JPH01256421A - 試験片を検査装置へ搬送するための試験片搬送装置 - Google Patents

試験片を検査装置へ搬送するための試験片搬送装置

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JPH01256421A
JPH01256421A JP1049741A JP4974189A JPH01256421A JP H01256421 A JPH01256421 A JP H01256421A JP 1049741 A JP1049741 A JP 1049741A JP 4974189 A JP4974189 A JP 4974189A JP H01256421 A JPH01256421 A JP H01256421A
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test
test piece
deflector
chute
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ハンス ペーター グリュナー
Juergen Schildhorn
ジュルガン シルトフォルン
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ステファン ザトラー
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  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野] 本発明は、互いに識別可能な別々の面と互いに識別可能
な別々の端部とを有する試験片を検査装置へ搬送するた
めの試験片搬送装置に関する。より詳細には、本発明は
、同じ側の端部を同じ向きに揃えた結束されていない試
験片の束を受取るだめの収集チャンバを備え、受取りス
テーションと搬出ステーションとの間を前後移動自在な
スライド部材へ試験片を個々に供給するセパレータを備
え、検出器により制御自在な反転機構を備え、更に、こ
の反転機構が、搬出ステーションにおいて全ての試験片
が同じ側の面を」二に向けてスライド部材の上に置かれ
るようにする、試験片搬送装置に関する。
[従来の技術] ヨーロッパ特許公開公報第0180792号により公知
となっているこの種の装置においては、収集チャンバの
底部は実質的にスライド部材の上面によって形成されて
いる。スライド部材は試験片を受取るための横方向に延
在する溝を有している。反転機構はスライド部材の移動
ストロークの末端部の、スライド部材の搬出ステーショ
ンの後方に配設されている。スライド部材の横方向溝の
内部に正しい向きで納まっていない試験片はこの横方向
溝から抜き出され、反転機構によって裏返される。
[発明が解決しようとする課題] この装置を作動させるためには、試験片は横方向溝の内
部にぴったりと納まっていなければならず、また、甚だ
しく曲っていてはならず、更にはそれらの試験片を機械
的に取扱う反転機構に耐えるだけの強度を持っていなけ
ればならない。加えて、そのスライド部材の制御は非常
に面倒なものとなっている。
本発明の目的は、上の「産業上の利用分野」に記載した
種類の装置であって、種々の形状の試験片を個々に分離
して正しい姿勢で搬出ステーションへ供給し得ると共に
、曲った試験片やそれほど強度のない試験片をも取扱う
ことができ、しかも比較的容易に制御を行なえる装置を
提供することにある。
[課題を達成するための手段] 以上の目的は、互いに識別可能な別々の面と互いに識別
可能な別々の端部とを有する試験片を検査装置へ搬送す
るための試験片搬送装置であって、同じ側の端部を同じ
向きに揃えた結束されていない試験片の束を受取るため
の収集チャンバを備え、受取りステーションと搬出ステ
ーションとの間を前後移動自在なスライド部材へ、試験
片を個々に供給するセパレータを備え、検出器により制
御自在な反転機構を備え、前記反転機構が、前記搬出ス
テーションにおいて全ての試験片が同じ側の面を上に向
けて前記スライド部材の上に置かれるようにする、試験
片搬送装置において、前記セパレータが、前記受取りス
テーションの上方に開口しているシュートを備え、該シ
ュートから、試験片が、その長手方向縁部を下方へ向け
た状態で個々に、前記検出器により制御されるデフレク
タへと供給され、該デフレクタが、試験片の向きを操作
して、同じ側の面を上に向けることを特徴とする搬送装
置を提供することによって、達成されている。
前記シュートと前記デフレクタとは、様々な巾寸法の、
しかも場合によっては曲っていたり強度がそれほどなか
ったりする試験片をスライド部材へ供給することを可能
としている。スライド部材の上面には横方向溝を備える
必要はない。前記デフレクタは比較的制御が容易である
特に簡明なデフレクタの構成態様には、このデフレクタ
が、前記シュートの開口の下方に枢動自在に支持された
、その断面が凹側面を有する台形形状とされたデフレク
タ部材として形成されているものがある。
前記デフレクタに、−度に1つの試験片だけが供給され
ることを確実にするためには、前記シュートの下部に、
試験片を制止するための、前記シュートの内部へ出没す
る少なくとも1つの制止部材が備えられているようにし
た構成が好ましい。
前記検出器の構造的に好ましい構成態様には、この検出
器が、前記シュートの下端部に配設されているようにし
た構成態様がある。
試験片をシュートに投入する前に個々に分離するための
特に信頼性の高い方法としては、前記収集チャンバが、
下方へ行くに従って互いに近接してV字形を成す2枚の
底部材を備え、それらの底部材のうちの第1の部材は装
置に対して固定されており、また、第2の部材は試験片
を通過させるべく周期的に上動自在であり、且つ、装置
に対して固定された前記底部材が、試験片を個々に受取
る溝を備えた回転する第1ローラの外周の近傍まで延在
しているようにした方法がある。また、前記第1ローラ
に近接して、斜め下方へ延在する第1板部材が配設され
ており、該第1板部材が、前記第1ローラの前記溝から
排出された試験片を受取ってそれらの試験片を、個々の
試験片を受取る溝を備えた回転する第2ローラへと供給
するようにした方法がある。また更に、前記第2ローラ
に近接して、斜め下方へ延在する第2板部材が配設され
ており、該第2板部材が、前記第2ローラの前記溝から
排出された試験片を受取ってそれらの試験片を、個々の
試験片を受取る溝を備えた回転する第3ローラへと供給
するようにした方法がある。この第3ローラを1イt−
のローラとすることも任意であり、また、所望の場合に
ほこの第3ローラを第1ローラのすぐ後に続けて配置す
ることも可能である。
試験片が前記第1ローラ及び/′または前記第2ローラ
の前記溝に高い信頼性をもって納まるようにするために
は、それらの溝を以下のように構成すれば良い。即ち、
前記第1及び第2ローラの前記溝が、互いに鋭角を成し
て延在する画成面を有しており、それらのうちの−に流
側の画成面は、試験片を受取る際に排出側板部利と略々
平行に延在し、一方、F流側の画成面は、試験片を排出
する際に、受取り側の板部材と略々平行に延在するよう
にすれば良い。
前記第3ローラの前記溝は、特に信頼性の高い試験片の
分離を行なうためには以下のように構成することが好ま
しい。即ち、前記第3ローラの前記溝が矩形の断面を有
し、この矩形断面の深さが試験片の厚さよりやや深いよ
うにするのが良く、これについては後の実施例の説明に
おいて詳述する。
前記第1ローラ、前記第2ローラ、並びに前記収集チャ
ンバの前記第2底部材の前記周期的上動を制御するだめ
の特に簡明な方法としては、前記第2板部材の下端部近
傍に試験片に反応する検出器が配設されており、該検出
器が、前記第1ローラの回転、前記第2ローラの回転、
並びに前記収集チャンバの前記第2底部材の上動を制御
するようにした方法がある。
過度に曲った試験片が前記収集チャンバへ入ることを防
止するためには、前記第3ローラに近接して、該第3ロ
ーラの前記溝から突出している試験片を掻き取って排除
するための掻取り刃が配設置 2 されている構成を備えることがましい。
試験片を前記スライド部材の前記搬出ステーションにお
いて加湿できるようにするためには、このスライド部材
のこの搬出ステーションの上方に、試験片を加湿するた
めの装置が配設され、またこのスライド部月のこの搬出
ステーションの下方に、タンクが配設されている構成を
備えることが望ましい。
[実施例] 以下に本発明をその実施例について、添付図面を参照し
つつ説明する。
好適実施例の装置はハウジング2を有し、このハウジン
グ2は、同種の端部を同じ向きに揃えた結束されていな
い試験片Tの束を受取るための収集チャンバ4を備えて
いる。スライド部材8へそれらの試験片Tを個々に供給
するセパレータ6が備えられており、スライド部材8は
受取りステーション(第2図の実線)と搬出ステーショ
ン(第2図の一点鎖線)との間で前後移動自在である。
検出器10により制御される反転機構12が、この搬出
ステーションにおいて全ての試験片Tが同種の面を」−
に向けてスライド部材8の上に置かれるようにしている
セパレータ6は、受取りステーションの−1一方に開口
しているシュート14を備え、このシュート14から、
検出器10により制御されるデフレクタ16へ試験片T
が供給される。その際試験片Tは、その長手方向縁部の
一方を下方へ向けた状態で、個々にデフレクタ16へと
供給される。このデフレクタ16は試験片Tを、その同
種の面が上を向くようにして、スライド部材8の上へ案
内する。デフ1/クタ16は、検出器10により制御さ
れるモータ11によって傾動させられるようになってい
る。
第6図ないし第8図に示されている実施例においては、
シュート14の下部に、しかも検出器10と対向する側
のこの検出器10より高い位置に、試験片Tを制止する
ための、シュートの内部へ出没する制止部材18が備え
られている。この制止部材は1枚の試験片Tを保持する
ことにょって、その試験片に先行する1枚の試験片Tだ
けがデフレクタ部材16に゛到達するようにしている。
この制止部材18はシュート14の外部に取付けられた
電磁石20によって制御され、電磁石20は検出器10
によって制御される。
第6図ないし第8図の実施例においては、デフレクタ部
材16の上面22が、検出器10の正面に位置している
試験片Tを支持する受台として機能しているが、これに
対して第9図の実施例においては、2つの制止部材24
.26が、夫々に組み合わされた電磁石28.30と共
に上下に配設されている。これらの制止部材14.16
は、検出器10により、電磁石28.30を介して交替
的に制御される。この場合、最も下に位置している試験
片Tを支持する受台となっているのは、下方の制止部材
26である。
第10図の実施例においては、制止部材は1つも備えら
れていない。1枚の試験片Tだけが、シュート14へ入
り、そしてデフレクタ部材16の上面22が、その試験
片Tを支持する受台となることが、確実に行なわれるよ
うにしである。
収集チャンバ4は、下方へ行くに従って互いに近接して
V字形を成す2枚の底部材32.34を備えている。底
部材32は装置に対して固定されている。また、底部材
34は担持板36に角度を付けて取付けられており、こ
の担持板36から軸38が延出しおり、この軸38はハ
ウジング2に枢動自在に支持されている。この軸38の
外端にはレバーアーム40が固着されており、このレバ
ーアーム40は底部材34を揺動させ、それによって開
かれる開口を通して収集チャンバ4の内部にある試験片
Tを開放して、装置に固定されている底部材32の延長
部分42へと案内する。この延長部42の下端に近接し
てローラ44が配設されている。このローラ44はハウ
ジング2に支持されており、また、延長部42を滑り落
ちてくる個々の試験片Tを受取るための溝46を備えて
いる。
この第1ローラ44に近接して板部材48が配設されて
おり、この板部材48は斜め下方へ向けられており、ま
た、この第1ローラ44の両端面の周りにまで入り込ん
でいる。この板部材48は、ローラ44の溝46から排
出された試験片Tを受取ってそれらの試験片Tを、個々
の試験片Tを受取る溝50を備えた回転する第2ローラ
52へと供給する。この第2ローラ52は第1のモータ
54によって駆動され、このモータ54の出力軸上には
ベルト58を駆動するためのベルト−プーリ56が取付
けられており、ベルト58は第1プーリ44の軸上に配
設されているベルト・プーリ60を駆動する。レバー・
アーム40は、このベルト・プーリ60に備えられたピ
ン62によって、このベルト・プーリ60の回転に従っ
て上下動させられる。
第2ローラ52は周方向溝64を有しており、この周方
向溝64の内部へ、斜め下方へ向けられてこの第2ロー
ラ52に近接して配設されている第2板部材68の突出
部66が、延入している。
この第2板部材68は、第2ローラ52の溝50から排
出された試験片Tを受取ってそれらの試験片Tを、個々
の試験片Tを受取る溝70を備えた回転する第3ローラ
72へと供給する。この第3ローラ72はモータ74に
より駆動される。第1ローラ44及び第2ローラ52の
溝46.50は、互いに鋭角を成して延在する画成面7
6.78を有しており、それらのうちの上流側の画成面
76は、試験片Tを受取る際に排出側板部材42または
48と略々平行に延在し、一方、下流側の画成面78は
、試験片Tを排出する際に、受取り側の板部材48.6
8と略々平行に延在するようになっている。図示の実施
例においては、画成面76.78は共に、その画成面が
形成されているローラ44.52の同一の側に設けられ
ており、これは、試験片を個々に分離する分離処理のた
めには特に好適な構成であることが判明している。
第3ローラ72の溝70は矩形の断面を有し、この矩形
断面の深さは試験片Tの厚さよりやや深くなっている。
第5図に示すように、偶然に2枚の試験片Tが溝70内
に重なって入ってしまった場合には、第3ローラ72の
回転によって、上側の試験片Tが板部材68の上に転が
り落ちて戻され、この戻された試験片Tは次の溝70へ
滑り込む。
第2板部材68の下端部近傍には、試験片Tに反応する
検出器80が配設されており、この検出器80は、モー
タ54を制御することによって、第1ローラ44の回転
、第2ローラ52の回転、並びに収集チャンバ4の第2
底部材34の」駆動を制御する。
第3ローラフ2に近接して、溝70から突出している試
験片Tを掻き取って排除するための掻取り刃82が配設
されている。掻き取られた試験片Tは集積領域84へ落
下する。
シュート14を出た後に、望ましい姿勢となっている試
験片Tは、先ず、支持アーム86.88の上に位置し、
これらの支持アーム86.88はこの試験片Tの両端を
支持する。試験片Tはこれらの支持アーム86.88か
ら、スライド部材8」二に形成された移送突起90によ
って、搬出ステ−ションへと移送され、そこで試験片T
は上方から(矢印Fの方向から)供給される液体によっ
て加湿される。搬送部材(スライド部材)8は、前方へ
延出しているアーム部92の上に、液体を受けるだめの
タンクを担持している。
スライド部材8の前後動はモータ96によって行なわれ
、このモータ96は、スライド部材8に作用する連接棒
100をクランク争ディスク98を介して駆動する。
スライド部材8はガイド・ロッド102.104によっ
て案内され、それらのガイドII+:!ッドの先端には
当接ヘッド部が設けられている。
[発明の効果] 以上に記載したように、本発明は、互いに識別可能な別
々の面と互いに識別可能な別々の端部とを有する試験片
を検査装置へ搬送するための試験片搬送装置を提供する
ものである。この装置は、同じ側の端部を同じ向きに揃
えた結束されていない試験片の束を受取るための収集チ
ャンバを備え、受取りステーションと搬出ステーション
との間を前後移動自在なスライド部材へ試験片を個々に
供給するセパレータを備え、検出器により制御自在な反
転機構を備え、更に、この反転機構が、搬出ステーショ
ンにおいて全ての試験片が同じ側の面を」−に向けてス
ライド部材の上に置かれるようにする、試験片搬送装置
である。特に本発明に拠れば、以上の装置において、種
々の形状の試験片を個々に分離して正しい姿勢で搬出ス
テーションへ供給し得ると共に、曲った試験片やそれほ
ど強度のない試験片をも取扱うことができ、しかも比較
的容易に制御を行なえるという利点が得られるものであ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の実施例に係る装置の斜視図、 第2図は、第3図のIT −II線に沿った前記装置の
縦断面図。 第3図は、第2図の■−■線に沿った前記装置の断面図
、 第4図は、前記装置の個々の部材の相互作用を示す斜視
図、 第5図は、第2ローラと協働している第3ローラの一部
を大縮尺で示す拡大図、 第6図、第7図、及び第8図は、異なった作動状態にお
ける、第1実施例のシュートとデフレクタとを示す図、 第9図は、第2実施例のシュートとデフレクタとを示す
図、 第10図は、第3実施例のシュートとデフレクタとを示
す図である。 尚、図中、 2・・・・・・ハウジング、 4・・・・・・収集チャンバ、 6・・・・・・セパレータ、 8・・・・・・スライド部材、 10・・・検出器、 11・・・モータ。 12・・・反転機構、 14・・・シュート、 16・・・デフレクタ、 18・・・制止部材、 24.26・・・制止部材、 32.34・・・底部材、 44・・・第1ローラ、 46・・・溝、 48・・・第1板部材、 50・・・溝、 52・・・第2ローラ、 54・・・モータ、 68・・・第2板部材、 70・・・溝、 72・・・第3ローラ、 74・・・モータ、 76.78・・・溝の画成面、 80・・・検出器、 82・・・掻取り刃、 94・・・タンク、 96・・・モータ、 T・・・・・・試験片。 特許出願人  ブーリンガ−マン/\イムゲーエムベー
ハー 代理人 弁理士  下 1)容一部 間  弁理士  大 橋 邦 彦 同  弁理士  小 山   有

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、互いに識別可能な別々の面と互いに識別可能な別々
    の端部とを有する試験片(T)を検査装置へ搬送するた
    めの試験片搬送装置であって、同じ側の端部を同じ向き
    に揃えた結束されていない試験片(T)の束を受取るた
    めの収集チャンバ(4)を備え、 受取りステーションと搬出ステーションとの間で前後移
    動自在なスライド部材(8)へ、試験片(T)を個々に
    供給するセパレータ(6)を備え、 検出器(10)により制御自在な反転機構 (12)を備え、 前記反転機構(12)が、前記搬出ステーションにおい
