JPH01294514A - 複合物粉末およびその製造方法 - Google Patents
複合物粉末およびその製造方法Info
- Publication number
- JPH01294514A JPH01294514A JP12644688A JP12644688A JPH01294514A JP H01294514 A JPH01294514 A JP H01294514A JP 12644688 A JP12644688 A JP 12644688A JP 12644688 A JP12644688 A JP 12644688A JP H01294514 A JPH01294514 A JP H01294514A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nitride
- metal
- metal silicide
- silicon nitride
- silicide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000843 powder Substances 0.000 title claims abstract description 220
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims abstract description 94
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 238
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 238
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims abstract description 146
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 146
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 143
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 141
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 117
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims abstract description 98
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 48
- 238000001513 hot isostatic pressing Methods 0.000 claims abstract description 26
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 24
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 claims description 24
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 23
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 18
- -1 metal nitride Chemical class 0.000 abstract description 2
- 229910021341 titanium silicide Inorganic materials 0.000 description 33
- 229910021357 chromium silicide Inorganic materials 0.000 description 30
- WEAMLHXSIBDPGN-UHFFFAOYSA-N (4-hydroxy-3-methylphenyl) thiocyanate Chemical compound CC1=CC(SC#N)=CC=C1O WEAMLHXSIBDPGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 28
- 229910021355 zirconium silicide Inorganic materials 0.000 description 28
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 27
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 20
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- ZVWKZXLXHLZXLS-UHFFFAOYSA-N zirconium nitride Chemical compound [Zr]#N ZVWKZXLXHLZXLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- CXOWYMLTGOFURZ-UHFFFAOYSA-N azanylidynechromium Chemical compound [Cr]#N CXOWYMLTGOFURZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 11
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 11
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 5
- 229910019974 CrSi Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 4
- 229910008484 TiSi Inorganic materials 0.000 description 3
- SJKRCWUQJZIWQB-UHFFFAOYSA-N azane;chromium Chemical compound N.[Cr] SJKRCWUQJZIWQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910021359 Chromium(II) silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910008486 TiSix Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006249 ZrSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
＋ｌ）発明の目的
［産業上の利用分野］
本発明は、金属珪化物、金属窒化物および窒化珪素の複
合物粉末およびその製造方法ならびに金属窒化物および
窒化珪素の複合物粉末およびその製造方法に関し、特に
金属珪化物粉末粒子中の金属珪化物を部分的に分解して
金属窒化物および窒化珪素を生成せしめてなる金属珪化
物、金属窒化物および窒化珪素の複合物粉末およびその
製造方法と、金属珪化物粉末粒子中の金属珪化物を完全
に分解して金属窒化物および窒化珪素を生成せしめてな
る金属窒化物および窒化珪素の複合物粉末おＪ：びその
製造方法とに関するものである。
合物粉末およびその製造方法ならびに金属窒化物および
窒化珪素の複合物粉末およびその製造方法に関し、特に
金属珪化物粉末粒子中の金属珪化物を部分的に分解して
金属窒化物および窒化珪素を生成せしめてなる金属珪化
物、金属窒化物および窒化珪素の複合物粉末およびその
製造方法と、金属珪化物粉末粒子中の金属珪化物を完全
に分解して金属窒化物および窒化珪素を生成せしめてな
る金属窒化物および窒化珪素の複合物粉末おＪ：びその
製造方法とに関するものである。
［従来の技術］
従来この種の金属珪化物、金属窒化物および窒化珪素の
複合物粉末およびその製造方法あるいは金属窒化物およ
び窒化珪素の複合物粉末およびその製造方法としては、
全く提案されたものがなかった。
複合物粉末およびその製造方法あるいは金属窒化物およ
び窒化珪素の複合物粉末およびその製造方法としては、
全く提案されたものがなかった。
［解決すべき問題点コ
したがって従来は、金属珪化物、金属窒化物および窒化
珪素の複合物粉末あるいは金属窒化物および窒化珪素の
複合物粉末を全く製造できず、ひいてはこれらの複合物
粉末による焼結体の焼結特性の向上を達成できず、また
これらの複合物粉末による焼結体などの機械的特性の向
上を達成できない欠点があった。
珪素の複合物粉末あるいは金属窒化物および窒化珪素の
複合物粉末を全く製造できず、ひいてはこれらの複合物
粉末による焼結体の焼結特性の向上を達成できず、また
これらの複合物粉末による焼結体などの機械的特性の向
上を達成できない欠点があった。
そこで本発明は、これらの欠点を解決するために、（ｉ
ｔ金属珪化物粉末を、その粉末粒子中に存在する金属珪
