JPH06338024A - 磁気ヘッド - Google Patents
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- JPH06338024A JPH06338024A JP14829493A JP14829493A JPH06338024A JP H06338024 A JPH06338024 A JP H06338024A JP 14829493 A JP14829493 A JP 14829493A JP 14829493 A JP14829493 A JP 14829493A JP H06338024 A JPH06338024 A JP H06338024A
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Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 補強ガラスとして500°C台の後半以上の
温度で溶融するガラスを用いても、反応防止膜の素材が
金属磁性膜の中に拡散せず、補強ガラスと金属磁性膜と
の間の反応を確実に防止できる反応防止膜を形成する。 【構成】 金属磁性膜5,5と補強ガラス9との境界に
酸化クロムからなる反応防止膜11を形成している。
温度で溶融するガラスを用いても、反応防止膜の素材が
金属磁性膜の中に拡散せず、補強ガラスと金属磁性膜と
の間の反応を確実に防止できる反応防止膜を形成する。 【構成】 金属磁性膜5,5と補強ガラス9との境界に
酸化クロムからなる反応防止膜11を形成している。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、少なくとも一方が酸化
物磁性材料の基板と金属磁性膜により構成される一対の
磁気コア半体をギャップ材を介在させて突き合わせると
共にギャップ近傍の斜面部に補強ガラスを充填してなる
所謂メタル・イン・ギャップ(MIG)型複合磁気ヘッ
ドに関する。更に詳述すると、本発明は、金属磁性膜と
補強ガラスとの反応を防止する膜の改良に関する。
物磁性材料の基板と金属磁性膜により構成される一対の
磁気コア半体をギャップ材を介在させて突き合わせると
共にギャップ近傍の斜面部に補強ガラスを充填してなる
所謂メタル・イン・ギャップ(MIG)型複合磁気ヘッ
ドに関する。更に詳述すると、本発明は、金属磁性膜と
補強ガラスとの反応を防止する膜の改良に関する。
【0002】MIGヘッドは、コアの大部分をフェライ
トなどの酸化物磁性材料の基板で構成し、ポールピース
部分にのみセンダスト等の高磁束密度材料の薄膜を使用
したものである。このMIGヘッドは、例えば特開平1
−100714号に示すように、酸化物磁性材料の基板
と金属磁性膜により構成される一対の磁気コア半体をギ
ャップ材を介在させて突き合わせ、低融点補強ガラスで
接合するようにしている。このため、ガラスと金属磁性
膜との間などでの反応が問題となる。
トなどの酸化物磁性材料の基板で構成し、ポールピース
部分にのみセンダスト等の高磁束密度材料の薄膜を使用
したものである。このMIGヘッドは、例えば特開平1
−100714号に示すように、酸化物磁性材料の基板
と金属磁性膜により構成される一対の磁気コア半体をギ
ャップ材を介在させて突き合わせ、低融点補強ガラスで
接合するようにしている。このため、ガラスと金属磁性
膜との間などでの反応が問題となる。
【0003】そこで、図4および図5に示すようなMI
Gヘッドの構造の採用が考えられている。このMIGヘ
ッドは、フェライト等の酸化物磁性材料からなる一対の
基板101,101と、この一対の基板101,101
の少なくとも一方のギャップ対向面(本明細書では磁気
ギャップに対して平行な突き合わせ接合面のうち特にギ
ャップを構成する部分をいう)102に連続する斜面部
103を有する巻線溝104と、一対の基板101,1
01が互いに向かい合う面に形成したセンダスト等の金
属磁性材料からなる金属磁性膜105,105と、一対
の基板101,101のギャップ対向面102,102
を接着してギャップ106を形成する二酸化ケイ素(S
iO2 )等の非磁性材料からなるギャップ材107と、
一対の基板101,101が接着された状態で巻線溝1
