JPH0512646B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は例えば空気等の気体の流量を測定す
ることに用いる流量変換装置に関する。

「従来の技術」 本出願人は「特願昭61−6958号及び特願昭62−
91548号」によつて片持梁形の受圧板を用いた流
量変換装置を提案した。特願昭62−91548号は片
持梁形の受圧板によつて流体の流量を測定する構
造に加えて流体の流路にバイパス路を設け、この
バイパス路に片持梁形の弁を設けて可変オリフイ
ス構造とし、流体の流量に応じてバイパス路を流
れる流体の量を制御させ、低流量域から大流量域
までの測定レンジを広くできる構造とし、更に測
定レンジの変更をバイパス路の直径を変更するだ
けで行なうことができる構造とした点を特徴とす
るものである。

「発明が解決しようとする課題」 先に提案した流量変換器はバイパス路に片持梁
形弁を設けた構造としたから、この弁が流体の流
れに応じて振動することがあり、この弁の振動が
被測定流体を振動させ、この振動が測定用の片持
梁形受圧板に伝わり安定な測定を行なうことがで
きない現象が発生する欠点がある。

この発明の目的はバイパス路における弁の振動
を除去し、どの流量域でも安定した測定を行なう
ことができる流量変換装置を提供するにある。

「課題を解決するための手段」 この発明では被測定流体が流れる流路を塞ぐよ
うに測定用孔とバイパス用孔が並んで本体に設け
られると共に、測定用孔の下流側にこの孔を通過
した流体が板面にほぼ直交する向に当るように配
置した片持梁形受圧板を設け、バイパス用孔の下
流側でこれと近接対向し、かつ測定用孔の位置よ
り下流で装着され、このバイパス用孔を通過した
流体の流れを層流化する複数の細管よりなる透孔
及び測定用孔を通過した流体が通過する孔を有す
る層流プレートを有し、この層流プレートと本体
との空間を、受圧板、測定用孔及び層流プレート
の孔を含む空間と、バイパス用孔及び層流プレー
トの透孔とを含む空間とに分割する手段を設けた
構成としたものである。

この発明の構成によればバイパス路を構成する
孔を通過する流体は多数の細管を通じて層流化さ
れて流れる。この層流は流量が小流量から大流量
に至る広い範囲にわたつて維持されるため、流体
の流れに振動が発生することがない。

よつて受圧板が振動することがなく小流量から
大流量に至る広い範囲にわたつて安定に測定を行
なうことができる流量変換装置を得ることができ
る。

「実施例」 第１図乃至第４図にこの発明の一実施例を示
す。第１図において１は被測定流体の流入口、２
は被測定流体の流出口を示し、被測定流体（気
体）は矢印×方向に流れる。

３及び４は配管接続具、５は流量変換器本体、
６は層流プレートを示す。

流量変換器本体５は第２図に示すように中央に
壁７を有し、壁７の両側にバイパス路を構成する
一対の三ケ月状の透孔８Ａ，８Ｂが形成され、壁
７を貫通して測定用透孔９が形成される。

測定用透孔９はスリツト状とされ、この透孔９
の下流側に片持梁形受圧板１１が設けられる。こ
の片持梁形受圧板１１は磁性体から成るバネ材に
よつて形成され、その偏位量は検出コイル１２に
よつて検出される。尚受圧板１１の他方の遊端側
には補償コイル１３が配置され、零バランス補償
が行なえるようにしている。また１４は受圧板１
１を保護するストツパープレートを示す。

この発明の特徴とする構造は層流プレート６に
ある。層流プレート６は第３図に示すように全体
が平板状に形成され、この平板状の層流プレート
６にバイパス用孔８Ａ，８Ｂに連通する六角形状
の透孔１５Ａと１５Ｂを形成する。また流量変換
器本体５に設けた測定用透孔９の下流側に孔１６
を形成する。

バイパス路を構成する透孔１５Ａ，１５Ｂには
流体の流れを層流化するために多数の細管１８を
装着する。細管１８の直径は例えば0.5mm程度と
される。この細管１８を流体が流れることによつ
て流体の流れは層流化される。

透孔１５Ａ，１５Ｂはそれぞれ六角形状とした
場合を示す。このように六角形状とすることによ
つて直径の小さい細管を安定に収納させることが
できる。つまり多数の管を束ねると、束ねた管の
外周は自然に六角形状になる。このために孔１５
Ａと１５Ｂを六角形に選定したものである。

「発明の効果」 以上説明したようにこの発明によればバイパス
路に多数の細管１８を設け、バイパスする流体は
全てこの細管１８を通過する。流体が細管１８を
流れることによつて流体の流れは層流化され渦等
の発生が抑えられ、流体が振動することはない。

よつて受圧板１１が振動することがなく安定に
流量を電気信号に変換することができる。

然もこの発明によれば層流プレートは本体とは
別に作ることができるため、組立も容易であり、
さらに層流プレートの層流化動作は低流量域から
大流量域に至る広い範囲にわたつて作用するか
ら、広い範囲にわたつて流量測定が可能な流量変
換器を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を説明するための
断面図、第２図はこの発明に用いた流量変換器本
体の構造を説明するための斜視図、第３図はこの
発明に用いた層流プレートの構造を説明するため
の斜視図、第４図は流量変換器本体の要部の構造
を説明するための拡大断面図である。 １：被測定流体の流入口、２：出口、５：流量
変換器本体、６：層流プレート、７：壁、８Ａ，
８Ｂ：バイパス用孔、９：測定用孔、１１：片持
梁形受圧板、１２：検出コイル、１８：細管。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ Ａ 被測定流体が流れる流路を塞ぐように設
   けられ、測定用孔及びバイパス用孔が並んで形
   成された本体と、 Ｂ 上記測定用孔の下流側に設けられ、測定用孔
   を通過した流体が板面にほぼ直交する向に当る
   ように配置した片持梁形受圧板と、 Ｃ この受圧板の変位量を測定する変位検出器
   と、 Ｄ 上記バイパス用孔の下流側でこれと近接対向
   し、かつ上記測定用孔の位置より下流で装着さ
   れ、このバイパス用孔を通過した流体の流れを
   層流化する複数の細管よりなる透孔及び上記測
   定用孔を通過した流体が通過する孔を有する層
   流プレートと、 Ｅ その層流プレートと上記本体との空間を、上
   記受圧板、上記測定用孔及び上記層流プレート
   の孔を含む空間と、上記バイパス用孔及び上記
   層流プレートの透孔とを含む空間とに分割する
   手段と、 によつて構成した流量変換装置。