JPH01235011A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ＶＴＲやディジタルオーディオ等の高密度磁
気再生装置に好適な磁気ヘッドの製造方法に関する。

従来の技術 近年、磁気記録の動向はビデオヘッドなど高周波領域で
の特性が要求されるに従い、サブミクロンの記録波長に
も十分対応できる磁気ヘッドおよび記録媒体が要望され
ている。

このような現状の中で磁気ヘッド材料は、保持力Ｈｃの
高い記録媒体（例えばメタルテープ）に十分な書き込み
をおこなうためフェライト等の非金属材料と比べ、より
飽和（荘束密度Ｂｓの高い金属磁性材料（例えば、非晶
質材料、センダスト）の開発が行われている。

また、ヘッド構成も高密度化で記録トラック幅が狭くな
るにつれ金属磁性材料を薄膜または薄帯として用いたメ
タルヘッドで従来より高効率なヘッドの実用化が進めら
れている。

以下、図面を参照しながら従来の磁気ヘッドの製造方法
について説明する。

第３図は、金属磁性材料を非（ｎ性基板で挟持しご成る
従来の磁気ヘッドの製造方法を示す工程図である。

第３図において、１２は非磁性）ＩＥ板、１３は金属磁
性材料、１４ａ、１４ｂはコア半体、１５は巻線溝、１
６はアペックス部、１７はアペックスガラス、１８はギ
ヤツブ接合面、１９は背面、２０は切断線−■、２１ａ
、２１ｂは切断−■である。

第３図（Ａ）は非磁性基板１２上に磁気ヘッドの王位路
となる金属磁性材料１３をスパックリング法などにより
形成し、第３図（Ｂ）は前記、非［１性基板１２と同種
の基板で挟持しガラス材（図では省略）などで接着した
後、切断線−１２０に順しブロックを切断しコア半体１
４ａ、１４ｂを得る。第３図（Ｃ）は、その後、コア半
体１４ａには巻線用溝加工１５を行い両コア半体１４ａ
。

１４ｂのギヤノブ接合面１８および背面１９を鏡面加工
し、第３図（Ｄ）はスパッタリング法等でＷ　ＨＱした
ギャップ部材（図では省略）を介して両コア半体１４ａ
、１４ｂを電気炉にて加熱圧着する。また、コア半体１
４ａのアペックス部１６には両コア半体１４ａ、１４ｂ
の密若性を高めるためアペックスガラス１７を圧着時に
溶融させである。第３図（ＩＥ）は、さらに、圧着され
た両コア半体１４ａ、１４ｂは切断−１１２１ａ、２＋
、ｂにて所定のチップサイズに切断された後、第３図（
Ｆ）は所定の曲率を持った磁気−・ノドにテープ摺動面
を前面研磨し磁気ヘッドとして完成する。

発明が解決しようとする課題 従来例の磁気ヘッドでは、主磁路となる金属磁性材料を
スパッタリング法などで着膜し、その膜厚がトラック長
となる構造であるが、ディジタルオーディオ（ＤＡＴ）
や８ｍｌビデオテープレコーダー等、目的とするトラッ
ク長が２０μｍ前後と非常に小さくなるにつれ、薄膜化
した主磁路では磁気抵抗が増大し、結果として磁気ヘッ
ドとしての記録再生効率を損なう、また、コア半体の接
合はヘッドの構造上、巻線溝に熔融させたアペックスガ
ラスで補強されており、チップ幅が数１００μｍと小さ
い接着面積のヘッドでは接着強度にも限界がある。さら
には、トラック同士を突き合わせる構造上、ギャップ接
合におけるオフトラックが問題となり高精度の突合せ精
度が要求される。

課題を解決するための手段 本発明は、上記課題を解決するため、［気ヘッドの作動
ギヤノブ近傍部以外のコア幅をトラック幅よりも大きく
するとともに、コア半体の接合もトラフ・り規制用ガラ
スにより補強しようとするものである。

作用 第１図において、作動ギャップ部での磁気抵抗をＲｆそ
れ以外の部分の磁気抵抗をＲｂとすると感度Ｓは、 Ｓ＝ｋ　（Ｒｆ／Ｒｆ＋Ｒｂ）　　ｋ：比例定数で表さ
れる。

ここで、作動ギャップ近傍部以外のコア厚を大きくする
とＲｂの値は小さくなり、従って、感度Ｓが大きくなり
記録再生効率が向上する。さらに、トラックのオフセッ
トズレもギヤツブ接合後トラック規制するためオフセッ
トズレは発生しない。

また、コア半体の接合強度もヘッド摺動面にモールド材
を充填するため飛躍的に向上する。

実施例 ［実施例１］ 以下、本発明の一実施例を図面にもとずいて説明する。

第１図は、本発明の製造方法で得られた磁気ヘッドの斜
視図である。

ｌａ、Ｉｂは非磁性基板、２は金属磁性材料（本実施例
では、ＣＯ系−アモルファス合金を用いた）、３はモー
ルド材（本実施例では、ガラスを用いた）である。

金属磁性材料としてＣＯ系−アモルファス合金２を所定
のトランク幅の数倍にスパッタリング法などで着膜し、
非磁性基板１ａ、ｌｂで挟持する構造であり、ヘッド摺
動面はトラック規制のため、’１４加工後モールド材と
してガラス３を溶融充填しである。