化物を部分的に分解して生成された金属窒化物および窒
化珪素によって複合化してなる金属珪化物、金属窒化物
および窒化珪素の複合物粉末およびその製造方法、ある
いは（Ｌｉｔ金属珪化物粉末粒子中に存在する金ｇＸ琲
化物を完全に分解して生成された金属窒化物および窒化
珪素を同−粉末粒子内に包含せしめて複合化してなる金
属窒化物および窒化珪素の複合物粉末およびその製造方
法を提供せんとするものである。
ｔ金属珪化物粉末を、その粉末粒子中に存在する金属珪
化物を部分的に分解して生成された金属窒化物および窒
化珪素によって複合化してなる金属珪化物、金属窒化物
および窒化珪素の複合物粉末およびその製造方法、ある
いは（Ｌｉｔ金属珪化物粉末粒子中に存在する金ｇＸ琲
化物を完全に分解して生成された金属窒化物および窒化
珪素を同−粉末粒子内に包含せしめて複合化してなる金
属窒化物および窒化珪素の複合物粉末およびその製造方
法を提供せんとするものである。
（２）発明の構成
［問題点の解決手段］
本発明により提供される問題点の第１の解決手段は、
「金属珪化物粉末粒子中の金属珪化物を部分的に分解す
ることにより生成された金属窒化物および窒化珪素が、
同一の金属珪化物粉末粒子の内部に包有されてなること
を特徴とする複合物粉末」 である。
ることにより生成された金属窒化物および窒化珪素が、
同一の金属珪化物粉末粒子の内部に包有されてなること
を特徴とする複合物粉末」 である。
また本発明により提供される開運点の第２の解決手段は
、 「純度が５０重量％以上である金属珪化物粉末粒子中の
金属珪化物を、１０気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気
中で７００℃以上の温度に加熱して熱間静水圧プレス処
理を行なうことにより、部分的に分解して金属窒化物お
よび窒化珪素を生成する分解工程を包有してなることを
特徴とする複合物粉末の製造方法ｊ である。
、 「純度が５０重量％以上である金属珪化物粉末粒子中の
金属珪化物を、１０気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気
中で７００℃以上の温度に加熱して熱間静水圧プレス処
理を行なうことにより、部分的に分解して金属窒化物お
よび窒化珪素を生成する分解工程を包有してなることを
特徴とする複合物粉末の製造方法ｊ である。
更に本発明により提供される問題点の第３の解決手段は
、 「純度が５０重量％以上である金属珪化物粉末粒子中の
金属珪化物を、アンモニアガ入流中で７００℃の温度以
上に加熱することにより、部分的に分解して金属珪化物
および窒化珪素を生成する分解工程を包有してなること
を特徴とする複合物粉末の製造方法」 である。
、 「純度が５０重量％以上である金属珪化物粉末粒子中の
金属珪化物を、アンモニアガ入流中で７００℃の温度以
上に加熱することにより、部分的に分解して金属珪化物
および窒化珪素を生成する分解工程を包有してなること
を特徴とする複合物粉末の製造方法」 である。
更にまた本発明により提供される問題点の第４の解決手
段は、 「金属珪化物粉末粒子中の金属珪化物を完全に分解する
ことにより生成された金属窒化物および窒化珪素が、同
一粉末粒子の内部に包有されてなることを特徴とする複
合物粉末」 である。
段は、 「金属珪化物粉末粒子中の金属珪化物を完全に分解する
ことにより生成された金属窒化物および窒化珪素が、同
一粉末粒子の内部に包有されてなることを特徴とする複
合物粉末」 である。
加えて本発明により提供される問題点の第５の解決手段
は、 「純度が５０重量％以上である金属珪化物粉末粒子中の
金属珪化物を、１０気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気
中で７００ ’Ｃ以上の温度に加熱して熱間静水圧プレ
ス処理を行なうことにより、完全に分解して金属窒化物
および窒化珪素を生成する分解工程を包有してなること
を特徴とする接合物粉末の製造方法」 である。
は、 「純度が５０重量％以上である金属珪化物粉末粒子中の
金属珪化物を、１０気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気
中で７００ ’Ｃ以上の温度に加熱して熱間静水圧プレ
ス処理を行なうことにより、完全に分解して金属窒化物
および窒化珪素を生成する分解工程を包有してなること
を特徴とする接合物粉末の製造方法」 である。
加えてまた本発明により提供される問題点の第６の解決
手段は、 「純度が５０重量％以上である金属珪化物粉末粒子中の
金属珪化物を、アンモニアガス流中で７００℃の温度以
上に加熱することにより、完全に分解して金属窒化物お
よび窒化珪素を生成する分解工程を包有してなることを
特徴とする複合物粉末の製造方法」 である。
手段は、 「純度が５０重量％以上である金属珪化物粉末粒子中の
金属珪化物を、アンモニアガス流中で７００℃の温度以
上に加熱することにより、完全に分解して金属窒化物お
よび窒化珪素を生成する分解工程を包有してなることを
特徴とする複合物粉末の製造方法」 である。
［作用］
本発明にかかる複合物粉末は、金属珪化物粉末粒子中の
金属珪化物を部分的に分解することにより生成された金
属窒化物および窒化珪素を同一の金属珪化物粉末粒子の
内部に包有してなるので、（Ｌｌ金属珪化物粉末を金属
窒化物および窒化珪素によって微細に複合化する作用を
なし、ひいてはｆｉｉ）焼結特性を向上するために焼結
体に対して添加される金属珪化物、金属窒化物および窒
化珪素の複合物粉末を提供する作用をなし、また（ｉｉ
ｉ１機械的特性を向上するために焼結体などに対して添
加される金属珪化物、金属窒化物および窒化珪素の複合
物粉末を提供する作用をなす。
金属珪化物を部分的に分解することにより生成された金
属窒化物および窒化珪素を同一の金属珪化物粉末粒子の
内部に包有してなるので、（Ｌｌ金属珪化物粉末を金属
窒化物および窒化珪素によって微細に複合化する作用を
なし、ひいてはｆｉｉ）焼結特性を向上するために焼結
体に対して添加される金属珪化物、金属窒化物および窒
化珪素の複合物粉末を提供する作用をなし、また（ｉｉ
ｉ１機械的特性を向上するために焼結体などに対して添
加される金属珪化物、金属窒化物および窒化珪素の複合
物粉末を提供する作用をなす。
また本発明にかかる複合物粉末の製造方法は、純度が５
０重量％以上である金属珪化物粉末粒子中の金属珪化物
を、１０気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気中で７００
℃以上の温度に加熱して熱間静水圧プレス処理を行なう
ことにより、部分的に分解して金属窒化物および窒化珪
素を生成してなるので、（ｉｖｌ金属珪化物粉末粒子を
金属窒化物および窒化珪素によって直接に複合化する作
用をなし、ひいては（Ｖｌ金属珪化物、金属窒化物およ
び窒化珪素の複合物粉末を大量かつ廉価に製造すること
を可能とする作用をなし、併せて（ｖｉｌ金属珪化物粉
末の粒子サイズを予め選択することによって金属珪化物
、金属窒化物および窒化珪素の複合物粉末の粒子サイズ
を適宜に調節する作用をなす。
０重量％以上である金属珪化物粉末粒子中の金属珪化物
を、１０気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気中で７００
℃以上の温度に加熱して熱間静水圧プレス処理を行なう
ことにより、部分的に分解して金属窒化物および窒化珪
素を生成してなるので、（ｉｖｌ金属珪化物粉末粒子を
金属窒化物および窒化珪素によって直接に複合化する作
用をなし、ひいては（Ｖｌ金属珪化物、金属窒化物およ
び窒化珪素の複合物粉末を大量かつ廉価に製造すること
を可能とする作用をなし、併せて（ｖｉｌ金属珪化物粉
末の粒子サイズを予め選択することによって金属珪化物
、金属窒化物および窒化珪素の複合物粉末の粒子サイズ
を適宜に調節する作用をなす。
更に本発明にかかる複合物粉末の製造方法は、純度が５
０重量％以上である金属珪化物粉末粒子中の金属珪化物
を、アンモニアガス流中で７００℃の温度以上に加熱す
ることにより、部分的に分解して金属窒化物および窒化
珪素を生成してなるので、上述の（ｉｖ）〜（ｖｉｌの
作用をなす。
０重量％以上である金属珪化物粉末粒子中の金属珪化物
を、アンモニアガス流中で７００℃の温度以上に加熱す
ることにより、部分的に分解して金属窒化物および窒化
珪素を生成してなるので、上述の（ｉｖ）〜（ｖｉｌの
作用をなす。
更にまた本発明にかかる複合物粉末は、金属珪化物粉末
粒子中の金属珪化物を完全に分解することにより生成さ
れた金属窒化物および窒化珪素を同一粉末粒子の内部に
包有してなるので、（ｖｉｉｌ金属窒化物を窒化珪素に
よって微細に複合化する作用をなし、ひいては（ｖｉｉ
ｉｌ焼結特性を向上するために焼結体に添加される金属
窒化物および窒化珪素の複合物粉末を提供する作用をな
し、またｆｉｘ）械的特性を向上するために焼結体など
に対して添加される金属窒化物および窒化珪素の複合物
粉末を提供する作用をなす。
粒子中の金属珪化物を完全に分解することにより生成さ
れた金属窒化物および窒化珪素を同一粉末粒子の内部に
包有してなるので、（ｖｉｉｌ金属窒化物を窒化珪素に
