JPH01214143A - 光透過窓を有する気密部品 - Google Patents
光透過窓を有する気密部品Info
- Publication number
- JPH01214143A JPH01214143A JP63040344A JP4034488A JPH01214143A JP H01214143 A JPH01214143 A JP H01214143A JP 63040344 A JP63040344 A JP 63040344A JP 4034488 A JP4034488 A JP 4034488A JP H01214143 A JPH01214143 A JP H01214143A
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- JP
- Japan
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- sealing part
- sealed
- light
- light transmission
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は光透過窓を有する気密部品の製造方法に関する
。
。
（従来の技術）
半導体レーザ装置、光通信装置等では光の通過経路に光
透過窓を備えるホルダ等の部品が用いられている。これ
ら部品では通常、金属枠にガラス等から成る光透過窓を
気密に封着している。金属枠の材料としては光透過窓に
用いられるガラスと熱膨張係数が一致するものが好適に
用いられ、−般には鉄−二ツケル−コバルト合金が使用
される。
透過窓を備えるホルダ等の部品が用いられている。これ
ら部品では通常、金属枠にガラス等から成る光透過窓を
気密に封着している。金属枠の材料としては光透過窓に
用いられるガラスと熱膨張係数が一致するものが好適に
用いられ、−般には鉄−二ツケル−コバルト合金が使用
される。
また、光透過窓を金属枠に封着する方法として従来なさ
れている方法は、金属枠に低融点ガラスとの濡れ性を良
好にする目的であらかじめ金属酸化膜を形成し、この金
属酸化膜上の封着部位に低融点ガラスをグレーズし、こ
の低融点ガラスを用いて光透過窓を金属枠に封着する方
法である。
れている方法は、金属枠に低融点ガラスとの濡れ性を良
好にする目的であらかじめ金属酸化膜を形成し、この金
属酸化膜上の封着部位に低融点ガラスをグレーズし、こ
の低融点ガラスを用いて光透過窓を金属枠に封着する方
法である。
（発明が解決しようとする課題）
ところで、光透過窓を有するホルダ等の部品を装造する
際、鉄−ニッケルーコバルト合金が高価なうえ難削材で
あるなどのため、鉄−ニッケルーコバルト合金は光透過
窓を封着する封着部にのみ用い、金属枠の主要部として
の金属基体には安価で外部の枠体などとのレーザ溶接な
どによる接合が容易な軟鋼を用いて、鉄−ニッケルーコ
バルト合金から成る封着部と軟鋼から成る金属基体とを
銀ろう付けあるいは銀付けなどによって一体化した気密
部品が必要になっている。
際、鉄−ニッケルーコバルト合金が高価なうえ難削材で
あるなどのため、鉄−ニッケルーコバルト合金は光透過
窓を封着する封着部にのみ用い、金属枠の主要部として
の金属基体には安価で外部の枠体などとのレーザ溶接な
どによる接合が容易な軟鋼を用いて、鉄−ニッケルーコ
バルト合金から成る封着部と軟鋼から成る金属基体とを
銀ろう付けあるいは銀付けなどによって一体化した気密
部品が必要になっている。
このような気密部品を製造する際は、従来と同様な作業
手順を採用することができない。これは、■ 低融点ガ
ラスの作業温度（約５００℃）よりも銀ろう付け等の作
業温度（約８００℃）が高いため、銀ろう付け等の加熱
時に低融点ガラスが変質してしまい、光透過窓を封着す
る際に機能しなくなること、 ■ また、一般に銀ろう付けは還元性雰囲気中で行うた
め、金属枠に形成された金属酸化膜が銀ろう付け等の接
合時に還元されてしまい低融点ガラスと鉄−ニッケルー
コバルト合金との密着性が阻害される 等の理由からである。
手順を採用することができない。これは、■ 低融点ガ
ラスの作業温度（約５００℃）よりも銀ろう付け等の作
業温度（約８００℃）が高いため、銀ろう付け等の加熱
時に低融点ガラスが変質してしまい、光透過窓を封着す
る際に機能しなくなること、 ■ また、一般に銀ろう付けは還元性雰囲気中で行うた
め、金属枠に形成された金属酸化膜が銀ろう付け等の接
合時に還元されてしまい低融点ガラスと鉄−ニッケルー
コバルト合金との密着性が阻害される 等の理由からである。
したがって、上記の光透過窓を有し、かつ銀ろう付け等
の高温接合の工程を経て製造される気密部品の製造には
従来とは異なる製造方法を採用しなければならない。
の高温接合の工程を経て製造される気密部品の製造には
従来とは異なる製造方法を採用しなければならない。
そこで、本発明は上記製造方法上の問題点に鑑みてなさ
れたものであり、光透過窓を有する気密部品であって製
