JPH07121817A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH07121817A JPH07121817A JP5270686A JP27068693A JPH07121817A JP H07121817 A JPH07121817 A JP H07121817A JP 5270686 A JP5270686 A JP 5270686A JP 27068693 A JP27068693 A JP 27068693A JP H07121817 A JPH07121817 A JP H07121817A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- magnetic head
- gap
- manufacturing
- magnetic
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 軟磁性合金薄膜と絶縁膜で構成された積層型
磁気ヘッドにおいて、ギャップ形成時に巻線溝部にガラ
スを安定して溶融させる製造方法を実現する。 【構成】 軟磁性合金薄膜１を非磁性基板２で挟み込
み、巻線溝４とギャップ材３を成膜した磁気ヘッドにお
いて、ギャップ面を突き合わせた後、熱処理によってガ
ラス棒５を溶融させ、コア半体を接合する工程におい
て、図１(b)に示すように熱処理時の雰囲気をガラスの
屈伏点まで酸素を含む雰囲気とし、以降、不活性ガス中
とするか、もしくは不活性ガス中に酸素を0.1〜１％含
む雰囲気とする磁気ヘッドの製造方法。
磁気ヘッドにおいて、ギャップ形成時に巻線溝部にガラ
スを安定して溶融させる製造方法を実現する。 【構成】 軟磁性合金薄膜１を非磁性基板２で挟み込
み、巻線溝４とギャップ材３を成膜した磁気ヘッドにお
いて、ギャップ面を突き合わせた後、熱処理によってガ
ラス棒５を溶融させ、コア半体を接合する工程におい
て、図１(b)に示すように熱処理時の雰囲気をガラスの
屈伏点まで酸素を含む雰囲気とし、以降、不活性ガス中
とするか、もしくは不活性ガス中に酸素を0.1〜１％含
む雰囲気とする磁気ヘッドの製造方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＶＴＲ(Ｖideo tape r
ecorder)，ＤＡＴ(dynamic address translation)等に使用する磁気ヘッドの製造方法に関す
るものである。
ecorder)，ＤＡＴ(dynamic address translation)等に使用する磁気ヘッドの製造方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、磁気記録技術の動向はビデオヘッ
ド等、高周波領域での特性が要求されるに従い、サブミ
クロンの記録波長に十分対応できる磁気ヘッドおよび記
録媒体が要望されている。このような現状の中で磁気ヘ
ッドは、保磁力(Ｈc)の高い記録媒体(例えば、メタル，
Ｂa−Ｆeテ−プ)に十分な書き込みを行うため、フェラ
イト等の非金属磁性材料と比べ、より飽和磁束密度(Ｂ
s)の高い軟磁性合金薄膜で(例えば、センダスト，非晶
質材料)主磁路を構成した積層型の磁気ヘッドの開発が
行われ、一部は実用化されＳ−ＶＨＳ，業務用Ｄ−ＶＴ
Ｒ用などに搭載されている。
ド等、高周波領域での特性が要求されるに従い、サブミ
クロンの記録波長に十分対応できる磁気ヘッドおよび記
録媒体が要望されている。このような現状の中で磁気ヘ
ッドは、保磁力(Ｈc)の高い記録媒体(例えば、メタル，
Ｂa−Ｆeテ−プ)に十分な書き込みを行うため、フェラ
イト等の非金属磁性材料と比べ、より飽和磁束密度(Ｂ
s)の高い軟磁性合金薄膜で(例えば、センダスト，非晶
質材料)主磁路を構成した積層型の磁気ヘッドの開発が
行われ、一部は実用化されＳ−ＶＨＳ，業務用Ｄ−ＶＴ
Ｒ用などに搭載されている。
【０００３】以下、図面を参照しながら従来の磁気ヘッ