よって微細に複合化する作用をなし、ひいては（ｖｉｉ
ｉｌ焼結特性を向上するために焼結体に添加される金属
窒化物および窒化珪素の複合物粉末を提供する作用をな
し、またｆｉｘ）械的特性を向上するために焼結体など
に対して添加される金属窒化物および窒化珪素の複合物
粉末を提供する作用をなす。
加えて本発明にかかる複合物粉末の製造方法は、純度が
５０重量％以上である金属珪化物粉末粒子中の金属珪化
物を、１０気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気中で７０
０℃以上の温度に加熱して熱間静水圧プレス処理を行な
うことにより、完全に分解して金属窒化物および窒化珪
素を生成してなるので、（ｘ）金属窒化物粉末粒子を窒
化珪素によって直接に複合化する作用をなし、ひいては
（ｘｉ）金属窒化物および窒化珪素の複合物粉末を大量
かつ廉価に製造することを可能とする作用をなし、併せ
て（ｘｉｉｌ金属珪化物粉末の粒子サイズを予め選択す
ることによって金属窒化物上よび窒化珪素の複合物粉末
の粒子サイズを適宜に調節する作用をなす。
５０重量％以上である金属珪化物粉末粒子中の金属珪化
物を、１０気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気中で７０
０℃以上の温度に加熱して熱間静水圧プレス処理を行な
うことにより、完全に分解して金属窒化物および窒化珪
素を生成してなるので、（ｘ）金属窒化物粉末粒子を窒
化珪素によって直接に複合化する作用をなし、ひいては
（ｘｉ）金属窒化物および窒化珪素の複合物粉末を大量
かつ廉価に製造することを可能とする作用をなし、併せ
て（ｘｉｉｌ金属珪化物粉末の粒子サイズを予め選択す
ることによって金属窒化物上よび窒化珪素の複合物粉末
の粒子サイズを適宜に調節する作用をなす。
加えてまた本発明にかかる複合物粉末の製造方法は、純
度が５０重量％以上である金属珪化物粉末粒子中の金属
珪化物を、アンモニアガス流中で７００℃の温度以上に
加熱することにより、部分的に分解して金属窒化物およ
び窒化珪素を生成してなるので、上述の（ｘ）〜（ｘｉ
ｉｌの作用をなす。
度が５０重量％以上である金属珪化物粉末粒子中の金属
珪化物を、アンモニアガス流中で７００℃の温度以上に
加熱することにより、部分的に分解して金属窒化物およ
び窒化珪素を生成してなるので、上述の（ｘ）〜（ｘｉ
ｉｌの作用をなす。
［実施例］
次に本発明について、実施例を挙げ具体的に説明する。
まず本発明にかかる金属珪化物、金属窒化物および窒化
珪素の複合物粉末について、その詳細を説明する。
珪素の複合物粉末について、その詳細を説明する。
本発明にかかる金属珪化物、金属窒化物および窒化珪素
の複合物粉末は、金属珪化物粉末粒子中の金属珪化物を
部分的に分解することにより生成された金属窒化物およ
び窒化珪素を、その同一の金属珪化物粉末粒子の内部に
包有している。換言すれば１本発明にかかる複合物粉末
は、（ｉ）金属珪化物粉末粒子と、（ｉｉｌその金属珪
化物粉末粒子中の金属珪化物の一部分を分解することに
より生成され、かつその同一の金属珪化物粉末粒子の内
部に含まれた金属窒化物および窒化珪素とによって形成
されている。
の複合物粉末は、金属珪化物粉末粒子中の金属珪化物を
部分的に分解することにより生成された金属窒化物およ
び窒化珪素を、その同一の金属珪化物粉末粒子の内部に
包有している。換言すれば１本発明にかかる複合物粉末
は、（ｉ）金属珪化物粉末粒子と、（ｉｉｌその金属珪
化物粉末粒子中の金属珪化物の一部分を分解することに
より生成され、かつその同一の金属珪化物粉末粒子の内
部に含まれた金属窒化物および窒化珪素とによって形成
されている。
金属珪化物としては、珪化チタン、珪化クロムあるいは
珪化ジルコニウムなどがあり、また金属窒化物としては
、それらの金属珪化物に対応して窒化チタン、窒化クロ
ムあるいは窒化ジルコニウムなどがある（以下同様）。
珪化ジルコニウムなどがあり、また金属窒化物としては
、それらの金属珪化物に対応して窒化チタン、窒化クロ
ムあるいは窒化ジルコニウムなどがある（以下同様）。
更に本発明にかかる金属珪化物、金属窒化物および窒化
珪素の複合物粉末の製造方法の一実施例について、その
詳細を説明する。
珪素の複合物粉末の製造方法の一実施例について、その
詳細を説明する。
純度が５０重量％以上である金属珪化物粉末を、出発原
料として準備する。金属珪化物粉末の粒子サイズは、結
果物すなわち本発明にかかる複合物粉末の粒子サイズに
応じて所望により適宜選択すればよい。
料として準備する。金属珪化物粉末の粒子サイズは、結
果物すなわち本発明にかかる複合物粉末の粒子サイズに
応じて所望により適宜選択すればよい。
出発原料としての金属珪化物粉末粒子中の金属珪化物を
、分解工程によって部分的に分解することにより金属窒
化物および窒化珪素を生成せしめる。すなわち１０気圧
以上の窒素分圧を有する雰囲気中で７００℃の温度以上
に加熱して熱間静水圧ブレス処理を行なうことにより、
たとえば次式の如く ６ＴｉＳｉｍ＋１１Ｎ＊→６ＴＬＮ＋４ＳｉｉＮ４６Ｃ
ｒＳｉ鵞＋１１Ｎｇ−６ＣｒＮ＋４ＳｉｓＮ４６２ｒＳ
ｉ＊＋ｌＩＮ＊−１６ＺｒＮ＋４ＳｉｓＮ４金属珪化物
粉末粒子中の金属珪化物をその同一の金属珪化物粉末粒
子の内部で部分的に分解して金属窒化物よび窒化珪素を
生成せしめ、金属珪化物、金属窒化物および窒化珪素の
複合物粉末を作成する。
、分解工程によって部分的に分解することにより金属窒
化物および窒化珪素を生成せしめる。すなわち１０気圧
以上の窒素分圧を有する雰囲気中で７００℃の温度以上
に加熱して熱間静水圧ブレス処理を行なうことにより、
たとえば次式の如く ６ＴｉＳｉｍ＋１１Ｎ＊→６ＴＬＮ＋４ＳｉｉＮ４６Ｃ
ｒＳｉ鵞＋１１Ｎｇ−６ＣｒＮ＋４ＳｉｓＮ４６２ｒＳ
ｉ＊＋ｌＩＮ＊−１６ＺｒＮ＋４ＳｉｓＮ４金属珪化物
粉末粒子中の金属珪化物をその同一の金属珪化物粉末粒
子の内部で部分的に分解して金属窒化物よび窒化珪素を
生成せしめ、金属珪化物、金属窒化物および窒化珪素の
複合物粉末を作成する。
換言すれば、上述の分解工程を所定の時間だけ持続せし
めることにより、出発原料すなわち金属珪化物粉末粒子
中の金属珪化物を、適宜の割合で金属窒化物および窒化
珪素に分解することができる。ひいては金属珪化物粉末
粒子を金属窒化物および窒化珪素により所望の比率で複
合化でき、金属珪化物、金属窒化物および窒化珪素の複
合物粉末を生成できる。
めることにより、出発原料すなわち金属珪化物粉末粒子
中の金属珪化物を、適宜の割合で金属窒化物および窒化
珪素に分解することができる。ひいては金属珪化物粉末
粒子を金属窒化物および窒化珪素により所望の比率で複
合化でき、金属珪化物、金属窒化物および窒化珪素の複
合物粉末を生成できる。
以上により、本発明にかかる金属珪化物、金属窒化物お
よび窒化珪素の複合物粉末を生成できる。
よび窒化珪素の複合物粉末を生成できる。
また本発明にかかる金属珪化物、金属窒化物および窒化
珪素の複合物粉末の製造方法の他の実施例について、そ
の詳細を説明する。
珪素の複合物粉末の製造方法の他の実施例について、そ
の詳細を説明する。
上述した出発原料としての金属珪化物粉末をアンモニア
ガス流中で７００℃以上の温度に加熱することにより、
たとえば次式の如く ６ＴｉＳｉｉ＋２２ＮＨｓ→６ＴｉＮ ＋４ＳｉｘＮ４
＋３３Ｈ＊６ＣｒＳｉｘ＋２２ＮＨｓ −ｈ ６ＣｒＮ
＋４ＳｉｓＮ４＋３３Ｈｇ６ＺｒＳｉ＊＋２２ＮＨｓ
−＊ ６ＺｒＮ ＋４ＳｉｓＮ４＋３３Ｈｇ金属珪化
物粉末粒子中の金属珪化物を分解し、金属窒化物および
窒化珪素を生成して金属珪化物。
ガス流中で７００℃以上の温度に加熱することにより、
たとえば次式の如く ６ＴｉＳｉｉ＋２２ＮＨｓ→６ＴｉＮ ＋４ＳｉｘＮ４
＋３３Ｈ＊６ＣｒＳｉｘ＋２２ＮＨｓ −ｈ ６ＣｒＮ
＋４ＳｉｓＮ４＋３３Ｈｇ６ＺｒＳｉ＊＋２２ＮＨｓ
−＊ ６ＺｒＮ ＋４ＳｉｓＮ４＋３３Ｈｇ金属珪化
物粉末粒子中の金属珪化物を分解し、金属窒化物および
窒化珪素を生成して金属珪化物。
金属窒化物および窒化珪素の複合物粉末を作成する。
この場合には、金属珪化物粉末粒子中の金属珪化物の分
解に際して水素Ｈ３が生成されるが、その分解工程に並
行して排気し除去することができるので、本発明にかか
る複合物粉末の製造工程を廉価かつ能率的に実行できる
。
解に際して水素Ｈ３が生成されるが、その分解工程に並
行して排気し除去することができるので、本発明にかか
る複合物粉末の製造工程を廉価かつ能率的に実行できる
。
以上により、本発明にかかる金属珪化物、金属窒化物お
よび窒化珪素の複合物粉末を生成できる。
よび窒化珪素の複合物粉末を生成できる。
次いで本発明にかかる金属窒化物および窒化珪素の複合
物粉末について、その詳細を説明する。
物粉末について、その詳細を説明する。
本発明にかかる金属窒化物および窒化珪素の複合物粉末
は、金属珪化物粉末粒子中の金属珪化物を完全に分解す
ることにより生成された金属窒化物および窒化珪素を、
同一粉末粒子の内部に包有している。換言すれば、本発
明にかかる複合物粉末は、金属珪化物粉末粒子中の金属
珪化物の全部を完全に分解することにより生成された金
属窒化物および窒化珪素を同−粉末粒子中に含む粉末に