造の際に銀ろう付け等の高温が加わる作業工程を要する
気密部品の製造方法を提供することを目的とするもので
ある。
れたものであり、光透過窓を有する気密部品であって製
造の際に銀ろう付け等の高温が加わる作業工程を要する
気密部品の製造方法を提供することを目的とするもので
ある。
（課題を解決するための手段）
本発明は上記目的を達成するため次の構成をそなえる。
すなわち、光透過窓を封着する金属枠の封着部の光透過
窓が封着される部位に硬質ガラスを溶着した後、前記封
着部と前記金属枠の軟鋼等から成る金属基体とを銀ろう
付け等により高温接合し、次いで、前記硬質ガラスを介
して低融点ガラスを用いて光透過窓を封着部に封着する
ことを特徴とし、また、 前記封着部を酸素を含む雰囲気中で加熱して封着部の表
面に金属酸化膜を形成した後、該封着部の光透過窓が封
着される部位に硬質ガラスを溶着し、前記金属酸化膜を
剥離して封着部に耐蝕めっき等の所定のめっきを施した
後、該封着部と所定のめっきが施された金属基体とを銀
ろう付け等により高温接合することを特徴とし、また光
透過窓を封着部に封着した後、金属枠に耐蝕めっき等の
所定のめっきを施すことを特徴とする。
窓が封着される部位に硬質ガラスを溶着した後、前記封
着部と前記金属枠の軟鋼等から成る金属基体とを銀ろう
付け等により高温接合し、次いで、前記硬質ガラスを介
して低融点ガラスを用いて光透過窓を封着部に封着する
ことを特徴とし、また、 前記封着部を酸素を含む雰囲気中で加熱して封着部の表
面に金属酸化膜を形成した後、該封着部の光透過窓が封
着される部位に硬質ガラスを溶着し、前記金属酸化膜を
剥離して封着部に耐蝕めっき等の所定のめっきを施した
後、該封着部と所定のめっきが施された金属基体とを銀
ろう付け等により高温接合することを特徴とし、また光
透過窓を封着部に封着した後、金属枠に耐蝕めっき等の
所定のめっきを施すことを特徴とする。
（実施例）
以下本発明の好適な実施例を添付図面にもとづいて詳細
に説明する。
に説明する。
第１図は本発明の製造方法によって得られた光透過窓を
有する気密部品を示す断面図である。
有する気密部品を示す断面図である。
同図で１０は中央部に光を通過させる透孔を有する薄平
板状に形成された封着部である。この実施例では封着部
１０として鉄−ニッケルーコバルト合金を用いる。１２
はこの封着部１０上に接合されるガラス製の光透過窓１
２である。
板状に形成された封着部である。この実施例では封着部
１０として鉄−ニッケルーコバルト合金を用いる。１２
はこの封着部１０上に接合されるガラス製の光透過窓１
２である。
１４は前記封着部１０上に設けられる硬質ガラスであり
、前記光透過窓１２は硬質ガラス１４を介して低融点ガ
ラス１６を用いて封着される。
、前記光透過窓１２は硬質ガラス１４を介して低融点ガ
ラス１６を用いて封着される。
１８は軟鋼から成る金属基体で、前記封着部１０は銀ろ
う付けによって金属基体１８上面に接合される。２０は
銀ろう付け部である。２２は金属基体１８が固設される
枠体で、全屈基体１８外周面が枠体２２にレーザ溶接等
により接合されて支持される。
う付けによって金属基体１８上面に接合される。２０は
銀ろう付け部である。２２は金属基体１８が固設される
枠体で、全屈基体１８外周面が枠体２２にレーザ溶接等
により接合されて支持される。
次いで、上記気密部品の製造方法について説明する。
■ まず、鉄−ニッケルーコバルト合金から成る封着部
１０を酸素を含む雰囲気中で加熱し、封着部１０の全表
面に金属酸化膜を形成する。
１０を酸素を含む雰囲気中で加熱し、封着部１０の全表
面に金属酸化膜を形成する。
■ 次に、前記金属酸化膜が形成された封着部１０の光
透過窓１２を封着する部位に、硬質ガラス粉末を溶剤と
混練したものを塗布し、仮焼して有機成分を揮散させ封
着部１０に溶着する。
透過窓１２を封着する部位に、硬質ガラス粉末を溶剤と
混練したものを塗布し、仮焼して有機成分を揮散させ封
着部１０に溶着する。
これにより、硬質ガラスは前記金属酸化膜となじみ封着
部１０と強固に溶着する。
部１０と強固に溶着する。
ここで用いる硬質ガラスは後工程でなされる銀ろう付け
の温度に耐える高融点を有するとともに、耐蝕めっきを
施す際のめっき液等の処理液で変質しにくい耐薬品性に
優れたガラスを用いる。この硬質ガラスとしては、たと
えばホウケイ酸系ガラスが用いられる。
の温度に耐える高融点を有するとともに、耐蝕めっきを
施す際のめっき液等の処理液で変質しにくい耐薬品性に
優れたガラスを用いる。この硬質ガラスとしては、たと
えばホウケイ酸系ガラスが用いられる。
■ ついで、封着部１０に耐蝕めっきを施す。このとき
、別体で形成される金属基体１８にも所定の耐蝕めっき
を施しておく。
、別体で形成される金属基体１８にも所定の耐蝕めっき
を施しておく。
なお、封着部１０をめっきする際にはあらかじめ酸処理
を行い、封着部１０表面の金属酸化膜を除去してから行
う。
を行い、封着部１０表面の金属酸化膜を除去してから行
