JPH01185810A - 磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
磁気ヘッド及びその製造方法Info
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Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は磁気ディスク、ｉｔｌ！録装置等に用いられる
磁気ヘッド及びその製造方法に関する。
磁気ヘッド及びその製造方法に関する。
「従来の技術」
従来、メタルインギャップ型の磁気ヘッドは、第４図に
示す様に一対の各コア２１．２２の突き合わせ面にスパ
ッタリング法等により金属軟磁性薄膜２３．２４を形成
し、その二つのコア２１゜２２を第５図に示す様に端部
にギャップスペース材２５を挟んでギャップスペース２
６を設けて突き合わせ、ギャップスペース２６の上方に
載置された封着ガラス棒２７を溶敵することにより二つ
のコア２１．２２をガラスにより接合したブロックを作
り、該ブロックを薄いチップに切断して製造されるもの
であった（特開昭６０−１９３１１０号参照）。
示す様に一対の各コア２１．２２の突き合わせ面にスパ
ッタリング法等により金属軟磁性薄膜２３．２４を形成
し、その二つのコア２１゜２２を第５図に示す様に端部
にギャップスペース材２５を挟んでギャップスペース２
６を設けて突き合わせ、ギャップスペース２６の上方に
載置された封着ガラス棒２７を溶敵することにより二つ
のコア２１．２２をガラスにより接合したブロックを作
り、該ブロックを薄いチップに切断して製造されるもの
であった（特開昭６０−１９３１１０号参照）。
しかしながら、金属軟磁性薄膜２３．２４としては、Ｆ
ｅ−Ａｌ−３ｔ合金、Ｎ１−Ｆｅ合金。
ｅ−Ａｌ−３ｔ合金、Ｎ１−Ｆｅ合金。
Ｆｅ系アモルファス合金、Ｃｏ系アモルファス合金など
が用いられ、これらの合金は一般にガラスとの濡れ性が
悪いという性質を持っている。
が用いられ、これらの合金は一般にガラスとの濡れ性が
悪いという性質を持っている。
それ故、第６図に示す様に、加熱処理前の封着ガラス棒
２７内に存在した気泡２８がそのまま残存しであるいは
加熱処理中に雰囲気ガスを巻き込んで溶融ガラス２９中
に気泡３０が発生したり、また、ギャップスペース２６
に溶融した封着ガラス２９が十分に浸透しないことがあ
った。このため、コア２１．２２の接合強度が低く磁気
ヘッドの製造歩留りが非常に悪いという問題点、また、
製造された磁気ヘッドの強度及び耐久性が低下するとい
う問題点があった。
２７内に存在した気泡２８がそのまま残存しであるいは
加熱処理中に雰囲気ガスを巻き込んで溶融ガラス２９中
に気泡３０が発生したり、また、ギャップスペース２６
に溶融した封着ガラス２９が十分に浸透しないことがあ
った。このため、コア２１．２２の接合強度が低く磁気
ヘッドの製造歩留りが非常に悪いという問題点、また、
製造された磁気ヘッドの強度及び耐久性が低下するとい
う問題点があった。
「発明が解決しようとする課題」
本発明は上記の問題点を解決するためなされたものであ
り、ガラス中に発生する気泡を追放し、また、コアとガ
ラスとの濡れ性を数片して接合強度に優れ、また製造歩
留りの高い磁気ヘッド及びその製造方法を提供すること
を目的とする。
り、ガラス中に発生する気泡を追放し、また、コアとガ
ラスとの濡れ性を数片して接合強度に優れ、また製造歩
留りの高い磁気ヘッド及びその製造方法を提供すること
を目的とする。
１課題を解決するための手段」
」ユ記目的を達成するため本発明では、二つのコアを接
合してギャップが形成されると共に、その各コアのギャ
ップ形成面に金属軟磁性体薄膜が形成されてなるメタル
インギャップ型の磁気ヘッドにおいて、前記金属軟磁性
体薄膜の上に、ＡＩ。
合してギャップが形成されると共に、その各コアのギャ
ップ形成面に金属軟磁性体薄膜が形成されてなるメタル
インギャップ型の磁気ヘッドにおいて、前記金属軟磁性
体薄膜の上に、ＡＩ。
Ｃｒ、Ｐｂ、Ｖ、Ｔｔなどからなる高温で窒化物又は酸
化物を形成し易い金属の薄膜がさらに形成され、ガラス
にて前記二つのコアが接合されていることを特徴とする
磁気ヘッドが提供される。
化物を形成し易い金属の薄膜がさらに形成され、ガラス
にて前記二つのコアが接合されていることを特徴とする
磁気ヘッドが提供される。
そして、その製造方法として、前記二つのコアを突き合
わせて配置し、その突き合わせ面付近にガラスを載置し
て窒素ガス（Ｎ、）雰囲気中において前記ガラスの作業