04から形成された巻線窓108の斜面部103の箇所
に充填された補強ガラス109と、基板101,101
と金属磁性膜105,105との境界に形成された二酸
化ケイ素(SiO2 )等の酸化物からなる第1の反応防
止膜110,110と、金属磁性膜105,105と補
強ガラス109との境界に形成されたクロム(Cr)か
らなる第2の反応防止膜111,111とから構成され
ている。
Gヘッドの構造の採用が考えられている。このMIGヘ
ッドは、フェライト等の酸化物磁性材料からなる一対の
基板101,101と、この一対の基板101,101
の少なくとも一方のギャップ対向面(本明細書では磁気
ギャップに対して平行な突き合わせ接合面のうち特にギ
ャップを構成する部分をいう)102に連続する斜面部
103を有する巻線溝104と、一対の基板101,1
01が互いに向かい合う面に形成したセンダスト等の金
属磁性材料からなる金属磁性膜105,105と、一対
の基板101,101のギャップ対向面102,102
を接着してギャップ106を形成する二酸化ケイ素(S
iO2 )等の非磁性材料からなるギャップ材107と、
一対の基板101,101が接着された状態で巻線溝1
04から形成された巻線窓108の斜面部103の箇所
に充填された補強ガラス109と、基板101,101
と金属磁性膜105,105との境界に形成された二酸
化ケイ素(SiO2 )等の酸化物からなる第1の反応防
止膜110,110と、金属磁性膜105,105と補
強ガラス109との境界に形成されたクロム(Cr)か
らなる第2の反応防止膜111,111とから構成され
ている。
【0004】ここで、第1の反応防止膜110,110
は、二酸化ケイ素(SiO2 )等の酸化物からなり、フ
ェライト等の酸化物磁性材料から成る基板101,10
1とセンダスト等の金属磁性膜105,105とが反応
することを防止している。また、第2の反応防止膜11
1,111は、クロム(Cr)からなり、センダスト等
の金属磁性膜105,105と補強ガラス109とが反
応して、金属磁性膜105,105中にガラス成分が拡
散するのを防止している。
は、二酸化ケイ素(SiO2 )等の酸化物からなり、フ
ェライト等の酸化物磁性材料から成る基板101,10
1とセンダスト等の金属磁性膜105,105とが反応
することを防止している。また、第2の反応防止膜11
1,111は、クロム(Cr)からなり、センダスト等
の金属磁性膜105,105と補強ガラス109とが反
応して、金属磁性膜105,105中にガラス成分が拡
散するのを防止している。
【0005】このような構造のMIGヘッドは、基板1
01,101の突き合わせ面に反応防止膜110,11
0、金属磁性膜105,105、反応防止膜111,1
11及びギャップ材107の各膜がスパッタリング等の
薄膜形成法によって順次積層された一対の磁気コア半体
を突き合わせ、ギャップ近傍の斜面部103に溶融した
補強ガラス109を充填して固めることによって得られ
る。このMIGヘッドは、通常大きなブロックに形成さ
れ、スライスによって所望の大きさのヘッドコアチップ
として切り出され、ヘッドホルダやスライダなどに溶融
ガラスで固着されて使用されている。
01,101の突き合わせ面に反応防止膜110,11
0、金属磁性膜105,105、反応防止膜111,1
11及びギャップ材107の各膜がスパッタリング等の
薄膜形成法によって順次積層された一対の磁気コア半体
を突き合わせ、ギャップ近傍の斜面部103に溶融した
補強ガラス109を充填して固めることによって得られ
る。このMIGヘッドは、通常大きなブロックに形成さ
れ、スライスによって所望の大きさのヘッドコアチップ
として切り出され、ヘッドホルダやスライダなどに溶融
ガラスで固着されて使用されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、例えばハー
ドディスクドライブ(HDD)のようにヘッドコアチッ
プをスライダーにガラスボンデイングする場合、ボンデ
イング用の溶融ガラスの温度によって先に充填固化した
補強ガラス109が溶融してしまうことのないように、
補強ガラス109としてはボンディング用のガラスに比