よって形成されている。
は、金属珪化物粉末粒子中の金属珪化物を完全に分解す
ることにより生成された金属窒化物および窒化珪素を、
同一粉末粒子の内部に包有している。換言すれば、本発
明にかかる複合物粉末は、金属珪化物粉末粒子中の金属
珪化物の全部を完全に分解することにより生成された金
属窒化物および窒化珪素を同−粉末粒子中に含む粉末に
よって形成されている。
更に本発明にかかる金属窒化物および窒化珪素の複合物
粉末の製造方法の一実施例について、その詳細を説明す
る。
粉末の製造方法の一実施例について、その詳細を説明す
る。
純度が５０重量％以上である金属珪化物粉末を、出発原
料として準備する。金属珪化物粉末の粒子サイズは、結
果物すなわち本発明にかかる複合物粉末の粒子サイズに
応じて所望により適宜選択すればよい。
料として準備する。金属珪化物粉末の粒子サイズは、結
果物すなわち本発明にかかる複合物粉末の粒子サイズに
応じて所望により適宜選択すればよい。
出発原料としての金属珪化物粉末粒子中の金属珪化物を
、分解工程によって完全に分解することにより金属窒化
物および窒化珪素を生成せしめる。すなわち１０気圧以
上の窒素分圧を有する雰囲気中で７００℃の温度以上に
加熱して熱間静水圧プレス処理を行なうことにより、た
とえば次式の如く ６ＴｉＳｚｉ＋ １ｌＮｉ ＝ ６ＴｉＮ＋ ４３ｉｓ
Ｎ４６ＣｒＳｉｚ＋１１Ｎ、−＋６ＣｒＮ＋４ＳｉｓＮ
４６ＺｒＳｉｉ＋１１Ｎ＊＝６ＺｒＮ＋４ＳｉｓＮ４金
属珪化物粉末粒子中の金属珪化物をその同一の金属珪化
物粉末粒子の内部で完全に分解して金属窒化物および窒
化珪素を生成せしめ、金属窒化物および窒化珪素の複合
物粉末を作成する。
、分解工程によって完全に分解することにより金属窒化
物および窒化珪素を生成せしめる。すなわち１０気圧以
上の窒素分圧を有する雰囲気中で７００℃の温度以上に
加熱して熱間静水圧プレス処理を行なうことにより、た
とえば次式の如く ６ＴｉＳｚｉ＋ １ｌＮｉ ＝ ６ＴｉＮ＋ ４３ｉｓ
Ｎ４６ＣｒＳｉｚ＋１１Ｎ、−＋６ＣｒＮ＋４ＳｉｓＮ
４６ＺｒＳｉｉ＋１１Ｎ＊＝６ＺｒＮ＋４ＳｉｓＮ４金
属珪化物粉末粒子中の金属珪化物をその同一の金属珪化
物粉末粒子の内部で完全に分解して金属窒化物および窒
化珪素を生成せしめ、金属窒化物および窒化珪素の複合
物粉末を作成する。
換言すれば、上述の分解工程を所定の時間だけ持続せし
めることにより、出発原料すなわち金属珪化物粉末粒子
中の金属珪化物を、完全に金属窒化物および窒化珪素に
分解することができる。ひいては金属窒化物粉末粒子を
窒化珪素により複合化でき、金属窒化物および窒化珪素
の複合物粉末を生成できる。
めることにより、出発原料すなわち金属珪化物粉末粒子
中の金属珪化物を、完全に金属窒化物および窒化珪素に
分解することができる。ひいては金属窒化物粉末粒子を
窒化珪素により複合化でき、金属窒化物および窒化珪素
の複合物粉末を生成できる。
以上により、本発明にかかる金属窒化物および窒化珪素
の複合物粉末を生成できる。
の複合物粉末を生成できる。
また本発明にかかる金属窒化物および窒化珪素の複合物
粉末の製造方法の他の実施例について、その詳細を説明
する。
粉末の製造方法の他の実施例について、その詳細を説明
する。
上述した出発原料としての金属珪化物粉末をアンモニア
ガス流中で７００℃以上の温度に加熱することにより、
たとえば次式の如く ６ＴｆＳＬ＋２２ＮＨｓ −６ＴｉＮ ＋４ＳｉｓＮ４
＋３３Ｈｘ６ＣｒＳＬｉ＋２２ＮＨｓ ＝ ６ＣｒＮ
＋４ＳｉｓＮ＋＋３３Ｈ＊６２ｒＳｉ＊＋２２ＮＨｓ
−’ ６ＺｒＮ ＋４ＳｉｓＮ＜＋３３Ｈｔ金属珪化物
粉末粒子中の金属珪化物を完全に分解し、金属窒化物お
よび窒化珪素を生成して金属窒化物および窒化珪素の複
合物粉末を作成する。
ガス流中で７００℃以上の温度に加熱することにより、
たとえば次式の如く ６ＴｆＳＬ＋２２ＮＨｓ −６ＴｉＮ ＋４ＳｉｓＮ４
＋３３Ｈｘ６ＣｒＳＬｉ＋２２ＮＨｓ ＝ ６ＣｒＮ
＋４ＳｉｓＮ＋＋３３Ｈ＊６２ｒＳｉ＊＋２２ＮＨｓ
−’ ６ＺｒＮ ＋４ＳｉｓＮ＜＋３３Ｈｔ金属珪化物
粉末粒子中の金属珪化物を完全に分解し、金属窒化物お
よび窒化珪素を生成して金属窒化物および窒化珪素の複
合物粉末を作成する。
この場合には、金属珪化物粉末粒子中の金属珪化物の分
解に際して水素Ｈ８が生成されるが、その分解工程に並
行して排気し除去することができるので、本発明にかか
る金属窒化物および窒化珪素の複合物粉末の製造工程を
廉価かつ能率的に実行できる。
解に際して水素Ｈ８が生成されるが、その分解工程に並
行して排気し除去することができるので、本発明にかか
る金属窒化物および窒化珪素の複合物粉末の製造工程を
廉価かつ能率的に実行できる。
以上により、本発明にかかる金属窒化物および窒化珪素
の複合物粉末を生成できる。
の複合物粉末を生成できる。
次いで上述した本発明にかかる金属珪化物、金属窒化物
および窒化珪素の複合物粉末およびその製造方法ならび
に金属窒化物および窒化珪素の複合粉末およびその製造
方法を、−層良く理解するために、具体的な数値を挙げ
詳細に説明する。
および窒化珪素の複合物粉末およびその製造方法ならび
に金属窒化物および窒化珪素の複合粉末およびその製造
方法を、−層良く理解するために、具体的な数値を挙げ
詳細に説明する。
ユ叉胤五上り
純度が９５重量％以上でかつ粒径が１〜１０μｍである
珪化チタン粉末粒子中の珪化チタンＴｉ５ｉａを、１０
気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気中で、１７８０℃の
温度に加熱して熱間静水圧プレス処理を５時間にわたり
実行した。
珪化チタン粉末粒子中の珪化チタンＴｉ５ｉａを、１０
気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気中で、１７８０℃の
温度に加熱して熱間静水圧プレス処理を５時間にわたり
実行した。
これにより珪化チタン粉末粒子中の珪化チタンＴｉ５ｉ
ａは、第１表に示した如く、部分的にすなわち変換率１
％に相当する量だけ窒化チタンＴｉＮおよび窒化珪素５
ｉＪ４に分解され、本発明にかかる珪化チタン、窒化チ
タンおよび窒化珪素の複合物粉末が生成された。
ａは、第１表に示した如く、部分的にすなわち変換率１
％に相当する量だけ窒化チタンＴｉＮおよび窒化珪素５
ｉＪ４に分解され、本発明にかかる珪化チタン、窒化チ
タンおよび窒化珪素の複合物粉末が生成された。
ここで変化率は、出発原料たる珪化チタン粉末粒子中の
珪化チタンＴｉ５ｉｓが窒化チタンＴｉＮおよび窒化珪
素５ｉｉＮ４に分解され、珪化チタンＴｉＳｉ＊と窒化
チタンＴｉＮと窒化珪素５ｉｉＮ＋どの重量比が（１−
ｘｉ ：ｘ：ｘとなったとき、そのＸをいう（以下同様
）、変化率Ｘは、珪化チタン、窒化チタンおよび窒化珪
素の複合物粉末中の窒素の量を分析することによって求
められた。
珪化チタンＴｉ５ｉｓが窒化チタンＴｉＮおよび窒化珪
素５ｉｉＮ４に分解され、珪化チタンＴｉＳｉ＊と窒化
チタンＴｉＮと窒化珪素５ｉｉＮ＋どの重量比が（１−
ｘｉ ：ｘ：ｘとなったとき、そのＸをいう（以下同様
）、変化率Ｘは、珪化チタン、窒化チタンおよび窒化珪
素の複合物粉末中の窒素の量を分析することによって求
められた。
ユ叉血土ｎ
熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
が１００気圧とされ、そのときの処理温度が１４５０℃
とされ、かつ処理時間が２時間とされたことを除き、実
施例１が反復された。
が１００気圧とされ、そのときの処理温度が１４５０℃
とされ、かつ処理時間が２時間とされたことを除き、実
施例１が反復された。
この時の結果は、第１表に変換率が１００％と示されて
いる如く、実施例１とは異なっていた。すなわち珪化チ
タン粉末粒子中の珪化チタンＴｉ５ｉｔは、全て窒化チ
タンＴｉＮおよび窒化珪素５ｉｓＮ４に分解され、本発
明にかかる窒化チタンおよび窒化珪素の複合物粉末が生
成された。
いる如く、実施例１とは異なっていた。すなわち珪化チ
タン粉末粒子中の珪化チタンＴｉ５ｉｔは、全て窒化チ
タンＴｉＮおよび窒化珪素５ｉｓＮ４に分解され、本発
明にかかる窒化チタンおよび窒化珪素の複合物粉末が生
成された。
ユ叉践皿旦二互り
熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
がともに１０００気圧とされ、そのときの処理温度がそ
れぞれ７００℃、 １０００℃および１３００℃とされ
、かつ処理時間がともに２時間とされたことを除き、そ
れぞれ実施例１が反復された。
がともに１０００気圧とされ、そのときの処理温度がそ
れぞれ７００℃、 １０００℃および１３００℃とされ
、かつ処理時間がともに２時間とされたことを除き、そ
れぞれ実施例１が反復された。
この時の結果は、第１表に変換率がそれぞれ２％、１０
％および７０％と示されている如く、実施例１と同様で
あった。すなわち珪化チタン粉末粒子中の珪化チタンＴ
ｉ５ｉｚは、部分的に窒化チタンＴｉＮおよび窒化珪素
５ｉｓＮ４に分解され、それぞれ本発明にかかる珪化チ
タン、窒化チタンおよび窒化珪素の複合物粉末が生成さ
れた。
％および７０％と示されている如く、実施例１と同様で