温度より高い温度での熱処理を加え、二つのコアを接合
する工程を備えることを特徴とする磁気ヘッドの製造方
法が提供される。
わせて配置し、その突き合わせ面付近にガラスを載置し
て窒素ガス（Ｎ、）雰囲気中において前記ガラスの作業
温度より高い温度での熱処理を加え、二つのコアを接合
する工程を備えることを特徴とする磁気ヘッドの製造方
法が提供される。
「作用」
上記のように構成された磁気ヘッドは、二つのコアの接
合面がＡｌ、Ｏｒなどの金属薄膜により覆われているか
ら、ガラスとの濡れ性がよく微細な隙間にガラスがよく
浸透して接合されるため強度が向上する。また、これら
の金属は高温化で窒素ガス、酸素ガスと反応し易いため
ガラス中に巻き込まれた気泡（Ｎ２や０２）と反応して
金属化合物を生成するため、前記気泡を消滅させる作用
をする。これらの金属化合物は金属単体よりさらにガラ
スとの濡れ性が良好である。
合面がＡｌ、Ｏｒなどの金属薄膜により覆われているか
ら、ガラスとの濡れ性がよく微細な隙間にガラスがよく
浸透して接合されるため強度が向上する。また、これら
の金属は高温化で窒素ガス、酸素ガスと反応し易いため
ガラス中に巻き込まれた気泡（Ｎ２や０２）と反応して
金属化合物を生成するため、前記気泡を消滅させる作用
をする。これらの金属化合物は金属単体よりさらにガラ
スとの濡れ性が良好である。
また、二つのコアの接合を窒素ガス雰囲気中における熱
処理により行うことにより、前記金属薄膜が雰囲気ガス
と直接反応して金属化合物を形成し、ガラスとの濡れ性
を向上させる。
処理により行うことにより、前記金属薄膜が雰囲気ガス
と直接反応して金属化合物を形成し、ガラスとの濡れ性
を向上させる。
「実施例」
実施例について図面を参照し説明する。接合される二つ
のコアは、第２図に示す様に、セラミック磁性体からな
り断面がそれぞれ略■形のコアｌとｌｌ′ＩＣ形コア２
からなる。各コア１．２の突き合わせ面をなす面には、
Ｆｅ−Ａｌ−８ｔ合金からなる金属軟磁性体薄膜３．４
がスパッタリング法により約２０μの厚さに形成され、
さらにその上に、アルミニウム（Ａｌ）からなる極く薄
い金属）ｌＪＩＩ５，６がスパッタリング法により重ね
て形成されている。その膜厚は約０．５μ程度に制御さ
れる６図面では各薄膜′う、４，５．６の膜厚は誇張し
て示している。
のコアは、第２図に示す様に、セラミック磁性体からな
り断面がそれぞれ略■形のコアｌとｌｌ′ＩＣ形コア２
からなる。各コア１．２の突き合わせ面をなす面には、
Ｆｅ−Ａｌ−８ｔ合金からなる金属軟磁性体薄膜３．４
がスパッタリング法により約２０μの厚さに形成され、
さらにその上に、アルミニウム（Ａｌ）からなる極く薄
い金属）ｌＪＩＩ５，６がスパッタリング法により重ね
て形成されている。その膜厚は約０．５μ程度に制御さ
れる６図面では各薄膜′う、４，５．６の膜厚は誇張し
て示している。
第３図に示す様に、二つのコア１．２を互いに金属薄膜
５，６の面が接するよつに突き合わせて配置し、背面Ｉ
Ａ、２Ａより加圧した状態に置く。
５，６の面が接するよつに突き合わせて配置し、背面Ｉ
Ａ、２Ａより加圧した状態に置く。
この場合、金属薄８５．６により約１μの磁気へラドギ
ャップスペースが確保されるため、従来のようにギャッ
プスペース材２５を介在させる必要がない、そして、コ
ア２のＣ型形状により形成される空所に到着ガラス棒８
を載置し、窒素ガス雰囲気において４００℃〜７００℃
の熱処理を加える。
ャップスペースが確保されるため、従来のようにギャッ
プスペース材２５を介在させる必要がない、そして、コ
ア２のＣ型形状により形成される空所に到着ガラス棒８
を載置し、窒素ガス雰囲気において４００℃〜７００℃
の熱処理を加える。
雰囲気ガスは酸素分圧が２０ ｐｐｍ以下の窒素ガスを
用い常圧で行った。また、熱処理は５℃／ｗｉｎの温度
上昇率で４００℃〜７００’Ｃまで加熱し、その温度で
１時間程度維持した後、２℃／ｍｉｄ程の温度Ｆ降率で
徐冷した。
用い常圧で行った。また、熱処理は５℃／ｗｉｎの温度
上昇率で４００℃〜７００’Ｃまで加熱し、その温度で
１時間程度維持した後、２℃／ｍｉｄ程の温度Ｆ降率で
徐冷した。
第１図は熱処理前と熱処理後の状態を示す要部の側面図
である。熱処理前には図面（ａ）に示す様に到着ガラス
棒８内に気泡９が封じ込められている場合がある。気泡
の成分は空気でありＯｌやＮ。
である。熱処理前には図面（ａ）に示す様に到着ガラス
棒８内に気泡９が封じ込められている場合がある。気泡
の成分は空気でありＯｌやＮ。
が主なものである。熱処理後には図面（ｂ）に示す様に