う。
■ 次に、封着部１０と金属基体１８とを還元性雰囲気
中で銀ろう付けする。
中で銀ろう付けする。
■ 次に、封着部１０上に溶着された硬質ガラス１４上
にＰｂＯＢ２０’ｒ系などの低融点ガラス粉末を溶剤と
混練して塗布し、仮焼して有機成分を揮散させてグレー
ズする。
にＰｂＯＢ２０’ｒ系などの低融点ガラス粉末を溶剤と
混練して塗布し、仮焼して有機成分を揮散させてグレー
ズする。
■ 最後に、封着部１０上に光透過窓用の板ガラスを載
置し、低融点ガラスが溶融される温度まで加熱すること
により光透過窓１２を封着部１０に封着する。
置し、低融点ガラスが溶融される温度まで加熱すること
により光透過窓１２を封着部１０に封着する。
上述したように、この製造方法では封着部１０にあらか
じめ硬質ガラス１４を溶着しておくこと、および、銀ろ
う付け後この硬質ガラス１４上に低融点ガラス１６を用
いて光透過窓１２を封着することを特徴とする。
じめ硬質ガラス１４を溶着しておくこと、および、銀ろ
う付け後この硬質ガラス１４上に低融点ガラス１６を用
いて光透過窓１２を封着することを特徴とする。
このように、あらかじめ硬質ガラス１４を用いて封着部
１０に溶着しておくことにより、封着部１０をめっき前
処理液およびめっき液に浸漬した際に耐薬品性によって
硬質ガラス１４が侵されないこと、および、封着部１０
を金属基体１８に銀ろう付けする際も耐熱性によって硬
質ガラス１４が変質しないという利点がある。
１０に溶着しておくことにより、封着部１０をめっき前
処理液およびめっき液に浸漬した際に耐薬品性によって
硬質ガラス１４が侵されないこと、および、封着部１０
を金属基体１８に銀ろう付けする際も耐熱性によって硬
質ガラス１４が変質しないという利点がある。
そして、銀ろう付け後に低融点ガラス１６を用いて光透
過窓１２を封着するので、低融点ガラス１６をめっき液
等の処理液や高温などにより変質させることがなく、光
透過窓１２を強固かつ気密に封着することができる。
過窓１２を封着するので、低融点ガラス１６をめっき液
等の処理液や高温などにより変質させることがなく、光
透過窓１２を強固かつ気密に封着することができる。
なお、上述した製造方法のうちで耐蝕めっきを行うのは
必ずしも銀ろう付け前である必要はなく、銀ろう付け前
には、銀ろう付けに不適な封着部１０の金属酸化膜を除
去する処理のみを行って銀ろう付けし、低融点ガラスを
用いて光透過窓を封着した後、最後に、封着部１０およ
び金属基体１８すなわち金属枠全体に耐蝕めっきを施す
こともできる。
必ずしも銀ろう付け前である必要はなく、銀ろう付け前
には、銀ろう付けに不適な封着部１０の金属酸化膜を除
去する処理のみを行って銀ろう付けし、低融点ガラスを
用いて光透過窓を封着した後、最後に、封着部１０およ
び金属基体１８すなわち金属枠全体に耐蝕めっきを施す
こともできる。
また、上記封着部１０としては実施例の鉄−ニッケルー
コバルト合金に限定されるものではなく、また、金属基
体１８としても各種材質が使用できる。
コバルト合金に限定されるものではなく、また、金属基
体１８としても各種材質が使用できる。
以上、本発明について好適な実施例を挙げて種々説明し
たが、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、
発明の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得る
のはもちろんのことである。
たが、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、
発明の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得る
のはもちろんのことである。
（発明の効果）
上述したように、本発明の光透過窓を有する気密部品の
製造方法によれば、封着部の光透過窓の接合部位に硬質
ガラスをあらかじめ溶着するから、銀ろう付け等の高温
接合による高温加熱工程を経ても光透過窓を封着する部
位の硬質ガラスが変質せず、高温接合後に低融点ガラス
を用いて封着することにより、光透過窓を密着性良く封
着することができる。また、硬質ガラスをあらかじめ溶
着することにより、めっき液等の処理液によって溶着部
位が変質せず、好適な光透過窓の封着が可能となる等の
著効を奏する。
製造方法によれば、封着部の光透過窓の接合部位に硬質
ガラスをあらかじめ溶着するから、銀ろう付け等の高温
接合による高温加熱工程を経ても光透過窓を封着する部
位の硬質ガラスが変質せず、高温接合後に低融点ガラス
を用いて封着することにより、光透過窓を密着性良く封
着することができる。また、硬質ガラスをあらかじめ溶
着することにより、めっき液等の処理液によって溶着部
位が変質せず、好適な光透過窓の封着が可能となる等の
著効を奏する。
第１図は本発明の製造方法によって得られる気密部品の
一例を示す断面図である。 １０・・・封着部、 １２・・・光透過窓、１４・・・