あった。すなわち珪化チタン粉末粒子中の珪化チタンＴ
ｉ５ｉｚは、部分的に窒化チタンＴｉＮおよび窒化珪素
５ｉｓＮ４に分解され、それぞれ本発明にかかる珪化チ
タン、窒化チタンおよび窒化珪素の複合物粉末が生成さ
れた。
ユ叉上廻旦り
熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中のの温度が
１５００℃とされたことを除き、実施例５が反復された
。
１５００℃とされたことを除き、実施例５が反復された
。
この時の結果は、第１表に変換率が１００％と示されて
いる如く、実施例５とは異なっていた。すなわち珪化チ
タン粉末粒子中の珪化チタンＴｉＳｉ＊は、全て窒化チ
タンＴｉＮおよび窒化珪素５ｉｓＮ４に分解され、本発
明にかかる窒化チタンおよび窒化珪素の複合物粉末が生
成された。
いる如く、実施例５とは異なっていた。すなわち珪化チ
タン粉末粒子中の珪化チタンＴｉＳｉ＊は、全て窒化チ
タンＴｉＮおよび窒化珪素５ｉｓＮ４に分解され、本発
明にかかる窒化チタンおよび窒化珪素の複合物粉末が生
成された。
ユ叉鬼■ユＬ
熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中のの圧力が
２０００気圧とされたことを除き、実施例６が反復され
た。
２０００気圧とされたことを除き、実施例６が反復され
た。
この時の結果は、第１表に変換率カ月００％と示されて
いる如く、実施例６と同様であった。すなわち珪化チタ
ン粉末粒子中の珪化チタンＴｉＳｉｘは、全て窒化チタ
ンＴｉＮおよび窒化珪素５ｉ３Ｌに分解され、本発明に
かかる窒化チタンおよび窒化珪素の複合物粉末が生成さ
れた。
いる如く、実施例６と同様であった。すなわち珪化チタ
ン粉末粒子中の珪化チタンＴｉＳｉｘは、全て窒化チタ
ンＴｉＮおよび窒化珪素５ｉ３Ｌに分解され、本発明に
かかる窒化チタンおよび窒化珪素の複合物粉末が生成さ
れた。
ユニ絞且工り
熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
が１気圧とされ、そのときの処理温度が１７００℃とさ
れ、かつ処理時間が２時間とされたことを除き、実施例
１が反復された。
が１気圧とされ、そのときの処理温度が１７００℃とさ
れ、かつ処理時間が２時間とされたことを除き、実施例
１が反復された。
この時の結果は、第１表に変換率が０％と示されている
如く、実施例１とは異なっていた。すなわち珪化チタン
粉末粒子中の珪化チタンＴｉ５ｉａは、窒化チタンＴｉ
Ｎおよび窒化珪素５ｉｓＮ４に全く分解されなかった。
如く、実施例１とは異なっていた。すなわち珪化チタン
粉末粒子中の珪化チタンＴｉ５ｉａは、窒化チタンＴｉ
Ｎおよび窒化珪素５ｉｓＮ４に全く分解されなかった。
ユ此ｌびＬＬＬ
熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の温度が６
００ ’Ｃとされたことを除き、実施例３が反復された
。
００ ’Ｃとされたことを除き、実施例３が反復された
。
この時の結果は、第１表に変換率が０％と示されている
如く、実施例３とは異なっていた。すなわち珪化チタン
粉末粒子中の珪化チタンＴｉ５ｉｔは、窒化チタンＴｉ
Ｎおよび窒化珪素ＳｉＪ＜に全く分解されなかった。
如く、実施例３とは異なっていた。すなわち珪化チタン
粉末粒子中の珪化チタンＴｉ５ｉｔは、窒化チタンＴｉ
Ｎおよび窒化珪素ＳｉＪ＜に全く分解されなかった。
ユ罠血且旦り
純度が９５重量％以上でかつ粒径が１〜１０μｍである
珪化チタン粉末粒子中の珪化チタンＴｉ５ｉｔを、１０
２７分の割合で供給されるアン硲ニアガス流中で、１０
時間だけ１０００℃の温度に加熱することにより分解し
た。
珪化チタン粉末粒子中の珪化チタンＴｉ５ｉｔを、１０
２７分の割合で供給されるアン硲ニアガス流中で、１０
時間だけ１０００℃の温度に加熱することにより分解し
た。
これにより珪化チタン粉末粒子中の珪化チタンＴｉ５ｉ
ｚが、第２表に示した如く、部分的にすなわち変換率５
％に相当する量だけ窒化チタンＴｉＮ 。
ｚが、第２表に示した如く、部分的にすなわち変換率５
％に相当する量だけ窒化チタンＴｉＮ 。
窒化珪素５ｉｓＮ４および水素Ｈ３に分解された。この
とき水素Ｈ２は、珪化チタンＴｉＳｉ＊の分解に並行し
て排気除去されたので、珪化チタン粉末から本発明にか
かる珪化チタン、窒化チタンおよび窒化珪素の複合物粉
末が直接に生成された。
とき水素Ｈ２は、珪化チタンＴｉＳｉ＊の分解に並行し
て排気除去されたので、珪化チタン粉末から本発明にか
かる珪化チタン、窒化チタンおよび窒化珪素の複合物粉
末が直接に生成された。
」比較■旦エ
アンモニアガス流の温度（すなわち処理温度）が６００
℃とされたことを除き、実施例８が反復された。
℃とされたことを除き、実施例８が反復された。
この時の結果は、第２表に変換率が０％と示されている
如く、実施例８とは異なっていた。すなわち珪化チタン
粉末中の珪化チタンＴｊ、Ｓｉｚは、窒化チタンＴｉＮ
、窒化珪素５ｉｓＮｉおよび水素Ｈ２に全く分解され
なかった。
如く、実施例８とは異なっていた。すなわち珪化チタン
粉末中の珪化チタンＴｊ、Ｓｉｚは、窒化チタンＴｉＮ
、窒化珪素５ｉｓＮｉおよび水素Ｈ２に全く分解され
なかった。
ユ叉施丞旦り
純度が９５重量％以上でかつ粒径が１−１０μｍである
珪化クロム粉末粒子中の珪化クロムＣｒ５ｉｚを、１０
気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気中で、１７８０℃の
温度に加熱して熱間静水圧プレス処理を５時間にわたり
実行した。
珪化クロム粉末粒子中の珪化クロムＣｒ５ｉｚを、１０
気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気中で、１７８０℃の
温度に加熱して熱間静水圧プレス処理を５時間にわたり
実行した。
これにより珪化クロム粉末粒子中の珪化クロムＣｒＳ
ｉ ｚは、第３表に示した如く、部分的にすなわち変換
率２％に相当する量だけ窒化クロムＣｒＮおよび窒化珪
素５ｉＪｎに分解され、本発明にかかる珪化クロム、窒
化クロムおよび窒化珪素の複合物粉末が生成された。
ｉ ｚは、第３表に示した如く、部分的にすなわち変換
率２％に相当する量だけ窒化クロムＣｒＮおよび窒化珪
素５ｉＪｎに分解され、本発明にかかる珪化クロム、窒
化クロムおよび窒化珪素の複合物粉末が生成された。
ユ叉血皿旦り
熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
が１００気圧とされ、そのときの処理温度が１４５０℃
され、かつ処理時間が２時間とされたことを除き、実施
例９が反復された。
が１００気圧とされ、そのときの処理温度が１４５０℃
され、かつ処理時間が２時間とされたことを除き、実施
例９が反復された。
この時の結果は、第３表に変換率が８０％と示されてい
る如く、実施例９とは異なっていた。すなわち珪化クロ
ム粉末粒子中の珪化クロムＣｒＳｉ＊は、大半が窒化ク
ロムＣｒＮおよび窒化珪素５ｉｓＮ＋に分解され、本発
明にかかる珪化クロム、窒化クロムおよび窒化珪素の複
合物粉末が生成された。
る如く、実施例９とは異なっていた。すなわち珪化クロ
ム粉末粒子中の珪化クロムＣｒＳｉ＊は、大半が窒化ク
ロムＣｒＮおよび窒化珪素５ｉｓＮ＋に分解され、本発
明にかかる珪化クロム、窒化クロムおよび窒化珪素の複
合物粉末が生成された。
１１およ １２
熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
がともに１０００気圧とされ、そのときの処理温度がそ
れぞれ１０００℃および１３００℃とされ、かつ処理時
間がともに２時間とされたことを除き、それぞれ実施例
９が反復された。
がともに１０００気圧とされ、そのときの処理温度がそ
れぞれ１０００℃および１３００℃とされ、かつ処理時
間がともに２時間とされたことを除き、それぞれ実施例
９が反復された。
この時の結果は、第３表に変換率がそれぞれ２％および
２０％と示されている如く、実施例９と同様であった。
２０％と示されている如く、実施例９と同様であった。
すなわち珪化クロム粉末粒子中の珪化クロムＣｒ５ｉｚ
は、部分的に窒化クロムＣｒＮおよび窒化珪素５ｉｓＮ
４に分解され、それぞれ本発明にかかる珪化クロム、窒
化クロムおよび窒化珪素の複合物粉末が生成された。
は、部分的に窒化クロムＣｒＮおよび窒化珪素５ｉｓＮ
４に分解され、それぞれ本発明にかかる珪化クロム、窒
化クロムおよび窒化珪素の複合物粉末が生成された。
ユ叉亘盟月り
熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中のの温度が
１５００℃とされたことを除き、実施例１２が反復され
た。
１５００℃とされたことを除き、実施例１２が反復され
た。
この時の結果は、第３表に変換率が１００％と示されて
いる如く、実施例１２とは異なっていた。すなわち珪化
クロム粉末粒子中の珪化クロムＣｒＳｉ＊は、全て窒化
クロムＣｒＮおよび窒化珪素５ｉｓＮ４に分解され、本
発明にかかる窒化クロムおよび窒化珪素の複合物粉末が
生成された。
いる如く、実施例１２とは異なっていた。すなわち珪化