溶融した封着ガラス１０が固化した表面は滑らかな凹状
を示し、従来の第６図（ｂ）に示すように凸状を示すこ
とがない、これは封着ガラス１０とＡＩ金属薄！１５，
６又はその金属化合物との濡れ性が優れているためであ
ると考えられる。また、封着ガラス１０は磁気ヘッドの
ギャップ１１を形成するわずかな隙間にも深く浸透し、
２つのコア１．２を強固に接合していることが認められ
た。
溶融した封着ガラス１０が固化した表面は滑らかな凹状
を示し、従来の第６図（ｂ）に示すように凸状を示すこ
とがない、これは封着ガラス１０とＡＩ金属薄！１５，
６又はその金属化合物との濡れ性が優れているためであ
ると考えられる。また、封着ガラス１０は磁気ヘッドの
ギャップ１１を形成するわずかな隙間にも深く浸透し、
２つのコア１．２を強固に接合していることが認められ
た。
さらに、封着ガラス１０中にはほとんど気泡が認められ
なかった。これは、封着ガラス棒８中に封じ込められた
気泡９中のガス（Ｎ＊、０．）が金属薄膜５，６と反応
して金属化合物を生成し吸着されてしまうことと、封着
ガラス１０と金属薄Ｉ８！５゜６との濡れ性が極めて良
好になるため、溶融した封着ガラス１０内に雰囲気ガス
を巻き込んだりして気泡を発生ずることがほとんどなく
なることによるのではないかと考えられる。また、金属
薄膜５．６は雰囲気ガスと直接反応して金属化合物に変
成し、封着ガラス１０との濡れ性をさらに向１・させる
。
なかった。これは、封着ガラス棒８中に封じ込められた
気泡９中のガス（Ｎ＊、０．）が金属薄膜５，６と反応
して金属化合物を生成し吸着されてしまうことと、封着
ガラス１０と金属薄Ｉ８！５゜６との濡れ性が極めて良
好になるため、溶融した封着ガラス１０内に雰囲気ガス
を巻き込んだりして気泡を発生ずることがほとんどなく
なることによるのではないかと考えられる。また、金属
薄膜５．６は雰囲気ガスと直接反応して金属化合物に変
成し、封着ガラス１０との濡れ性をさらに向１・させる
。
このようにして接合されたコア１，２を０．３ｍ＋ｓ程
度の厚さのチップに切断し、そのチップの一フ１磨、コ
イルの巻回等の所定の加ｌ二を経て磁気ｌ＼ラッド製造
する。封着ガラス１０中に気泡がなく、またギャッ１１
１にも封着ガラス１０が浸透し“（２つのコア１．２の
接合が強固なため、特に切断加ｒ二における製造歩留り
を大きく向上させることができた。また、製造された磁
気ヘッドの強度品質を均一なものとすることができた。
度の厚さのチップに切断し、そのチップの一フ１磨、コ
イルの巻回等の所定の加ｌ二を経て磁気ｌ＼ラッド製造
する。封着ガラス１０中に気泡がなく、またギャッ１１
１にも封着ガラス１０が浸透し“（２つのコア１．２の
接合が強固なため、特に切断加ｒ二における製造歩留り
を大きく向上させることができた。また、製造された磁
気ヘッドの強度品質を均一なものとすることができた。
以、Ｌ述べた実施例では窒素ガス雰囲気中で熱処理を行
ったが、アルゴンガス等の他のガスを用いた非酸化性雰
囲気で熱処理を行ってもよい。
ったが、アルゴンガス等の他のガスを用いた非酸化性雰
囲気で熱処理を行ってもよい。
［発明の効果」
本発明は、以上説明したように構成されているので、次
のような効果を奏する。
のような効果を奏する。
二つのコアを接合するガラス内に気泡が発生ぜず、また
、コアの接合面をなす＊属薄膜はガラスとの濡れ性が良
好であり微小な間隙までガラスが浸透するため、均一な
ギャップが得られると共に均質で良好な接合部強度を有
する磁気ヘッドを提供できる。
、コアの接合面をなす＊属薄膜はガラスとの濡れ性が良
好であり微小な間隙までガラスが浸透するため、均一な
ギャップが得られると共に均質で良好な接合部強度を有
する磁気ヘッドを提供できる。
また、窒素ガス雰囲気中で熱処理を行う前記の製造方法
によって、金属薄膜は雰囲気ガスと直接反応して金属化
合物を生成するため、ガラスとの濡れ性がさらに向上し
、均質で高い接合強度をもったコアが得られ製造歩留り
を大幅に向上させることができる。
によって、金属薄膜は雰囲気ガスと直接反応して金属化
合物を生成するため、ガラスとの濡れ性がさらに向上し
、均質で高い接合強度をもったコアが得られ製造歩留り
を大幅に向上させることができる。
第１図乃至第３図は本発明の実施例を示し、第１図は接
合部を示す側面図、第２図は二つのコアを示す斜視図、
第３図は接合時の配置を示す斜視図であり、第４図乃至
第６図は従来例を示し、第４図及び第５図は斜視図、第
６図は接合部を示す側面図である。 １．２．、、コア、 ３，４．、、金属軟磁性体薄膜、
５．６．、、ＡＩ等の金属薄膜、 ８１１、封着ガラス