硬質ガラス、 １６・・・低融点ガラス、 １８・
・・金属基体、 ２０・・・銀ろう付け部、 ２２・・・枠体。
一例を示す断面図である。 １０・・・封着部、 １２・・・光透過窓、１４・・・
硬質ガラス、 １６・・・低融点ガラス、 １８・
・・金属基体、 ２０・・・銀ろう付け部、 ２２・・・枠体。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、光透過窓を封着する金属枠の封着部の光透過窓が封
着される部位に硬質ガラスを溶着した後、前記封着部と
前記金属枠の軟鋼等からなる金属基体とを銀ろう付け等
により高温接合し、 次いで、前記硬質ガラスを介して低融点ガ ラスを用いて光透過窓を封着部に封着することを特徴と
する光透過窓を有する気密部品の製造方法。 ２、請求項１記載の製造方法において、前記封着部を酸
素を含む雰囲気中で加熱して封着部の表面に金属酸化膜
を形成した後、該封着部の光透過窓が封着される部位に
硬質ガラスを溶着し、 前記金属酸化膜を剥離して封着部に耐蝕め っき等の所定のめっきを施した後、 該封着部と、所定のめっきが施された金属 基体とを銀ろう付け等により高温接合することを特徴と
する光透過窓を有する気密部品の製造方法。 ３、請求項１記載の製造方法において、光透過窓を封着
部に封着した後、金属枠に耐蝕めっき等の所定のめっき
を施すことを特徴とする光透過窓を有する気密部品の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63040344A JPH07101722B2 (ja) | 1988-02-23 | 1988-02-23 | 光透過窓を有する気密部品 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63040344A JPH07101722B2 (ja) | 1988-02-23 | 1988-02-23 | 光透過窓を有する気密部品 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01214143A true JPH01214143A (ja) | 1989-08-28 |
| JPH07101722B2 JPH07101722B2 (ja) | 1995-11-01 |
Family
ID=12578014
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63040344A Expired - Fee Related JPH07101722B2 (ja) | 1988-02-23 | 1988-02-23 | 光透過窓を有する気密部品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07101722B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20120131882A1 (en) * | 2008-05-30 | 2012-05-31 | Dieter Sporn | Method for producing a laminated vacuum-tight connection between a glass pane and a metal frame, and laminated glass pane connection |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6229149A (ja) * | 1985-07-30 | 1987-02-07 | Shinko Electric Ind Co Ltd | ウインドウキヤツプ |
-
1988
- 1988-02-23 JP JP63040344A patent/JPH07101722B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6229149A (ja) * | 1985-07-30 | 1987-02-07 | Shinko Electric Ind Co Ltd | ウインドウキヤツプ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20120131882A1 (en) * | 2008-05-30 | 2012-05-31 | Dieter Sporn | Method for producing a laminated vacuum-tight connection between a glass pane and a metal frame, and laminated glass pane connection |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07101722B2 (ja) | 1995-11-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |