JPH01249280A - テープボンデイング方法 - Google Patents

テープボンデイング方法

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JPH01249280A
JPH01249280A JP63073243A JP7324388A JPH01249280A JP H01249280 A JPH01249280 A JP H01249280A JP 63073243 A JP63073243 A JP 63073243A JP 7324388 A JP7324388 A JP 7324388A JP H01249280 A JPH01249280 A JP H01249280A
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JP
Japan
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lead
bonding
carrier tape
bonding tool
tool
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JP63073243A
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Nobuhito Yamazaki
山崎 信人
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Shinkawa Ltd
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Shinkawa Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はキャリアテープに設けられたリードにベレット
に設けられたバンプ又は単体のバンプをボンディングす
るテープボンディング方法に関する。
[従来の技術] 従来、テープボンディング方法として、例えば特公昭5
7−53974号公報、特公昭62−27735号公報
、特公昭62−55298号公報等に示すように、キャ
リアテープのリードにペレットのバンプをボンディング
するもの、また特公昭62−31819号公報、特公昭
62−34142号公報等に示すように、キャリアテー
プのリードにバンプ単体をボンディングするものが知ら
れている。
キャリアテープに設けられたリードとバンプとのボンデ
ィングは、約600℃に加熱されたボンドツールを直接
リードに押付けて行われる。
〔発明が解決しようとする課題] 上記従来技術は、高温に加熱されたボンドツールを直接
リードに圧着させるので、ボンドツールの先端に銅酸化
物、錫メツキ物、接着剤の溶剤等の異物が付着する。
ところで、ボンドツールの材質は一般にSUS系合金が
使用されているが、摩耗と異物の付着がひどい、そこで
、ボンドツールの先端にルビーを埋め込んだところ、摩
耗が少し良くなった程度であり、異物の付着は改良され
なかった。またボンドツールの先端にダイヤモンドを埋
め込んだところ、摩耗の点は大幅に改良されたが、依然
として異物の付着の点は改良されなかった。
そこで、一定使用回数毎にボンドツールの掃除を行う必
要があった。即ち、リード材によっても異なるが、50
〜200ポンド毎に頻繁に掃除を行う必要があるので、
生産性に開通があった。
本発明の目的は、ボンドツールの掃除をする必要がなく
、生産性に潰れたテープボンディング方法を提供するこ
とにある。
[課題を解決するための手段] 上記目的は、ボンドツールとキャリアテープとの間に仲
介部材を設けてボンディングすることにより達成される
。
[作用] ボンドツールは仲介部材を介してリードに圧着されるの
で、ボンドツールにはリードが加熱されて発生する銅酸
化物等の異物が付着しない。
[実施例] 以下、本発明の一実施例を第1図により説明する。ポリ
イミドフィルム等よりなるキャリアテープ1には多数の
り一ド2が順に設けられている。
このキャリアテープlは、図示しない供給リールに巻回
されており、供給リールよりボンドツール3の下方に導
かれ、図示しない巻取リリールに巻取られる。ボンドツ
ール3にはヒータ4が埋設されており、図示しない駆動
手段で上下(Z)方向及び水平(X 、 Y)方向に移
動させられる。またキャリアテープlとボンドツール3
間には、耐熱温度が600°C以上の、例えばポリイミ
ドフィルム、金属箔、ガラス材又は弾性材等の材料より
なる仲介部材5が配設されている。
ボンドツール3及びキャリアテープlの下方には真空吸
着基台6が配設されており、この真空吸着基台6は、図
示しない駆動手段で水平(X。
Y)方向、上下(Z)方向及び回転(θ)方向に移動さ
せられると共に、基板8を真空吸着保持する。基板8に
はバンブ8を有するペレット9が粘着テープ等で貼付け
られている。なお、図には1個のペレット9のみを図示
したが、基板8には複数個のペレット9が等間隔に設け
られている。
次に作用についてについて説明する。キャリアテープl
が送られ、ボンディングされるリード2が位置決めされ
、また真空吸着基台6がXY力方向移動させられ、ボン
ディングされるペレット9のバンブ8がリード2と整合
されると、真空吸着基台6は」二昇し、バンブ8がリー
ド2に当接させられる。またボンドツール3がXY力方
向移動及び下降して仲介部材5を介してリード2をバン
ブ8に押付け、バンブ8をリード2にボンディングする
。その後、ボンドツール3は上昇及びXY力方向移動し
、また真空吸着基台6は下降する。
次にキャリアテープlは一定ピッチ送られ5次にボンデ
ィングされるリード2がボンドツール3の下方に位置決
めされる。以後、前記した動作を繰返してリード2にバ
ンブ8が順次ボンディングされる。
このように、ボンドツール3は仲介部材5を介してリー
ド2に圧着されるので、ボンドツール3にはり−ド2が
加熱されて発生する銅酸化物等の異物が付着しない。
第2図は仲介部材5の配設の一実施例を示す。
仲介部材5はキャリアテープ1とボンドツール3間に単
に配設してもよいが1本実施例のように。
駆動プーリ10と従動プーリ11とにエンドレス式に配
設してもよい、この場合、仲介部材5の上面及び下面に
異物を取り除くブラシ12又は異物を吸引もしくは吹き
飛ばす異物除去機構を設けると、−層好ましい、また仲
介部材5はリール巻取り方式でもよい。
なお、北記実施例においては、リード2にペレット9、
即ちペレット9に設けられたバンブ8をボンディングす
る場合について説明したが、バンブ8単体をボンディン
グする場合にも同様に適用できることはいうまでもない
、また仲介部材5は前記した材料でよいが、特に弾性材
の場合は、ボンドツール3の先端の平行度に関係なくボ
ンディングできる。
[発明の効果] 以北の説明から明らかなように1本発明によれば、ボン
ドツールは仲介部材を介してリードに圧着されるので、
ボンドツールにはリードが加熱されて発生する銅酸化物
等の異物が付着しない、これにより、ボンドツールの掃
除をする必要がないので、掃除のために機械を停止させ
る必要がなく、生産性に優れている。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す正面概略図、第2図は
仲介部材の配設の一実施例を示す正面概略図である。 l:キャリアテープ、   2:リード、3:ボンドツ
ール、    5:仲介部材、8:バンプ。 第1図 1:キャリ7テー71 2:リード 3:上°ント°゛番ソール 5:中介蒼β才才