棒、 ９１０．気泡、 １０．、、溶融固化した封着ガ
ラス、 １１ 、、、ギャップ、 ２６．、、ギャ
ップスペース。 第１図 （ａ）熱処理前 （ｂ）熱処理後 第２図 （ａ） （ｂ）第３図 第４図 （ａ） （ｂ）第５図 第６図 （ａ）熱処理前 （ｂ）熱処理後
合部を示す側面図、第２図は二つのコアを示す斜視図、
第３図は接合時の配置を示す斜視図であり、第４図乃至
第６図は従来例を示し、第４図及び第５図は斜視図、第
６図は接合部を示す側面図である。 １．２．、、コア、 ３，４．、、金属軟磁性体薄膜、
５．６．、、ＡＩ等の金属薄膜、 ８１１、封着ガラス
棒、 ９１０．気泡、 １０．、、溶融固化した封着ガ
ラス、 １１ 、、、ギャップ、 ２６．、、ギャ
ップスペース。 第１図 （ａ）熱処理前 （ｂ）熱処理後 第２図 （ａ） （ｂ）第３図 第４図 （ａ） （ｂ）第５図 第６図 （ａ）熱処理前 （ｂ）熱処理後
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 二つのコアを接合してギャップが形成されると共に
、その各コアのギャップ形成面に金属軟磁性体薄膜が形
成されてなるメタルインギャップ型の磁気ヘッドにおい
て、 前記金属軟磁性体薄膜の上に、Ａｌ、Ｃｒ、Ｐｂ、Ｖ、
Ｔｉなどからなる高温で窒化物又は酸化物を形成し易い
金属の薄膜がさらに形成され、ガラスにて前記二つのコ
アが接合されていることを特徴とする磁気ヘッド。 ２ 二つのコアを接合してギャップが形成されると共に
、その各コアのギャップ形成面に金属軟磁性体薄膜が形
成されてなるメタルインギャップ型の磁気ヘッドの製造
方法であつて、 前記各コアの突き合わせ面に金属軟磁性体薄膜を形成す
る工程と、 さらにその金属軟磁性体薄膜の上に、Ａｌ、Ｃｒ、Ｐｂ
、Ｖ、Ｔｉのうちいずれか一つの金属からなる金属薄膜
を形成する工程と、 その二つのコアを突き合わせて配置し、その突き合わせ
面付近にガラスを載置して窒素ガス（Ｎ＿２）雰囲気中
において前記ガラスの作業温度より高い温度での熱処理
を加え、二つのコアを接合する工程と、 を備えることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1114388A JPH01185810A (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1114388A JPH01185810A (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01185810A true JPH01185810A (ja) | 1989-07-25 |
Family
ID=11769799
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1114388A Pending JPH01185810A (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01185810A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02141910A (ja) * | 1988-11-22 | 1990-05-31 | Tdk Corp | 磁気ヘッド |
| US5481422A (en) * | 1992-07-24 | 1996-01-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic head with metallic magnetic film and protective film means |
-
1988
- 1988-01-21 JP JP1114388A patent/JPH01185810A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02141910A (ja) * | 1988-11-22 | 1990-05-31 | Tdk Corp | 磁気ヘッド |
| US5481422A (en) * | 1992-07-24 | 1996-01-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic head with metallic magnetic film and protective film means |
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