮像素子を形成
してざらに平滑化処理をした基板上にレジストを用いて
被染色樹脂層を形成し、該樹脂層を染色した後もしくは
該樹脂層を染色して該樹脂層上に混色防止層を形成した
後に、基板全体を室温ないし４０℃の雰囲気下に置き、
昇温速度０．５ないし２．０℃／ｍｉｎで該雰囲気を１
５０ないし１８０℃まで昇温し、適当な時間そのまま保
持することにより熱処理を施すことを特徴とする固体撮
像素子用カラーフィルターの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62299230A JPH01140103A (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | カラーフィルターの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62299230A JPH01140103A (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | カラーフィルターの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01140103A true JPH01140103A (ja) | 1989-06-01 |
Family
ID=17869827
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62299230A Pending JPH01140103A (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | カラーフィルターの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01140103A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61289304A (ja) * | 1985-06-17 | 1986-12-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | 固体カラ−撮像素子 |
-
1987
- 1987-11-27 JP JP62299230A patent/JPH01140103A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61289304A (ja) * | 1985-06-17 | 1986-12-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | 固体カラ−撮像素子 |
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