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)キャリアテープに設けられたリードとバンプとを
    ボンドツールでボンディングするテープボンディング方
    法において、ボンドツールとキャリアテープとの間に仲
    介部材を設けてボンディングすることを特徴とするテー
    プボンディング方法。
JP63073243A 1988-03-29 1988-03-29 テープボンデイング方法 Expired - Lifetime JPH077782B2 (ja)

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US07/304,784 US4913336A (en) 1988-03-29 1989-01-31 Method of tape bonding

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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5115964A (en) * 1990-09-07 1992-05-26 International Business Machines Corporation Method for bonding thin film electronic device
JPH04348540A (ja) * 1991-05-27 1992-12-03 Sony Corp フリップチップボンダー
JP2990553B2 (ja) * 1992-03-12 1999-12-13 株式会社新川 テープボンデイング装置
US5632631A (en) 1994-06-07 1997-05-27 Tessera, Inc. Microelectronic contacts with asperities and methods of making same
US5802699A (en) * 1994-06-07 1998-09-08 Tessera, Inc. Methods of assembling microelectronic assembly with socket for engaging bump leads
US5615824A (en) * 1994-06-07 1997-04-01 Tessera, Inc. Soldering with resilient contacts
JPH0816110A (ja) * 1994-06-30 1996-01-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd 端子部品装着装置
US5983492A (en) * 1996-11-27 1999-11-16 Tessera, Inc. Low profile socket for microelectronic components and method for making the same
DE19548257A1 (de) * 1995-12-22 1997-10-09 Schlafhorst & Co W Verfahren zur Vermeidung von Bildwicklungen beim Wickeln von Kreuzspulen
US7076867B2 (en) * 2001-12-28 2006-07-18 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Pressurizing method
US20090289097A1 (en) * 2008-05-21 2009-11-26 Weng-Jin Wu Wafer Leveling-Bonding System Using Disposable Foils

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5665654U (ja) * 1979-10-23 1981-06-01

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3743558A (en) * 1969-10-02 1973-07-03 Western Electric Co Method of compliant bonding
US3627190A (en) * 1969-10-28 1971-12-14 Gte Laboratories Inc Apparatus for bonding semiconductor elements
US3901429A (en) * 1972-05-01 1975-08-26 Western Electric Co Apparatus for compliant bonding
US3909915A (en) * 1972-10-10 1975-10-07 Leopold Samuel Phillips Bonding apparatus
US4607779A (en) * 1983-08-11 1986-08-26 National Semiconductor Corporation Non-impact thermocompression gang bonding method
FR2571923B1 (fr) * 1984-10-16 1987-02-20 Farco Sa Procede de soudage d'un composant electrique a un ensemble de pattes de connexion ainsi que machine et ruban pour la mise en oeuvre de ce procede

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5665654U (ja) * 1979-10-23 1981-06-01

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Publication number Publication date
KR910007508B1 (ko) 1991-09-26
KR890015393A (ko) 1989-10-30
JPH077782B2 (ja) 1995-01-30
US4913336A (en) 1990-04-03

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