クロム粉末粒子中の珪化クロムＣｒＳｉ＊は、全て窒化
クロムＣｒＮおよび窒化珪素５ｉｓＮ４に分解され、本
発明にかかる窒化クロムおよび窒化珪素の複合物粉末が
生成された。
ユ叉胤皿」Ｌ
熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中のの圧力が
２０００気圧とされたことを除き、実施例１３が反復さ
れた。
２０００気圧とされたことを除き、実施例１３が反復さ
れた。
この時の結果は、第３表に変換率が１００％と示されて
いる如く、実施例１３と同様であった。すなわち珪化ク
ロム粉末粒子中の珪化クロム（：ｒＳｉｔは、全て窒化
クロムＣｒＮおよび窒化珪素５ｉｓＮ４に分解され、本
発明にかかる窒化クロムおよび窒化珪素の複合物粉末が
生成された。
いる如く、実施例１３と同様であった。すなわち珪化ク
ロム粉末粒子中の珪化クロム（：ｒＳｉｔは、全て窒化
クロムＣｒＮおよび窒化珪素５ｉｓＮ４に分解され、本
発明にかかる窒化クロムおよび窒化珪素の複合物粉末が
生成された。
ニル校監土り
熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
が１気圧とされ、そのときの処理温度が１７００℃とさ
れ、かつ処理時間が２時間とされたことを除き、実施例
９が反復された。
が１気圧とされ、そのときの処理温度が１７００℃とさ
れ、かつ処理時間が２時間とされたことを除き、実施例
９が反復された。
この時の結果は、第３表に変換率が０％と示されている
如く、実施例９とは異なっていた。すなわち珪化クロム
粉末粒子中の珪化クロム（：ｒＳｉｉは、窒化クロムＣ
ｒＮおよび窒化珪素５ｉｓＮ４に全く分解されなかった
。
如く、実施例９とは異なっていた。すなわち珪化クロム
粉末粒子中の珪化クロム（：ｒＳｉｉは、窒化クロムＣ
ｒＮおよび窒化珪素５ｉｓＮ４に全く分解されなかった
。
ユ比較皿旦り
熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の温度が９
００℃とされたことを除き、実施例１１が反復された。
００℃とされたことを除き、実施例１１が反復された。
この時の結果は、第３表に変換率が０％と示されている
如く、実施例１１とは異なっていた。すなわち珪化クロ
ム粉末粒子中の珪化クロムＣｒＳｉ２は、窒化クロムＣ
ｒＮおよび窒化珪素ＳｉＪ＋に全く分解されなかった。
如く、実施例１１とは異なっていた。すなわち珪化クロ
ム粉末粒子中の珪化クロムＣｒＳｉ２は、窒化クロムＣ
ｒＮおよび窒化珪素ＳｉＪ＋に全く分解されなかった。
ユ夾血匠耗り
純度が９５重量％以上でかつ粒径が１〜ｌＯμｍである
珪化クロム粉末粒子中の珪化クロムＣｒＳｉｉを、１０
β／分の割合で供給されるアンモニアガス流中で、１０
時間だけ１２００℃の温度に加熱することにより分解し
た。
珪化クロム粉末粒子中の珪化クロムＣｒＳｉｉを、１０
β／分の割合で供給されるアンモニアガス流中で、１０
時間だけ１２００℃の温度に加熱することにより分解し
た。
これにより珪化クロム粉末粒子中の珪化クロムＣｒ５ｉ
ｔが、第４表に示した如く、部分的にすなわち変換率５
％に相当する量だけ窒化クロムＣｒＮ 。
ｔが、第４表に示した如く、部分的にすなわち変換率５
％に相当する量だけ窒化クロムＣｒＮ 。
窒化珪素５ｉｓｌＬおよび水素Ｈ８に分解された。この
とき水素Ｈ３は、珪化クロムＣｒＳｉ＊の分解に並行し
て排気除去されたので、珪化クロム粉末から本発明にか
かる珪化クロム、窒化クロムおよび窒化珪素の複合物粉
末が直接に生成された。
とき水素Ｈ３は、珪化クロムＣｒＳｉ＊の分解に並行し
て排気除去されたので、珪化クロム粉末から本発明にか
かる珪化クロム、窒化クロムおよび窒化珪素の複合物粉
末が直接に生成された。
ニル奴盟旦Ｌ
アンモニアガス流の温度（すなわち処理温度）が９００
℃とされたことを除き、実施例１５が反復された。
℃とされたことを除き、実施例１５が反復された。
この時の結果は、第４表に変換率が０％と示されている
如く、実施例１５とは異なっていた。すなわち珪化クロ
ム粉末中の珪化クロムＣｒＳｉ雪は、窒化クロムＣｒＮ
、窒化珪素５ｔＪ４および水素Ｈ２に全く分解されな
かった。
如く、実施例１５とは異なっていた。すなわち珪化クロ
ム粉末中の珪化クロムＣｒＳｉ雪は、窒化クロムＣｒＮ
、窒化珪素５ｔＪ４および水素Ｈ２に全く分解されな
かった。
１叉立烈遷１
純度が９５重量％以上でかつ粒径が１−１０μｍである
珪化ジルコニウム粉末粒子中の珪化ジルコニウムＺｒＳ
ｉ＊を、１０気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気中で、
１７８０℃の温度に加熱して熱間静水圧プレス処理を５
時間にわたり実行した。
珪化ジルコニウム粉末粒子中の珪化ジルコニウムＺｒＳ
ｉ＊を、１０気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気中で、
１７８０℃の温度に加熱して熱間静水圧プレス処理を５
時間にわたり実行した。
これにより珪化ジルコニウム粉末粒子中の珪化ジルコニ
ウムＺｒ５ｉｓは、第５表に示した如く、部分的にすな
わち変換率１％に相当する量だけ窒化ジルコニウムＺｒ
Ｎおよび窒化珪素５ｉｓＮ＜に分解され、本発明にかか
る珪化ジルコニウム、窒化ジルコニウムおよび窒化珪素
の複合物粉末が生成された。
ウムＺｒ５ｉｓは、第５表に示した如く、部分的にすな
わち変換率１％に相当する量だけ窒化ジルコニウムＺｒ
Ｎおよび窒化珪素５ｉｓＮ＜に分解され、本発明にかか
る珪化ジルコニウム、窒化ジルコニウムおよび窒化珪素
の複合物粉末が生成された。
ユ叉胤皿二と
熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
が１００気圧とされ、そのときの処理温度が１３００℃
とされ、かつ処理時間が２時間とされたことを除き、実
施例１６が反復された。
が１００気圧とされ、そのときの処理温度が１３００℃
とされ、かつ処理時間が２時間とされたことを除き、実
施例１６が反復された。
この時の結果は、第５表に変換率が８５％と示されてい
る如（、実施例１６とは異なっていた。すなわち珪化ジ
ルコニウム粉末粒子中の珪化ジルコニウムＺｒ５ｉｔは
、大半が窒化ジルコニウムＺｒＮおよび窒化珪素５ｉｓ
Ｎ４に分解され、本発明にかかる珪化ジルコニウム、窒
化ジルコニウムおよび窒化珪素の複合物粉末が生成され
た。
る如（、実施例１６とは異なっていた。すなわち珪化ジ
ルコニウム粉末粒子中の珪化ジルコニウムＺｒ５ｉｔは
、大半が窒化ジルコニウムＺｒＮおよび窒化珪素５ｉｓ
Ｎ４に分解され、本発明にかかる珪化ジルコニウム、窒
化ジルコニウムおよび窒化珪素の複合物粉末が生成され
た。
１８および１９
熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
がともに１０００気圧とされ、そのときの処理温度がそ
れぞれ７００℃および１２００℃とされ、かつ処理時間
がともに２時間とされたことを除き、それぞれ実施例１
６が反復された。
がともに１０００気圧とされ、そのときの処理温度がそ
れぞれ７００℃および１２００℃とされ、かつ処理時間
がともに２時間とされたことを除き、それぞれ実施例１
６が反復された。
この時の結果は、第５表に変換率がそれぞれ２％および
２２％と示されている如（、実施例１６と同様であった
。すなわち珪化ジルコニウム粉末粒子中の珪化ジルコニ
ウムＺｒ５ｉｚは、部分的に窒化ジルコニウムＺｒＮお
よび窒化珪素５ｉａＮ４に分解され、それぞれ本発明に
かかる珪化ジルコニウム。
２２％と示されている如（、実施例１６と同様であった
。すなわち珪化ジルコニウム粉末粒子中の珪化ジルコニ
ウムＺｒ５ｉｚは、部分的に窒化ジルコニウムＺｒＮお
よび窒化珪素５ｉａＮ４に分解され、それぞれ本発明に
かかる珪化ジルコニウム。
窒化ジルコニウムおよび窒化珪素の複合物粉末が生成さ
れた。
れた。
」叉旌±」Ｌ
熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中のの温度が
１５００℃とされたことを除き、実施例１９が反復され
た。
１５００℃とされたことを除き、実施例１９が反復され
た。
この時の結果は、第５表に変換率が１００％と示されて
いる如く、実施例１９とは異なっていた。すなわち珪化
ジルコニウム粉末粒子中の珪化ジルコニウムＺｒ５ｉｔ
は、全て窒化ジルコニウムＺｒＮおよび窒化珪素５ｉｓ
Ｎ４に分解され、本発明にかかる窒化ジルコニウムおよ
び窒化珪素の複合物粉末が生成された。
いる如く、実施例１９とは異なっていた。すなわち珪化
ジルコニウム粉末粒子中の珪化ジルコニウムＺｒ５ｉｔ
は、全て窒化ジルコニウムＺｒＮおよび窒化珪素５ｉｓ
Ｎ４に分解され、本発明にかかる窒化ジルコニウムおよ
び窒化珪素の複合物粉末が生成された。
Ａ叉施豊」Ｌ
熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中のの圧力が
２０００気圧とされたことを除き、実施例２０反復され
た。
２０００気圧とされたことを除き、実施例２０反復され
た。
この時の結果は、第５表に変換率が１００％と示されて
いる如く、実施例２０と同様であった。すなわち珪化ジ
