JPH01215996A - 電鋳治具 - Google Patents

電鋳治具

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JPH01215996A
JPH01215996A JP4276388A JP4276388A JPH01215996A JP H01215996 A JPH01215996 A JP H01215996A JP 4276388 A JP4276388 A JP 4276388A JP 4276388 A JP4276388 A JP 4276388A JP H01215996 A JPH01215996 A JP H01215996A
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JP
Japan
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ring
contact
electroforming
contact ring
glass master
Prior art date
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Pending
Application number
JP4276388A
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English (en)
Inventor
Shinji Nakagawa
中川 眞二
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電鋳治具、特に、光デイスクスタンパに使用
しポリシング、ラッピング等の研磨工程を簡略化できる
電鋳治具に関する。
〔従来の技術〕
従来の電鋳治具は、第3図に示すように、平板のコンタ
クトリング11とリング押え12を使用していた。
この場合、コンタクトリング11のリング押え12で覆
われていない部分にも図示するように中央と同じように
同じ厚さだけ電鋳板6′が電鋳されるため、コンタクト
リング11の部分の板厚が電鋳によって形成する板厚よ
りも大となっていた。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながらこのような上述した従来の電鋳治具は、コ
ンタクトリング上にも電鋳され、この部分で板厚が大き
くなるので、そのまま全面ポリシングまたは全面ラッピ
ング研磨ができないためポリシングまたはラッピング研
磨する際にガラス原盤から剥離し、コンタクトリングを
切り落とした後、研磨する必要があり、研磨工程が複雑
になるという欠点があった。
また、ガラス原盤から剥離せず、研磨した場合には、情
報記録面に砥粒や研磨液が侵入して情報記録面に欠陥が
発生するという欠点もあった。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の電鋳治具は、L字形の断面形状を有しガラス原
盤の情報面上にコーティングされた導電膜にこのL字形
の一辺が密着し他の一辺がガラス原盤の側面を覆うコン
タクトリングと、このコンタクトリングの陽極対向面全
面を覆う絶縁物のリング押えとを含んで構成され、かつ
前記コンタクトリングの情報面と密着する一辺の板厚は
電鋳によって形成する厚さよりも薄く他の一辺はガラス
原盤の側面を1mm以上覆う導電部とを含んで構成され
る。
〔実施例〕
次に、本発明の実施例について、図面を参照して説明す
る。
第1図は本発明の一実施例を示す断面図である。
第1図に示す電鋳治具において、コンタクトリング1は
板厚250μmの純ニッケルで一辺6mmのL字形で、
導電膜2と密着するように、かつ、板厚6mmのガラス
原盤3の側面を覆うように取りつけ、さらに導電部5が
内側にある絶縁物のリング押え4をコンタクトリング1
の陽極対向面全面を覆うように取りつけ、コンタクトリ
ング1と導電膜2が密着するように押えた。
このようにして、コンタクトリング1から導電膜2に通
電させ、導電膜2およびコンタクトリング1のリング押
えでカバーされていない側面に電鋳した。
第2図は第1図に示す電鋳治具を使用し、スルファミン
酸ニッケル電鋳液で板厚的300μmに電鋳板6を形成
した時の断面図である。
この電鋳板6を第2図に示す構成のまま全面ポリシング
し、280μ用の板厚まで研磨し、ガラス原盤から取り
はずしたが、研磨液の侵入も見られず良好なスタンパが
形成できた。
このように構成することにより、絶縁物のリング押えで
コンタクトリングの陽極対向面全面を覆うことによりコ
ンタクトリング上の電鋳を防止でき、その部分の板厚は
電鋳により形成する板厚より薄くできる。
さらに、コンタクトリングがガラス原盤の側面まで覆っ
ているので、そのまま研磨しても砥粒および研磨液の情
報記録面への侵入を防止できる。
なお、上述の実施例では、コンタクトリングはガラス原
盤側面を全面覆っているが、1M以上覆っていれば同様
の結果が得られることは言うまでもない。
〔発明の効果〕
本発明の電鋳治具は、絶縁物のリング押えでコンタクト
リングの陽極対向面の全面を覆い、コンタクトリングで
ガラス原盤の側面を覆うことにより、電鋳後そのまま研
磨することが可能となり、研磨工程を簡略化できるとい
う効果がある。
さらに、研磨時に情報記録面への砥粒等の侵入が防止で
きるため、欠陥の発生を防止できるという効果もある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す断面図、第2図は第1
図に示す実施例の一使用例を示す断面図、第3図は従来
の一例を示す断面図である。 1・・・・・・コンタクトリング、2・・・・・・導電
膜、3・・・・・・ガラス原盤、4・・・・・・リング
押え、訃・・・・・導電部、6,6′・・・・・・電鋳
板、11・・・・・・平板コンタクトリング、12・・
・・・・リング押え。 代理人 弁理士  内 原   晋 ?枦− 第3図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ガラス原盤と、前記ガラス原盤の情報面上にコーティン
    グされた導電膜と、L字形の断面形状を有しこのL字形
    の一辺が前記導電膜に密着し他の一辺が前記ガラス原盤
    の側面を覆うコンタクトリングと前記コンタクトリング
    の陽極対向面の全面を覆う絶縁物のリング押えと、前記
    コンタクトリングの情報面と密着する一辺の板厚は電鋳
    によって形成する板厚よりも薄く他の一辺はガラス原盤
    の側面を1mm以上覆う導電部とを含むことを特徴とす
    る電鋳治具。
JP4276388A 1988-02-24 1988-02-24 電鋳治具 Pending JPH01215996A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008226352A (ja) * 2007-03-13 2008-09-25 Fujifilm Corp 磁気転写用マスター担体の製造方法
JP2021105221A (ja) * 2017-08-29 2021-07-26 マクセルホールディングス株式会社 支持装置

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