また、第２図（Ａ）〜（Ｆ）は、本発明の磁気ヘッドの
製造方法を示す工程図である。

＋ａ、Ｉｂは非磁性基板、２はＧｏ系〜アモルファス合
金、３はガラス、４ａ、４ｂはコア半体、５は巻線溝、
６はモールド溝、７ａ、７ｂはギャップ接合面、３ａ、
３ｂは背面、９はギャップ／バー、ＩＯは切断線−１，
、ｌｌａ、ｌｌｂは切断線−〇である。

第２図において、第２図（Ａ）は非磁性基板１ａに主磁
路となるＣＯ系−アモルファス合金２を所定のトラック
幅の数倍にスパッタリング法などで着膜し、第２図（Ｂ
）は前記、非磁性基板１ａと同種の基板１ｂにてガラス
などを介して（図では省略）接着し、切断線−１１０に
順し切断しコア半体４ａ、４ｂを得る、第２図（Ｃ）は
切断したコア半体４ａ、４ｂの少なくとも一方のコア半
体に巻線溝５を加工しく本実施例ではコア半体４ａに加
工した）ギャップ接自面？ａ、７ｂおよび背面８ａ、８
ｂを鏡面に研磨する、第２図（Ｄ）ＳＪ１面研磨したコ
ア半体４ａ、４ｂのギャップ接合面に所定のギャップ部
材（図では省略）をスパッタリング法などで着膜すると
共に、加弛圧着しギャップ／バー９を得る、第２［ＩＪ
（Ｅ）は［「着したギャップ／バー９にＣＯ系−アモル
ファス合金の中心を基単に所定のトラック幅に相当する
部分を残してモールド溝６を加工しガラス３を溶融する
、第２図（Ｆ）はガラスを溶融したギヤ。

ブ／バーを切断−１１１１ａ、ｌｌｂに順し所定のチッ
プサイズに切断した後、所定の曲率を持った摺動面に前
面研磨しく図では省略）第１図に示す磁気ヘッドを得る
。

［実施例２］ 実施例１で用いたＧｏ系−アモルファス合金の代わりに
金属磁性材料２としてＦｅ−Ａｅ−Ｓｉを主成分とする
合金薄膜を用いて実施例１と同様にして磁気ヘッドを作
成した、得られたＬＨ’；にヘッドは実施例１と同様良
好なものであった。

［実施例３］ 実施例１で用いたＣＯ系−アモルファス合金の代わりに
金属磁性材料２としてＦｅ−Ｎｉを主成分とする合金薄
膜を用いて実施例１と同様にして磁気ヘッドを作成した
、得られた磁気ヘッドは実施例１と同様良好なものであ
った。

発明の効果 以上のように本発明は、金属磁性材料を主磁路とし狭ト
ラツク化に対応する磁気へノドにおいて、作動ギャップ
近傍部以外のコア厚をトラック幅に比べて大きくするこ
とにより６ｎ気抵抗を軽減でき、記録再生効率の優れた
磁気ヘッドを供給することができる。また、トラック規
制をコア半体の接合後行うため、従来の工程で不可欠な
高精度のトラック突き合せ精度を必要とせず作業能率も
向上し、ヘッド摺動面がガラス等のモールド材で補強さ
れることから、コア半体の接着強度も格段に向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における磁気ヘッドの斜視図
、第２図は本発明の製造方法を示す工程図、第３図は従
来の磁気ヘッドの工程図である。 １ａ、１ｂ・・・・・・非磁性基板、２・・・・・・金
属磁性材料（アモルファス合金）、３・・・・・・モー
ルド材、４ａ、４ｂ・・・・・・コア半体、５・・・・
・・巻線溝、６・・・・・・モールド溝、７ａ、７ｂ・
・・・・・ギヤノブ接合面、８ａ、８ｂ・・・・・・背
面、９・・・・・・ギャップ／バー、１０・・・・・・
切断−Ｌ　　ｌｌａ、ｌｌｂ・・・・・・切断−■。 代理人の氏名　弁理士　中尾敏男　はか１名２　　　　
　　　＼　　　　　　　ｑコ＼Ｊ　　　　　　　　　　
　　　＼ノ Ｃつ 惺

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）非磁性基板上に主磁路となる金属磁性材料を所定
   のトラック幅の数倍にスパッタ法または蒸着法等で着膜
   し非磁性基板で挟持した後、対で磁気ヘッドとなるコア
   半体の少なくとも一方に巻線用溝加工を行い、鏡面加工
   後ギャップ部材を介してギャップ形成し、所望のトラッ
   ク幅に相当する部分を残してギャップ形成バーに溝加工
   を行い、溝部に非磁性のモールド材を充填することを特
   徴とする磁気ヘッドの製造方法。
2. （２）金属磁性材料にＣｏを主成分とするアモルファス
   合金薄膜またはＦｅ−Ａｌ−Ｓｉを主成分とする合金薄
   膜またはＦｅ−Ｎｉを主成分とする合金薄膜の何れかを
   用いることを特徴とする請求項第（１）項記載の磁気ヘ
   ッドの製造方法。