較して融点の高いものを用いる必要がある。例えば補強
ガラス109の融点を500゜C後半以上とし、ボンデ
イング用のガラスをそれ以下の温度にする。
ドディスクドライブ(HDD)のようにヘッドコアチッ
プをスライダーにガラスボンデイングする場合、ボンデ
イング用の溶融ガラスの温度によって先に充填固化した
補強ガラス109が溶融してしまうことのないように、
補強ガラス109としてはボンディング用のガラスに比
較して融点の高いものを用いる必要がある。例えば補強
ガラス109の融点を500゜C後半以上とし、ボンデ
イング用のガラスをそれ以下の温度にする。
【0007】しかしながら、500°C台の前半の温度
下で溶融するガラスを補強ガラス109として用いる場
合には、第2の反応防止膜111,111としてクロム
を用いても特に問題を生じないが、500°C台の後半
のより高い温度下でしか溶融しないガラスを補強ガラス
109として用いると、より高い温度に上げるため第2
の反応防止膜111,111のクロムが金属磁性膜10
5,105の中に拡散し、金属磁性膜105,105と
補強ガラス109との反応を防止するという第2の反応
防止膜111,111としての機能を果たせなくなる問
題が起きるばかりか、またクロムが金属磁性膜105,
105に拡散することによって、金属磁性膜105,1
05の持つ軟磁気特性が劣化してしまうという問題も起
きる。
下で溶融するガラスを補強ガラス109として用いる場
合には、第2の反応防止膜111,111としてクロム
を用いても特に問題を生じないが、500°C台の後半
のより高い温度下でしか溶融しないガラスを補強ガラス
109として用いると、より高い温度に上げるため第2
の反応防止膜111,111のクロムが金属磁性膜10
5,105の中に拡散し、金属磁性膜105,105と
補強ガラス109との反応を防止するという第2の反応
防止膜111,111としての機能を果たせなくなる問
題が起きるばかりか、またクロムが金属磁性膜105,
105に拡散することによって、金属磁性膜105,1
05の持つ軟磁気特性が劣化してしまうという問題も起
きる。
【0008】本発明は、500°C台の後半以上の温度
で溶融するガラスを補強ガラスとして充填しても、反応
防止膜の素材が金属磁性膜の中に拡散することがなく、
補強ガラスと金属磁性膜との間の反応を確実に防止で
き、また金属磁性膜の軟磁気特性を劣化させることのな
い構造の磁気ヘッドを提供することを目的とする。
で溶融するガラスを補強ガラスとして充填しても、反応
防止膜の素材が金属磁性膜の中に拡散することがなく、
補強ガラスと金属磁性膜との間の反応を確実に防止で
き、また金属磁性膜の軟磁気特性を劣化させることのな
い構造の磁気ヘッドを提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、本発明は、少なくとも一方の磁気コア半体が酸化物
磁性材料の基板と金属磁性膜により構成されかつギャッ
プ対向面に連続する斜面部を有する一対の磁気コア半体
をギャップ材を介在させて突き合わせると共にこれら一
対の磁気コア半体間の斜面部に補給ガラスを充填してな
る磁気ヘッドにおいて、補強ガラスと金属磁性膜との間
に酸化クロムより成る反応防止膜を設けている。
め、本発明は、少なくとも一方の磁気コア半体が酸化物
磁性材料の基板と金属磁性膜により構成されかつギャッ
プ対向面に連続する斜面部を有する一対の磁気コア半体
をギャップ材を介在させて突き合わせると共にこれら一
対の磁気コア半体間の斜面部に補給ガラスを充填してな
る磁気ヘッドにおいて、補強ガラスと金属磁性膜との間
に酸化クロムより成る反応防止膜を設けている。
【0010】また、本発明は、反応防止膜を形成する酸
化クロムがギャップ材を兼用している。
化クロムがギャップ材を兼用している。
【0011】
【作用】したがって、500°C台の後半以上で溶融し
ている補強ガラスを充填しても、反応防止膜の素材であ
る酸化クロムは金属磁性膜に拡散することがない。
ている補強ガラスを充填しても、反応防止膜の素材であ
る酸化クロムは金属磁性膜に拡散することがない。
【0012】また、反応防止膜を形成する酸化クロムが
ギャップ材を兼用している場合には、その酸化クロムが
磁気ヘッドのギャップを形成する。