ルコニウム粉末粒子中の珪化ジルコニウムＺｒＳｉｘは
、全て窒化ジルコニウムＺｒＮおよび窒化珪素５ｉＪ４
に分解され、本発明にかかる窒化ジルコニウムおよび窒
化珪素の複合物粉末が生成された。
いる如く、実施例２０と同様であった。すなわち珪化ジ
ルコニウム粉末粒子中の珪化ジルコニウムＺｒＳｉｘは
、全て窒化ジルコニウムＺｒＮおよび窒化珪素５ｉＪ４
に分解され、本発明にかかる窒化ジルコニウムおよび窒
化珪素の複合物粉末が生成された。
ニル狡匹工り
熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の窒素分圧
が１気圧とされ、そのときの処理温度が１７００℃とさ
れ、かつ処理時間が２時間とされたことを除き、実施例
１６が反復された。
が１気圧とされ、そのときの処理温度が１７００℃とさ
れ、かつ処理時間が２時間とされたことを除き、実施例
１６が反復された。
この時の結果は、第５表に変換率が０％と示されている
如く、実施例１６とは異なっていた。すなわち珪化ジル
コニウム粉末粒子中の珪化ジルコニウムＺｒ５ｉｚは、
窒化ジルコニウムＺｒＮおよび窒化珪素ＳｉＪ＜に全く
分解されなかった。
如く、実施例１６とは異なっていた。すなわち珪化ジル
コニウム粉末粒子中の珪化ジルコニウムＺｒ５ｉｚは、
窒化ジルコニウムＺｒＮおよび窒化珪素ＳｉＪ＜に全く
分解されなかった。
ユ比七あ」ロー
熱間静水圧プレス処理の実行された雰囲気中の温度が６
００℃とされたことを除き、実施例１８が反復された。
００℃とされたことを除き、実施例１８が反復された。
この時の結果は、第５表に変換率が０％と示されている
如く、実施例１８とは異なっていた。すなわち珪化ジル
コニウム粉末粒子中の珪化ジルコニウムＺｒＳｉ＊は、
窒化ジルコニウムＺｒＮ Ｊ５よび窒化珪素５ｉｓＮ４
に全（分解されなかった。
如く、実施例１８とは異なっていた。すなわち珪化ジル
コニウム粉末粒子中の珪化ジルコニウムＺｒＳｉ＊は、
窒化ジルコニウムＺｒＮ Ｊ５よび窒化珪素５ｉｓＮ４
に全（分解されなかった。
工Ｘ直匠Ｕ
純度が９５重量％以上でかつ粒径が１〜１０μｍである
珪化ジルコニウム粉末粒子中の珪化ジルコニウムＺｒ５
ｉｚを、 １１［７分の割合で供給されるアンモニアガ
ス流中で、１０時間だけ１０００℃の温度に加熱するこ
とにより分解した。
珪化ジルコニウム粉末粒子中の珪化ジルコニウムＺｒ５
ｉｚを、 １１［７分の割合で供給されるアンモニアガ
ス流中で、１０時間だけ１０００℃の温度に加熱するこ
とにより分解した。
これにより珪化ジルコニウム粉末粒子中の珪化ジルコニ
ウムＺｒＳ ｉ ＊が、第６表に示した如く、部分的に
すなわち変換率５％に相当する量だけ窒化ジルコニウム
ＺｒＮ 、窒化珪素Ｓ３ 、Ｎ、および水素Ｈ２に分解
された。このとき水素Ｈ２は、珪化ジルコニウムＺｒＳ
ｉ ｚの分解に並行して排気除去されたので、珪化ジ
ルコニウム粉末から本発明にかかる珪化ジルコニウム、
窒化ジルコニウムおよび窒化珪素の複合物粉末が直接に
生成された。
ウムＺｒＳ ｉ ＊が、第６表に示した如く、部分的に
すなわち変換率５％に相当する量だけ窒化ジルコニウム
ＺｒＮ 、窒化珪素Ｓ３ 、Ｎ、および水素Ｈ２に分解
された。このとき水素Ｈ２は、珪化ジルコニウムＺｒＳ
ｉ ｚの分解に並行して排気除去されたので、珪化ジ
ルコニウム粉末から本発明にかかる珪化ジルコニウム、
窒化ジルコニウムおよび窒化珪素の複合物粉末が直接に
生成された。
ニル較■旦１
アンモニアガス流の温度（すなわち処理温度）が６００
℃とされたことを除き、実施例２２が反復された。
℃とされたことを除き、実施例２２が反復された。
この時の結果は、第６表に変換率が０％と示されている
如く、実施例２２とは異なっていた。すなわち珪化ジル
コニウム粉末中の珪化ジルコニウムＺｒ５ｉｉは、窒化
ジルコニウムＺｒＮ 、窒化珪素５Ｌ３Ｎ４および水素
Ｈ２に全く分解されなかった。
如く、実施例２２とは異なっていた。すなわち珪化ジル
コニウム粉末中の珪化ジルコニウムＺｒ５ｉｉは、窒化
ジルコニウムＺｒＮ 、窒化珪素５Ｌ３Ｎ４および水素
Ｈ２に全く分解されなかった。
なお上述した実施例においては、出発原料たる珪化チタ
ン粉末、珪化クロム粉末および珪化ジルコニウム粉末の
純度がともに９５重量％とされていたが、本発明は、こ
れに限定されるものではなく、それらの純度が５０重量
％以上であれば支障がないことが判明している。
ン粉末、珪化クロム粉末および珪化ジルコニウム粉末の
純度がともに９５重量％とされていたが、本発明は、こ
れに限定されるものではなく、それらの純度が５０重量
％以上であれば支障がないことが判明している。
（３）発明の効果
上述により明らかなように、本発明にかかる第１の複合
物粉末は、 金属珪化物粉末粒子中の金属珪化物を部分的に分解する
ことにより生成された金属窒化物および窒化珪素が、同
一の金属珪化物粉末粒子の内部に包有され てなるので、 ｆｉ）金属珪化物粉末粒子を金属窒化 物および窒化珪素によって微細 に複合化できる効果 を有し、ひいては （ｉｉｌ焼結体に添加することにより。
物粉末は、 金属珪化物粉末粒子中の金属珪化物を部分的に分解する
ことにより生成された金属窒化物および窒化珪素が、同
一の金属珪化物粉末粒子の内部に包有され てなるので、 ｆｉ）金属珪化物粉末粒子を金属窒化 物および窒化珪素によって微細 に複合化できる効果 を有し、ひいては （ｉｉｌ焼結体に添加することにより。
その焼結特性を改善する効果
を有し、加えて
（ｉｉｉ）焼結体などに添加することにより、その機械
的特性（たとえば 破壊靭性値）を改善できる効果 を有する。
的特性（たとえば 破壊靭性値）を改善できる効果 を有する。
また本発明にかかる第１の複合物粉末の製造方法は、
純度が５０重量％以上である金属珪化物粉末粒子中の金
属珪化物を、１０気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気中
で７００°Ｃ以上の温度に加熱して熱間静水圧プレス処
理を行なうことにより、部分的に分解して金属窒化物お
よび窒化珪素を生成する分解工程を包有し てなるので、 ｆｉｖｌ金属珪化物粉末粒子を金属窒化物および窒化珪
素によって直接 に複合化できる効果 を有し、ひいては ｔｖ＋ 同時に大量の金属珪化物粉末を金属窒化物およ
び窒化珪素に よって廉価かつ安定した状態で 複合化できる効果 を有し、併せて ｆｖｉｌ金属珪化物粉末の粒子サイズを予め選択するこ
とにより、金属 珪化物、金属窒化物および窒化 珪素の複合物粉末の粒子サイズ を適宜に調節できる効果 を有し、加えて （ｖ ｉ ｉ ｌ処理温度および処理時間を調節するこ
とにより、金属珪化物。
属珪化物を、１０気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気中
で７００°Ｃ以上の温度に加熱して熱間静水圧プレス処
理を行なうことにより、部分的に分解して金属窒化物お
よび窒化珪素を生成する分解工程を包有し てなるので、 ｆｉｖｌ金属珪化物粉末粒子を金属窒化物および窒化珪
素によって直接 に複合化できる効果 を有し、ひいては ｔｖ＋ 同時に大量の金属珪化物粉末を金属窒化物およ
び窒化珪素に よって廉価かつ安定した状態で 複合化できる効果 を有し、併せて ｆｖｉｌ金属珪化物粉末の粒子サイズを予め選択するこ
とにより、金属 珪化物、金属窒化物および窒化 珪素の複合物粉末の粒子サイズ を適宜に調節できる効果 を有し、加えて （ｖ ｉ ｉ ｌ処理温度および処理時間を調節するこ
とにより、金属珪化物。
金属窒化物および窒化珪素の組
成を調節できる効果
を有する。
また本発明にかかる第１の複合物粉末の他の製造方法は
。
。
純度が５０重量％以上である金属珪化物粉末粒子中の金
属珪化物を、アンモニアガス流中で７００℃の温度以上
に加熱することにより、部分的に分解して金属窒化物お
よび窒化珪素を生成する分解工程を包有し てなるので、上述のｆｉｖｌ〜（ｖｉｉ）の効果を有す
る。
属珪化物を、アンモニアガス流中で７００℃の温度以上
に加熱することにより、部分的に分解して金属窒化物お
よび窒化珪素を生成する分解工程を包有し てなるので、上述のｆｉｖｌ〜（ｖｉｉ）の効果を有す
る。
更にまた本発明にかかる第２の複合物粉末は、金属珪化
物粉末粒子中の金属珪化物を完全に分解することにより
生成された金属窒化物および窒化珪素が、同一粉末粒子
の内部に包有され Ｃなるので、 （ｖｉｉｉｌ金属窒化物粉末粒子を窒化珪素によって微
細に複合化できる効 果 を有し、ひいては ｆｉｘｌ焼結体に添加することにより、その焼結特性を
改善する効果 を有し、加えて （Ｘｌ焼結体などに添加することによ り、その機械的特性（たとえば 破壊靭性値）を改善できる効果 を有する。
物粉末粒子中の金属珪化物を完全に分解することにより
生成された金属窒化物および窒化珪素が、同一粉末粒子
の内部に包有され Ｃなるので、 （ｖｉｉｉｌ金属窒化物粉末粒子を窒化珪素によって微
細に複合化できる効 果 を有し、ひいては ｆｉｘｌ焼結体に添加することにより、その焼結特性を
改善する効果 を有し、加えて （Ｘｌ焼結体などに添加することによ り、その機械的特性（たとえば 破壊靭性値）を改善できる効果 を有する。
