JPH01168946U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01168946U JPH01168946U JP6639688U JP6639688U JPH01168946U JP H01168946 U JPH01168946 U JP H01168946U JP 6639688 U JP6639688 U JP 6639688U JP 6639688 U JP6639688 U JP 6639688U JP H01168946 U JPH01168946 U JP H01168946U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- metal member
- disposed
- induced plasma
- metal
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 3
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 2
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
添附図面は、本考案の一実施例を示す断面図で
ある。 １……上部フランジ、２……下部フランジ、３
……ガスノズル、４……孔、５……内管、６……
外管、７……Ｏリングシール、８……冷却水導入
孔、９……冷却水排出孔、１０……ＲＦコイル、
１１……高電圧発生装置。
ある。 １……上部フランジ、２……下部フランジ、３
……ガスノズル、４……孔、５……内管、６……
外管、７……Ｏリングシール、８……冷却水導入
孔、９……冷却水排出孔、１０……ＲＦコイル、
１１……高電圧発生装置。
Claims (1)
- 絶縁性物質で形成された管の周囲に巻回された
ＲＦコイルに励磁電流を流して該管内部に誘導プ
ラズマを発生させる誘導プラズマ発生装置におい
て、該管の一方の端部に配置された金属製部材と
、該管の他方の端部に配置された金属製部材との
間に高圧発生手段を接続したことを特徴とする誘
導プラズマ発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6639688U JPH01168946U (ja) | 1988-05-20 | 1988-05-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6639688U JPH01168946U (ja) | 1988-05-20 | 1988-05-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01168946U true JPH01168946U (ja) | 1989-11-29 |
Family
ID=31291802
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6639688U Pending JPH01168946U (ja) | 1988-05-20 | 1988-05-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01168946U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6269454A (ja) * | 1985-09-17 | 1987-03-30 | ユナイテッド キングドム アトミック エナ↓−ヂイ オ↓−ソリテイ | イオン源 |
-
1988
- 1988-05-20 JP JP6639688U patent/JPH01168946U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6269454A (ja) * | 1985-09-17 | 1987-03-30 | ユナイテッド キングドム アトミック エナ↓−ヂイ オ↓−ソリテイ | イオン源 |