ギャップ材を兼用している場合には、その酸化クロムが
磁気ヘッドのギャップを形成する。
【0013】
【実施例】以下、本発明の構成を図面に示す実施例に基
づいて詳細に説明する。
づいて詳細に説明する。
【0014】図1および図2に本発明の第1の実施例の
磁気ヘッドを示す。この磁気ヘッドは、図1に示すよう
に、酸化物磁性材の基板1に金属磁性膜5とその他の幾
つかの極めて薄い膜が成膜された一対の磁気コア半体
A,Bを突き合わせて接合することによって構成されて
いる。磁気コア半体A,Bは、フェライト等の酸化物磁
性材料からなる基板1と、この基板1のギャップ突き合
わせ面(ギャップ対向面2を含む)に形成された二酸化
ケイ素(SiO2 )等の酸化物からなる第1の反応防止
膜10と、センダスト等の金属磁性材料からなる金属磁
性膜5と、酸化クロム(Cr2 O3 )からなる第2の反
応防止膜11,11とから構成されている。また、少な
くとも一方の磁気コア半体例えば磁気コア半体Aにはギ
ャップ対向面2に連続する斜面部3を有する巻線溝4が
形成されている。本実施例の場合、他方の磁気コア半体
Bは平坦な板状に形成され、その内側の面即ち突き合わ
せ面に各膜10,5,11が成膜されている。これら一
対の磁気コア半体A,Bのギャップ対向面2,2の間に
はギャップ6を形成する二酸化ケイ素(SiO2 )等の
非磁性材料からなるギャップ材7が介在されている。そ
して、突き合わせられた一対の磁気コア半体A,Bの間
に形成された巻線窓8の斜面部3の箇所に補強ガラス9
が充填されている。ここで、補強ガラス9は500°C
台の後半以上の溶融状態で充填されるが、反応防止膜1
1,11を形成する酸化クロムは金属磁性膜5,5の中
に拡散することがない。
磁気ヘッドを示す。この磁気ヘッドは、図1に示すよう
に、酸化物磁性材の基板1に金属磁性膜5とその他の幾
つかの極めて薄い膜が成膜された一対の磁気コア半体
A,Bを突き合わせて接合することによって構成されて
いる。磁気コア半体A,Bは、フェライト等の酸化物磁
性材料からなる基板1と、この基板1のギャップ突き合
わせ面(ギャップ対向面2を含む)に形成された二酸化
ケイ素(SiO2 )等の酸化物からなる第1の反応防止
膜10と、センダスト等の金属磁性材料からなる金属磁
性膜5と、酸化クロム(Cr2 O3 )からなる第2の反
応防止膜11,11とから構成されている。また、少な
くとも一方の磁気コア半体例えば磁気コア半体Aにはギ
ャップ対向面2に連続する斜面部3を有する巻線溝4が
形成されている。本実施例の場合、他方の磁気コア半体
Bは平坦な板状に形成され、その内側の面即ち突き合わ
せ面に各膜10,5,11が成膜されている。これら一
対の磁気コア半体A,Bのギャップ対向面2,2の間に
はギャップ6を形成する二酸化ケイ素(SiO2 )等の
非磁性材料からなるギャップ材7が介在されている。そ
して、突き合わせられた一対の磁気コア半体A,Bの間
に形成された巻線窓8の斜面部3の箇所に補強ガラス9
が充填されている。ここで、補強ガラス9は500°C
台の後半以上の溶融状態で充填されるが、反応防止膜1
1,11を形成する酸化クロムは金属磁性膜5,5の中
に拡散することがない。
【0015】以上のように構成された磁気ヘッドは例え
ば次のようにして製造される。まず、平板状のフェライ
ト基板1と巻線溝4を形成した舟形のフェライト基板1
のそれぞれのギャップ対向面2及びその他の突き合わせ
面や巻線溝4内にスパッタリング等の薄膜形成技術によ
って二酸化ケイ素からなる第1の反応防止膜10,10
をそれぞれ形成する。次いで、この第1の反応防止膜1
0,10の上に、同様にスパッタリングなどにより金属
磁性膜5,5となるセンダスト合金を成膜する。その
後、金属磁性膜5,5の上から同様にスパッタリングな
どによって酸化クロムの膜を成膜し、第2の反応防止膜
11,11を形成する。これによって、一対の磁気コア
半体A,Bを得る。その後、いずれか一方若しくは双方
の磁気コア半体A,Bの第2の反応防止膜11の上にギ
ャップ材7を成膜して一対の磁気コア半体A,Bを接着
する。このとき、磁気コア半体A,B間の斜面部3には
溶融した補強ガラス9が充填され固められている。
ば次のようにして製造される。まず、平板状のフェライ