ドの製造方法について説明する。図３は積層型磁気ヘッ
ドの製造方法を示す工程図であり、図３(a)は軟磁性合
金薄膜13を非磁性基板14で挟み込んだ構成であり、一対
で磁気ヘッドとなるコア半体の少なくとも一方に巻線溝
15が形成され、ギャップ面16は鏡面に研磨された後、ギ
ャップ材(図では省略)としてガラス膜を所定厚(ギャッ
プ長に相当)スパッタ法等で形成されている。また、図
３(b)はギャップ形成時の状態を示すものであり、一対
のコア半体を突き合わせた後、治具で加圧し(図では省
略)、ガラス棒17を巻線溝18に配したものである。この
状態で図３(c)に示すように、窒素雰囲気中で熱処理を
加えギャップ接合を行うと同時にガラス棒17を溶融させ
る。上記の条件で熱処理を行ったものは、ギャップ長が
狭い積層型の磁気ヘッドでは(業務用Ｄ−ＶＴＲでは0.2
μm)ガラス溶融面がセラミックと金属膜で構成されてい
るため、溶融の仕方にムラが生じる。その結果、図３
(d)に示すように、ガラス19が扇状になった溶融の仕方
をする。
ドの製造方法について説明する。図３は積層型磁気ヘッ
ドの製造方法を示す工程図であり、図３(a)は軟磁性合
金薄膜13を非磁性基板14で挟み込んだ構成であり、一対
で磁気ヘッドとなるコア半体の少なくとも一方に巻線溝
15が形成され、ギャップ面16は鏡面に研磨された後、ギ
ャップ材(図では省略)としてガラス膜を所定厚(ギャッ
プ長に相当)スパッタ法等で形成されている。また、図
３(b)はギャップ形成時の状態を示すものであり、一対
のコア半体を突き合わせた後、治具で加圧し(図では省
略)、ガラス棒17を巻線溝18に配したものである。この
状態で図３(c)に示すように、窒素雰囲気中で熱処理を
加えギャップ接合を行うと同時にガラス棒17を溶融させ
る。上記の条件で熱処理を行ったものは、ギャップ長が
狭い積層型の磁気ヘッドでは(業務用Ｄ−ＶＴＲでは0.2
μm)ガラス溶融面がセラミックと金属膜で構成されてい
るため、溶融の仕方にムラが生じる。その結果、図３
(d)に示すように、ガラス19が扇状になった溶融の仕方
をする。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
積層型ヘッドの製造方法では巻線溝で溶融するガラスの
溶融の仕方にムラが生じるため、ヘッドチップにしたと
き、ガラスがなく強度不足のものや、ダンゴ状になって
巻線のスペ−スが確保できないものなどの問題があっ
た。本発明はこのような従来の課題を解決するもので、
信頼性の高い磁気ヘッドの製造方法を提供することを目
的とするものである。
積層型ヘッドの製造方法では巻線溝で溶融するガラスの
溶融の仕方にムラが生じるため、ヘッドチップにしたと
き、ガラスがなく強度不足のものや、ダンゴ状になって
巻線のスペ−スが確保できないものなどの問題があっ
た。本発明はこのような従来の課題を解決するもので、
信頼性の高い磁気ヘッドの製造方法を提供することを目
的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、ガラス溶融時(ギャップ形成時)の炉内の雰
囲気をガラスの屈伏点以下を酸素を含む雰囲気(大気中)
とし、以降、不活性ガス中にすることや、もしくは雰囲
気を酸素0.1〜１％で、他は不活性ガス中で処理するこ
とによって基板の表面に酸化膜を形成し、ガラスの濡れ
性を向上させるものである。
に本発明は、ガラス溶融時(ギャップ形成時)の炉内の雰
囲気をガラスの屈伏点以下を酸素を含む雰囲気(大気中)
とし、以降、不活性ガス中にすることや、もしくは雰囲
気を酸素0.1〜１％で、他は不活性ガス中で処理するこ
とによって基板の表面に酸化膜を形成し、ガラスの濡れ
性を向上させるものである。
【０００６】
【作用】したがって、本発明によれば、ギャップ形成時
の条件を上記の雰囲気にすることによってガラスの濡れ
性が良くなり、巻線溝に良好な状態でモ−ルドできるよ
