JPH01168947U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01168947U JPH01168947U JP6639788U JP6639788U JPH01168947U JP H01168947 U JPH01168947 U JP H01168947U JP 6639788 U JP6639788 U JP 6639788U JP 6639788 U JP6639788 U JP 6639788U JP H01168947 U JPH01168947 U JP H01168947U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust pipe
- tube
- chamber
- application device
- induced plasma
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims description 3
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例である誘導プラズマ
成膜装置を示す図、第２図は熱交換器の一例を示
す図である。 １……トーチ、２……管、３……ガスノズル、
４……ＲＦコイル、５……孔、６……材料、７…
…チヤンバー、８……排気管、９……排気ポンプ
、１０……熱交換器、１１……冷却水導入管、１
２……冷却水排出管、１３……孔、１４……プレ
ート、１５……連通管。
成膜装置を示す図、第２図は熱交換器の一例を示
す図である。 １……トーチ、２……管、３……ガスノズル、
４……ＲＦコイル、５……孔、６……材料、７…
…チヤンバー、８……排気管、９……排気ポンプ
、１０……熱交換器、１１……冷却水導入管、１
２……冷却水排出管、１３……孔、１４……プレ
ート、１５……連通管。
Claims (1)
- 絶縁性物質で形成された管の周囲に巻回された
ＲＦコイルに励磁電流を流して該管内部に誘導プ
ラズマを発生させる誘導プラズマ発生装置を用い
た誘導プラズマ応用装置において、該管に接続さ
れたチヤンバーに排気管を取付け、該排気管の他
端に設けられた排気ポンプによつて該チヤンバー
内を排気するように構成し、該排気管の内部に冷
却水によつて冷却される熱交換器を配置したこと
を特徴とする誘導プラズマ応用装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6639788U JPH0518837Y2 (ja) | 1988-05-20 | 1988-05-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6639788U JPH0518837Y2 (ja) | 1988-05-20 | 1988-05-20 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01168947U true JPH01168947U (ja) | 1989-11-29 |
| JPH0518837Y2 JPH0518837Y2 (ja) | 1993-05-19 |
Family
ID=31291803
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6639788U Expired - Lifetime JPH0518837Y2 (ja) | 1988-05-20 | 1988-05-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0518837Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-05-20 JP JP6639788U patent/JPH0518837Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0518837Y2 (ja) | 1993-05-19 |
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