    て全ての試験片(T)が同じ側の面を上に向けて前記ス
    ライド部材(8)の上に置かれるようにする、試験片搬
    送装置において、 前記セパレータ(8)が、前記受取りステーションの上
    方に開口しているシュート(14)を備え、 該シュート(14)から、試験片(T)が、その長手方
    向縁部を下方へ向けた状態で個々に、前記検出器(10
    )により制御されるデフレクタ(16)へと供給され、 該デフレクタ(16)が、試験片(T)の向きを操作し
    て、同じ側の面を上に向けることを特徴とする、 搬送装置。 2、前記デフレクタ(16)が、前記シュート(14)
    の開口の下方に枢動自在に支持された、その断面が凹側
    面を有する台形形状とされたデフレクタ部材(16)と
    して形成されていることを特徴とする、請求項1記載の
    装置。 3、前記シュート(14)の下部に、試験片(T)を制
    止するための、前記シュート(14)の内部へ出没する
    少なくとも1つの制止部材(18;24、26)が備え
    られていることを特徴とする、請求項1または2記載の
    装置。 4、前記検出器(10)が、前記シュート (14)の下端部に配設されていることを特徴とする、
    先行請求項に記載の装置。 5、前記収集チャンバ(4)が、下方へ行くに従って互
    いに近接してV字形を成す2枚の底部材(32、34)
    を備え、それらの底部材のうちの第1の部材(32)は
    装置に対して固定されており、また、第2の部材(34
    )は試験片(T)を通過させるべく周期的に上動自在で
    あり、且つ、装置に対して固定された前記底部材(32
    )が、試験片(T)を個々に受取る溝(46)を備えた
    回転する第1ローラ(44)の外周の近傍まで延在して
    いることを特徴とする、先行請求項に記載の装置。 6、前記第1ローラ(44)に近接して、斜め下方へ延
    在する第1板部材(48)が配設されており、該第1板
    部材(48)が、前記第1ローラ(44)の前記溝(4
    6)から排出された試験片(T)を受取ってそれらの試
    験片(T)を、個々の試験片(T)を受取る溝(50)
    を備えた回転する第2ローラ(52)へと供給すること
    を特徴とする、請求項5記載の装置。 7、前記第2ローラ(52)に近接して、斜め下方へ延
    在する第2板部材(68)が配設されており、該第2板
    部材(68)が、前記第2ローラ(52)の前記溝(5
    0)から排出された試験片(T)を受取ってそれらの試
    験片(T)を、個々の試験片(T)を受取る溝(70)
    を備えた回転する第3ローラ(72)へと供給すること
    を特徴とする、請求項6記載の装置。 8、前記第1及び第2ローラ(44、52)の前記溝(
    46、50)が、互いに鋭角を成して延在する画成面(
    76、78)を有しており、それらのうちの上流側の画
    成面(76)は、試験片(T)を受取る際に排出側板部
    材(42、48)と略々平行に延在し、一方、下流側の
    画成面(78)は、試験片(T)を排出する際に、受取
    り側の板部材(48、68)と略々平行に延在すること
    を特徴とする、請求項5またほ6記載の装置。 9、前記第3ローラ(72)の前記溝(70)が矩形の
    断面を有し、この矩形断面の深さが試験片(T)の厚さ
    よりやや深いことを特徴とする、請求項7記載の装置。 10、前記第2板部材(68)の下端部近傍に試験片(
    T)に反応する検出器(80)が配設されており、該検
    出器(80)が、前記第1ローラ(44)の回転、前記
    第2ローラ(52)の回転、並びに前記収集チャンバ(
    4)の前記第2底部材(34)の上動を制御することを
    特徴とする、請求項7または9記載の装置。 11、前記第3ローラ(72)に近接して、該第3ロー
    ラ(72)の前記溝(70)から突出している試験片(
    T)を掻き取って排除するための掻取り刃(82)が配
    設されていることを特徴とする、請求項7、9または1
    0記載の装置。 12、前記スライド部材(8)の前記搬出ステーション
    の上方には、試験片(T)を加湿するための装置が配設
    され、該スライド部材(8)の該搬出ステーションの下
    方には、タンク(94)が配設されていることを特徴と
    する、先行請求項に記載の装置。
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