うになるため、接着強度に優れた磁気ヘッドが得られ
る。
の条件を上記の雰囲気にすることによってガラスの濡れ
性が良くなり、巻線溝に良好な状態でモ−ルドできるよ
うになるため、接着強度に優れた磁気ヘッドが得られ
る。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の第１の実施例について図面を
参照しながら説明する。図１(a)は本発明の磁気ヘッド
のギャップ形成時の状態を示すものであり、軟磁性合金
薄膜１と非磁性基板２で構成されたコア半体をギャップ
材３を介して突き合わしたものである。この一対のコア
半体を治具で加圧しながら熱処理を行い、巻線溝４に配
したガラス棒５を溶融させ接合する。このときの熱処理
条件を、図１(b)に示すように前記ガラスの屈伏点(Ａt
点)まで酸素を含む雰囲気(例えば大気中)で処理し、以
降、不活性ガス(窒素)雰囲気とする。なお、屈伏点で温
度を一定にしているが、これは管状炉の雰囲気を置換し
やすくするもので、ベルト炉のような温度によって雰囲
気を仕切れるものでは不要である。上記の条件にするこ
とによって図１(c)に示すようにガラス６の濡れの良好
な状態が得られる。また、前記の大気中の処理温度の条
件はガラス，炉の昇温速度によって変わり、200℃〜屈
伏点までの間で一定温度に保持しても同様の結果が得ら
れた。
参照しながら説明する。図１(a)は本発明の磁気ヘッド
のギャップ形成時の状態を示すものであり、軟磁性合金
薄膜１と非磁性基板２で構成されたコア半体をギャップ
材３を介して突き合わしたものである。この一対のコア
半体を治具で加圧しながら熱処理を行い、巻線溝４に配
したガラス棒５を溶融させ接合する。このときの熱処理
条件を、図１(b)に示すように前記ガラスの屈伏点(Ａt
点)まで酸素を含む雰囲気(例えば大気中)で処理し、以
降、不活性ガス(窒素)雰囲気とする。なお、屈伏点で温
度を一定にしているが、これは管状炉の雰囲気を置換し
やすくするもので、ベルト炉のような温度によって雰囲
気を仕切れるものでは不要である。上記の条件にするこ
とによって図１(c)に示すようにガラス６の濡れの良好
な状態が得られる。また、前記の大気中の処理温度の条
件はガラス，炉の昇温速度によって変わり、200℃〜屈
伏点までの間で一定温度に保持しても同様の結果が得ら
れた。
【０００８】次に、本発明の第２の実施例について図面
を参照しながら説明する。図２(a)は磁気ヘッドのギャ
ップ形成時の状態を示すものであり、軟磁性合金薄膜７
と非磁性基板８で構成されたコア半体をギャップ材９を
介して突き合わしたものである。この一対のコア半体を
治具で加圧しながら熱処理を行い、巻線溝に配したガラ
ス棒11を溶融させ接合する。このときの熱処理条件を、
図２(b)に示すように不活性ガス中に酸素を0.1〜１％含
んだ雰囲気にすることによって、図２(c)に示すように
ガラス12の濡れの良好な状態が得られた。酸素量はガラ
スの種類によって変動するが、作業温度500℃付近の低
融点ガラスでは0.1％以下の雰囲気では濡れ性が悪く、
１％を超えると基板や軟磁性膜との反応や気泡が問題と
なった。
を参照しながら説明する。図２(a)は磁気ヘッドのギャ
ップ形成時の状態を示すものであり、軟磁性合金薄膜７
と非磁性基板８で構成されたコア半体をギャップ材９を
介して突き合わしたものである。この一対のコア半体を
治具で加圧しながら熱処理を行い、巻線溝に配したガラ
ス棒11を溶融させ接合する。このときの熱処理条件を、
図２(b)に示すように不活性ガス中に酸素を0.1〜１％含
んだ雰囲気にすることによって、図２(c)に示すように
ガラス12の濡れの良好な状態が得られた。酸素量はガラ
スの種類によって変動するが、作業温度500℃付近の低
融点ガラスでは0.1％以下の雰囲気では濡れ性が悪く、
１％を超えると基板や軟磁性膜との反応や気泡が問題と
なった。
【０００９】
【発明の効果】以上のように本発明は、ガラスを溶融す