ト基板1と巻線溝4を形成した舟形のフェライト基板1
のそれぞれのギャップ対向面2及びその他の突き合わせ
面や巻線溝4内にスパッタリング等の薄膜形成技術によ
って二酸化ケイ素からなる第1の反応防止膜10,10
をそれぞれ形成する。次いで、この第1の反応防止膜1
0,10の上に、同様にスパッタリングなどにより金属
磁性膜5,5となるセンダスト合金を成膜する。その
後、金属磁性膜5,5の上から同様にスパッタリングな
どによって酸化クロムの膜を成膜し、第2の反応防止膜
11,11を形成する。これによって、一対の磁気コア
半体A,Bを得る。その後、いずれか一方若しくは双方
の磁気コア半体A,Bの第2の反応防止膜11の上にギ
ャップ材7を成膜して一対の磁気コア半体A,Bを接着
する。このとき、磁気コア半体A,B間の斜面部3には
溶融した補強ガラス9が充填され固められている。
【0016】図3に第2の実施例の磁気ヘッドを示す。
この磁気ヘッドは、金属磁性膜5,5と補強ガラス9と
の間の反応を防止する反応防止膜11,11として酸化
クロムを用いている点は上記第1の実施例と同様である
が、本実施例では、この酸化クロムの膜がギャップ材と
しても使用されている。即ち、本実施例では、反応防止
膜11,11を形成する酸化クロムがギャップ材(図1
の符号7で示す部分を参照)を兼用している。酸化クロ
ムは非磁性材であるため、ギャップ材として用いること
ができる。
この磁気ヘッドは、金属磁性膜5,5と補強ガラス9と
の間の反応を防止する反応防止膜11,11として酸化
クロムを用いている点は上記第1の実施例と同様である
が、本実施例では、この酸化クロムの膜がギャップ材と
しても使用されている。即ち、本実施例では、反応防止
膜11,11を形成する酸化クロムがギャップ材(図1
の符号7で示す部分を参照)を兼用している。酸化クロ
ムは非磁性材であるため、ギャップ材として用いること
ができる。
【0017】なお、上述の実施例は本発明の好適な実施
の一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発明
の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能であ
る。例えば、本実施例では両方の磁気コア半体A,Bに
金属磁性膜5がそれぞれ形成されたMIGヘッドについ
て説明したが、本発明はこれに限定されるものではな
く、例えば片方の磁気コア半体にのみ金属磁性膜が形成
されたMIGヘッドにも応用できることは言うまでもな
い。この場合にはギャップ材あるいは反応防止膜11を
介在させて突き合わせられる一方の磁気コア半体の金属
磁性膜とこれに対向する他方の磁気コア半体の酸化物磁
性材との間でギャップが構成される。また、両磁気コア
半体A,Bの形状は図示の如き非対称形状に限られず対
称形状であっても良い。
の一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発明
の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能であ
る。例えば、本実施例では両方の磁気コア半体A,Bに
金属磁性膜5がそれぞれ形成されたMIGヘッドについ
て説明したが、本発明はこれに限定されるものではな
く、例えば片方の磁気コア半体にのみ金属磁性膜が形成
されたMIGヘッドにも応用できることは言うまでもな
い。この場合にはギャップ材あるいは反応防止膜11を
介在させて突き合わせられる一方の磁気コア半体の金属
磁性膜とこれに対向する他方の磁気コア半体の酸化物磁
性材との間でギャップが構成される。また、両磁気コア
半体A,Bの形状は図示の如き非対称形状に限られず対
称形状であっても良い。
【0018】
【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
の磁気ヘッドは、一対の磁気コア半体間の斜面部に充填
される補強ガラスと金属磁性膜との間に酸化クロムより
成る反応防止膜を設けているので、500°C台の後半
以上で溶融する補強ガラスを充填しても、反応防止膜の
酸化クロムは金属磁性膜の中に拡散することがなく、補
強ガラスと金属磁性膜との間の反応を確実に防止できる