加えて本発明にかかる第２の複合物粉末の製造方法は、
純度が５０重量％以上である金属珪化物粉末粒子中の金
属珪化物を、１０気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気中
で７００℃以上の温度に加熱して熱間静水圧プレス処理
を行なうことにより、完全に分解して金属窒化物および
窒化珪素を生成する分解工程を包有してなるので、 （ｘｉ）金属窒化物粉末粒子を窒化珪素によって直接に
複合化できる効 果 を有し、ひいては ｆｘｉｉ）同時に大量の金属窒化物粉末粒子を窒化珪素
によって廉価かつ 安定した状態に複合化できる効 果 を有し、併せて （ｘｉｉｉ）金属珪化物粉末の粒子サイズを予め選択す
ることにより、金属 窒化物および窒化珪素の複合物 粉末の粒子サイズを適宜に調節 できる効果 を有し、加えて （ｘｉｖ）処理温度および処理時間を調節することによ
り、金属窒化物お よび窒化珪素の組成を調節でき る効果 を有する。
属珪化物を、１０気圧以上の窒素分圧を有する雰囲気中
で７００℃以上の温度に加熱して熱間静水圧プレス処理
を行なうことにより、完全に分解して金属窒化物および
窒化珪素を生成する分解工程を包有してなるので、 （ｘｉ）金属窒化物粉末粒子を窒化珪素によって直接に
複合化できる効 果 を有し、ひいては ｆｘｉｉ）同時に大量の金属窒化物粉末粒子を窒化珪素
によって廉価かつ 安定した状態に複合化できる効 果 を有し、併せて （ｘｉｉｉ）金属珪化物粉末の粒子サイズを予め選択す
ることにより、金属 窒化物および窒化珪素の複合物 粉末の粒子サイズを適宜に調節 できる効果 を有し、加えて （ｘｉｖ）処理温度および処理時間を調節することによ
り、金属窒化物お よび窒化珪素の組成を調節でき る効果 を有する。
加えてまた本発明にかかる第２の複合物粉末の他の製造
方法は、 純度が５０重量％以上である金属珪化物粉末粒子中の金
属珪化物を、アンモニアガス流中で７００℃の温度以上
に加熱することにより、完全に分解して金属窒化物およ
び窒化珪素を生成する分解工程を包有し てなるので、上述の（ｘｉ）〜（ｘｉｖ）の効果を有す
る。
方法は、 純度が５０重量％以上である金属珪化物粉末粒子中の金
属珪化物を、アンモニアガス流中で７００℃の温度以上
に加熱することにより、完全に分解して金属窒化物およ
び窒化珪素を生成する分解工程を包有し てなるので、上述の（ｘｉ）〜（ｘｉｖ）の効果を有す
る。
Claims (6)
- （１）金属珪化物粉末粒子中の金属珪化物を部分的に分
解することにより生成された金属窒化物および窒化珪素
が、同一の金属珪化物粉末粒子の内部に包有されてなる
ことを特徴とする複合物粉末。 - （２）純度が５０重量％以上である金属珪化物粉末粒子
中の金属珪化物を、１０気圧以上の窒素分圧を有する雰
囲気中で７００℃以上の温度に加熱して熱間静水圧プレ
ス処理を行なうことにより、部分的に分解して金属窒化
物および窒化珪素を生成する分解工程を包有してなるこ
とを特徴とする複合物粉末の製造方法。 - （３）純度が５０重量％以上である金属珪化物粉末粒子
中の金属珪化物を、アンモニアガス流中で７００℃の温
度以上に加熱することにより、部分的に分解して金属窒
化物および窒化珪素を生成する分解工程を包有してなる
ことを特徴とする複合物粉末の製造方法。 - （４）金属珪化物粉末粒子中の金属珪化物を完全に分解
することにより生成された金属窒化物および窒化珪素が
、同一粉末粒子の内部に包有されてなることを特徴とす
る複合物粉末。 - （５）純度が５０重量％以上である金属珪化物粉末粒子
中の金属珪化物を１０気圧以上の窒素分圧を有する雰囲
気中で７００℃以上の温度に加熱して熱間静水圧プレス
処理を行なうことにより、完全に分解して金属窒化物お
よび窒化珪素を生成する分解工程を包有してなることを
特徴とする複合物粉末の製造方法。 - （６）純度が５０重量％以上である金属珪化物粉末粒子
中の金属珪化物を、アンモニアガス流中で７００℃の温
度以上に加熱することにより、完全に分解して金属窒化
物および窒化珪素を生成する分解工程を包有してなるこ
とを特徴とする複合物粉末の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12644688A JPH01294514A (ja) | 1988-05-24 | 1988-05-24 | 複合物粉末およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12644688A JPH01294514A (ja) | 1988-05-24 | 1988-05-24 | 複合物粉末およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01294514A true JPH01294514A (ja) | 1989-11-28 |
Family
ID=14935415
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12644688A Pending JPH01294514A (ja) | 1988-05-24 | 1988-05-24 | 複合物粉末およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01294514A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023537425A (ja) * | 2020-09-25 | 2023-08-31 | ザ・スウォッチ・グループ・リサーチ・アンド・ディベロップメント・リミテッド | セラミックスによって作られた物品 |
-
1988
- 1988-05-24 JP JP12644688A patent/JPH01294514A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023537425A (ja) * | 2020-09-25 | 2023-08-31 | ザ・スウォッチ・グループ・リサーチ・アンド・ディベロップメント・リミテッド | セラミックスによって作られた物品 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4045239B2 (ja) | 金属含有単一相組成物の製造方法 | |
| US5451365A (en) | Methods for densifying and strengthening ceramic-ceramic composites by transient plastic phase processing | |
| JPS63214342A (ja) | 化合物の製造方法 | |
| JP2863675B2 (ja) | 粒子強化複合材の製造方法 | |
| EP0313382B1 (en) | Process for making silicon nitride articles | |
| JPH0515669B2 (ja) | ||
| JPH01294514A (ja) | 複合物粉末およびその製造方法 | |
| US5720917A (en) | Manufacturing method for silicon nitride-based sintered body | |
| KR100882923B1 (ko) | 기계가공성을 갖는 Ｃｒ₂ＡｌＣ 소결체의 저가 제조방법 | |
| JP2852406B2 (ja) | 高強度高圧型窒化硼素・金属複合焼結体及びその製造法 | |
| JPH09221367A (ja) | 導電性炭化珪素質複合材料及びその製造方法 | |
| JPH01298074A (ja) | ホウ化ニオブ複合物粉末およびその製造方法 | |
| JP2852407B2 (ja) | 高強度ダイヤモンド・金属複合焼結体及びその製造法 | |
| US5334339A (en) | Boron nitride sinter and process for its production | |
| JPH01298065A (ja) | 複合物粉末およびその製造方法 | |
| JP4566296B2 (ja) | 窒化チタン焼結体の製造方法 | |
| JP2860394B2 (ja) | 被覆ダイヤモンド含有高硬度高密度複合焼結体及びその製造法 | |
| KR100424780B1 (ko) | 단일 공정에 의한 치밀한 텡스텐 카바이드 초경 합금의제조 방법 | |
| JPH01298075A (ja) | 珪化ニオブ複合物粉末およびその製造方法 | |
| JP2001139375A (ja) | ＴｉＢ２−Ｔｉ（ＣＮ）系複合体及びその製造方法 | |
| JP2826023B2 (ja) | 超微粒子の製造方法 | |
| JPH01294580A (ja) | 複合物粉末およびその製造方法 | |
| JPH044966B2 (ja) | ||
| JP2002241113A (ja) | 窒化クロム粉の製造方法 | |
| JPH08311576A (ja) | 炭窒化チタン又は炭化チタンの焼結体の製造方法 |