る条件としてガラスの屈伏点付近まで大気中とし、以降
は不活性ガス雰囲気で処理するか、もしくは不活性ガス
中に酸素を0.1〜１％含有した雰囲気中で処理すること
によって、ガラスの濡れ性を向上させ、軟磁性合金薄膜
との反応を抑制することによって歩留まりの高い、しか
も信頼性に優れた磁気ヘッドが得られるという効果を有
する。
る条件としてガラスの屈伏点付近まで大気中とし、以降
は不活性ガス雰囲気で処理するか、もしくは不活性ガス
中に酸素を0.1〜１％含有した雰囲気中で処理すること
によって、ガラスの濡れ性を向上させ、軟磁性合金薄膜
との反応を抑制することによって歩留まりの高い、しか
も信頼性に優れた磁気ヘッドが得られるという効果を有
する。
【図１】本発明の第１の実施例におけるギャップ形成時
の外観形状，ギャップ形成時の条件およびヘッドチップ
の斜視図等を示す図である。
の外観形状，ギャップ形成時の条件およびヘッドチップ
の斜視図等を示す図である。
【図２】本発明の第２の実施例におけるギャップ形成時
の外観形状，ギャップ形成時の条件およびヘッドチップ
の斜視図等を示す図である。
の外観形状，ギャップ形成時の条件およびヘッドチップ
の斜視図等を示す図である。
【図３】従来の磁気ヘッドのギャップ形成前の外観形
状，ギャップ形成時の外観形状，ギャップ形成時の条件
およびヘッドチップの斜視図等を示す図である。
状，ギャップ形成時の外観形状，ギャップ形成時の条件
およびヘッドチップの斜視図等を示す図である。
１，７，13…軟磁性合金薄膜、 ２，７，15…非磁性基
板、 ３，９…ギャップ材、 ４，10，15，18…巻線
溝、 ５，11，17…ガラス棒、 ６，12，19…ガラス。
板、 ３，９…ギャップ材、 ４，10，15，18…巻線
溝、 ５，11，17…ガラス棒、 ６，12，19…ガラス。
Claims (2)
- 【請求項１】 主磁路が軟磁性合金薄膜で構成され両側
面を非磁性基板で挟み込んだ構造の積層型磁気ヘッドの
製造方法において、ギャップ形成時の熱処理条件を巻線
溝に配したガラスの屈伏点以下の温度を酸素を含む雰囲
気とし、以降、不活性ガスに置換して温度を上昇させ前
記ガラスを溶融することを特徴とする磁気ヘッドの製造
方法。 - 【請求項２】 主磁路が軟磁性合金薄膜で構成され両側
面を非磁性基板で挟み込んだ構造の積層型磁気ヘッドの
製造方法において、ギャップ形成時の熱処理時の雰囲気
を不活性ガス中に酸素を0.1〜１％含む状態で温度を上
昇させガラスを溶融することを特徴とする磁気ヘッドの
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5270686A JPH07121817A (ja) | 1993-10-28 | 1993-10-28 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5270686A JPH07121817A (ja) | 1993-10-28 | 1993-10-28 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07121817A true JPH07121817A (ja) | 1995-05-12 |
Family
ID=17489542
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5270686A Pending JPH07121817A (ja) | 1993-10-28 | 1993-10-28 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07121817A (ja) |
-
1993
- 1993-10-28 JP JP5270686A patent/JPH07121817A/ja active Pending
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