と共に金属磁性膜の軟磁気特性が劣化するのを防ぐこと
ができる。
の磁気ヘッドは、一対の磁気コア半体間の斜面部に充填
される補強ガラスと金属磁性膜との間に酸化クロムより
成る反応防止膜を設けているので、500°C台の後半
以上で溶融する補強ガラスを充填しても、反応防止膜の
酸化クロムは金属磁性膜の中に拡散することがなく、補
強ガラスと金属磁性膜との間の反応を確実に防止できる
と共に金属磁性膜の軟磁気特性が劣化するのを防ぐこと
ができる。
【0019】また、反応防止膜を形成する酸化クロムが
ギャップ材を兼用する場合には、製造工程を省略でき、
構造も簡素化され、コスト低減できる。
ギャップ材を兼用する場合には、製造工程を省略でき、
構造も簡素化され、コスト低減できる。
【図1】本発明の磁気ヘッドの一実施例を示す図で、磁
気ヘッドの全体を表す斜視図である。
気ヘッドの全体を表す斜視図である。
【図2】図1のIIで示す囲み部分の拡大斜視図である。
【図3】本発明の磁気ヘッドの他の実施例の要部を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図4】従来の磁気ヘッドの全体を示す斜視図である。
【図5】図4のVで示す囲み部分の拡大斜視図である。
1 基板 2 ギャップ突き合わせ面 3 斜面部 4 巻線溝 5 金属磁性膜 6 ギャップ 7 ギャップ材 8 巻線窓 9 補強ガラス 11 酸化クロムからなる反応防止膜
Claims (2)
- 【請求項1】 少なくとも一方の磁気コア半体が酸化物
磁性材料の基板と金属磁性膜により構成されかつギャッ
プ対向面に連続する斜面部を有する一対の磁気コア半体
をギャップ材を介在させて突き合わせると共にこれら一
対の磁気コア半体間の前記斜面部に補給ガラスを充填し
てなる磁気ヘッドにおいて、前記補強ガラスと前記金属
磁性膜との間に酸化クロムより成る反応防止膜を設けた
ことを特徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項2】 前記反応防止膜を形成する酸化クロムが
前記ギャップ材を兼用していることを特徴とする請求項
1記載の磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14829493A JPH06338024A (ja) | 1993-05-28 | 1993-05-28 | 磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14829493A JPH06338024A (ja) | 1993-05-28 | 1993-05-28 | 磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06338024A true JPH06338024A (ja) | 1994-12-06 |
Family
ID=15449565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14829493A Pending JPH06338024A (ja) | 1993-05-28 | 1993-05-28 | 磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06338024A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20180371589A1 (en) * | 2015-11-06 | 2018-12-27 | Lg Innotek Co., Ltd. | Soft-magnetic alloy |
-
1993
- 1993-05-28 JP JP14829493A patent/JPH06338024A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20180371589A1 (en) * | 2015-11-06 | 2018-12-27 | Lg Innotek Co., Ltd. | Soft-magnetic alloy |
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